專利名稱：一種夾具及帶夾具的樣品盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體行業(yè)的測試分析技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于傳送透射電 子顯微鏡(TEM)樣品的夾具及帶夾具的樣品盒。
背景技術(shù)：
透射電子顯微鏡是以波長極短的電子束作為照明源，利用電子透鏡聚焦成像的一 種高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。由于其具有高分辨成像的能力，因而被廣泛地運 用于固體材料的組織結(jié)構(gòu)及晶體缺陷等方面的研究，在半導(dǎo)體集成電路(IC)的失效分析 和工藝監(jiān)控過程中也有著不可替代的作用。由于透射電子顯微鏡狹小樣品室的限制，制作的透射電子顯微鏡樣品的尺寸自然 也就受到相應(yīng)限制，一般只能做成直徑為3mm，厚度在100 μ m以下的薄片樣品。目前，為了降低晶片的報廢率，半導(dǎo)體集成電路(IC)行業(yè)中的透射電子顯微鏡樣 品通常是在超潔凈晶圓代工廠(Fab)中利用聚焦離子束(FIB)來制作的。由于所制作的樣 品的尺寸很小(0. Iym厚)，通常在樣品制作完成后用鎢將其焊接在一個載體上，該載體的 形狀為柵狀，可同時承載三個樣品，如圖IA及圖IB所示，其中樣品即焊接在載體的任一個 柵上(圖IA及圖IB中用圓圈標(biāo)示的部位)。由于透射電子顯微鏡樣品是在超潔凈晶圓代工廠中制作的，需把焊接有樣品的載 體放在培養(yǎng)皿中送到失效分析實驗室才能拍攝透射電子顯微鏡影像。但是在傳送過程中， 載體本身在培養(yǎng)皿中的滑動，可能造成樣品的脫落，并且實驗室人員用鑷子夾取載體的時 候，由于載體本身平躺在培養(yǎng)皿中，導(dǎo)致操作十分不便，容易觸碰到樣品而使樣品折損。因 此，目前透射電子顯微鏡樣品的報廢率很高，達到15 20%，嚴(yán)重浪費了相關(guān)的資源和人 力。為了解決這個問題，目前通常是在培養(yǎng)皿中加墊濾紙，以防止樣品載體的滑動，但 由于夾取載體時的觸碰，樣品的報廢率依然很高。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種夾具及一種帶夾具的樣品盒，以解決在傳送透射電子顯微鏡 樣品的過程中，樣品載體在樣品盒中的滑動以及夾取樣品載體的觸碰，導(dǎo)致樣品報廢率高、 資源和人力浪費嚴(yán)重的問題。為解決上述問題，本實用新型提出一種夾具，所述夾具包括底座和固定在所述底 座上的兩個彈簧片。可選的，所述底座為長方體?？蛇x的，所述兩彈簧片的形狀都是彎折形的?？蛇x的，所述兩彈簧片的一端固定在所述底座上，另一端通過兩彈簧片自身的彈 力相接觸。可選的，所述兩彈簧片相接觸的部分為一平面。
3[0013]可選的，所述兩彈簧片在相接觸部分的斜上方形成有兩個把手。為解決上述問題，本實用新型還提出一種帶夾具的樣品盒，所述樣品盒包括盒體 和盒蓋，所述盒體內(nèi)設(shè)置有上述的夾具?？蛇x的，所述盒體的底面和盒蓋的形狀是圓形的。可選的，所述盒體內(nèi)夾具底座的長度和寬度分別等于所述樣品盒底面圓形的內(nèi)接 矩形的長度和寬度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所提供的夾具具有兩個彈簧片，所述兩彈簧片的一 端固定在所述底座上，另一端通過兩彈簧片自身的彈力相接觸，待固定的樣品載體可插置 于兩彈簧片相接觸的部分之間，所述兩彈簧片相接觸的部分為一平面，從而減少了對樣品 的損壞。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所提供的帶夾具的樣品盒內(nèi)設(shè)置有上述的夾具。使 用本實用新型所提供的帶夾具的樣品盒進行透射電子顯微鏡樣品傳送的過程中，樣品的載 體可豎直固定，可防止載體的移動，方便載體的取出，避免樣品的脫落或破損，從而簡化了 操作，降低了樣品的報廢率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。

圖IA 圖IB為透射電子顯微鏡樣品載體的示意圖；圖2A為本實用新型實施例提供的夾具的立體圖；圖2B為本實用新型實施例提供的夾具的主視圖；圖3為本實用新型實施例提供的帶夾具的樣品盒的俯視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的夾具及帶夾具的樣品盒作進一 步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的 是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實 用新型實施例的目的。本實用新型的核心思想在于，提供一種用于固定透射電子顯微鏡樣品載體的夾 具，以減少對樣品的觸碰，防止樣品的折損，方便載體的取出。同時提供一種用于傳送透射 電子顯微鏡樣品的帶夾具的樣品盒，以使在樣品傳送的過程中，樣品的載體可豎直固定，可 防止載體的移動，方便載體的取出，避免樣品的脫落或破損，從而簡化了操作，降低了樣品 的報廢率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。請參考圖2A和圖2B，其中，圖2A為本實用新型實施例提供的夾具的立體圖，圖2B 為本實用新型實施例提供的夾具的主視圖，如圖2A至圖2B所示，該夾具100包括底座110 和兩個彈簧片120，所述兩彈簧片120的一端通過兩個螺釘固定在所述底座110上，另一端 通過兩彈簧片自身的彈力相接觸，且所述兩彈簧片120相接觸的部分為一平面，同時所述 兩彈簧片120在相接觸部分的斜上方形成兩個把手130。待固定的透射電子顯微鏡樣品載 體可插置于兩彈簧片相接觸的部分之間，通過兩彈簧片之間的彈力可把樣品載體夾緊，保 持樣品載體的豎直固定，從而減少了對樣品的損壞。樣品載體取放時，可通過所述把手130 拉開兩彈簧片，幫助樣品載體的左右移動，從而方便樣品載體的取放。[0026]在本實用新型的一個具體實施例中，所述兩彈簧片120的形狀是彎折形的，近似 為兩個背靠背的“S”形，從而可以通過調(diào)整兩彈簧片之間的空間的高度來調(diào)整兩彈簧片相 接觸的平面部分的彈力大小。在本實用新型的一個具體實施例中，所述底座110的底面的形狀是長方形。然而 應(yīng)該認(rèn)識到，根據(jù)實際需要，所述底座110的底面的形狀還可以是其它形狀，例如正方形。在本實用新型的一個具體實施例中，所述夾具100是描述成用來固定透射電子顯 微鏡樣品載體的，然而應(yīng)該認(rèn)識到，所述夾具100還可以用于固定其它小型物品。請繼續(xù)參考圖3，圖3為本實用新型實施例提供的帶夾具樣品盒的俯視圖，如圖3 所示，該樣品盒200包括盒體210、盒蓋220和設(shè)置在所述盒體內(nèi)的夾具100。所述盒體的 底面和盒蓋的形狀是圓形的。所述盒體內(nèi)夾具底座的長度和寬度分別等于所述樣品盒底面 圓形的內(nèi)接矩形的長度和寬度，從而可防止夾具底座在盒體內(nèi)的移動。待傳送的透射電子 顯微鏡樣品可焊接在樣品載體上，繼而把樣品載體固定于樣品盒內(nèi)的夾具上進行傳送。因 此，樣品的載體可豎直固定，可防止載體的移動，方便載體的取出，避免樣品的脫落或破損， 從而簡化了操作，降低了樣品的報廢率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。在本實用新型的一個具體實施例中，所述盒體210的底面和盒蓋220的形狀是圓 形的，然而應(yīng)該認(rèn)識到，根據(jù)實際需要，所述盒體210的底面和盒蓋220的形狀還可以是其 它形狀。在本實用新型的一個具體實施例中，所述帶夾具的樣品盒200是描述成用來傳送 透射電子顯微鏡樣品的，然而應(yīng)該認(rèn)識到，所述樣品盒200還可以用于傳送其它小型物品。一般的，使用現(xiàn)有的樣品盒傳送透射電子顯微鏡樣品時，傳送十次樣品當(dāng)中，樣品 從樣品載體上脫落的次數(shù)為一次，而使用本實用新型實施例所提供的帶夾具的樣品盒200 傳送透射電子顯微鏡樣品時，傳送30次都沒有造成樣品從樣品載體上脫落。可以得知，使 用本實用新型實施例所提供的樣品盒200后，極大地降低了樣品的報廢率，并且樣品載體 可保持豎直放置，方便了樣品的夾取，簡化了操作，節(jié)約了資源和人力。綜上所述，本實用新型提供了一種夾具，該夾具包括底座以及固定于所述底座上 的兩個彈簧片，所述兩彈簧片的一端固定在所述底座上，另一端通過兩彈簧片自身的彈力 相接觸，且所述兩彈簧片相接觸的部分為一平面，同時所述兩彈簧片在相接觸部分的斜上 方具有兩個把手。使用該夾具固定樣品載體的過程中，樣品載體可方便取放，從而減少了對 樣品的損壞，簡化了操作。同時，本實用新型還提供了一種帶夾具的樣品盒，該樣品盒包括盒體、盒蓋和設(shè)置 在所述盒體內(nèi)的夾具。使用該樣品盒傳送透射電子顯微鏡樣品時，樣品的載體可豎直固定， 可防止載體的移動，方便載體的取出，避免樣品的脫落或破損，從而簡化了操作，降低了樣 品的報廢率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種夾具，其特征在于，包括底座和固定在所述底座上的兩個彈簧片。
2.如權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述底座為長方體。
3.如權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述兩彈簧片的形狀都是彎折形的。
4.如權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述兩彈簧片的一端固定在所述底座上，另 一端通過兩彈簧片自身的彈力相接觸。
5.如權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述兩彈簧片相接觸的部分為一平面。
6.如權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述兩彈簧片在相接觸部分的斜上方形成 有兩個把手。
7.一種樣品盒，其特征在于，包括盒體和盒蓋，所述盒體內(nèi)設(shè)置有如權(quán)利要求1至6中 任一項所述的夾具。
8.如權(quán)利要求7所述的樣品盒，其特征在于，所述盒體的底面和盒蓋的形狀是圓形的。
9.如權(quán)利要求8所述的樣品盒，其特征在于，所述盒體內(nèi)夾具底座的長度和寬度分別 等于所述樣品盒底面圓形的內(nèi)接矩形的長度和寬度。
專利摘要本實用新型揭露了一種夾具及帶夾具的樣品盒，所述夾具包括底座和固定在所述底座上的兩個彈簧片，所述帶夾具的樣品盒包括盒體，盒蓋以及設(shè)置于所述盒體內(nèi)的夾具。使用本實用新型所提供的帶夾具的樣品盒進行透射電子顯微鏡(transmission electron microscope，TEM)樣品傳送的過程中，樣品的載體可豎直固定在夾具上，可防止載體的移動，方便載體的取出，避免樣品的脫落或破損，從而簡化了操作，降低了樣品的報廢率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。
文檔編號H01L21/677GK201623016SQ20092021217
公開日2010年11月3日 申請日期2009年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月10日
發(fā)明者何明森, 黃金成 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司