專利名稱：：包含有雙軌道傳送機(jī)構(gòu)的鍵合機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及用于電子器件的鍵合機(jī)(bondingmachine)，更具體是涉及一種包含有雙軌道傳送機(jī)構(gòu)的鍵合機(jī)，其用于裝載或卸載進(jìn)行鍵合的電子器件，如引線框。
背景技術(shù)：
：在包括電子器件，如立式(vertical)LED(LED=Light-EmittingDiode)器件的半導(dǎo)體后端裝配工序中，熱超聲焊球形鍵合(thermosonicballbonding)是一個(gè)用于形成電氣互連的基本工序。立式LED裝配在襯底上，其在垂直的方位上布置于料盒(magazine)中，并在垂直方向上饋送給鍵合機(jī)以進(jìn)行鍵合。完成鍵合以將裝配在固定襯底(standingsubstrate)，如引線框邊緣上的LED電氣連接到襯底自身上。和更為傳統(tǒng)的側(cè)式LEDdateralLEDs)相比，立式LED具有多個(gè)優(yōu)點(diǎn)。和側(cè)式LED相比，立式LED中電流傳送得到了顯著的加強(qiáng)，這導(dǎo)致減小了串聯(lián)阻抗。結(jié)果，立式LED的光線輸出和能量轉(zhuǎn)換效率同時(shí)也在高注入電流(injectioncurrents)下大大提高。而且，當(dāng)立式LED(minimaldegradation)承受約400mA電流下的壓力測(cè)試時(shí)其展現(xiàn)了最小化的光能衰減，而同樣的壓力由于增加了的電流擁擠(currentcrowding)和自身發(fā)熱(self-heating)會(huì)導(dǎo)致側(cè)式LED毀壞。在立式LED器件中，為了將LED連接到引線框上，其上裝配有LED的引線框的相應(yīng)引線上進(jìn)行鍵合以前，諸如直徑為20-75微米的金線之類的細(xì)線被鍵合在LED的電路盤上。為了連續(xù)傳送立式LED器件進(jìn)入鍵合區(qū)域，包含有線性排列系統(tǒng)(linearindexingsystem)或者排列機(jī)(indexer)的引線框傳送設(shè)備沿著引線框傳送路徑或軌道高速傳送引線框。當(dāng)導(dǎo)線鍵合立式LED的速度提高時(shí)，相應(yīng)提高和導(dǎo)線鍵合機(jī)器協(xié)同作業(yè)的子系統(tǒng)的運(yùn)作速度是令人期望的。傳統(tǒng)的用于傳送立式LED的引線框傳送設(shè)備可能使用一種單軌的引線框進(jìn)給系統(tǒng)排列引線框，以便于連續(xù)地執(zhí)行鍵合和排列。在進(jìn)給未鍵合的引線框到鍵合位置以前，當(dāng)排列機(jī)向外推出已鍵合的引線框的時(shí)候，鍵合系統(tǒng)是空閑的。當(dāng)鍵合速度很高時(shí)，鍵合系統(tǒng)的空閑時(shí)間可以增加到多達(dá)30%。和使用單軌的引線框進(jìn)給系統(tǒng)相比較，包含有雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)的引線框傳送設(shè)備被設(shè)計(jì)出以減少鍵合系統(tǒng)的空閑時(shí)間。在圖1、圖2中闡述了兩個(gè)雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)。圖1所示為傳統(tǒng)的包含有同步排列機(jī)102的同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100的俯視圖。同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100包含有第一路徑或前引線框軌道108、第二路徑或后引線框軌道110，該后引線框軌道110和前引線框軌道108平行固定設(shè)置并距前引線框軌道108—段預(yù)定距離，以便于軌道109的間距是固定的。在加熱器塊106的相對(duì)兩側(cè)設(shè)置的鍵合位置同樣也存在預(yù)加熱器塊104和加熱器塊106，以及設(shè)置在這兩個(gè)鍵合位置上方的鍵合系統(tǒng)107。排列驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)激勵(lì)同步排列機(jī)102，以各自從設(shè)置在同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100第一端部的引線框料盒處進(jìn)給未被鍵合的引線框112在前引線框軌道108和后引線框軌道110上。兩個(gè)未被鍵合的引線框112沿著雙軌朝向軌道的另一端部被同時(shí)排列(index)，并于被排列到加熱器塊106以前在預(yù)加熱器塊104處被加熱，而在鍵合前進(jìn)行進(jìn)一步的加熱。鍵合系統(tǒng)107在前引線框軌道108和后引線框軌道110之間移動(dòng)以完成每個(gè)引線框112的鍵合。在兩個(gè)鍵合的引線框112的立式LED已經(jīng)被完全鍵合之后，下面的工序是兩個(gè)鍵合后的引線框被一起排序并被卸載進(jìn)入料盒中。同時(shí)，另外兩個(gè)未被鍵合的引線框112被饋送到雙軌108的第一端部。在引線框112裝載到同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100和從其卸載期間，鍵合系統(tǒng)107將會(huì)是空閑和沒有生產(chǎn)效率的。所以，如同以上所述的單軌進(jìn)給系統(tǒng)，同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100仍然依賴于一系列的鍵合和排列流程。從而，相對(duì)于傳統(tǒng)的單軌進(jìn)給系統(tǒng)，其整體效益是最小的。而且，由于雙軌之間的間距距離是固定的，所以基于選定的料盒的間距該同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100是定制的。這限制了處理不同間距料盒的靈活性。同時(shí)，僅僅具有位于第一軌道108和第二軌道110之間的、和該兩個(gè)軌道相接觸的單個(gè)預(yù)加熱器塊104和單個(gè)加熱器塊106引起了不被期望的振動(dòng)傳送，該振動(dòng)來自從一個(gè)軌道到另一個(gè)軌道每個(gè)引線框上的引線框夾具(clamps)的開啟或閉合。因此，當(dāng)一個(gè)引線框112正被夾持或釋放時(shí)，另一個(gè)引線框112上的導(dǎo)線鍵合較佳地是停止的，否則將會(huì)導(dǎo)致不精確的鍵合。圖2所示為包含有兩個(gè)緩沖平臺(tái)的傳統(tǒng)改進(jìn)型緩沖平臺(tái)雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100’的俯視圖，該兩個(gè)緩沖平臺(tái)包括緩沖裝載器114和緩沖卸載器116。該雙軌包括相互平行設(shè)置的前引線框軌道118和后引線框軌道120。前引線框軌道118和前預(yù)加熱器塊117、前加熱器塊119相接觸。后預(yù)加熱器塊121和后加熱器塊123設(shè)置在后引線框軌道120上，并和前預(yù)加熱器塊117、前加熱器塊119分隔開來，從而來自一個(gè)引線框上的引線框夾具的開啟或閉合的振動(dòng)不會(huì)影響另一處的引線框。不同于上述現(xiàn)有技術(shù)所闡述的，在一個(gè)引線框的夾持或釋放期間，另一個(gè)引線框的導(dǎo)線鍵合不需要停止。使用緩沖裝載器排列機(jī)113和前排列機(jī)128或者后排列機(jī)130，通過緩沖裝載器114，前引線框軌道118和后引線框軌道120各自從輸入料盒122接收引線框112。鍵合位置鄰接于每個(gè)軌道設(shè)置，以便于導(dǎo)線鍵合可以在每個(gè)鍵合位置交替地完成。使用緩沖卸載器排列機(jī)125和前排列機(jī)128或者后排列機(jī)130，通過緩沖卸載器116，每個(gè)鍵合后的引線框112被卸載到一個(gè)輸出料盒124。緩沖裝載器114沿著第一軌道115移動(dòng)，以將其自身和輸入料盒122、前引線框軌道118或后引線框軌道120對(duì)齊定位，而每次從輸入料盒122傳送一個(gè)未被鍵合的引線框112到前引線框軌道118或后引線框軌道120處。另一方面，緩沖卸載器116沿著第二軌道117移動(dòng)，以將其自身和輸出料盒124、前引線框軌道118或后引線框軌道120對(duì)齊定位，而每次從前引線框軌道118或后引線框軌道120處傳送一個(gè)鍵合后的引線框112到輸出料盒124。所以，由于鍵合速度通常很快，緩沖裝載器114和緩沖卸載器116的作業(yè)速度顯著地影響系統(tǒng)的產(chǎn)能，并成為鍵合操作中的瓶頸。和鍵合時(shí)間相比較，進(jìn)給期間鍵合系統(tǒng)126的空閑時(shí)間相對(duì)很長(zhǎng)。而且，由于引線框112裝載到前引線框軌道118和從后引線框軌道120卸載需要兩個(gè)緩沖平臺(tái)，當(dāng)一個(gè)緩沖平臺(tái)故障時(shí)，整個(gè)緩沖平臺(tái)雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100’不能繼續(xù)操作，鍵合必須停止。另外，緩沖裝載器114和緩沖卸載器116的長(zhǎng)度必須足夠來容納引線框的全部長(zhǎng)度。為了容納更長(zhǎng)的引線框，兩個(gè)緩沖平臺(tái)長(zhǎng)度的增加將會(huì)相應(yīng)地增加機(jī)器的長(zhǎng)度。這導(dǎo)致了更大的從事有價(jià)值空間的占用。和同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100相比，緩沖平臺(tái)雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100’同時(shí)也具有更多的部件，從而更加復(fù)雜。結(jié)果，由于設(shè)備故障導(dǎo)致了更高的加工失敗的風(fēng)險(xiǎn)。尤其，在導(dǎo)線鍵合操作過程中，由于鍵合系統(tǒng)126和前引線框軌道118、后引線框軌道120被連接到兩個(gè)緩沖平臺(tái)上，緩沖裝載器114和緩沖卸載器116在定位期間的高速移動(dòng)產(chǎn)生了實(shí)質(zhì)性的振動(dòng)，該振動(dòng)顯著地限制了導(dǎo)線鍵合的速度和精度。反之，排列動(dòng)作的精度同樣也被導(dǎo)線鍵合期間鍵合系統(tǒng)126的振動(dòng)所影響。所以，有必要尋找減少鍵合系統(tǒng)空閑時(shí)間的方法，以提高鍵合引線框時(shí)的產(chǎn)能。同樣發(fā)明一種足夠多功能的系統(tǒng)，以在對(duì)該系統(tǒng)沒有實(shí)質(zhì)性改動(dòng)的情況下完成可變長(zhǎng)度的引線框上的導(dǎo)線鍵合，這也是令人期望的。消除不同子系統(tǒng)協(xié)同作業(yè)的不令人期望的振動(dòng)的影響對(duì)改善導(dǎo)線鍵合的精度同樣也是重要的。
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的在于提供一種不再?gòu)?fù)雜的鍵合機(jī)，其在實(shí)施更加精確的鍵合的同時(shí)，在傳送弓I線框進(jìn)行鍵合方面提高了效率。于是，一方面，本發(fā)明提供一種用于鍵合包括襯底的電子器件的鍵合裝置，該鍵合裝置包含有相互相鄰設(shè)置的第一軌道和第二軌道，其被配置來在沿著第一軌道和第二軌道傳送期間在垂直方位上定位襯底；鍵合系統(tǒng)，其設(shè)置在第一鍵合位置和第二鍵合位置上方，第一鍵合位置沿著第一軌道設(shè)置，第二鍵合位置沿著第二軌道設(shè)置；第一排列機(jī)和第二排列機(jī)，第一排列機(jī)相鄰于第一軌道設(shè)置，第二排列機(jī)相鄰于第二軌道設(shè)置，當(dāng)在一個(gè)軌道上固定的襯底被鍵合時(shí)，每個(gè)排列機(jī)獨(dú)立地操作來沿著另一個(gè)軌道傳送襯底；以及容器，其設(shè)置在軌道的一端，用于固定多個(gè)未鍵合的襯底，并被操作來直接進(jìn)給未鍵合的襯底到軌道上。另一方面，本發(fā)明提供一種用于鍵合包括襯底的電子器件的方法，該方法包含有以下步驟提供相互相鄰設(shè)置的第一軌道和第二軌道；在沿著第一軌道和第二軌道傳送期間在垂直方位上定位襯底的同時(shí)，從固定有多個(gè)未鍵合襯底的容器處從軌道的一端直接進(jìn)給未鍵合的襯底到軌道；使用第一排列機(jī)在第一軌道上傳送襯底到沿著第一軌道設(shè)置的第一鍵合位置，在第一鍵合位置上方設(shè)置鍵合系統(tǒng)以在第一軌道上鍵合襯底；在第一軌道上鍵合襯底的同時(shí)，使用第二排列機(jī)在第二軌道上移動(dòng)襯底到沿著第二軌道設(shè)置的第二鍵合位置；在第一鍵合位置的鍵合完成之后，在第二鍵合位置上方設(shè)置鍵合系統(tǒng)以在第二軌道上鍵合襯底；以及在第二軌道上鍵合襯底的同時(shí)，使用第一排列機(jī)移動(dòng)鍵合后的襯底以卸載該鍵合后的襯底。參閱后附的描述本發(fā)明實(shí)施例的附圖，隨后來詳細(xì)描述本發(fā)明是很方便的。附圖和相關(guān)的描述不能理解成是對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明的特點(diǎn)限定在權(quán)利要求書中。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的裝置的實(shí)例現(xiàn)將參考附圖加以詳細(xì)描述，其中圖1所示為傳統(tǒng)的包含有同步排列機(jī)的同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)的俯視圖。圖2所示為包含有兩個(gè)緩沖平臺(tái)的傳統(tǒng)改進(jìn)型緩沖平臺(tái)雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)的俯視圖，該兩個(gè)緩沖平臺(tái)包括緩沖裝載器和緩沖卸載器。圖3所示為本發(fā)明較佳實(shí)施例所述具有可調(diào)間距的、用于鍵合電子器件包括襯底，如引線框的雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)的俯視圖。圖4所示為根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的圖3中的雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)沿著圖3中的A方向所視的側(cè)視示意圖，其表明了料盒盒架(magazinecassetteholder)中料盒輸入盒體44的進(jìn)給順序。具體實(shí)施例方式現(xiàn)結(jié)合附圖描述本發(fā)明的較佳實(shí)施例。圖3所示為本發(fā)明較佳實(shí)施例所述具有可調(diào)間距的、用于鍵合電子器件包括襯底，如引線框的雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)10的俯視圖。雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)10包括包含有由前引線框軌道12和后引線框軌道14組成的可調(diào)雙軌的前模塊和后模塊，該后引線框軌道14平行于前引線框軌道12設(shè)置。前引線框軌道12和后引線框軌道14各自安裝在獨(dú)立的安裝座上，以便于每個(gè)軌道在單個(gè)路徑配置中發(fā)揮作用。前模塊還包括前預(yù)加熱器塊16、前加熱器塊18和相鄰于前引線框軌道12設(shè)置的前排列機(jī)20。前引線框軌道12被安裝在第一軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體(railpitchadjustableguides)22和第二軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體24上。后模塊平行于前模塊設(shè)置，后模塊還包括類似于前模塊的部件，即后預(yù)加熱器塊26、后加熱器塊28和相鄰于后引線框軌道14設(shè)置的后排列機(jī)30。前預(yù)加熱器塊16、前加熱器塊18和后預(yù)加熱器塊26、后加熱器塊28隔離開來以便于脫離來自前模塊和后模塊的振動(dòng)。后模塊可能為固定位置，同時(shí)通過調(diào)節(jié)第一軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體22和第二軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體24使得前模塊可能相對(duì)于后模塊為可移動(dòng)的，以便于在進(jìn)給引線框40到軌道以前調(diào)節(jié)前引線框軌道12和后引線框軌道14之間的軌道間距距離34。鍵合系統(tǒng)32設(shè)置在第一鍵合位置和第二鍵合位置上方，第一鍵合位置沿著前引線框軌道12相鄰于前加熱器塊18設(shè)置，第二鍵合位置沿著后引線框軌道14相鄰于后加熱器塊28設(shè)置。鍵合系統(tǒng)32在安裝于引線框上的每個(gè)晶粒和引線框之間形成電氣導(dǎo)線連接。軌道間距距離34是可調(diào)的以便于前引線框軌道12和后引線框軌道14同容器，如輸入料盒或輸出料盒36、38的引線框分區(qū)間距(partitionpitch)的倍數(shù)(amultipleof)對(duì)齊定位，以致于能夠直接接收兩個(gè)未被鍵合的引線框40或者在同一個(gè)料盒位置同時(shí)直接卸載兩個(gè)已被鍵合的引線框40。輸入料盒或輸出料盒36、38被設(shè)置在前引線框軌道12和后引線框軌道14的相對(duì)兩端，以及被配置來分別固定多個(gè)未鍵合的引線框和已鍵合的引線框。在使用中，首先將軌道間距距離34調(diào)節(jié)，以和輸入料盒36的軌道間距對(duì)齊定位前引線框軌道12和后引線框軌道14，以便于前引線框軌道12和后引線框軌道14可以各自直接接收未鍵合的引線框40，并且這兩個(gè)未鍵合的引線框可同時(shí)從輸入料盒36彈出。裝載后的引線框40被定位在垂直方位上，其被排列和沿著前引線框軌道12或后引線框軌道14傳送，以在鄰接于前預(yù)加熱器塊16和后預(yù)加熱器塊26的預(yù)加熱區(qū)中進(jìn)行預(yù)加熱。在這兩個(gè)引線框40的全部長(zhǎng)度進(jìn)入前引線框軌道12和后引線框軌道14之后，輸入料盒36側(cè)向移動(dòng)一個(gè)引線框分區(qū)間距，以為裝載下兩個(gè)引線框到各自的前引線框軌道12和后引線框軌道14準(zhǔn)備就緒。前排列機(jī)20和后排列機(jī)30或者同時(shí)或者各自沿著前引線框軌道12和后引線框軌道14朝向前加熱器塊18和后加熱器塊28獨(dú)立地排列和傳送每個(gè)被裝載的引線框40，在前加熱器塊18和后加熱器塊28處，第一鍵合位置和第二鍵合位置在此駐留以充分加熱進(jìn)行導(dǎo)線鍵合。當(dāng)鍵合系統(tǒng)32設(shè)置在第一鍵合位置上方以鍵合固定在前引線框軌道12上的引線框40的同時(shí)，第二引線框40可能被第二排列機(jī)30排列，并沿著后引線框軌道14朝向第二鍵合位置傳送。在鍵合系統(tǒng)32移動(dòng)并定位在第二鍵合位置上方以開始鍵合固定在后引線框軌道14的第二引線框40之前，鍵合系統(tǒng)32在第一鍵合位置完成固定在前引線框軌道12上的第一引線框40的導(dǎo)線鍵合。在鍵合系統(tǒng)32完成第二引線框40的鍵合并移動(dòng)以完成在前引線框軌道12處的鍵合之前，前排列機(jī)20有足夠的時(shí)間來排列和卸載前引線框軌道12上鍵合后的引線框40，并從前預(yù)加熱器塊16的待命區(qū)域饋送另一個(gè)未被鍵合的引線框40到第一鍵合位置。由于軌道間距是輸出料盒38的料盒引線框分區(qū)間距的倍數(shù)，所以前引線框軌道12和后引線框軌道14上的鍵合后的引線框40可能被先后彈出進(jìn)入輸出料盒38中。在鍵合后的引線框40完全進(jìn)入輸出料盒38后，輸出料盒38移動(dòng)一個(gè)引線框分區(qū)間距以為接收從前引線框軌道12和后引線框軌道14上卸載的下一個(gè)鍵合后的引線框準(zhǔn)備就緒。圖4所示為根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)10沿著圖3中的A方向所視的側(cè)視示意圖，其表明了料盒盒架(magazinecassetteholder)42中料盒輸入盒體44的進(jìn)給順序。對(duì)于立式LED鍵合而言，使用目前的導(dǎo)線鍵合技術(shù)，存放在一個(gè)輸入料盒36中的所有引線框可以在大約30秒內(nèi)被卸載。為了改善機(jī)器的MTBA(Meantimebetweenassistance援助平均間隔時(shí)間)，用于輸入料盒，如料盒輸入盒體44的每個(gè)盒架，可能一次裝載不少于4個(gè)輸入料盒36，而相比較的是傳統(tǒng)的料盒盒體僅僅容納一個(gè)或兩個(gè)料盒。圖4表明了以8個(gè)料盒輸入盒體44或兩列4個(gè)料盒輸入盒體44形式存在的典型容器盒架。該料盒輸入盒體44被安裝到容器盒架平臺(tái)或料盒輸入盒體移動(dòng)平臺(tái)46。固定在料盒輸入盒體44中的輸入料盒36被設(shè)置在料盒輸入盒體44的第一列或左區(qū)48和第二列或右區(qū)50。每列輸入料盒36交替地移動(dòng)來和前引線框軌道12、后引線框軌道14對(duì)齊定位，以便于能夠在此同步進(jìn)給引線框40。在料盒輸入盒體44的左區(qū)48和右區(qū)50中輸入料盒36裝載有引線框40。整個(gè)料盒輸入盒體44在圖4所示的方向上被料盒輸入盒體移動(dòng)平臺(tái)46持續(xù)地移動(dòng)，以致于右區(qū)50中已裝載的輸入料盒36和前引線框軌道12、后引線框軌道14對(duì)齊定位，以同時(shí)進(jìn)給另外的引線框到軌道。當(dāng)右區(qū)50中所有輸入料盒36中固定的引線框40已經(jīng)被進(jìn)給到軌道上時(shí)，料盒輸入盒體44被移動(dòng)到左區(qū)48以繼續(xù)進(jìn)給左區(qū)48中的輸入料盒36中所固定的引線框40到軌道上。同時(shí)，右區(qū)50中的空輸入料盒36能被取出，并用已裝載的輸入料盒36取代。在左區(qū)48中所有的輸入料盒36被清空引線框40之后，料盒輸入盒體44移動(dòng)回復(fù)到已經(jīng)裝載有引線框40的右區(qū)50，以繼續(xù)進(jìn)給右區(qū)50中的引線框40到軌道上。左區(qū)48的空輸入料盒36被移走，并用裝載有大量引線框40的新的輸入料盒36所取代。在與軌道對(duì)齊定位之后，左區(qū)48中裝載后的輸入料盒再一次準(zhǔn)備進(jìn)給引線框40到前引線框軌道12和后引線框軌道14。所以，連續(xù)的引線框進(jìn)給路徑被提供，其能實(shí)現(xiàn)為零的料盒變換空閑時(shí)間，以及連同可調(diào)的軌道間距距離34—起，也實(shí)現(xiàn)對(duì)鍵合系統(tǒng)32而言為零的空閑時(shí)間。相同結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的料盒盒體可以用來固定裝載后的輸出料盒38，以傳送鍵合后的引線框40離開前引線框軌道12、后引線框軌道14。值得欣賞的是，本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)10實(shí)現(xiàn)了未鍵合引線框的快速裝載和已鍵合引線框的快速卸載，同時(shí)導(dǎo)線鍵合保持相對(duì)精確。通過根據(jù)料盒引線框分區(qū)間距相對(duì)于后模塊移動(dòng)前模塊，第一軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體22和第二軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體24調(diào)整了軌道間距距離34。以這種方式，雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)10可以用于變化的引線框分區(qū)間距的料盒。不同于現(xiàn)有的同步雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)100，在引線框沿著一個(gè)軌道夾持或釋放期間，不受來自排列機(jī)所傳送的振動(dòng)的干擾下，在另一個(gè)軌道處的導(dǎo)線鍵合能夠繼續(xù)。當(dāng)前加熱器塊18和后加熱器塊28被相互隔開以致于每個(gè)加熱器塊基本上脫離另一個(gè)加熱器塊處的振動(dòng)時(shí)，由于一個(gè)軌道上引線框夾持或釋放所導(dǎo)致的振動(dòng)不會(huì)從一個(gè)軌道傳送到另一個(gè)軌道，這是可以實(shí)現(xiàn)的。而且，當(dāng)前排列機(jī)20和后排列機(jī)30僅僅沿著X方向移動(dòng)進(jìn)給引線框時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)中所討論的緩沖裝載器和緩沖卸載器的使用已經(jīng)被消除以致于所描述緩沖平臺(tái)的缺點(diǎn)同時(shí)也得以避免。尤其，在高速傳送移動(dòng)中緩沖平臺(tái)的干擾得以避免，以便于鍵合系統(tǒng)32在高精度的情形下能夠全速運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)一個(gè)軌道出現(xiàn)故障或需要檢修時(shí)，獨(dú)立地操作雙軌允許雙軌引線框進(jìn)給系統(tǒng)作為單軌進(jìn)給系統(tǒng)發(fā)揮作用。因此，這消減了機(jī)器空閑時(shí)間。同時(shí)，當(dāng)前模塊或后模塊出現(xiàn)故障或被檢修時(shí)，機(jī)器仍然能夠使用另一個(gè)仍然起作用的模塊運(yùn)轉(zhuǎn)。料盒盒體在連續(xù)的進(jìn)給路徑上夾持和傳送多個(gè)料盒，這提高了引線框裝載和卸載的速度，并對(duì)于用裝載后的料盒交換空閑的料盒時(shí)實(shí)現(xiàn)為零的空閑時(shí)間。料盒盒體，連同可調(diào)的軌道間距一起，減少了鍵合系統(tǒng)的空閑時(shí)間，以便于鍵合可以在高速和精確的情形下得以完成。此處描述的本發(fā)明在所具體描述的內(nèi)容基礎(chǔ)上很容易產(chǎn)生變化、修正和/或補(bǔ)充，可以理解的是所有這些變化、修正和/或補(bǔ)充都包括在本發(fā)明的上述描述的精神和范圍內(nèi)。權(quán)利要求一種用于鍵合包括襯底的電子器件的鍵合裝置，該鍵合裝置包含有相互相鄰設(shè)置的第一軌道和第二軌道，其被配置來在沿著第一軌道和第二軌道傳送期間在垂直方位上定位襯底；鍵合系統(tǒng)，其設(shè)置在第一鍵合位置和第二鍵合位置上方，第一鍵合位置沿著第一軌道設(shè)置，第二鍵合位置沿著第二軌道設(shè)置；第一排列機(jī)和第二排列機(jī)，第一排列機(jī)相鄰于第一軌道設(shè)置，第二排列機(jī)相鄰于第二軌道設(shè)置，當(dāng)在一個(gè)軌道上固定的襯底被鍵合時(shí)，每個(gè)排列機(jī)獨(dú)立地操作來沿著另一個(gè)軌道傳送襯底；以及容器，其設(shè)置在軌道的一端，用于固定多個(gè)未鍵合的襯底，并被操作來直接進(jìn)給未鍵合的襯底到軌道上。2.如權(quán)利要求1所述的鍵合裝置，該鍵合裝置還包含有軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體，其上如此安裝有第一軌道以便于第一軌道和第二軌道之間的距離是可調(diào)的。3.如權(quán)利要求2所述的鍵合裝置，其中，每個(gè)軌道安裝在獨(dú)立的安裝座上，以便于每個(gè)軌道以單個(gè)路徑的配置形式發(fā)揮作用。4.如權(quán)利要求2所述的鍵合裝置，其中，第一軌道和第二軌道之間的距離可調(diào)節(jié)為該容器的襯底分區(qū)間距的倍數(shù)，借此第一軌道和第二軌道能夠同時(shí)從該容器接收第一襯底和第二襯底。5.如權(quán)利要求1所述的鍵合裝置，該鍵合裝置還包含有不少于一個(gè)的容器盒架，其被操作來固定多個(gè)容器。6.如權(quán)利要求5所述的鍵合裝置，其中，該容器盒架被配置來固定不少于四個(gè)容器。7.如權(quán)利要求5所述的鍵合裝置，其中，該容器盒架被配置來固定兩列容器。8.如權(quán)利要求7所述的鍵合裝置，其中，每列容器交替地移動(dòng)來和第一軌道、第二軌道對(duì)齊定位，以進(jìn)給更多的襯底到第一軌道、第二軌道。9.如權(quán)利要求5所述的鍵合裝置，其中，該容器盒架被安裝到容器盒架平臺(tái)，該容器盒架平臺(tái)被操作來持續(xù)移動(dòng)，并同時(shí)和第一軌道、第二軌道對(duì)齊定位該容器，以進(jìn)給另外的襯底到第一軌道、第二軌道。10.如權(quán)利要求1所述的鍵合裝置，該鍵合裝置還包括第一加熱器塊和第二加熱器塊，該第一加熱器塊相鄰于第一鍵合位置，該第二加熱器塊相鄰于第二鍵合位置，其中第一加熱器塊和第二加熱器塊分隔開來以便于其中一個(gè)加熱器塊基本上脫離另一個(gè)加熱器塊的振動(dòng)。11.一種用于鍵合包括襯底的電子器件的方法，該方法包含有以下步驟提供相互相鄰設(shè)置的第一軌道和第二軌道；在沿著第一軌道和第二軌道傳送期間在垂直方位上定位襯底的同時(shí)，從固定有多個(gè)未鍵合襯底的容器處從軌道的一端直接進(jìn)給未鍵合的襯底到軌道；使用第一排列機(jī)在第一軌道上傳送襯底到沿著第一軌道設(shè)置的第一鍵合位置，在第一鍵合位置上方設(shè)置鍵合系統(tǒng)以在第一軌道上鍵合襯底；在第一軌道上鍵合襯底的同時(shí)，使用第二排列機(jī)在第二軌道上移動(dòng)襯底到沿著第二軌道設(shè)置的第二鍵合位置；在第一鍵合位置的鍵合完成之后，在第二鍵合位置上方設(shè)置鍵合系統(tǒng)以在第二軌道上鍵合襯底；以及在第二軌道上鍵合襯底的同時(shí)，使用第一排列機(jī)移動(dòng)鍵合后的襯底以卸載該鍵合后的襯底。12.如權(quán)利要求11所述的方法，該方法還包含有在進(jìn)給襯底到第一軌道和第二軌道之前，通過相對(duì)于第二軌道移動(dòng)安裝在軌道間距調(diào)節(jié)引導(dǎo)體上的第一軌道，調(diào)節(jié)第一軌道和第二軌道之間的距離。13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中，第一軌道和第二軌道之間的距離調(diào)節(jié)為該容器的襯底分區(qū)間距的倍數(shù)，借此第一軌道和第二軌道能夠在容器的同一個(gè)位置從該容器處接收第一襯底和第二襯底。14.如權(quán)利要求11所述的方法，該方法還包含有不少于一個(gè)的容器盒架，其被操作來固定多個(gè)容器。15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中，該容器盒架固定有不少于四個(gè)的容器。16.如權(quán)利要求14所述的方法，其中，該容器盒架固定有兩列容器。17.如權(quán)利要求16所述的方法，其中，在饋送襯底到第一軌道和第二軌道之后，移動(dòng)每列容器來和第一軌道、第二軌道對(duì)齊定位，以進(jìn)給更多的襯底到第一軌道、第二軌道。18.如權(quán)利要求14所述的方法，其中，該容器盒架被安裝到容器盒架平臺(tái)，該容器盒架平臺(tái)持續(xù)移動(dòng)，并同時(shí)和第一軌道、第二軌道對(duì)齊定位該容器，以進(jìn)給另外的襯底到第一軌道、第二軌道。19.如權(quán)利要求11所述的方法，其中，相鄰于第一鍵合位置設(shè)置第一加熱器塊，相鄰于第二鍵合位置設(shè)置第二加熱器塊，第一加熱器塊和第二加熱器塊相互分隔開來以便于其中一個(gè)加熱器塊基本上脫離另一個(gè)加熱器塊的振動(dòng)。全文摘要本發(fā)明公開了一種用于鍵合包括襯底的電子器件的鍵合裝置，該鍵合裝置包含有相互相鄰設(shè)置的第一軌道和第二軌道，其被配置來在沿著第一軌道和第二軌道傳送期間在垂直方位上定位襯底；鍵合系統(tǒng)，其設(shè)置在第一鍵合位置和第二鍵合位置上方，第一鍵合位置沿著第一軌道設(shè)置，第二鍵合位置沿著第二軌道設(shè)置；第一排列機(jī)和第二排列機(jī)，第一排列機(jī)相鄰于第一軌道設(shè)置，第二排列機(jī)相鄰于第二軌道設(shè)置，當(dāng)在一個(gè)軌道上固定的襯底被鍵合時(shí)，每個(gè)排列機(jī)獨(dú)立地操作來沿著另一個(gè)軌道傳送襯底；以及容器，其設(shè)置在軌道的一端，用于固定多個(gè)未鍵合的襯底，并被操作來直接進(jìn)給未鍵合的襯底到軌道上。文檔編號(hào)H01L21/50GK101964310SQ20091017735公開日2011年2月2日申請(qǐng)日期2009年9月30日優(yōu)先權(quán)日2009年7月24日發(fā)明者關(guān)家勝,宋景耀,林俊杰,賀汀宇申請(qǐng)人:先進(jìn)科技新加坡有限公司