專(zhuān)利名稱(chēng)：輸送裝置、位置示教方法以及傳感器夾具的制作方法
專(zhuān)利說(shuō)明本發(fā)明第一方面的輸送裝置通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先 設(shè)定的輸送軌跡上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向 成直角的平面上進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述輸送裝置的特征在于，以鉛垂方向?yàn)閆方 向，以位于所述平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于Y方向及Z方向成直角 的方向?yàn)閄方向，且具備透射光式傳感器，其至少具有一個(gè)從投光部向受光部的光軸，在 具有多個(gè)所述光軸的情況下，以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個(gè)方向中所需的 兩個(gè)方向構(gòu)成的投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸也不與所述 所需的兩個(gè)方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一個(gè)以上的目標(biāo)部件，其能夠 對(duì)所述光軸進(jìn)行遮光；示教信息算出機(jī)構(gòu)，其從所述透射光式傳感器獲取所述目標(biāo)部件使 所述光軸從投光狀態(tài)遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投光時(shí)的位置信息，根據(jù)所述位置信息算出針 對(duì)所述輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置的示教信息；控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)利用所述示教信息算 出機(jī)構(gòu)算出的針對(duì)所述目標(biāo)位置的所述示教信息，控制所述被輸送物的輸送位置，所述透 射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部的任一方，在沒(méi)有設(shè)置所 述透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部設(shè)置所述目標(biāo)部件。由此，能夠通過(guò)輸送裝置的通常的輸送動(dòng)作，S卩，不進(jìn)行用于示教作業(yè)的回避動(dòng)作 的情況下，獲取輸送位置的示教信息。例如，能夠通過(guò)臂的伸縮獲取X方向及Y方向的位置 信息，算出輸送位置的示教信息。從而，能夠在不考慮輸送裝置的各軸間隙的情況下算出示 教信息。即，能夠以容易的方法算出示教信息，并且，能夠縮短算出時(shí)間。在此，臂是指將多個(gè)部件中其前端部分和基端部分加以連結(jié)而長(zhǎng)條狀一體化，并 能夠在驅(qū)動(dòng)源的作用下伸縮運(yùn)動(dòng)的部件。臂的前端部為輸送物輸送部，具備將輸送物定位 在臂的前端部上的一定位置的公知的夾緊機(jī)構(gòu)。另外，目標(biāo)部件可以是已經(jīng)設(shè)置在輸送部的前端部或目標(biāo)位置的附近部的部件， 也可以是安裝在設(shè)于輸送部的前端部或目標(biāo)位置的附近部的遮光夾具上的部件，優(yōu)選為圓 柱(銷(xiāo))狀。另外，透射光式傳感器是安裝在設(shè)于輸送部的前端部或目標(biāo)位置的附近部的傳感 器夾具上的傳感器。另外，以鉛垂方向?yàn)閆方向，以相對(duì)于鉛垂方向成直角的平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn) 移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于Y方向及Z方向成直角的方向?yàn)閄方向。因此，X方向、Y方向 及Z方向表示設(shè)計(jì)上的方向。另外，R方向?yàn)檩斔筒?臂的前端部)的直行方向。另外，輸 送部的旋轉(zhuǎn)中心軸為θ軸。本發(fā)明第二方面的輸送裝置的特征在于，本發(fā)明第一方面的輸送裝置的所述目標(biāo) 部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方向或X方向所 成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。由此，能夠獲取精度更高的示教信息。即，使通過(guò)至少兩個(gè)目標(biāo)部件的方向與規(guī)定 的已知方向一致，從而能夠獲取針對(duì)準(zhǔn)確的輸送位置的示教信息。本發(fā)明第三方面的輸送裝置以本發(fā)明第二方面的輸送裝置為基礎(chǔ)，其特征在于， 通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。由此，能夠通過(guò)更簡(jiǎn)單的計(jì)算獲取精度更高的示教信息。本發(fā)明第四方面的輸送裝置以本發(fā)明第一至第三方面中任一方面的輸送裝置為基礎(chǔ)，其特征在于，以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述示教信息算出機(jī)構(gòu)包括Z軸補(bǔ) 正信息算出機(jī)構(gòu)，其根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)、而由 該目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行Z方向的位 置補(bǔ)正的所述示教信息；θ軸補(bǔ)正信息算出部，其根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì)地平行移動(dòng)直 至由一個(gè)所述目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息、使該光軸向X方向相對(duì)于 該目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)直至該光軸投光時(shí)的所述位置信息，算出對(duì)R方向與Y方向的 偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)所述光軸的情況 下，其根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光 軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示 教信息；Y軸補(bǔ)正信息算出部，在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，其根據(jù)使所述光軸向R方向 相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè)所述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸 分別遮光時(shí)的各所述位置信息、或在兩個(gè)所述光軸不交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光 時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向的所述示教信息。輸送裝置通過(guò)Z軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出Z軸方向相對(duì)于輸送位置的位置補(bǔ)正 值，通過(guò)θ軸補(bǔ)正信息算出部算出使輸送部的直行方向(R方向)與Y方向一致的(以下 稱(chēng)為θ軸補(bǔ)正)、即使輸送部的直行方向?yàn)閅方向的補(bǔ)正值，通過(guò)X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算 出X軸方向相對(duì)于輸送位置的位置補(bǔ)正值，通過(guò)Y軸補(bǔ)正信息算出部算出Y軸方向相對(duì)于 輸送位置的位置補(bǔ)正值。由此，能夠通過(guò)重復(fù)進(jìn)行通常的輸送動(dòng)作來(lái)算出用于進(jìn)行輸送裝置相對(duì)于輸送位 置的Z軸方向位置補(bǔ)正、θ軸補(bǔ)正、X軸方向位置補(bǔ)正及Y方向位置補(bǔ)正的示教信息。本發(fā)明第五方面的輸送裝置以本發(fā)明第四方面的輸送裝置為基礎(chǔ)，其特征在于， 具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件中的一個(gè)所述目標(biāo)部件為第 一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二目標(biāo)部件，所述示教信息算 出機(jī)構(gòu)具有S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且 所述S軸為Y方向的情況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一 目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光 時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩 個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸為X方向的情況下，該S軸補(bǔ)正信息 算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向X方向相對(duì)于所述第二目 標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與X方向的 偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且 所述S軸與Y方向及X方向不同的情況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光 軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè) 所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置上的S軸算出的Y方向與設(shè)計(jì)上的Y 方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息。輸送裝置通過(guò)S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出例如使成為設(shè)置上的Y方向的通過(guò)目標(biāo) 位置的中心軸(S軸)與輸送部的直行方向(R方向)一致的補(bǔ)正值。即，由于通過(guò)θ軸補(bǔ) 正信息算出部進(jìn)行補(bǔ)正而使R方向與Y方向一致，因此，利用S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出使 S軸與Y方向一致的補(bǔ)正。或者，例如算出使成為設(shè)置上的X方向的通過(guò)目標(biāo)位置的中心軸(S軸)與設(shè)計(jì)上的X方向一致的補(bǔ)正值。即，通過(guò)S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出使S軸與X 方向一致的補(bǔ)正。由此，能夠通過(guò)重復(fù)進(jìn)行通常的輸送動(dòng)作算出用于進(jìn)行輸送位置的Y方向的中心 軸補(bǔ)正的示教信息、或用于進(jìn)行輸送位置的X方向的中心軸補(bǔ)正的示教信息。本發(fā)明第六方面的輸送裝置，其通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù) 先設(shè)定的輸送軌跡上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方 向成直角的平面上進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述輸送裝置的特征在于，以鉛垂方向?yàn)閆 方向，以位于所述平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于Y方向及Z方向成直 角的方向?yàn)閄方向，且具備透射光式傳感器，其至少具有一個(gè)從投光部向受光部的光軸， 在具有多個(gè)所述光軸的情況下，以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個(gè)方向中所 需的兩個(gè)方向構(gòu)成的投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸也不與 所述所需的兩個(gè)方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一個(gè)以上的目標(biāo)部件，其 能夠?qū)λ龉廨S進(jìn)行遮光；一個(gè)以上的臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件，其相對(duì)于能夠?qū)λ龉廨S進(jìn)行 遮蔽的所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知；示教信息算出機(jī)構(gòu)，其從所述透射光式傳感器獲 取所述目標(biāo)部件及所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件使所述光軸從投光狀態(tài)遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投 光時(shí)的位置信息，根據(jù)所述位置信息算出針對(duì)所述輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置的示教信 息；控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)利用所述示教信息算出機(jī)構(gòu)算出的針對(duì)所述目標(biāo)位置的所述示教信 息，控制所述被輸送物的輸送位置，所述透射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的前端部或所述 目標(biāo)位置的附近部的任一方，所述目標(biāo)部件及所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件設(shè)置在沒(méi)有設(shè)置所述 透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部，且所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部 件設(shè)置在所述透射光式傳感器與所述目標(biāo)部件之間。由此，能夠通過(guò)輸送裝置的通常的輸送動(dòng)作，S卩，不進(jìn)行用于示教作業(yè)的回避動(dòng)作 的情況下，獲取輸送位置的示教信息。例如，能夠通過(guò)臂的伸縮獲取X方向及Y方向的位置 信息，算出輸送位置的示教信息。從而，能夠在不考慮輸送裝置的各軸間隙的情況下算出示 教信息。即，能夠以容易的方法算出示教信息，并且，能夠縮短算出時(shí)間。另外，當(dāng)目標(biāo)位置周?chē)目臻g區(qū)域窄，為了獲取針對(duì)目標(biāo)位置的示教信息而使輸 送裝置動(dòng)作時(shí)，在可能會(huì)引起目標(biāo)位置周?chē)脑O(shè)備等部件與輸送部碰撞的情況下，例如通 過(guò)在目標(biāo)位置設(shè)置目標(biāo)部件，并將其設(shè)置在不引起目標(biāo)位置周?chē)脑O(shè)備等部件和輸送部的 接觸的目標(biāo)位置與輸送部之間，從而，能夠防止目標(biāo)位置周?chē)脑O(shè)備等部件與輸送部的接 觸，同時(shí)獲取針對(duì)目標(biāo)位置的示教信息。本發(fā)明第七方面的輸送裝置的特征在于，本發(fā)明第六方面的輸送裝置的所述目標(biāo) 部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方向或X方向所 成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。由此，能夠獲取精度更高的示教信息。即，使通過(guò)至少兩個(gè)目標(biāo)部件的方向與規(guī)定 的已知方向一致，從而能夠獲取針對(duì)準(zhǔn)確的輸送位置的示教信息。本發(fā)明第八方面的輸送裝置以本發(fā)明第七方面的輸送裝置為基礎(chǔ)，其特征在于， 通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。由此，能夠通過(guò)更簡(jiǎn)單的計(jì)算獲取精度更高的示教信息。本發(fā)明第九方面的輸送裝置以本發(fā)明第六至第八方面中任一方面的輸送裝置為基礎(chǔ)，其特征在于，以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述示教信息算出機(jī)構(gòu)包括Z軸補(bǔ) 正信息算出機(jī)構(gòu)，其根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)、 而由該臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn) 行Z方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；θ軸補(bǔ)正信息算出部，其根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì) 地平行移動(dòng)直至由所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息、使該光 軸向X方向相對(duì)于該臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)直至該光軸投光時(shí)的所述位置信 息，算出對(duì)R方向與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；一次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī) 構(gòu)，在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，其根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo) 部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo) 位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；Y軸補(bǔ)正信息算出部，在具有兩個(gè)所述光軸的 情況下，其根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè) 所述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息、或在兩個(gè)所述光軸不 交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向 的所述示教信息。輸送裝置通過(guò)Z軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出Z軸方向相對(duì)于輸送位置的位置補(bǔ)正 值，通過(guò)θ軸補(bǔ)正信息算出部算出使輸送部的直行方向(R方向)與Y方向一致的(以下 稱(chēng)為θ軸補(bǔ)正)、即使輸送部的直行方向?yàn)閅方向的補(bǔ)正值，通過(guò)一次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī) 構(gòu)算出X軸方向相對(duì)于輸送位置的位置補(bǔ)正值，通過(guò)Y軸補(bǔ)正信息算出部算出Y軸方向相 對(duì)于輸送位置的位置補(bǔ)正值。由此，能夠通過(guò)重復(fù)通常的輸送動(dòng)作算出用于進(jìn)行輸送裝置相對(duì)于輸送位置的Z 軸方向位置補(bǔ)正、θ軸補(bǔ)正、X軸方向位置補(bǔ)正以及Y軸方向位置補(bǔ)正的示教信息。本發(fā)明第十方面的輸送裝置以本發(fā)明第九方面的輸送裝置為基礎(chǔ)，其特征在于， 具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件中的一個(gè)所述目標(biāo)部件為第 一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二目標(biāo)部件，所述示教信息算 出機(jī)構(gòu)包括S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸 且所述S軸為Y方向的情況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第 一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮 光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有 兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸為X方向的情況下，該S軸補(bǔ)正信 息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向X方向相對(duì)于所述第二 目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與X方向 的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；二次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)所述光軸 的情況下，該二次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部 件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位 置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述 光軸且所述S軸與Y方向及X方向不同的情況下，該二次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一 方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行 移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置上的S軸算出的Y方向與 設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息。
輸送裝置通過(guò)S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出例如使成為設(shè)置上的Y方向的通過(guò)目標(biāo) 位置的中心軸(S軸)與輸送部的直行方向(R方向)一致的補(bǔ)正值。即，由于通過(guò)θ軸補(bǔ) 正信息算出部進(jìn)行補(bǔ)正而使R方向與Y方向一致，因此，通過(guò)S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出使 S軸與Y方向一致的補(bǔ)正。或者，算出例如使成為設(shè)置上的X方向的通過(guò)目標(biāo)位置的中心軸 (S軸)與設(shè)計(jì)上的X方向一致的補(bǔ)正值。即，通過(guò)S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出使S軸與X 方向一致的補(bǔ)正。另外，通過(guò)二次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)算出X軸方向相對(duì)于輸送位置的準(zhǔn)確的位 置補(bǔ)正值。由此，能夠通過(guò)重復(fù)通常的輸送動(dòng)作算出用于進(jìn)行輸送位置的Y方向的中心軸補(bǔ) 正或輸送位置的X方向的中心軸補(bǔ)正以及X軸方向位置補(bǔ)正的示教信息。本發(fā)明第一方面的位置示教方法向輸送裝置示教輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置， 所述輸送裝置通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的所述輸送軌跡上 進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向成直角的平面上進(jìn) 行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述位置示教方法的特征在于，以鉛垂方向?yàn)棣品较颍栽O(shè)計(jì)上的 直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于位于所述平面上的Y方向及Z方向成直角的方向?yàn)閄方 向，所述位置示教方法包括如下工序(a)通過(guò)使透射光式傳感器相對(duì)于設(shè)置在沒(méi)有設(shè)置 所述透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部的一個(gè)以上的目標(biāo) 部件相對(duì)地移動(dòng)，而獲取所述目標(biāo)部件使所述光軸從投光狀態(tài)遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投光 時(shí)的位置信息，根據(jù)獲取到的所述位置信息算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的示教信息，其中，所述 透射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部的任一方，具有至少一 個(gè)從投光部向受光部的光軸，在具有多個(gè)所述光軸的情況下，以使所述光軸在X方向、Y方 向及Z方向這三個(gè)方向中所需的兩個(gè)方向構(gòu)成的投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中 的至少一個(gè)所述光軸也不與所述所需的兩個(gè)方向平行的方式配置所述投光部和所述受光 部。
由此，獲得與上述本發(fā)明第一方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第二方面的位置示教方法的特征在于，本發(fā)明第一方面的位置示教方法的 所述目標(biāo)部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方向或 X方向所成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。由此，能夠獲得與上述本發(fā)明第二方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第三方面的位置示教方法以本發(fā)明第二方面的位置示教方法為基礎(chǔ)，通過(guò) 至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。由此，能夠獲得與上述本發(fā)明第三方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第四方面的位置示教方法以本發(fā)明第一至第三方面中任一方面的位置示 教方法為基礎(chǔ)，其特征在于，以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述工序(a)包括下述四 個(gè)工序中的至少一個(gè)工序(b)根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地 移動(dòng)、而由該目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行Z 方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；(C)根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì)地平行移動(dòng)直至由一個(gè)所 述目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息、使該光軸向X方向相對(duì)于該目標(biāo)部件 相對(duì)地平行移動(dòng)直至該光軸投光時(shí)的所述位置信息，算出對(duì)R方向與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；(d)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì) 于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算 出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；(e)在具有兩個(gè)所述光軸的 情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè)所 述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，或在兩個(gè)所述光軸沒(méi)有 交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向 的所述示教信息。由此，能夠獲得與上述本發(fā)明第四方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第五方面的位置示教方法以本發(fā)明第一至第四方面中任一方面的位置示 教方法為基礎(chǔ)，其特征在于，具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件 中的一個(gè)所述目標(biāo)部件為第一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二 目標(biāo)部件，所述工序(a)包括下述工序(f)在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述 光軸且所述S軸為Y方向的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向 R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信 息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上 彼此不平行的所述光軸且所述S軸為X方向的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一 目標(biāo)部件的中心向X方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光 時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與X方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩 個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸與Y方向及X方向不同的情況下，根 據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì) 地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置上的S軸算出的Y 方向與設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；(g)在具有兩個(gè)所述光軸的 情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述 光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述 示教信息。由此，能夠獲得與上述本發(fā)明第五方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第六方面的位置示教方法向輸送裝置示教輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置， 所述輸送裝置通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的所述輸送軌跡上 進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向成直角的平面上進(jìn) 行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述位置示教方法的特征在于，以鉛垂方向?yàn)閆方向，以位于所述 平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于Y方向及Z方向成直角的方向?yàn)閄方 向，且包括如下工序(al)通過(guò)使透射光式傳感器相對(duì)于一個(gè)以上的目標(biāo)部件以及一個(gè)以 上的臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)，而獲取所述目標(biāo)部件及所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件使所述 光軸從投光狀態(tài)遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投光時(shí)的位置信息，根據(jù)獲取到的所述位置信息算 出針對(duì)所述目標(biāo)位置的示教信息，其中，所述透射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的前端部或 所述目標(biāo)位置的附近部的任一方，具有至少一個(gè)從投光部向受光部的光軸，在具有多個(gè)所 述光軸的情況下，以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個(gè)方向中所需的兩個(gè)方向構(gòu) 成的投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸也不與所述所需的兩個(gè) 方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部，一個(gè)以上的所述目標(biāo)部件設(shè)置在沒(méi)有設(shè)置所述透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部，一個(gè)以上的所述臨 時(shí)目標(biāo)部件設(shè)置在沒(méi)有設(shè)置所述透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置 的附近部并設(shè)置在所述透射光式傳感器與所述目標(biāo)部件之間，且相對(duì)于所述目標(biāo)部件的相 對(duì)位置為已知。
由此，能夠獲得與上述本發(fā)明第六方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第七方面的位置示教方法的特征在于，本發(fā)明第六方面的位置示教方法的 所述目標(biāo)部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方向或 X方向所成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。由此，能夠獲得與本發(fā)明第七方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第八方面的位置示教方法以本發(fā)明第七方面的位置示教方法為基礎(chǔ)，通過(guò) 至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。由此，能夠獲得與上述本發(fā)明第八方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第九方面的位置示教方法以本發(fā)明第六至第八方面中任一方面的位置示 教方法為基礎(chǔ)，以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述工序(al)包括下述四個(gè)工序中的 至少一個(gè)工序(bl)根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)、 而由該臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn) 行Z方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；(Cl)根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì)地平行移動(dòng)直至由 所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息、使該光軸向X方向相對(duì)于 該臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)直至該光軸投光時(shí)的所述位置信息，算出對(duì)R方向與 Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；(dl)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使 所述光軸向R方向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮 光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息； (el)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相 對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè)所述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信 息、或在兩個(gè)所述光軸沒(méi)有交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出 針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向的所述示教信息。由此，獲得與上述本發(fā)明第九方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第十方面的位置示教方法以本發(fā)明第六至第九方面中任一方面的位置示 教方法為基礎(chǔ)，具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件中的一個(gè)所 述目標(biāo)部件為第一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二目標(biāo)部件， 所述工序(al)包括下述兩個(gè)工序中的至少一個(gè)工序(fl)在具有兩個(gè)在所述投影面上彼 此不平行的所述光軸且所述S軸為Y方向的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目 標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí) 的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè) 在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸為X方向的情況下，根據(jù)使一方的所述 光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向X方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩 個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與X方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示 教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸與Y方向及X方向 不同的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置 上的S軸算出的Y方向與設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；(gl)在具 有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行 移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向 的位置補(bǔ)正的所述示教信息。由此，獲得與上述本發(fā)明第十方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第一方面的傳感器夾具通過(guò)與目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)而檢測(cè)所述目標(biāo) 部件，其特征在于，至少具有一個(gè)從透射光式傳感器的投光部向受光部的光軸，在具有多個(gè) 所述光軸的情況下，以使所述光軸在同一投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少 一個(gè)所述光軸相對(duì)于投影到所述投影面上的向所述目標(biāo)部件的相對(duì)的移動(dòng)方向及與所述 移動(dòng)方向成直角的方向不平行的方式配置所述投光部和所述受光部。通過(guò)設(shè)于將被輸送物在預(yù)先設(shè)定的輸送軌跡上進(jìn)行輸送的輸送裝置的輸送部的 前端部、或所述輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置的附近部，而獲得與上述本發(fā)明第一方面至 第十方面中任一方面的輸送裝置等同的效果。本發(fā)明第十一方面的輸送裝置通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù) 先設(shè)定的輸送軌跡上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方 向成直角的平面上進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述輸送裝置的特征在于，具備本發(fā)明第一 方面的傳感器夾具，根據(jù)利用所述傳感器夾具的所述透射光式傳感器獲取的、所述目標(biāo)部 件使所述光軸從投光成為遮光時(shí)或從遮光成為投光時(shí)的位置信息，算出針對(duì)所述輸送軌跡 上的規(guī)定的目標(biāo)位置的示教信息。由此，獲得與上述本發(fā)明第一方面至第十方面中任一方面所述的輸送裝置等同的 效果。根據(jù)本發(fā)明，能夠通過(guò)輸送裝置通常的輸送動(dòng)作，S卩，不進(jìn)行用于示教作業(yè)的回避 動(dòng)作的情況下，獲得輸送位置的示教信息。例如，能夠通過(guò)臂的伸縮獲取X方向及Y方向的 位置信息，而算出輸送位置的示教信息。從而，能夠在不考慮輸送裝置的各軸間隙的情況下 算出示教信息。即，能夠容易地進(jìn)行示教信息的算出，并且，能夠縮短算出時(shí)間。另外，當(dāng)輸送位置周?chē)目臻g區(qū)域窄，為了獲取針對(duì)輸送位置的示教信息而使輸 送裝置動(dòng)作時(shí)，在可能會(huì)引起輸送位置周?chē)脑O(shè)備等部件與輸送部碰撞的情況下，例如通 過(guò)在目標(biāo)位置設(shè)置目標(biāo)部件，并將其設(shè)置在不引起目標(biāo)位置周?chē)脑O(shè)備等部件和輸送部的 接觸的目標(biāo)位置與輸送部之間，從而，能夠防止目標(biāo)位置周?chē)脑O(shè)備等部件與輸送部的接 觸，同時(shí)獲取針對(duì)目標(biāo)位置的示教信息。


圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施方式的輸送裝置的圖。圖2是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的圖。圖3是表示傳感器夾具的一例的圖。圖4是用于說(shuō)明傳感器夾具的安裝狀態(tài)的圖。圖5是表示遮光夾具的一例的圖。圖6是表示晶片輸送裝置10中的自動(dòng)示教的控制機(jī)構(gòu)的一例的塊圖。
圖7是表示自動(dòng)示教的示意處理步驟的一例的流程圖。圖8是表示其他遮光夾具的一例的圖。圖9是表示Z軸補(bǔ)正處(SlOl)的處理步驟的一例的流程圖。圖10是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的初始位置的一例的圖。圖11是表示θ軸補(bǔ)正處理(S102)的處理步驟的一例的流程圖。圖12是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的動(dòng)作的一例的圖。圖13是用于說(shuō)明θ軸補(bǔ)正的示教信息的算出方法的圖。圖14是表示X軸補(bǔ)正處(S103)的處理步驟的一例的流程圖。圖15是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的動(dòng)作的一例的圖。圖16是用于說(shuō)明X軸補(bǔ)正的示教信息的算出方法的圖。圖17是表示S軸補(bǔ)正處理(S104)的處理步驟的一例的流程圖。圖18是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的動(dòng)作的一例的圖。圖19是用于說(shuō)明S軸補(bǔ)正的示教信息的算出方法的圖。圖20是表示二次X軸補(bǔ)正處理610 的處理步驟的一例的流程圖。圖21是表示Y軸補(bǔ)正處(S106)的處理步驟的一例的流程圖。圖22是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的動(dòng)作的一例的圖。圖23是表示其他的傳感器夾具的一例的圖。圖M是表示又一傳感器夾具的一例的圖。符號(hào)說(shuō)明10晶片輸送裝置150晶片收納容器12輸送機(jī)械手(主體部)11 裝載口13X軸工作臺(tái)21支柱部22 第一臂23 第二臂24晶片輸送部25回旋部30傳感器夾具32透射光式傳感器41、42 光軸50遮光夾具51、52 遮光銷(xiāo)60示教信息算出部61Z軸補(bǔ)正信息算出部62 θ軸補(bǔ)正信息算出部63Χ軸補(bǔ)正信息算出部64Υ軸補(bǔ)正信息算出部18
65S軸補(bǔ)正信息算出部70控制部75驅(qū)動(dòng)部76無(wú)線(xiàn)信號(hào)發(fā)射機(jī)77 電池
具體實(shí)施例方式參照附圖對(duì)本發(fā)明一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下說(shuō)明的實(shí)施方式只用于說(shuō)明， 并不限定本發(fā)明的范圍。因而，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以采用以與所述各要素或全部要素等同 的要素進(jìn)行置換的實(shí)施方式，但這些實(shí)施方式均包含在本發(fā)明的范圍中。針對(duì)實(shí)施向沿預(yù)先設(shè)定的輸送軌跡輸送被輸送物的輸送裝置自動(dòng)地示教(自動(dòng) 示教)該輸送軌跡上的規(guī)定的輸送位置(目標(biāo)位置)的輸送裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施方式的輸送裝置的圖，圖1(a)是示意俯視圖，圖 1(b)是示意側(cè)視圖。以下，還舉例說(shuō)明了執(zhí)行收納有半導(dǎo)體晶片的晶片收納容器(FOUP) 和晶片處理裝置之間的半導(dǎo)體晶片的輸送的晶片輸送裝置(EFEM=Equipment Front End Module)作為輸送裝置。如圖1所示，晶片輸送裝置10執(zhí)行晶片收納容器150與晶片處理裝置100之間的 半導(dǎo)體晶片的輸送。晶片輸送裝置10把持半導(dǎo)體晶片且具備主體部(輸送機(jī)械手)12、裝 載口 11、X軸工作臺(tái)13。裝載口 11是如下所述的裝置搭載晶片收納容器150，打開(kāi)晶片收 納容器150的門(mén)(未圖示)，由此輸送機(jī)械手12移動(dòng)至能夠輸送晶片收納容器150中的半 導(dǎo)體晶片的位置。另外，X軸工作臺(tái)13為通過(guò)設(shè)置輸送機(jī)械手12而使輸送機(jī)械手12沿相 對(duì)于鉛垂方向(Z方向)成直角的圖中的X軸方向(X方向)平行移動(dòng)的裝置。此外，以相對(duì)于Z方向及X方向成直角的方向?yàn)閅方向。另外，在此將X方向、Y方 向及Z方向作為晶片輸送裝置10設(shè)計(jì)上的方向，將X軸方向、Y軸方向及Z軸方向作為與 晶片輸送裝置10設(shè)置上的X方向、Y方向及Z方向?qū)?yīng)的方向。其次，參照?qǐng)D2說(shuō)明輸送機(jī)械手12。圖2是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的圖，圖2 (a) 是輸送機(jī)械手12的示意側(cè)視圖，圖2(b)是輸送機(jī)械手12的示意俯視圖。如圖2所示，輸送機(jī)械手12具備能夠沿Z軸方向上下移動(dòng)的圓筒狀的支柱部21、 以支柱部21的中心軸沈?yàn)橹行脑谙鄬?duì)于Z軸方向成直角的平面(回旋面)上回旋的回旋 部25?；匦?5具備第一臂22、第二臂23、晶片輸送部M。第一臂22安裝于支柱部21 且安裝為能夠以支柱部21的中心軸沈?yàn)橹行脑诨匦嫔匣匦Ａ硗?，第二?3在與回旋 面平行的平面上回旋自如，且按與第一臂22固定的速度比安裝于第一臂22的前端。另外， 晶片輸送部M在與回旋面平行的平面上回旋自如，且按與第二臂23固定的速度比安裝在 第二臂23的前端。回旋部25將以第一臂22的中心軸沈?yàn)橹行牡幕匦\(yùn)動(dòng)按固定的速度比向第二 臂23及晶片輸送部M傳遞，且將回旋運(yùn)動(dòng)變化為向通過(guò)晶片輸送部M的中心軸沈且與 中心軸26成直角的方向(R方向)的伸縮運(yùn)動(dòng)。需要說(shuō)明的是，晶片輸送裝置10以輸送機(jī) 械手12的R方向?yàn)閅方向的方式安裝于X軸工作臺(tái)13。從而，R方向?yàn)閅軸方向。從而，如圖1及圖2所示，輸送機(jī)械手12具有以下三個(gè)自由度，即，使回旋部25繞中心軸沈回旋的移動(dòng)(回旋移動(dòng))、使回旋部25向Y軸方向伸縮的Y軸移動(dòng)(直線(xiàn)移動(dòng))、 及使回旋部25向Z軸方向上下移動(dòng)的Z軸移動(dòng)(鉛垂方向的上下移動(dòng))。另外，X軸工作 臺(tái)13具有使輸送機(jī)械手12向X軸方向移動(dòng)的X軸移動(dòng)(平行移動(dòng))的一個(gè)自由度，因此， 晶片輸送裝置10具有四個(gè)自由度。其次，參照?qǐng)D3、圖4及圖5對(duì)安裝于晶片輸送裝置10的、用于獲取針對(duì)輸送位置 (目標(biāo)位置)的示教信息的傳感器夾具及遮光夾具進(jìn)行說(shuō)明。圖3是表示傳感器夾具的一例的圖，圖3(a)是傳感器夾具的示意立體圖，圖3 (b) 是傳感器夾具的示意俯視圖。另外，圖4用于說(shuō)明傳感器夾具的安裝狀態(tài)的圖，圖4(a)是 表示傳感器夾具的安裝狀態(tài)的示意立體圖，圖4(b)是表示傳感器夾具的安裝狀態(tài)的示意 俯視圖。另外，圖5是表示遮光夾具的一例的圖，圖5 (a)是遮光夾具的示意立體圖，圖5(b) 是遮光銷(xiāo)沿Y方向排列時(shí)的遮光夾具的示意俯視圖，圖5(c)是遮光銷(xiāo)沿X方向排列時(shí)的遮 光夾具的示意俯視圖，圖5(d)是遮光銷(xiāo)沿與Y方向成角度δ的線(xiàn)上排列時(shí)的遮光夾具的 示意俯視圖。如圖3所示，在傳感器夾具30設(shè)有透射光式傳感器32。另外，透射光式傳感器32 具備投光部3 及32b和受光部32c及32d，將從未圖示的透射光式傳感器32的控制部經(jīng) 由連接器34傳遞的電信號(hào)通過(guò)放大器33轉(zhuǎn)換成光信號(hào)而向投光部3 及32b引導(dǎo)。另外， 來(lái)自受光部32c及32d的光信號(hào)通過(guò)放大器33轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)由連接器34向透射光式 傳感器32的控制部傳遞。透射光式傳感器32的控制部與后述的圖6所示的示教信息算出 部60連接，上述各電信號(hào)在透射光式傳感器32的控制部與示教信息算出部60之間傳遞。另外，如圖4所示，傳感器夾具30以透射光式傳感器32成為晶片輸送部M的前 端部的方式把持設(shè)置于晶片輸送部對(duì)。晶片輸送部M構(gòu)成為，在兩個(gè)最前端部固定有輸 送物止擋件(,- 7止力)J6b，且在基端側(cè)設(shè)有能夠沿Y方向前后移動(dòng)的夾緊件27a、 27b，夾緊件27a、27b通過(guò)按壓載置了的半導(dǎo)體晶片而能夠一直對(duì)其進(jìn)行定位。即，代替半 導(dǎo)體晶片，載置傳感器夾具30、或遮光夾具50而在晶片輸送部M上定位。另外，傳感器夾具30具有與晶片輸送部M的X方向的寬度大致相同的X方向的 寬度，形成有與晶片輸送部M的前端的開(kāi)口部大致相同的開(kāi)口部35。另外，傳感器夾具30 形成為能夠使晶片輸送部M與半導(dǎo)體晶片同樣地把持傳感器夾具30的形狀。另外，透射光式傳感器32的投光部3 及3 和受光部32c及32d以如下方式 配置于傳感器夾具30，即，從投光部32a向受光部32c的光軸41和從投光部32b向受光部 32d的光軸42向與X-Y平面平行的面(以下稱(chēng)為投影面)投影的投影線(xiàn)段相互交叉，且光 軸41的投影線(xiàn)段與光軸42的投影線(xiàn)段均不是X軸方向及Y軸方向。另外，投光部3 及 32b和受光部32c及32d以如下方式配置于傳感器夾具30，即，光軸41和光軸42向通過(guò)晶 片輸送裝置10的中心軸沈的￥軸方向的直線(xiàn)(Y軸)上的投影面投影的投影線(xiàn)段在Y軸 上交叉，光軸41的投影線(xiàn)段與光軸42的投影線(xiàn)段相對(duì)于該Y軸相互線(xiàn)對(duì)稱(chēng)。在此，對(duì)透射 光式傳感器32的光軸41與光軸42在Y軸上交叉、且光軸41的投影線(xiàn)段和光軸42的投影 線(xiàn)段相對(duì)于該Y軸相互線(xiàn)對(duì)稱(chēng)的情況進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在此，投影面為X-Y平面，但也可以是X-Z平面，也可以是X-Z平 另外，上述晶片輸送部M為利用輸送物止擋件^a、26b及夾緊件27a、27b機(jī)械地20固定半導(dǎo)體晶片的機(jī)構(gòu)，但可以為吸附半導(dǎo)體晶片而固定的機(jī)構(gòu)，也可以為通過(guò)在該晶片 輸送部M設(shè)置銷(xiāo)或臺(tái)階而進(jìn)行固定的機(jī)構(gòu)等各種機(jī)構(gòu)。即，利用晶片輸送部M的對(duì)應(yīng)的 半導(dǎo)體晶片的固定機(jī)構(gòu)，代替半導(dǎo)體晶片，載置傳感器夾具30、或遮光夾具50而在晶片輸 送部對(duì)上定位。其次，對(duì)遮光夾具進(jìn)行說(shuō)明。如圖5(a)所示，遮光夾具50具備兩個(gè)圓柱狀的遮光 銷(xiāo)(目標(biāo)部件)51及52。例如，作為輸送位置，在設(shè)定有圖1所示的裝載口 11的情況下，遮 光夾具50設(shè)置于裝載口 11。因此，對(duì)遮光夾具50的背面實(shí)施與晶片收納容器150的背面同樣的定位用的加 工，從而能夠?qū)⒄诠鈯A具50設(shè)置于裝載口 11。此外，遮光銷(xiāo)51及52相對(duì)于遮光夾具50的 基準(zhǔn)位置的相對(duì)的位置、以及形狀尺寸為已知。因此，通過(guò)遮光銷(xiāo)51及52的中心的中心軸 (S軸)的方向?yàn)橐阎?。即，如圖5(d)所示，將遮光夾具50配置于輸送位置(裝載口 11) 時(shí)，通過(guò)遮光銷(xiāo)51及52的中心的中心軸(S軸)與Y方向所成的角度δ為已知，遮光銷(xiāo)51 及52相對(duì)于遮光夾具50的基準(zhǔn)位置的位置以及遮光銷(xiāo)51及52的形狀尺寸為已知。此外，遮光夾具50配置成下述等情況時(shí)能夠以更簡(jiǎn)單的計(jì)算執(zhí)行補(bǔ)正處理，所述 情況例如圖5 (b)所示，將遮光夾具50配置于輸送位置(裝載口 11)時(shí)，以通過(guò)遮光銷(xiāo)51及 52的中心的中心軸(S軸)與晶片輸送裝置10的Y方向平行的方式配置遮光銷(xiāo)51及52， 或如圖5 (c)所示，以S軸與晶片輸送裝置10的X方向平行的方式配置遮光銷(xiāo)51及52。因此，以下舉例說(shuō)明下述情況當(dāng)將遮光夾具50配置于輸送位置(裝載口 11)時(shí)， 遮光夾具50以通過(guò)遮光銷(xiāo)51及52中心的中心軸(S軸)與晶片輸送裝置10的Y方向大 致平行的方式配置。其次，參照?qǐng)D6說(shuō)明實(shí)施自動(dòng)示教的晶片輸送裝置10的控制機(jī)構(gòu)。圖6表示晶片 輸送裝置10的自動(dòng)示教的控制機(jī)構(gòu)的一例的塊圖。設(shè)于傳感器夾具30的透射光式傳感器 32經(jīng)由未圖示的控制部與示教信息算出部60連接。透射光式傳感器32的控制部向圖3所 示的放大器33供給電源，并且，從放大器33接收通過(guò)放大器33轉(zhuǎn)換了的透射光式傳感器 32的透射/遮光引起的接通/斷開(kāi)信號(hào)，將該接收信號(hào)發(fā)送到示教信息算出部60。S卩，透 射光式傳感器32的控制部進(jìn)行示教信息算出部60與透射光式傳感器32之間的信號(hào)傳送 的中繼，具有CC-Link(注冊(cè)商標(biāo))和UNI-WIRE(注冊(cè)商標(biāo))所代表的傳送系統(tǒng)中的I/O終 端的作用。作為示教信息算出部60與透射光式傳感器32之間的信號(hào)傳送之外的機(jī)構(gòu)，例如 如圖M所示，也可以構(gòu)成為在傳感器夾具30上搭載將通過(guò)放大器33轉(zhuǎn)換了的電信號(hào)轉(zhuǎn)換 為藍(lán)牙等無(wú)線(xiàn)信號(hào)發(fā)射的無(wú)線(xiàn)信號(hào)發(fā)射機(jī)76、向放大器33及無(wú)線(xiàn)信號(hào)發(fā)射機(jī)76進(jìn)行電源 供給的電池77。該情況下，在示教信息算出部60連接規(guī)定的接收機(jī)，由示教信息算出部60 接收從無(wú)線(xiàn)信號(hào)發(fā)射機(jī)76發(fā)射出的信號(hào)。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，無(wú)需采用圖3所示的連接器34 及透射光式傳感器32的控制部。其結(jié)果是，在開(kāi)始位置示教作業(yè)前，不必費(fèi)時(shí)費(fèi)力地將連 接器34連接到與示教信息算出部60連接的透射光式傳感器32的控制部，從而僅通過(guò)將傳 感器夾具30載置于晶片輸送部M上就能夠開(kāi)始位置示教作業(yè)。如圖6所示，示教信息算出部60將用于獲取針對(duì)輸送位置的示教信息的輸送動(dòng)作 信息向控制部70發(fā)送?？刂撇?0根據(jù)接收到的輸送動(dòng)作信息來(lái)控制晶片輸送裝置10的 驅(qū)動(dòng)部75，使晶片輸送裝置10移動(dòng)，并且使設(shè)于晶片輸送部M的傳感器夾具30移動(dòng)。21
示教信息算出部60根據(jù)通過(guò)該傳感器夾具30的移動(dòng)動(dòng)作，由透射光式傳感器32 獲取的設(shè)于輸送位置的遮光夾具50所進(jìn)行的光軸41和光軸42的遮光及投光的時(shí)刻信息； 由控制部70獲取的遮光及投光的時(shí)刻信息時(shí)的晶片輸送裝置10的X軸方向、Y軸方向、Z 軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出針對(duì)輸送位置的示教信息。另外，控制部70根據(jù)通過(guò)示教信息算 出部60算出的示教信息控制半導(dǎo)體晶片的輸送位置。另外，示教信息算出部60算出針對(duì) 以下補(bǔ)正的示教信息。(1)對(duì)晶片輸送裝置10的Z軸移動(dòng)的補(bǔ)正(Z軸補(bǔ)正)針對(duì)該補(bǔ)正的示教信息的算出由示教信息算出部60的Z軸補(bǔ)正信息算出部61執(zhí) 行。根據(jù)使輸送機(jī)械手12向-Z軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41或光軸42中任一方的光軸相 對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Z軸方向的驅(qū)動(dòng)信息算出遮光銷(xiāo)51 的Z方向上端的中心位置，算出以使輸送位置的Z方向的位置信息與晶片輸送裝置10的Z 軸方向的位置信息一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息。需要說(shuō)明的是，輸送機(jī)械手12的動(dòng)作 及示教信息的算出方法的詳細(xì)情況后面敘述(參照?qǐng)D9及圖10的說(shuō)明)。(2)對(duì)晶片輸送裝置10的θ軸移動(dòng)的補(bǔ)正(θ軸補(bǔ)正)針對(duì)該補(bǔ)正的示教信息的算出由示教信息算出部60的θ軸補(bǔ)正信息算出部62 執(zhí)行。根據(jù)使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41或光軸42中的任一方的光 軸相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，以及使輸 送機(jī)械手12向X軸方向移動(dòng)的同時(shí)，遮光了的光軸41或光軸42中的任一方的光軸相對(duì)于 遮光銷(xiāo)51的投光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的X軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出晶片輸送裝置 10的Y軸方向與Y方向的偏移角度。即，算出以使晶片輸送裝置10的Y軸方向與Y方向 一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息。在此，將晶片輸送部M的旋轉(zhuǎn)中心軸稱(chēng)為θ軸。需要 說(shuō)明的是，針對(duì)輸送機(jī)械手12的動(dòng)作及示教信息的算出方法的詳細(xì)情況后面敘述(參照?qǐng)D 11、圖12及圖13的說(shuō)明)。(3)對(duì)晶片輸送裝置10的X軸移動(dòng)的補(bǔ)正(X軸補(bǔ)正)針對(duì)該補(bǔ)正的示教信息的算出由示教信息算出部60的X軸補(bǔ)正信息算出部63執(zhí) 行。根據(jù)使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的 遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出輸送位置的X方向的位置信 息與晶片輸送裝置10的X軸方向的位置信息的偏移量。即，算出以使輸送位置的X方向的 位置信息與晶片輸送裝置10的X軸方向的位置信息一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息。需要 說(shuō)明的是，輸送機(jī)械手12的動(dòng)作及示教信息的算出方法的詳細(xì)情況后面敘述(參照?qǐng)D14、 圖15、圖16、及圖20的說(shuō)明)。(4)對(duì)晶片輸送裝置10的Y軸移動(dòng)的補(bǔ)正(Y軸補(bǔ)正)針對(duì)該補(bǔ)正的示教信息的算出由示教信息算出部60的Y軸補(bǔ)正信息算出部64執(zhí) 行。根據(jù)使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的 遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出以使輸送位置的Y方向的位 置信息與晶片輸送裝置10的Y軸方向的位置信息一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息。需要 說(shuō)明的是，輸送機(jī)械手12的動(dòng)作及示教信息的算出方法的詳細(xì)情況后面敘述(參照?qǐng)D21 及圖22的說(shuō)明)。(5)遮光夾具50的Y方向補(bǔ)正或X方向補(bǔ)正(S軸補(bǔ)正)
針對(duì)該補(bǔ)正的示教信息的算出由示教信息算出部60的S軸補(bǔ)正信息算出部65執(zhí) 行。S軸為Y方向時(shí)，根據(jù)使輸送機(jī)械手12從遮光銷(xiāo)51的中心位置向+Y軸方向移動(dòng)的同 時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的 驅(qū)動(dòng)信息，算出遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度。即，算出以 使遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè)計(jì)上的Y方向一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息。另外，S軸為X方向時(shí)，根據(jù)使輸送機(jī)械手12從遮光銷(xiāo)51的中心位置向+X軸方 向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的 X軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè)計(jì)上的X方向的偏移角度。 即，算出以使遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè)計(jì)上的X方向一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教 fn息ο另外，S軸與Y方向及X方向不同時(shí)，根據(jù)使輸送機(jī)械手12從遮光銷(xiāo)51的中心位 置向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸 送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出根據(jù)設(shè)置上的遮光夾具50的S軸算出的Y方向與 輸送位置的設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度。即，算出以使遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè) 計(jì)上的Y方向一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息。在此，如圖5所示，由于以使S軸成為Y方向的方式設(shè)置遮光夾具，因此，算出以使 遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè)計(jì)上的Y方向一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息。需要 說(shuō)明的是，輸送機(jī)械手12的動(dòng)作及示教信息的算出方法的詳細(xì)情況后面敘述(參照?qǐng)D17、 圖18及圖19的說(shuō)明)。其次，參照?qǐng)D7說(shuō)明自動(dòng)示教的示意處理步驟，參照?qǐng)D9至圖21說(shuō)明自動(dòng)示教的 詳細(xì)處理步驟。圖7表示自動(dòng)示教的示意處理步驟的一例的流程圖。如圖7所示，首先，在裝載口 11設(shè)置遮光夾具50，在輸送機(jī)械手12的晶片輸送部 M設(shè)置傳感器夾具30 (S100)。其次，根據(jù)使輸送機(jī)械手12向-Z軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41或光軸42中任一方 的光軸相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Z軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出 遮光銷(xiāo)51的Z方向上端的中心位置(SlOl)。其次，根據(jù)使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41或光軸42中任一方 的光軸相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，以及 使輸送機(jī)械手12向X軸方向移動(dòng)的同時(shí)，遮光了的光軸41或光軸42中任一方的光軸相對(duì) 于遮光銷(xiāo)51的投光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的X軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出晶片輸送裝 置10的Y軸方向與Y方向的偏移角度(S102)。通過(guò)對(duì)算出的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正，使晶片輸 送裝置10的Y軸方向與Y方向一致。其次，根據(jù)使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮 光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出輸送位置的X方 向的位置信息與晶片輸送裝置10的X軸方向的位置信息的偏移量(S103)。通過(guò)對(duì)算出的 X軸方向的偏移量進(jìn)行補(bǔ)正，使輸送位置的X方向的位置信息與晶片輸送裝置10的X軸方 向的位置信息一致。其次，根據(jù)使輸送機(jī)械手12從遮光銷(xiāo)51的中心位置向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信 息，算出遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度(S104)。通過(guò)對(duì)算出 的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正，使遮光夾具50的S軸與輸送位置在設(shè)計(jì)上的Y方向一致。此外，如圖5所示，由于以S軸為Y方向的方式設(shè)置遮光夾具，因此，算出以使遮光 夾具50的S軸與輸送位置設(shè)計(jì)上的Y方向一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息，但在以S軸為 X方向的方式設(shè)置遮光夾具的情況下，根據(jù)使輸送機(jī)械手12從遮光銷(xiāo)51的中心位置向+X 軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10 的X軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出遮光夾具50的S軸與輸送位置的設(shè)計(jì)上的X方向的偏移角度。 另外，以S軸與Y方向及X方向不同的方式設(shè)置遮光夾具的情況下，根據(jù)使輸送機(jī)械手12 從遮光銷(xiāo)51的中心位置向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮 光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出根據(jù)設(shè)置上的遮光夾具50的 S軸算出的Y方向與輸送位置的設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度。其次，根據(jù)使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮 光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，與步驟S103相同地算 出由步驟S104的補(bǔ)正生成的輸送位置的X方向的位置信息與晶片輸送裝置10的X軸方向 的位置信息的偏移量(Sl(^)。通過(guò)對(duì)算出的X軸方向的偏移量進(jìn)行補(bǔ)正，使輸送位置的X 方向的位置信息與晶片輸送裝置10的X軸方向的位置信息一致。最后，根據(jù)使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，光軸41及光軸42相對(duì)于遮 光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息，算出以使輸送位置的Y 方向的位置信息與晶片輸送裝置10的Y軸方向的位置信息一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信 息(S106)。其次，參照?qǐng)D9及圖10說(shuō)明圖7的Z軸補(bǔ)正處理(SlOl)的詳細(xì)情況。圖9表示Z 軸補(bǔ)正處理(SlOl)的處理步驟的一例的流程圖。圖10是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的初始 位置的一例的圖，圖10(a)是示意俯視圖，圖10(b)是示意側(cè)視圖。如圖9所示，首先，使輸送機(jī)械手12移動(dòng)至預(yù)先設(shè)定的初始位置(S201)。如圖10 所示，X軸方向及Z軸方向的初始位置是使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)時(shí)，利用遮光銷(xiāo) 51對(duì)光軸41及光軸42進(jìn)行遮光的預(yù)想的位置。進(jìn)而，是遮光銷(xiāo)51以外的遮光夾具50或 周邊部件與輸送機(jī)械手12以及傳感器夾具30不接觸的位置。其次，使輸送機(jī)械手12從初始位置向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸41通過(guò)遮光銷(xiāo) 51(S202)。其次，在步驟S202的移動(dòng)中，根據(jù)光軸41相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶 片輸送裝置10的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信息和遮光銷(xiāo)51的形狀尺寸，算出遮光銷(xiāo)51的Y軸方向 的中心位置(位置A) (S203)。其次，以光軸41通過(guò)位置A的方式，使輸送機(jī)械手12向-Y軸方向移動(dòng)(S204)，進(jìn) 而，使輸送機(jī)械手12向+Z軸方向移動(dòng)直至光軸41成為投光狀態(tài)(S205)。其次，在步驟S205中，向-Z軸方向移動(dòng)向+Z軸方向移動(dòng)的距離(S206)，根據(jù)光 軸41相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始時(shí)刻的晶片輸送裝置10的Z軸方向的驅(qū)動(dòng)信息和遮光 銷(xiāo)51的形狀尺寸，算出遮光銷(xiāo)51的Z軸方向的上端位置(位置B)，算出以使輸送位置的Z 方向的位置信息與晶片輸送裝置10的Z軸方向的位置信息一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息(S207)。其次，參照?qǐng)D11至圖13詳細(xì)說(shuō)明圖7的θ軸補(bǔ)正處理(S102)。圖11是表示θ 軸補(bǔ)正處理(S102)的處理步驟的一例的流程圖。圖12是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的動(dòng)作 的一例的圖。另外，圖13是用于說(shuō)明θ軸補(bǔ)正的示教信息的算出方法的圖。如圖11所示，首先，使輸送機(jī)械手12從位置B向-Z軸方向移動(dòng)，直至根據(jù)圖9的 步驟S207的位置B算出的、遮光銷(xiāo)51能夠?qū)廨S41進(jìn)行遮光的Z軸方向的位置(S301)。 此時(shí)，確認(rèn)遮光銷(xiāo)51對(duì)光軸41進(jìn)行遮光。其次，使輸送機(jī)械手12向-Y軸方向移動(dòng)直至光軸41投光的位置(S302)，其次， 使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸41相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始的位置(位置 C) (S303)。S卩，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至圖12中(狀態(tài)1)的位置C。其次，使輸送機(jī)械手12從位置C向+X軸方向移動(dòng)直至光軸41的投光開(kāi)始的位置 (位置D)(S304)。即，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至圖12中(狀態(tài)2)的位置D。其次，根據(jù)位置C和位置D，算出晶片輸送裝置10的Y軸方向與晶片輸送裝置10 的設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度β (S305)。以下，說(shuō)明偏移角度β的算出方法。如圖13(a)所示，將與晶片輸送裝置10的Y 軸方向成直角且通過(guò)光軸41與光軸42的交點(diǎn)0的線(xiàn)段、即X軸方向的線(xiàn)段設(shè)為線(xiàn)段60，將 通過(guò)交點(diǎn)0的Y軸方向的線(xiàn)段設(shè)為線(xiàn)段61。將光軸41和光軸42分別與線(xiàn)段60所成的角 稱(chēng)為光軸角度，在此，設(shè)為α。如圖13(b)所示，以位置C處的光軸41為光軸41c，以位置D處的光軸41為光軸 41d。另外，以位置C處的光軸42為光軸42c，以位置D處的光軸42為光軸42d。另外，以 位置C處的線(xiàn)段60為線(xiàn)段60c，以位置D處的線(xiàn)段60為線(xiàn)段60d。另外，以位置C處的線(xiàn) 段61為線(xiàn)段61c，以位置D處的線(xiàn)段61為線(xiàn)段61d。另外，晶片輸送裝置10的Y軸方向與 Y方向的偏移角度為β。如圖13(b)及圖13(c)所示，從位置C向位置D移動(dòng)晶片輸送裝置10時(shí)所成的三 角形63滿(mǎn)足下述關(guān)系式(1)。sin(a + β ) = d/a.....(1)在此，a是從位置C向位置D的向X軸方向的移動(dòng)量，d是遮光銷(xiāo)51的直徑。根據(jù)關(guān)系式(1)，由下述關(guān)系式(2)表示偏移角度β。β = sirT1 (d/a)-α.....(2)使用關(guān)系式O)，在上述步驟S305，算出晶片輸送裝置10的Y軸方向與Y方向的 偏移角度β。其次，參照?qǐng)D14至圖16詳細(xì)說(shuō)明圖7的一次X軸補(bǔ)正處理(S103)。圖14是表示 一次X軸補(bǔ)正處理(Sl(XB)的處理步驟的一例的流程圖。圖15是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12 的動(dòng)作的一例的圖。另外，圖16是用于說(shuō)明X軸補(bǔ)正的示教信息的算出方法的圖。如圖14所示，首先，使根據(jù)θ軸補(bǔ)正處理的結(jié)果補(bǔ)正后的輸送機(jī)械手12從位置B 向-Z軸方向移動(dòng)直至根據(jù)圖9的步驟S207的位置B算出的、遮光銷(xiāo)51能夠?qū)廨S41進(jìn) 行遮光的Z軸方向的位置(S401)。此時(shí)，確認(rèn)遮光銷(xiāo)51對(duì)光軸41進(jìn)行遮光。其次，使輸送機(jī)械手12向-Y軸方向移動(dòng)直至光軸41投光的位置(S402)，其次， 使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸41相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi)始的位置(位置C)(S403)。即，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)至圖15中(狀態(tài)1)的位置C。其次，使輸送機(jī)械手12從位置C向+Y軸方向移動(dòng)至光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的 遮光開(kāi)始的位置(位置E) (S404)。即，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至圖15中(狀 態(tài)2)的位置E。其次，根據(jù)位置C和位置E，算出輸送位置的X方向的位置信息與晶片輸送裝置10 的X軸方向的位置信息的偏移量X(S405)。以下，說(shuō)明X方向的偏移量χ的算出方法。如圖16(a)所示，以相對(duì)于晶片輸送裝 置10的Y軸方向成直角且通過(guò)光軸41與光軸42的交點(diǎn)0的線(xiàn)段、即X軸方向的線(xiàn)段為線(xiàn) 段60，以通過(guò)交點(diǎn)0的Y軸方向的線(xiàn)段為線(xiàn)段61。將光軸41與光軸42分別與線(xiàn)段60所 成的角度稱(chēng)為光軸角度，在此設(shè)為α。如圖16(b)所示，以位置C處的光軸41為光軸41c，以位置E處的光軸41為光軸 41e。另外，以位置C處的光軸42為光軸42c，以位置E處的光軸42為光軸42e。另外，以 位置C處的線(xiàn)段60為線(xiàn)段60c，以位置E處的線(xiàn)段60為線(xiàn)段60e。另外，以位置C處的線(xiàn) 段61為線(xiàn)段61c，以位置E處的線(xiàn)段61為線(xiàn)段61e。在此，線(xiàn)段61c與線(xiàn)段61e—致。另 外，將晶片輸送裝置10的Y軸方向與輸送位置的Y方向在設(shè)計(jì)上的角度設(shè)為Θ。此外，在 本實(shí)施例中，θ =O0另外，輸送位置的X方向的位置信息與晶片輸送裝置10的X軸方向 的位置信息的偏移量為X。如圖16(b)及圖16(c)所示，從位置C向位置E移動(dòng)晶片輸送裝置10時(shí)所成的三 角形64滿(mǎn)足下述關(guān)系式(3)及關(guān)系式(4)。tana = (y/2)/x'.....(3)cos θ = χ' /χ.....(4)在此，y是從位置C向位置E的向Y軸方向的移動(dòng)量。根據(jù)關(guān)系式(3)及關(guān)系式，偏移量χ由下述關(guān)系式(5)表示。χ = y/(2tana · cos θ ).....(5)使用關(guān)系式(5)，在上述步驟S405中，算出輸送位置的X方向的位置信息與晶片輸 送裝置10的X軸方向的位置信息的偏移量X。此外，在本實(shí)施例中，由于Θ =0，因此，使 用下述關(guān)系式(5')，在上述步驟S405，算出輸送位置的X方向的位置信息與晶片輸送裝置 10的X軸方向的位置信息的偏移量X。χ = y/(2tana ).....(5')其次，參照?qǐng)D17至圖19，詳細(xì)說(shuō)明圖7的S軸補(bǔ)正處理(S104)。圖17是表示S 軸補(bǔ)正處理(S104)的處理步驟的一例的流程圖。圖18是用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的動(dòng)作 的一例的圖。另外，圖19用于說(shuō)明S軸補(bǔ)正的示教信息的算出方法的圖。如圖17所示，首先，通過(guò)根據(jù)θ軸補(bǔ)正處理及一次X軸補(bǔ)正處理的結(jié)果補(bǔ)正后的 輸送機(jī)械手12以光軸41及光軸42的交點(diǎn)0成為遮光銷(xiāo)51的中心位置的方式移動(dòng)(S501)。其次，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸41相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮光開(kāi) 始的位置(位置F)(S502)。即，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至圖18中(狀態(tài)1) 的位置F。其次，使輸送機(jī)械手12從位置F向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52 的遮光開(kāi)始的位置(位置G) (S503)。S卩，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至圖18中(狀態(tài)2)的位置G。其次，根據(jù)位置F和位置G，算出遮光夾具50設(shè)置上的Y方向(S軸)與輸送位置 的設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度Y (S504)。以下，說(shuō)明偏移角度Y的算出方法。如圖19(a)所示，以與晶片輸送裝置10的Y 軸方向成直角且通過(guò)光軸41與光軸42的交點(diǎn)0的線(xiàn)段、即X軸方向的線(xiàn)段為線(xiàn)段60，以通 過(guò)交點(diǎn)0的Y軸方向的線(xiàn)段為線(xiàn)段61。將光軸41與光軸42分別與線(xiàn)段60所成的角度稱(chēng) 為光軸角度，在此設(shè)為α。如圖19(b)所示，以位置F處的光軸41為光軸41f，以位置G處的光軸41為光軸 41g。另外，以位置F處的光軸42為光軸42f，以位置G處的光軸42為光軸42g。另外，以 位置F處的線(xiàn)段60為線(xiàn)段60f，以位置G處的線(xiàn)段60為線(xiàn)段60g。另外，以位置F處的線(xiàn) 段61為線(xiàn)段61f，以位置G處的線(xiàn)段61為線(xiàn)段61g。在此，線(xiàn)段61f與線(xiàn)段61g—致。另 外，將晶片輸送裝置10的Y軸方向與輸送位置的Y方向在設(shè)計(jì)上的角度設(shè)為Θ。此外，在 本實(shí)施例中，θ =O0另外，將遮光夾具50設(shè)置上的Y方向(S軸)與輸送位置的設(shè)計(jì)上的 Y方向的偏移角度設(shè)為Y。如圖19(b)及圖19(c)所示，從位置F向位置G移動(dòng)晶片輸送裝置10時(shí)所成的三 角形65滿(mǎn)足下述關(guān)系式(6)。siny = x" /b.....(6)在此，b為遮光銷(xiāo)51的中心與遮光銷(xiāo)52的中心之間的距離。另外，根據(jù)關(guān)系式(5)，用下述關(guān)系式(7)表示χ"。χ" = y' /(2tana · cos θ ).....(7)在此，y'為從位置F向位置G的向Y軸方向的移動(dòng)量。從而，根據(jù)關(guān)系式(6)及關(guān)系式(7)，偏移角度、由下述關(guān)系式(8)表示。y = singly' / (2b · tan a · cos θ )}.....(8)使用關(guān)系式(8)，在上述步驟S504中，算出遮光夾具50設(shè)置上的Y方向(S軸)與 輸送位置的設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度Y。此外，本實(shí)施例中，由于θ =0，因此，使用下 述關(guān)系式(8')，在上述步驟S504，算出遮光夾具50設(shè)置上的Y方向(S軸)與輸送位置的 設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度Y。y = singly' / (2b · tan a )}.....(8')其次，參照?qǐng)D20詳細(xì)說(shuō)明圖7的二次X軸補(bǔ)正處理(S105)。圖20是表示二次X 軸補(bǔ)正處理610 的處理步驟的一例的流程圖。此外，二次X軸補(bǔ)正處理610 與一次X 軸補(bǔ)正處理(S103)相同。一次X軸補(bǔ)正處理中，根據(jù)光軸41及光軸42被遮光銷(xiāo)51遮光 的位置算出偏移量，在二次X軸補(bǔ)正處理中，根據(jù)光軸41及光軸42被遮光銷(xiāo)52遮光的位置算出偏移量。如圖20所示，首先，使根據(jù)θ軸補(bǔ)正處理、一次X軸補(bǔ)正處理及S軸補(bǔ)正處理的 結(jié)果補(bǔ)正后的輸送機(jī)械手12從圖17的步驟S502的位置F向-Y軸方向移動(dòng)(S601)，其次， 使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸41相對(duì)于遮光銷(xiāo)52的遮光開(kāi)始的位置(位置 H)(S602)。其次，使輸送機(jī)械手12從位置H向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)52 的遮光開(kāi)始的位置(位置I) (S603)。
其次，根據(jù)位置H和位置I，算出輸送位置的X方向的位置信息與晶片輸送裝置10 的X軸方向的位置信息的偏移量(S604)。其次，參照?qǐng)D21及圖22詳細(xì)說(shuō)明圖7的Y軸補(bǔ)正處理(S106)。圖21是表示Y軸 補(bǔ)正處理(S106)的處理步驟的一例的流程圖。圖22是表示用于說(shuō)明輸送機(jī)械手12的動(dòng) 作的一例的圖。如圖21所示，首先，使根據(jù)θ軸補(bǔ)正處理、一次X軸補(bǔ)正處理、S軸補(bǔ)正處理及二 次X軸補(bǔ)正處理的結(jié)果補(bǔ)正后的輸送機(jī)械手12從圖17的步驟S502的位置F向-Y軸方向 移動(dòng)(S701)。即，使輸送機(jī)械手12從位置F向-Y軸方向移動(dòng)直至圖22中(狀態(tài)1)的位置。其次，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸41相對(duì)于遮光銷(xiāo)51的遮光開(kāi) 始的位置(位置J) 670 。即，使輸送機(jī)械手12向+Y軸方向移動(dòng)直至圖22中(狀態(tài)2) 的位置J。其次，使輸送機(jī)械手12從位置J向+Y軸方向移動(dòng)直至光軸42相對(duì)于遮光銷(xiāo)51 的遮光開(kāi)始的位置(位置K) (S703)。在此，設(shè)于輸送機(jī)械手12的傳感器夾具30如圖3所 示，在投影面上光軸41的投影線(xiàn)段與光軸42的投影線(xiàn)段相對(duì)于Y軸線(xiàn)對(duì)稱(chēng)，并且，對(duì)輸送 機(jī)械手12實(shí)施了基于θ軸補(bǔ)正處理、一次X軸補(bǔ)正處理、S軸補(bǔ)正處理及二次X軸補(bǔ)正處 理的補(bǔ)正，因此，位置J與位置K大致相同，位置J與位置K的差成為誤差。其次，為了考慮位置J與位置K所引起的透射光式傳感器32的誤差，將位置J與 位置K的中間位置作為Y軸方向位置算出，算出以使輸送位置的Y方向的位置信息與晶片 輸送裝置10的Y軸的位置信息一致的方式進(jìn)行補(bǔ)正的示教信息(S704)。在如上述的晶片輸送裝置10設(shè)置傳感器夾具30，在輸送位置設(shè)置遮光夾具50，通 過(guò)進(jìn)行通常的輸送動(dòng)作，即在不進(jìn)行用于示教作業(yè)的回避動(dòng)作的情況下，能夠獲取輸送位 置的示教信息。從而，能夠在不考慮晶片輸送裝置10的各軸間隙的情況下算出示教信息。 即，能夠容易地進(jìn)行示教信息的算出，并且，能夠縮短算出時(shí)間。在上述的晶片輸送裝置10及位置示教方法中，考慮了設(shè)于輸送位置的遮光夾具 50的S軸與Y方向的偏移角度Y，但遮光夾具50的設(shè)置所引起的偏移角度γ小的情況下， 可以構(gòu)成為不設(shè)置S軸補(bǔ)正信息算出部65的、不執(zhí)行S軸補(bǔ)正處理S104的結(jié)構(gòu)。另外，此 時(shí)，設(shè)于遮光夾具50的遮光銷(xiāo)也可以為一個(gè)。另外，在上述晶片輸送裝置10及位置示教方法中，在晶片輸送裝置10設(shè)置傳感器 夾具30，在輸送位置設(shè)置遮光夾具50，但可以在晶片輸送裝置10設(shè)置遮光夾具50，在輸送 位置設(shè)置傳感器夾具30。另外，傳感器夾具30的透射光式傳感器32的光軸41的投影線(xiàn)段與光軸42的投 影線(xiàn)段在通過(guò)晶片輸送裝置10的中心軸沈的投影面上的Y方向的直線(xiàn)(Y軸)上交叉，光 軸41的投影線(xiàn)段與光軸42的投影線(xiàn)段相對(duì)于該Y軸相互線(xiàn)對(duì)稱(chēng)，在傳感器夾具30配置投 光部3 及32b和受光部32c及32d，但如圖23 (a)所示，也可以為光軸41的投影線(xiàn)段與光 軸42的投影線(xiàn)段在投影面上相互交叉，光軸41的投影線(xiàn)段與Y軸成直角且光軸42與Y軸 不平行的情況。另外，如圖23 (b)所示，也可以為光軸41的投影線(xiàn)段與光軸42的投影線(xiàn)段在投影 面上相互交叉，光軸42的投影線(xiàn)段相對(duì)于Y軸成直角，且光軸41的投影線(xiàn)段與Y軸不平行28的情況。另外，如圖23(c)及圖23(d)所示，也可以為光軸41的投影線(xiàn)段的延長(zhǎng)線(xiàn)與光軸 42的投影線(xiàn)段的延長(zhǎng)線(xiàn)在投影面上相互交叉，光軸41的投影線(xiàn)段與Y軸成直角且光軸42 的投影線(xiàn)段與Y軸不平行的情況。另外，如圖23(e)所示，也可以為透射光式傳感器32的 投光部3 及32b與受光部32c中，從投光部32a向受光部32c的光軸41與從投光部32b 向受光部32c的光軸42位于投影面上的情況。另外，傳感器夾具30的透射光式傳感器32 為具有兩個(gè)光軸的情況，但如圖23(f)所示，也可以為通過(guò)透射光式傳感器32的投光部32a 和受光部32c，僅具有從投光部32a向受光部32c的光軸41的情況。另外，在上述位置示教方法中，將遮光夾具50配置在輸送位置，但也可以代替遮 光夾具50，為在輸送位置的附近已經(jīng)存在的、與輸送位置的基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置及形狀尺 寸已知的部件。另外，執(zhí)行示教作業(yè)時(shí)，輸送位置周?chē)囊苿?dòng)區(qū)間區(qū)域窄，在晶片輸送裝置10以 及傳感器夾具30可能與輸送位置周?chē)脑O(shè)備或部件接觸的環(huán)境下，可以如圖8所示，使用 遮光夾具陽(yáng)代替遮光夾具50。遮光夾具55具有與遮光夾具50 —體化的向與傳感器夾具30對(duì)置的方向(_Y方 向)突出的形狀的凸部56，具備圓柱狀的臨時(shí)遮光銷(xiāo)(臨時(shí)目標(biāo)部件)57及58。此外，臨時(shí) 遮光銷(xiāo)57及58相對(duì)于遮光夾具50的基準(zhǔn)位置的相對(duì)的位置、及形狀尺寸為已知。另外， 凸部56在Y方向上的長(zhǎng)度形成為使得臨時(shí)遮光銷(xiāo)57及58配置在晶片輸送裝置10以及傳 感器夾具30與輸送位置周?chē)脑O(shè)備和部件不接觸的位置上。在上述的晶片輸送裝置10及位置示教方法使用遮光夾具55的情況下，在Z軸補(bǔ) 正處理、θ軸補(bǔ)正處理及一次X軸補(bǔ)正處理中，使用臨時(shí)遮光銷(xiāo)57及58代替遮光銷(xiāo)51及 52算出示教信息。另外，在S軸補(bǔ)正處理、二次X軸補(bǔ)正處理及Y軸補(bǔ)正處理中，與使用遮 光夾具50時(shí)相同地使用遮光銷(xiāo)51及52算出示教信息。通過(guò)如上所述的在晶片輸送裝置10設(shè)置傳感器夾具30，在輸送位置設(shè)置遮光夾 具55，進(jìn)行通常的輸送動(dòng)作，使得當(dāng)輸送位置周?chē)目臻g區(qū)域窄，為了獲取針對(duì)輸送位置的 示教信息而使晶片輸送裝置10動(dòng)作時(shí)，在可能會(huì)引起輸送位置周?chē)脑O(shè)備或部件與晶片 輸送裝置10或傳感器夾具30接觸的情況下，能夠防止輸送位置周?chē)脑O(shè)備或部件與晶片 輸送裝置10或傳感器夾具30接觸，同時(shí)獲取針對(duì)輸送位置的示教信息。
權(quán)利要求
1.一種輸送裝置，其通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的輸送軌跡上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向成直角的平面上進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述輸送裝置的特征在于，以鉛垂方向?yàn)閆方向，以位于所述平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于Y方向及Z方向成直角的方向?yàn)閄方向，所述輸送裝置具備透射光式傳感器，其至少具有一個(gè)從投光部向受光部的光軸，在具有多個(gè)所述光軸的情況下，以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個(gè)方向中所需的兩個(gè)方向構(gòu)成的投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸也不與所述所需的兩個(gè)方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一個(gè)以上的目標(biāo)部件，其能夠?qū)λ龉廨S進(jìn)行遮光；示教信息算出機(jī)構(gòu)，其從所述透射光式傳感器獲取所述目標(biāo)部件使所述光軸從投光狀態(tài)遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投光時(shí)的位置信息，根據(jù)所述位置信息算出針對(duì)所述輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置的示教信息；控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)利用所述示教信息算出機(jī)構(gòu)算出的針對(duì)所述目標(biāo)位置的所述示教信息，控制所述被輸送物的輸送位置，所述透射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部的任一方，在沒(méi)有設(shè)置所述透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部設(shè)置所述目標(biāo)部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送裝置，其特征在于，所述目標(biāo)部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方向或X方向所成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其特征在于，通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求l一3中任一項(xiàng)所述的輸送裝置，其特征在于，以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述示教信息算出機(jī)構(gòu)包括Z軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，其根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)、而由該目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行Z方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；O軸補(bǔ)正信息算出部，其根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì)地平行移動(dòng)直至由一個(gè)所述目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息、使該光軸向X方向相對(duì)于該目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)直至該光軸投光時(shí)的所述位置信息，算出對(duì)R方向與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，其根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；Y軸補(bǔ)正信息算出部，在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，其根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè)所述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息、或在兩個(gè)所述光軸不交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的 所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向的所述示教信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸送裝置，其特征在于，具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件中的一個(gè)所述目標(biāo)部件 為第一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二目標(biāo)部件，所述示教信息算出機(jī)構(gòu)具有S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此 不平行的所述光軸且所述S軸為Y方向的情況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的 所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、 而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所 述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸為X方向的情 況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向X方 向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息， 算出對(duì)S軸與X方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼 此不平行的所述光軸且所述S軸與Y方向及X方向不同的情況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī) 構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件 相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置上的S軸算 出的Y方向與設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息。
6.一種輸送裝置，其通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的輸送軌 跡上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向成直角的平面 上進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述輸送裝置的特征在于，以鉛垂方向?yàn)閆方向，以位于所述平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于 Y方向及Z方向成直角的方向?yàn)閄方向，所述輸送裝置具備透射光式傳感器，其至少具有一個(gè)從投光部向受光部的光軸，在具有多個(gè)所述光軸的 情況下，以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個(gè)方向中所需的兩個(gè)方向構(gòu)成的投影 面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸也不與所述所需的兩個(gè)方向平行 的方式配置所述投光部和所述受光部；一個(gè)以上的目標(biāo)部件，其能夠?qū)λ龉廨S進(jìn)行遮光；一個(gè)以上的臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件，其相對(duì)于能夠?qū)λ龉廨S進(jìn)行遮蔽的所述目標(biāo)部件的 相對(duì)位置為已知；示教信息算出機(jī)構(gòu)，其從所述透射光式傳感器獲取所述目標(biāo)部件及所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo) 部件使所述光軸從投光狀態(tài)遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投光時(shí)的位置信息，根據(jù)所述位置信息 算出針對(duì)所述輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置的示教信息；控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)利用所述示教信息算出機(jī)構(gòu)算出的針對(duì)所述目標(biāo)位置的所述示教信 息，控制所述被輸送物的輸送位置，所述透射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部的任一方，所 述目標(biāo)部件及所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件設(shè)置在沒(méi)有設(shè)置所述透射光式傳感器的所述輸送部 的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部，且所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件設(shè)置在所述透射光式傳感器 與所述目標(biāo)部件之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸送裝置，其特征在于，所述目標(biāo)部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方 向或X方向所成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的輸送裝置，其特征在于，通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求6 8中任一項(xiàng)所述的輸送裝置，其特征在于， 以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述示教信息算出機(jī)構(gòu)包括Z軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，其根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相 對(duì)地移動(dòng)、而由該臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述 目標(biāo)位置進(jìn)行Z方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；θ軸補(bǔ)正信息算出部，其根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì)地平行移動(dòng)直至由所述臨時(shí)補(bǔ)正目 標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息、使該光軸向X方向相對(duì)于該臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo) 部件相對(duì)地平行移動(dòng)直至該光軸投光時(shí)的所述位置信息，算出對(duì)R方向與Y方向的偏移角 度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；一次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，其根據(jù)使所述光軸向R方 向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位 置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；Y軸補(bǔ)正信息算出部，在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，其根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì) 于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè)所述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸分別 遮光時(shí)的各所述位置信息、或在兩個(gè)所述光軸不交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的 所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向的所述示教信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的輸送裝置，其特征在于，具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件中的一個(gè)所述目標(biāo)部件 為第一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二目標(biāo)部件， 所述示教信息算出機(jī)構(gòu)包括S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S 軸為Y方向的情況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部 件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各 所述位置信息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所 述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸為X方向的情況下，該S軸補(bǔ)正信息算出機(jī) 構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向X方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件 相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與X方向的偏移角 度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；二次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)，在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，該二次X軸補(bǔ)正信息算出 機(jī)構(gòu)根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸 分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教 信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸與Y方向及X方向不 同的情況下，該二次X軸補(bǔ)正信息算出機(jī)構(gòu)根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述 位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置上的S軸算出的Y方向與設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正 的所述示教信息。
11.一種位置示教方法，該位置示教方法向輸送裝置示教輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位 置，所述輸送裝置通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的所述輸送軌跡 上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向成直角的平面上 進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述位置示教方法的特征在于，以鉛垂方向?yàn)閆方向，以位于所述平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于 Y方向及Z方向成直角的方向?yàn)閄方向，所述位置示教方法包括如下工序(a)通過(guò)使透射光式傳感器相對(duì)于設(shè)置在沒(méi)有設(shè)置所述透射光式傳感器的所述輸送部 的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部的一個(gè)以上的目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)，而獲取所述目標(biāo)部 件使所述光軸從投光狀態(tài)遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投光時(shí)的位置信息，根據(jù)獲取到的所述位 置信息算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的示教信息，其中，所述透射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的 前端部或所述目標(biāo)位置的附近部的任一方，具有至少一個(gè)從投光部向受光部的光軸，在具 有多個(gè)所述光軸的情況下，以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個(gè)方向中所需的兩 個(gè)方向構(gòu)成的投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸也不與所述所 需的兩個(gè)方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的位置示教方法，其特征在于，所述目標(biāo)部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方 向或X方向所成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的位置示教方法，其特征在于，通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。
14.根據(jù)權(quán)利要求11 13中任一項(xiàng)所述的位置示教方法，其特征在于，以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述工序(a)包括下述四個(gè)工序中的至少一個(gè)工序(b)根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)、而由該目標(biāo)部件 對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行Z方向的位置補(bǔ)正的所 述示教信息；(c)根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì)地平行移動(dòng)直至由一個(gè)所述目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述光軸遮 光時(shí)的所述位置信息、使該光軸向X方向相對(duì)于該目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)直至該光軸投 光時(shí)的所述位置信息，算出對(duì)R方向與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；(d)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部 件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位 置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；(e)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部 件相對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè)所述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位 置信息，或在兩個(gè)所述光軸沒(méi)有交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息， 算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向的所述示教信息。
15.根據(jù)權(quán)利要求11 14中任一項(xiàng)所述的位置示教方法，其特征在于，具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件中的一個(gè)所述目標(biāo)部件 為第一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二目標(biāo)部件，所述下序(a)包括下述兩個(gè)工序中的至少一個(gè)工序(f)在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸為Y方向的情況下， 根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相 對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移角度 進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸 為X方向的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向X方向相對(duì)于所 述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸 與X方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的 所述光軸且所述S軸與Y方向及X方向不同的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一 目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光 時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置上的S軸算出的Y方向與設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移角 度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；(g)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部 件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位 置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息。
16.一種位置示教方法，該位置示教方法向輸送裝置示教輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位 置，所述輸送裝置通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的所述輸送軌跡 上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向成直角的平面上 進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述位置示教方法的特征在于，以鉛垂方向?yàn)閆方向，以位于所述平面上的設(shè)計(jì)上的直線(xiàn)移動(dòng)方向?yàn)閅方向，以相對(duì)于 Y方向及Z方向成直角的方向?yàn)閄方向，所述位置示教方法包括如下工序(al)通過(guò)使透射光式傳感器相對(duì)于一個(gè)以上的目標(biāo)部件以及一個(gè)以上的臨時(shí)補(bǔ)正目 標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)，而獲取所述目標(biāo)部件及所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件使所述光軸從投光狀態(tài) 遮光時(shí)、或從遮光狀態(tài)投光時(shí)的位置信息，根據(jù)獲取到的所述位置信息算出針對(duì)所述目標(biāo) 位置的示教信息，其中，所述透射光式傳感器設(shè)于所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的 附近部的任一方，具有至少一個(gè)從投光部向受光部的光軸，在具有多個(gè)所述光軸的情況下， 以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個(gè)方向中所需的兩個(gè)方向構(gòu)成的投影面上彼 此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸也不與所述所需的兩個(gè)方向平行的方式 配置所述投光部和所述受光部，一個(gè)以上的所述目標(biāo)部件設(shè)置在沒(méi)有設(shè)置所述透射光式傳 感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部，一個(gè)以上的所述臨時(shí)目標(biāo)部件設(shè)置 在沒(méi)有設(shè)置所述透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標(biāo)位置的附近部并設(shè)置 在所述透射光式傳感器與所述目標(biāo)部件之間，且相對(duì)于所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的位置示教方法，其特征在于，所述目標(biāo)部件為兩個(gè)以上，且通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向與Y方 向或X方向所成的角度為已知，且所述目標(biāo)部件的相對(duì)位置為已知。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的位置示教方法，其特征在于，通過(guò)至少兩個(gè)所述目標(biāo)部件的中心的S軸的方向?yàn)閅方向或X方向。
19.根據(jù)權(quán)利要求16 18中任一項(xiàng)所述的位置示教方法，其特征在于， 以所述輸送部的直行方向?yàn)镽方向，所述工序(al)包括下述四個(gè)工序中的至少一個(gè)工序(bl)根據(jù)使所述光軸向Z方向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地移動(dòng)、而由該臨時(shí) 補(bǔ)正目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)該光軸遮光時(shí)的所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位置進(jìn)行Z方向的 位置補(bǔ)正的所述示教信息；(cl)根據(jù)使一個(gè)所述光軸相對(duì)地平行移動(dòng)直至由所述臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件對(duì)一個(gè)所述 光軸遮光時(shí)的所述位置信息、使該光軸向X方向相對(duì)于該臨時(shí)補(bǔ)正目標(biāo)部件相對(duì)地平行移 動(dòng)直至該光軸投光時(shí)的所述位置信息，算出對(duì)R方向與Y方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述 示教信息；(dl)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于所述臨時(shí)補(bǔ)正目 標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目 標(biāo)位置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息；(el)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部 件相對(duì)地平行移動(dòng)、而在兩個(gè)所述光軸交叉的情況下兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位 置信息、或在兩個(gè)所述光軸沒(méi)有交叉的情況下至少一個(gè)所述光軸遮光時(shí)的所述位置信息， 算出針對(duì)所述目標(biāo)位置的R方向的所述示教信息。
20.根據(jù)權(quán)利要求16 19中任一項(xiàng)所述的位置示教方法，其特征在于，具有兩個(gè)以上的所述目標(biāo)部件，且以通過(guò)S軸的所述目標(biāo)部件中的一個(gè)所述目標(biāo)部件 為第一目標(biāo)部件，以所述第一目標(biāo)部件之外的所述目標(biāo)部件為第二目標(biāo)部件， 所述工序(al)包括下述兩個(gè)工序中的至少一個(gè)工序(Π)在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述S軸為Y方向的情況 下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件 相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S軸與Y方向的偏移 角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行的所述光軸且所述 S軸為X方向的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第一目標(biāo)部件的中心向X方向相對(duì) 于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)S 軸與X方向的偏移角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息，在具有兩個(gè)在所述投影面上彼此不平行 的所述光軸且所述S軸與Y方向及X方向不同的情況下，根據(jù)使一方的所述光軸從所述第 一目標(biāo)部件的中心向R方向相對(duì)于所述第二目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸遮 光時(shí)的各所述位置信息，算出對(duì)根據(jù)設(shè)置上的S軸算出的Y方向與設(shè)計(jì)上的Y方向的偏移 角度進(jìn)行補(bǔ)正的所述示教信息；(gl)在具有兩個(gè)所述光軸的情況下，根據(jù)使所述光軸向R方向相對(duì)于一個(gè)所述目標(biāo)部 件相對(duì)地平行移動(dòng)、而兩個(gè)所述光軸分別遮光時(shí)的各所述位置信息，算出針對(duì)所述目標(biāo)位 置進(jìn)行X方向的位置補(bǔ)正的所述示教信息。
21.—種傳感器夾具，其通過(guò)與目標(biāo)部件相對(duì)地平行移動(dòng)而檢測(cè)所述目標(biāo)部件，所述傳 感器夾具的特征在于，至少具有一個(gè)從透射光式傳感器的投光部向受光部的光軸，在具有多個(gè)所述光軸的情 況下，以使所述光軸在同一投影面上彼此不平行、且多個(gè)所述光軸中的至少一個(gè)所述光軸 相對(duì)于投影到所述投影面上的向所述目標(biāo)部件的相對(duì)的移動(dòng)方向及與所述移動(dòng)方向成直 角的方向不平行的方式配置所述投光部和所述受光部。
22. 一種輸送裝置，其通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的輸送 軌跡上進(jìn)行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動(dòng)，并且能夠在相對(duì)于鉛垂方向成直角的平 面上進(jìn)行直線(xiàn)移動(dòng)及回旋移動(dòng)，所述輸送裝置的特征在于，具備權(quán)利要求21所述的傳感器夾具，根據(jù)利用所述傳感器夾具的所述透射光式傳感 器獲取的、所述目標(biāo)部件使所述光軸從投光成為遮光時(shí)或從遮光成為投光時(shí)的位置信息， 算出針對(duì)所述輸送軌跡上的規(guī)定的目標(biāo)位置的示教信息。
全文摘要
本發(fā)明提供一種通過(guò)進(jìn)行通常的輸送動(dòng)作而能夠獲取輸送位置的示教信息的、通過(guò)設(shè)于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預(yù)先設(shè)定的輸送軌跡上進(jìn)行輸送的輸送裝置、位置示教方法以及傳感器夾具。在傳感器夾具(30)將透射光式傳感器(32)設(shè)置為使光軸(41)和光軸(42)向投影面投影的投影線(xiàn)段相互交叉，且光軸(41)的投影線(xiàn)段與光軸(42)的投影線(xiàn)段均不沿X方向及Y方向。在位置示教時(shí)，將該傳感器夾具(30)把持設(shè)置在晶片輸送部(24)而檢測(cè)目標(biāo)部件(51、52)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102046338SQ20098011909
公開(kāi)日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2009年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月27日
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