專利名稱：信息處理裝置、信息處理方法以及程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于使用制造裝置的半導(dǎo)體制造工藝等中的信息處理裝置等。
背景技術(shù)：
以往的半導(dǎo)體裝置的制造方法中已知有如下構(gòu)成的方法該方法在半導(dǎo)體裝置的 制造工藝中的一個(gè)制造工序中包括以下步驟將在所述一個(gè)制造工序之前實(shí)施的所述半導(dǎo) 體裝置的制造工序的處理歷史以及檢查結(jié)果記錄到計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)介質(zhì)中；以及基于記 錄在所述存儲(chǔ)介質(zhì)中的所述處理歷史以及檢查結(jié)果來(lái)決定所述一個(gè)制造工序的處理?xiàng)l件； 并且使用至少一個(gè)計(jì)算機(jī)來(lái)進(jìn)行這些步驟(例如，參照專利文獻(xiàn)1)?？墒?，在實(shí)際的半導(dǎo)體制造工藝中，即使是相同的制造裝置，裝置特性也會(huì)根據(jù)機(jī) 種而不同，或者如果制造時(shí)的目標(biāo)等不同則應(yīng)調(diào)節(jié)的參數(shù)也會(huì)大不相同，從而參數(shù)之間關(guān) 聯(lián)性不大，因此難以使用計(jì)算機(jī)等完全自動(dòng)地設(shè)定處理?xiàng)l件。因此，通過(guò)由用戶手動(dòng)改變作為工藝的決定要素的參數(shù)等而獲得了作為目的的工
藝結(jié)果。當(dāng)如此手動(dòng)進(jìn)行可得到作為目的的工藝結(jié)果的參數(shù)設(shè)定時(shí)，原本是優(yōu)選分派盡量 多的參數(shù)來(lái)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，但在時(shí)間上多數(shù)比較困難。因而，在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)等中，依賴熟練者的經(jīng)驗(yàn)和感覺(jué)來(lái)決定制造裝置的參數(shù) 等的變更范圍等。專利文獻(xiàn)1 日本專利文獻(xiàn)特開(kāi)2002-231596號(hào)公報(bào)(第1頁(yè)、圖1等)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題可是，以往存在如下問(wèn)題由于如上述那樣依賴熟練者的經(jīng)驗(yàn)和感覺(jué)來(lái)決定制造 裝置的參數(shù)等的變更范圍，因此決定參數(shù)等時(shí)的專門(mén)知識(shí)(know how)等被專人化，無(wú)法共 享，如果熟練者不在，則無(wú)法設(shè)定制造裝置的參數(shù)等以得到成為目標(biāo)的結(jié)果，并且，要得到 成為目標(biāo)的結(jié)果則需要重復(fù)實(shí)驗(yàn)等，從而耗費(fèi)時(shí)間。從而，經(jīng)驗(yàn)少的用戶很難設(shè)定制造裝置的參數(shù)等以得到成為目的結(jié)果。另外，通過(guò) 制造裝置得到的產(chǎn)品的質(zhì)量可能會(huì)受到用戶熟練度的很大影響。另外，即使想要參考其他用戶的參數(shù)設(shè)定例，也要花時(shí)間來(lái)尋找目標(biāo)等一致的設(shè) 定例，并且即便參考目標(biāo)不同的設(shè)定例也不能進(jìn)行恰當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)，因此進(jìn)行恰當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)較困難。(用于解決問(wèn)題的手段)本發(fā)明的信息處理裝置包括目標(biāo)值接受部，其接受一個(gè)以上種類的目標(biāo)值，該目 標(biāo)值是表示使用制造裝置對(duì)被處理基片進(jìn)行的預(yù)定的半導(dǎo)體制造工藝的目標(biāo)的值；參數(shù)獲 取部，其獲取一個(gè)以上種類的參數(shù)的值，該參數(shù)是與所述制造裝置有關(guān)的執(zhí)行所述半導(dǎo)體 制造工藝時(shí)的參數(shù)；執(zhí)行結(jié)果獲取部，其獲取一個(gè)以上種類的執(zhí)行結(jié)果，該執(zhí)行結(jié)果是表示
5執(zhí)行了所述半導(dǎo)體制造工藝的結(jié)果的值；儲(chǔ)存部，其將由所述執(zhí)行結(jié)果獲取部獲取的執(zhí)行 結(jié)果、由所述目標(biāo)值接受部接受的目標(biāo)值、以及由所述參數(shù)獲取部獲取的參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起 來(lái)儲(chǔ)存；相關(guān)性獲取部，其獲取相關(guān)性信息，該相關(guān)性信息是與所述儲(chǔ)存部所儲(chǔ)存的所述執(zhí) 行結(jié)果、所述目標(biāo)值以及所述參數(shù)的值之間的相關(guān)性(correlation)有關(guān)的信息；輔助信 息獲取部，其使用由所述相關(guān)性獲取部獲取的相關(guān)性信息來(lái)獲取輔助信息，該輔助信息是 與針對(duì)所述目標(biāo)值接受部所接受的目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)有關(guān)的信息；以及輸出部，其輸 出由所述輔助信息獲取部獲取的輔助信息。根據(jù)如上構(gòu)成，能夠向用戶示出為得到接近目標(biāo)值的執(zhí)行結(jié)果而應(yīng)調(diào)節(jié)的參數(shù)及 其值等，從而能夠有效且迅速地調(diào)節(jié)參數(shù)。另外，本發(fā)明的信息處理裝置在上述信息處理裝置中還如下構(gòu)成所述參數(shù)獲取 部獲取多個(gè)種類的參數(shù)的值，所述儲(chǔ)存部?jī)?chǔ)存多個(gè)將由所述執(zhí)行結(jié)果獲取部獲取的執(zhí)行結(jié) 果、由所述目標(biāo)值接受部接受的目標(biāo)值、以及由所述參數(shù)獲取部獲取的多個(gè)種類的參數(shù)的 值對(duì)應(yīng)起來(lái)的組，所述相關(guān)性獲取部針對(duì)由所述儲(chǔ)存部對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值 以及多個(gè)種類的參數(shù)的值的多個(gè)組中的每一組，獲取表示目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的 值，并使用所述獲取的表示偏差的值和與所述表示偏差的值相對(duì)應(yīng)的多個(gè)種類的參數(shù)的值 組成的多個(gè)組來(lái)計(jì)算所述相關(guān)性信息，所述相關(guān)性信息是所述多個(gè)種類的參數(shù)中的每個(gè)參 數(shù)與所述表示偏差的值之間的相關(guān)性系數(shù)，所述輔助信息獲取部獲取輔助信息，所述輔助 信息是與所述多個(gè)種類的參數(shù)中的所述相關(guān)性系數(shù)大的一個(gè)以上種類的參數(shù)有關(guān)的信息。根據(jù)如上構(gòu)成，能夠向用戶示出與目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)及其值等，從而能夠有 效且迅速地調(diào)節(jié)參數(shù)。另外，本發(fā)明的信息處理裝置在上述信息處理裝置中還如下構(gòu)成所述輔助信息 獲取部從由所述儲(chǔ)存部?jī)?chǔ)存的參數(shù)的值中獲取所述輔助信息，所述輔助信息是所述相關(guān)性 系數(shù)大的一個(gè)以上種類的參數(shù)的值、并且是表示對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的值 小的參數(shù)的值。根據(jù)如上構(gòu)成，能夠向用戶示出與目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)及其值等，從而能夠有 效且迅速地調(diào)節(jié)參數(shù)。另外，本發(fā)明的信息處理裝置在上述信息處理裝置中，還包括獲取用戶屬性信息 的用戶屬性獲取部，該用戶屬性信息是表示執(zhí)行所述半導(dǎo)體制造工藝的用戶的屬性的值， 并且，所述儲(chǔ)存部將所述用戶屬性信息與所述執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存，所述相關(guān)性獲取部 使用所述用戶屬性信息來(lái)獲取所述相關(guān)性信息。根據(jù)如上構(gòu)成，能夠?qū)⒂脩舻膶傩孕畔⒎从车较嚓P(guān)性信息中。因此，例如，通過(guò)將 表示用戶的經(jīng)驗(yàn)程度的值用作用戶屬性信息，能夠只將有用戶經(jīng)驗(yàn)保證的適當(dāng)?shù)膮?shù)的組 合反映在輔助信息中，從而可提供高質(zhì)量的輔助信息。另外，本發(fā)明的信息處理裝置在上述信息處理裝置中還如下構(gòu)成所述輔助信息 獲取部使用所述用戶屬性信息來(lái)獲取所述輔助信息。根據(jù)如上構(gòu)成，能夠?qū)⒂脩舻膶傩孕畔⒎从吃谳o助信息中。因此，例如，通過(guò)將表 示用戶的經(jīng)驗(yàn)程度的值用作用戶屬性信息，能夠只將有用戶經(jīng)驗(yàn)保證的適當(dāng)?shù)膮?shù)的組合 反映在輔助信息中，從而可提供高質(zhì)量的輔助信息。另外，本發(fā)明的信息處理裝置在上述信息處理裝置中，還包括獲取用戶屬性信息的用戶屬性獲取部，該用戶屬性信息是表示執(zhí)行所述半導(dǎo)體制造工藝的用戶的屬性的值， 并且，所述儲(chǔ)存部將所述用戶屬性信息分別與所述執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè)種類的參數(shù) 的值的組對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存，所述相關(guān)性獲取部從由所述儲(chǔ)存部對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存的執(zhí)行結(jié)果、目 標(biāo)值以及多個(gè)種類的參數(shù)的值的多個(gè)組中，使用與所述多個(gè)組分別對(duì)應(yīng)起來(lái)的所述用戶屬 性信息來(lái)選擇多個(gè)在計(jì)算所述相關(guān)性系數(shù)時(shí)使用的所述執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè)種類的 參數(shù)的值的組，并使用所述選擇的組來(lái)計(jì)算所述相關(guān)性系數(shù)。根據(jù)如上構(gòu)成，能夠?qū)⒂脩舻膶傩孕畔⒎从吃谙嚓P(guān)性信息中。因此，例如，通過(guò)將 表示用戶的經(jīng)驗(yàn)程度的值用作用戶屬性信息，能夠只將有用戶經(jīng)驗(yàn)保證的適當(dāng)?shù)膮?shù)的組 合反映在輔助信息中，從而可提供高質(zhì)量的輔助信息。另外，本發(fā)明的信息處理裝置在上述信息處理裝置中還如下構(gòu)成所述輔助信息 獲取部從所述儲(chǔ)存部所儲(chǔ)存的參數(shù)的值中的使用與所述參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)的所述用戶屬 性信息而選擇的參數(shù)的值中，獲取所述輔助信息，所述輔助信息是所述相關(guān)性系數(shù)大的一 個(gè)以上種類的參數(shù)的值、并且是表示對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的值小的參數(shù)的值。根據(jù)如上構(gòu)成，能夠?qū)⒂脩舻膶傩孕畔⒎从吃谳o助信息中。因此，例如，通過(guò)將表 示用戶的經(jīng)驗(yàn)程度的值用作用戶屬性信息，能夠只將有用戶經(jīng)驗(yàn)保證的適當(dāng)?shù)膮?shù)的組合 反映在輔助信息中，從而可提供高質(zhì)量的輔助信息。(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明的信息處理裝置，能夠高效且迅速地調(diào)節(jié)半導(dǎo)體制造工藝中的參數(shù)。


圖1是實(shí)施方式中的信息處理裝置的框圖；圖2是具有該實(shí)施方式中的信息處理裝置的制造裝置管理系統(tǒng)的示意圖；圖3是示出該實(shí)施方式中的制造裝置200的一例子的圖；圖4是對(duì)該實(shí)施方式中的信息處理裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的流程圖；圖5是示出該實(shí)施方式中的管理表的圖；圖6是示出該實(shí)施方式的輸入畫(huà)面的一個(gè)顯示示例的圖；圖7是示出該實(shí)施方式中的相關(guān)性信息的圖；圖8是示出該實(shí)施方式中的輔助信息的一個(gè)顯示示例的圖；圖9是示出該實(shí)施方式中的管理表的圖；圖10是示出該實(shí)施方式中的輔助信息的顯示例的圖；圖11是示出該實(shí)施方式中的其他管理表的圖；圖12是示出該實(shí)施方式中的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的一個(gè)外觀示例的示意圖；圖13是示出該實(shí)施方式中的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的一個(gè)構(gòu)成例的圖；圖14a是示出該實(shí)施方式中的制造裝置200的一個(gè)例子的圖；圖14b是示出該實(shí)施方式中的制造裝置200的一個(gè)例子的一部分的圖。
具體實(shí)施例方式圖1是本實(shí)施方式中的信息處理裝置的框圖。
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另外，圖2是具有本實(shí)施方式中的信息處理裝置的制造裝置管理系統(tǒng)的示意圖。信息處理裝置10與制造裝置200經(jīng)由通信線路等以能夠收發(fā)信息的方式直接或 間接連接。信息處理裝置10與制造裝置200例如可通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)、無(wú)線LAN、有線LAN等網(wǎng)絡(luò) 相連接，也可以通過(guò)藍(lán)牙(注冊(cè)商標(biāo))等近距離無(wú)線通信來(lái)連接。另外，也可以通過(guò)信號(hào)線 直接連接。另外，信息處理裝置10也可以被裝配在制造裝置200內(nèi)。信息處理裝置10也 可以與用于測(cè)定對(duì)被處理基片的處理結(jié)果的測(cè)定裝置等相連接。另外，信息處理裝置10也 可以與用于收集對(duì)制造裝置200輸入的信息、從制造裝置200輸出的信息等的服務(wù)器等信 息處理裝置相連接，并從該信息處理裝置獲取信息。圖1是本實(shí)施方式中的信息處理裝置的框圖。信息處理裝置10包括目標(biāo)值接受部101、參數(shù)獲取部102、執(zhí)行結(jié)果獲取部103、 用戶屬性獲取部104、儲(chǔ)存部105、保存部106、相關(guān)性獲取部107、輔助信息獲取部108、以及 輸出部109。目標(biāo)值接受部101接收一種以上種類的目標(biāo)值，該目標(biāo)值是表示使用制造裝置 200對(duì)被處理基片進(jìn)行的預(yù)定的半導(dǎo)體制造工藝中的目標(biāo)的值。目標(biāo)值例如是有關(guān)通過(guò)制 造裝置20對(duì)處理對(duì)象、這里為被處理基片進(jìn)行處理的結(jié)果的目標(biāo)值。目標(biāo)值例如既可以是 將處理結(jié)果的值表示為目標(biāo)的值，也可以是將處理結(jié)果的值的偏差范圍表示為目標(biāo)的值。 例如，目標(biāo)值是作為與通過(guò)作為成膜裝置的制造裝置200來(lái)在被處理基片上直接或間接地 形成的膜的膜厚、膜質(zhì)量等有關(guān)的目標(biāo)的值，或者是作為與通過(guò)作為蝕刻裝置的制造裝置 200對(duì)被處理基片或被處理基片上的膜等進(jìn)行的蝕刻深度、形狀等有關(guān)的目標(biāo)的值等等。例 如，膜厚的目標(biāo)值和膜質(zhì)量的目標(biāo)值是不同種類的目標(biāo)值。另外，也可以是指定這些值的偏 差范圍的值。舉具體例來(lái)說(shuō)，目標(biāo)值是表示通過(guò)制造裝置200形成的膜的膜厚的目標(biāo)的值， 例如“l(fā)Onm”等。目標(biāo)值例如由表示目標(biāo)對(duì)象的信息和其值的組合構(gòu)成，但也可以僅為值。 另外，目標(biāo)值也可以是作為與處理時(shí)間等處理狀態(tài)有關(guān)的目標(biāo)的值等。目標(biāo)值接受部101 也可以接收多個(gè)種類的目標(biāo)值。例如，也可以接收對(duì)膜厚的目標(biāo)值以及有關(guān)膜質(zhì)量的目標(biāo) 值。被處理基片例如是半導(dǎo)體晶片、用于有機(jī)膜的玻璃基片、液晶面板基片等用于半導(dǎo)體裝 置等的基片。半導(dǎo)體制造工藝?yán)缡菍?duì)被處理基片進(jìn)行的、成膜處理、蝕刻處理、摻雜處理、 熱氧化處理等處理。使用被處理基片制造的半導(dǎo)體裝置例如是集成電路、有機(jī)EL顯示器、 液晶面板等。在此所說(shuō)的接受例如是從輸入單元的接受、接收從其他設(shè)備等發(fā)送過(guò)來(lái)的輸 入信號(hào)、從記錄介質(zhì)等讀出信息等。目標(biāo)值的輸入單元可以是任意的，例如數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵 盤(pán)、鼠標(biāo)、或由菜單畫(huà)面構(gòu)成的輸入單元等。目標(biāo)值接受部101可通過(guò)數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)等 輸入單元的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器、菜單畫(huà)面的控制軟件等來(lái)實(shí)現(xiàn)。參數(shù)獲取部102獲取與制造裝置200有關(guān)的執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝時(shí)的一種以上種 類的參數(shù)的值。具體地說(shuō)，獲取為得到上述的目標(biāo)值而執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝時(shí)的一種以上 種類、優(yōu)選多個(gè)種類的參數(shù)的值。執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝時(shí)的參數(shù)的值例如是制造裝置200 執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝時(shí)所利用的配方(recipe)的參數(shù)的值，例如是用于指定工藝步驟及 其設(shè)定條件等的參數(shù)的值，或者是裝置的參數(shù)的值，例如用于設(shè)定通常用戶不能變更的靜 態(tài)的加熱器等的參數(shù)的值。另外，也可以將在執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝時(shí)等的情況下制造裝置 200自身無(wú)法控制的值等信息作參數(shù)的值而獲取。制造裝置200自身無(wú)法控制的信息例如 是在一個(gè)半導(dǎo)體制造工藝的執(zhí)行中向制造裝置200供應(yīng)的電量、材料氣體的流量、排氣流
8量、在制造裝置200中測(cè)定的溫度等。可利用一個(gè)以上的溫度傳感器、一個(gè)以上的振動(dòng)傳感 器、一個(gè)以上的流量傳感器等在制造裝置200中獲取該制造裝置200自身無(wú)法控制的信息。 除此之外，制造裝置200自身無(wú)法控制的信息還包括制造裝置200的部件的區(qū)別，例如用于 產(chǎn)生等離子體的縫隙天線的區(qū)別等信息。在此，如果根據(jù)參數(shù)的值而控制對(duì)象等不同，則認(rèn) 為該參數(shù)的值彼此是不同的種類。例如，第一加熱器的設(shè)定溫度和第二加熱器的設(shè)定溫度 是不同種類的參數(shù)的值。參數(shù)獲取部102可以以任意方式獲取參數(shù)的值。例如，參數(shù)獲取部 102可以通過(guò)接受來(lái)獲取從數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等輸入單元輸入的參數(shù)的值。另外，也可 以通過(guò)接收來(lái)獲取從制造裝置200等輸出的參數(shù)的值。另外，也可以通過(guò)讀出來(lái)獲取保存 在存儲(chǔ)器等中的參數(shù)的值。參數(shù)的值的輸入單元可以是任意的，例如數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)、鼠 標(biāo)、或由菜單畫(huà)面構(gòu)成的輸入單元等。參數(shù)獲取部102通?？赏ㄟ^(guò)數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)等輸入 單元的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器、從記錄介質(zhì)等讀出信息的單元的驅(qū)動(dòng)器、通信單元的驅(qū)動(dòng)器、菜單畫(huà)面 的控制軟件等來(lái)實(shí)現(xiàn)。也可以將參數(shù)獲取部102所獲取的參數(shù)的值從圖中沒(méi)有示出的輸出 部等向制造裝置200輸出，并由制造裝置200使用從信息處理裝置10輸出的參數(shù)的值來(lái)進(jìn) 行半導(dǎo)體制造工藝中的控制。執(zhí)行結(jié)果獲取部103獲取一個(gè)以上的執(zhí)行結(jié)果，該執(zhí)行結(jié)果是表示執(zhí)行半導(dǎo)體制 造工藝的結(jié)果的值。具體地說(shuō)，執(zhí)行結(jié)果獲取部103獲取表示在設(shè)定上述的目標(biāo)值并指定 上述的參數(shù)的值而執(zhí)行了半導(dǎo)體制造工藝時(shí)所得到的結(jié)果的值的一個(gè)以上的執(zhí)行結(jié)果。執(zhí) 行結(jié)果獲取部103通常接受與目標(biāo)值接受部101所接受的目標(biāo)值相對(duì)應(yīng)的執(zhí)行結(jié)果。執(zhí)行 結(jié)果是從執(zhí)行處理后的被處理基片獲取的關(guān)于目標(biāo)值與作為目標(biāo)的項(xiàng)目相同的項(xiàng)目的值。 具體地說(shuō)，在目標(biāo)值接受部101接受了有關(guān)膜厚的目標(biāo)值的情況下，執(zhí)行結(jié)果獲取部103獲 取與被處理基片的膜厚有關(guān)的作為測(cè)定值的執(zhí)行結(jié)果。執(zhí)行結(jié)果獲取部103可以以任意方 式獲取執(zhí)行結(jié)果。例如，執(zhí)行結(jié)果獲取部103可以通過(guò)接受來(lái)獲取從數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)、鼠 標(biāo)等輸入單元輸入的執(zhí)行結(jié)果。另外，也可以通過(guò)接收來(lái)獲取從用于測(cè)定被處理基片的狀 態(tài)等的圖中沒(méi)有示出的裝置、例如用于測(cè)定在被處理基片上形成的膜的膜厚等的裝置等輸 出的作為測(cè)定結(jié)果的執(zhí)行結(jié)果。另外，也可以通過(guò)讀出來(lái)獲取保存在存儲(chǔ)器等中的執(zhí)行結(jié) 果。執(zhí)行結(jié)果的輸入單元是可以是任意的，例如數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、或由菜單畫(huà)面構(gòu)成 的輸入單元等。執(zhí)行結(jié)果獲取部103通?？赏ㄟ^(guò)數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)等輸入單元的設(shè)備驅(qū)動(dòng) 器、從記錄介質(zhì)等讀出信息的單元的驅(qū)動(dòng)器、通信單元的驅(qū)動(dòng)器、菜單畫(huà)面的控制軟件等來(lái) 實(shí)現(xiàn)。用戶屬性獲取部104獲取用戶屬性信息，該用戶屬性信息是表示執(zhí)行半導(dǎo)體制造 工藝的用戶的屬性的值。執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝的用戶是指向信息處理裝置10中輸入上述 目標(biāo)值并使用制造裝置200執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝的用戶。用戶屬性信息例如是如用戶的姓 名、職員編號(hào)、ID等用于識(shí)別用戶的識(shí)別信息、或者用戶所屬的部門(mén)、或者職責(zé)、或者用戶的 工齡、或者將用戶的經(jīng)驗(yàn)數(shù)值化了的值、或者按裝置計(jì)的用戶使用制造裝置的經(jīng)驗(yàn)?zāi)陻?shù)等。 如果不利用用戶屬性信息，則也可以省略該用戶屬性獲取部104。用戶屬性獲取部104可以 以任意方式獲取用戶屬性信息。例如，也可以獲取由圖中沒(méi)有示出的接受部等接受的用戶 屬性信息。另外，也可以利用由圖中沒(méi)有示出的接受部接受的用戶ID從圖中沒(méi)有示出的數(shù) 據(jù)庫(kù)中通過(guò)檢索來(lái)獲取與用戶ID對(duì)應(yīng)起來(lái)的用戶屬性信息。另外，也可以將在輸入上述目 標(biāo)值等時(shí)登錄在信息處理裝置10中的用戶的用戶ID用作檢索關(guān)鍵字并從圖中沒(méi)有示出的
9數(shù)據(jù)庫(kù)中通過(guò)檢索來(lái)獲取與登錄時(shí)的用戶ID對(duì)應(yīng)起來(lái)的用戶屬性信息?；蛘?，也可以將正 在運(yùn)行制造裝置200的用戶的用戶ID等發(fā)送到制造裝置200，并讀出與該用戶ID對(duì)應(yīng)的用 戶屬性信息。用戶屬性信息的輸入單元可以是任意的，例如數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、或者由 菜單畫(huà)面構(gòu)成的輸入單元等。用戶屬性獲取部104通?？赏ㄟ^(guò)數(shù)字小鍵盤(pán)、鍵盤(pán)等輸入單 元的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器、從記錄介質(zhì)讀出信息的單元的驅(qū)動(dòng)器、通信單元的驅(qū)動(dòng)器、菜單畫(huà)面的控 制軟件等來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，如果需要進(jìn)行檢索等處理，則可通過(guò)MPU、存儲(chǔ)器等來(lái)實(shí)現(xiàn)用戶屬性 獲取部104。在此情況下，通常，通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)用戶屬性獲取部104的處理步驟，該軟件被 記錄在ROM等記錄介質(zhì)中。不過(guò)，也可以通過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí)現(xiàn)。儲(chǔ)存部105將一個(gè)以上的目標(biāo)值、由執(zhí)行結(jié)果獲取部103獲取的一個(gè)以上的執(zhí)行 結(jié)果、以及由參數(shù)獲取部102獲取的一種以上種類的參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存。具體地說(shuō)，儲(chǔ) 存部105將針對(duì)同一半導(dǎo)體制造工藝的目標(biāo)值、參數(shù)的值、以及執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存。對(duì) 應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存例如是指將執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、參數(shù)的值儲(chǔ)存為同一記錄的不同屬性值?；蛘?， 也可以考慮為將識(shí)別執(zhí)行結(jié)果的信息、識(shí)別目標(biāo)值的信息、以及識(shí)別參數(shù)的值的信息儲(chǔ)存 為同一記錄的不同屬性值。另外，對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存也可以考慮為例如將對(duì)應(yīng)的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo) 值、參數(shù)的值作為一個(gè)組來(lái)儲(chǔ)存。而且，儲(chǔ)存部105也可以將用戶屬性信息與目標(biāo)值等同 樣地與由執(zhí)行結(jié)果獲取部103獲取的執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存。用戶屬性信息與執(zhí)行結(jié)果只 要在結(jié)果上被對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存即可，例如用戶屬性信息可以與目標(biāo)值或參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ) 存，其中目標(biāo)值或參數(shù)的值與執(zhí)行結(jié)果相對(duì)應(yīng)。另外，用戶屬性信息與執(zhí)行結(jié)果被對(duì)應(yīng)起來(lái) 也可以被認(rèn)為是與該執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)起來(lái)的目標(biāo)值和參數(shù)的值與用戶屬性信息對(duì)應(yīng)起來(lái)。儲(chǔ) 存部105既可以在內(nèi)部具有用于儲(chǔ)存執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、參數(shù)的值、以及用戶屬性信息的保 存部，也可以將執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、參數(shù)的值、以及用戶屬性信息儲(chǔ)存在外部的保存部等中。 在此，對(duì)儲(chǔ)存部105向后述的保存部106中儲(chǔ)存這些信息的情況進(jìn)行說(shuō)明。儲(chǔ)存部105通 ?？赏ㄟ^(guò)MPU、存儲(chǔ)器等來(lái)實(shí)現(xiàn)。儲(chǔ)存部105的處理步驟通常通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)，該軟件被記 錄在ROM等記錄介質(zhì)中。不過(guò)，也可以通過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí)現(xiàn)。在保存部106中保存通過(guò)儲(chǔ)存部105對(duì)應(yīng)起來(lái)的一種以上種類的執(zhí)行結(jié)果、一種 以上種類的目標(biāo)值、以及一種以上種類、優(yōu)選多個(gè)種類的參數(shù)的值。另外，也可以保存被對(duì) 應(yīng)起來(lái)的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、參數(shù)的值、以及用戶屬性信息。保存部106在物理上既可以是 一個(gè)，也可以是兩個(gè)以上。保存部106可通過(guò)易失性或非易失性的記錄介質(zhì)等來(lái)實(shí)現(xiàn)。相關(guān)性獲取部107獲取相關(guān)性信息，該相關(guān)性信息是與由儲(chǔ)存部105儲(chǔ)存的一個(gè) 以上種類的執(zhí)行結(jié)果、一個(gè)以上種類的目標(biāo)值以及一個(gè)以上種類的參數(shù)的值之間的相關(guān)性 有關(guān)的信息。具體地說(shuō)，相關(guān)性獲取部107使用一組以上的被對(duì)應(yīng)起來(lái)的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值 和參數(shù)的值來(lái)獲取相關(guān)性信息。另外，優(yōu)選如下相關(guān)性獲取部107使用目標(biāo)值一致或近似 的例如目標(biāo)值在預(yù)定范圍內(nèi)的一組以上的被對(duì)應(yīng)起來(lái)的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值和參數(shù)的值來(lái)獲 取相關(guān)性信息。目標(biāo)值近似例如可以認(rèn)為是目標(biāo)值的項(xiàng)目相同，并且其值在預(yù)先指定的范 圍內(nèi)。不過(guò)，不限制如何判斷目標(biāo)值之間是否近似。也可以使相關(guān)性獲取部107獲取由目 標(biāo)值接受部101接受的當(dāng)前的、即最新的目標(biāo)值，并使用與相同或近似于所述接受的最新 目標(biāo)值的目標(biāo)值對(duì)應(yīng)起來(lái)的一組以上的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及參數(shù)的值的組，來(lái)獲取相關(guān) 性f曰息。相關(guān)性信息例如是表示執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值和參數(shù)的值之間的相關(guān)性的信息。相關(guān)性信息既可以是表示執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及參數(shù)的值之間或者使用這些信息生成的信息之 間的相關(guān)性的高低、有無(wú)等的信息，也可以是利用相關(guān)性的高低或有無(wú)來(lái)獲取或構(gòu)成的信 息等。相關(guān)性的高低也可以認(rèn)為是相關(guān)性大小的高低，例如相關(guān)性系數(shù)的絕對(duì)值的高低。 相關(guān)性信息例如是指表示執(zhí)行結(jié)果和目標(biāo)值之間的偏差與各參數(shù)的值的相關(guān)性的信息?；?者，相關(guān)性信息也可以是表示在表示執(zhí)行結(jié)果和目標(biāo)值之間的偏差與各參數(shù)的值的相關(guān)性 的信息中相關(guān)性高的參數(shù)的種類的信息。在此所說(shuō)的偏差只要是能夠表示偏差的值即可， 例如可以認(rèn)為是執(zhí)行結(jié)果與目標(biāo)值之差，也可以認(rèn)為為差的絕對(duì)值。另外，也可以是將差 進(jìn)行指標(biāo)化或標(biāo)準(zhǔn)化了的值。在此所說(shuō)的偏差通常是指同一種類的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間 的偏差。相關(guān)性獲取部107例如針對(duì)執(zhí)行結(jié)果與目標(biāo)值之間的偏差求出各參數(shù)的值的相 關(guān)性。并且根據(jù)求出該相關(guān)性的結(jié)果，來(lái)判斷對(duì)執(zhí)行結(jié)果與目標(biāo)值之間的偏差影響大的、即 相關(guān)性高的參數(shù)。然后，獲取表示該影響大的參數(shù)的種類、即項(xiàng)目的信息，作為相關(guān)性信息。 或者，也可以在該影響大的參數(shù)的值中獲取執(zhí)行結(jié)果與目標(biāo)值之間的偏差最小時(shí)的參數(shù)的 值，作為相關(guān)性信息。例如，可使用相關(guān)性系數(shù)來(lái)判斷關(guān)于執(zhí)行結(jié)果、所述目標(biāo)值以及所述 參數(shù)之間的相關(guān)性的高低或有無(wú)。相關(guān)性獲取部107例如計(jì)算執(zhí)行結(jié)果和目標(biāo)值之間的偏差與各參數(shù)的相關(guān)性系 數(shù)。舉具體例來(lái)話，如果考慮由參數(shù)獲取部102獲取多個(gè)種類的參數(shù)的值，并且例如在儲(chǔ)存 部105中儲(chǔ)存了多組由儲(chǔ)存部105將執(zhí)行結(jié)果獲取部103所獲取的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值接受 部101所接受的目標(biāo)值、以及參數(shù)獲取部102所獲取的多個(gè)種類的參數(shù)的值、例如氣體流量 值以及處理溫度值等對(duì)應(yīng)起來(lái)的組的情況，則相關(guān)性獲取部107針對(duì)由儲(chǔ)存部105對(duì)應(yīng)起 來(lái)儲(chǔ)存的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè)種類的參數(shù)的值的多個(gè)組中的每一組，獲取表示目標(biāo) 值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的值，例如差值，并使用由所述獲取的表示偏差的值和與該表示 偏差的值對(duì)應(yīng)的多個(gè)種類的參數(shù)的值組成的多個(gè)組來(lái)計(jì)算多個(gè)種類的參數(shù)中的每種參數(shù) 與表示偏差的值之間的相關(guān)性系數(shù)。例如，針對(duì)多個(gè)種類的參數(shù)中的一種參數(shù)，基于多個(gè)由 該參數(shù)的值和上述算出的偏差值組成的組來(lái)計(jì)算該參數(shù)與偏差值之間的相關(guān)性系數(shù)。同樣 地，針對(duì)其他種類的參數(shù)，也分別計(jì)算該參數(shù)與偏差值之間的相關(guān)性系數(shù)?！氨硎灸繕?biāo)值與 執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的值”具體來(lái)說(shuō)是指表示相同測(cè)定項(xiàng)目等的、相同種類目標(biāo)值與執(zhí)行 結(jié)果之間的偏差的值?！芭c表示偏差的值對(duì)應(yīng)的多個(gè)種類的參數(shù)”是指與計(jì)算偏差時(shí)所利用 的目標(biāo)值以及執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)起來(lái)的多個(gè)種類的參數(shù)?！坝?jì)算多個(gè)種類參數(shù)中的每種參數(shù)與 表示上述偏差的值之間的相關(guān)性系數(shù)”是指計(jì)算參數(shù)的每一種類與表示偏差的值之間的相 關(guān)性系數(shù)，例如假定作為多個(gè)種類的參數(shù)而存在參數(shù)1和參數(shù)2的情況下，計(jì)算參數(shù)1與表 示偏差的值之間的相關(guān)性系數(shù)、以及參數(shù)2與表示偏差的值之間的相關(guān)性系數(shù)。相關(guān)性獲取部107也可以將上述算出的相關(guān)性系數(shù)作為相關(guān)性信息?；蛘?，也可 以根據(jù)算出的相關(guān)性系數(shù)的值來(lái)判斷對(duì)執(zhí)行結(jié)果與目標(biāo)值之間的偏差影響大的一個(gè)以上 種類的參數(shù)。具體地說(shuō)，判斷相關(guān)性系數(shù)的值大的一個(gè)以上種類的參數(shù)。相關(guān)性系數(shù)的值 大的一個(gè)以上種類的參數(shù)例如既可以是相關(guān)性系數(shù)的值大于閾值的參數(shù)，也可以是從相關(guān) 性系數(shù)的值大的一側(cè)起選擇的預(yù)定個(gè)數(shù)的參數(shù)、或從相關(guān)性系數(shù)的值大的一側(cè)起選擇的預(yù) 定比例的參數(shù)。比閾值大的值既可以包含閾值，或者也可以不包含閾值。另外，閾值例如既 可以是預(yù)選設(shè)定的值，也可以根據(jù)得到的相關(guān)性系數(shù)來(lái)決定。在后者的情況下，例如，閾值 可以是相關(guān)性系數(shù)的最大值乘以0. 9等比1小的值而得的值。此外，也可以獲取表示該影響大的參數(shù)的項(xiàng)目的信息作為相關(guān)性信息。或者，在該影響大的參數(shù)的值中獲取執(zhí)行結(jié)果 與目標(biāo)值之間的偏差最小時(shí)的參數(shù)的值，作為相關(guān)性信息。相關(guān)性系數(shù)的計(jì)算方法由于是 公知技術(shù)，因此省略說(shuō)明。另外，相關(guān)性獲取部107也可以使用其他多變量分析來(lái)判斷對(duì)執(zhí)行結(jié)果與目標(biāo)值 的差相關(guān)性高的參數(shù)。另外，當(dāng)在一組以上的被對(duì)應(yīng)起來(lái)的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及參數(shù)之中 包含多個(gè)種類的目標(biāo)值和執(zhí)行結(jié)果時(shí)，也可以按照對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值和執(zhí)行結(jié)果的組，求出與 一個(gè)以上種類的參數(shù)之間的相關(guān)性，判斷對(duì)執(zhí)行結(jié)果與目標(biāo)值之間的偏差影響大的參數(shù)， 并獲取表示該影響大的參數(shù)的項(xiàng)目的信息等，作為相關(guān)性信息。另外，相關(guān)性獲取部107也可以使用用戶屬性信息來(lái)獲取相關(guān)性信息。具體地說(shuō)， 針對(duì)與該用戶屬性信息對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值、執(zhí)行結(jié)果、參數(shù)的值，進(jìn)行基于用戶屬性信息的值的 加權(quán)來(lái)獲取相關(guān)性信息。例如，也可以如下相關(guān)性獲取部107獲取用戶屬性信息中作為 參數(shù)的指定對(duì)象的制造裝置的使用經(jīng)驗(yàn)?zāi)陻?shù)的值，并利用基于該使用經(jīng)驗(yàn)?zāi)陻?shù)的值的大小 而對(duì)與該用戶屬性信息對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值、執(zhí)行結(jié)果、參數(shù)的信息進(jìn)行了加權(quán)的信息，來(lái)獲取相 關(guān)性信息。另外，例如在該使用經(jīng)驗(yàn)?zāi)陻?shù)小于預(yù)先指定的年數(shù)的情況下，也可以使得在獲取 相關(guān)性信息時(shí)不利用與該用戶屬性信息對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值、執(zhí)行結(jié)果、參數(shù)的信息。即可以將權(quán) 重設(shè)為0。或者，例如，也可以是根據(jù)用戶屬性信息中表示用戶有使用經(jīng)驗(yàn)的制造裝置的信 息，來(lái)判斷在獲取相關(guān)性信息時(shí)是否利用與該用戶屬性信息對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值、執(zhí)行結(jié)果、參數(shù) 的信息。例如，也可以在獲取由儲(chǔ)存部105儲(chǔ)存的一個(gè)以上種類的執(zhí)行結(jié)果、一個(gè)以上種類 的目標(biāo)值、一個(gè)以上種類的參數(shù)之間的相關(guān)性信息時(shí)，不利用與下述用戶屬性信息對(duì)應(yīng)的 一個(gè)以上種類的執(zhí)行結(jié)果、一個(gè)以上種類的目標(biāo)值、一個(gè)以上種類的參數(shù)的值的組，其中所 述用戶屬性信息是指不含有表示與下述制造裝置有關(guān)的使用經(jīng)驗(yàn)的信息的用戶屬性信息， 其中所述制造裝置是指與作為參數(shù)的指定對(duì)象的制造裝置相同或相似的制造裝置。具體地 說(shuō)，相關(guān)性獲取部107可以在由儲(chǔ)存部105對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值和多個(gè)種類的 參數(shù)的值的多個(gè)組中，使用與這些多個(gè)組分別對(duì)應(yīng)起來(lái)的用戶屬性信息來(lái)選擇多個(gè)在計(jì)算 相關(guān)性系數(shù)時(shí)使用的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、多個(gè)種類的參數(shù)的值的組，并使用所述選擇的組來(lái) 計(jì)算所述相關(guān)性系數(shù)?！笆褂糜脩魧傩孕畔ⅰ眮?lái)“選擇”例如是指根據(jù)用戶屬性信息的值是否 滿足預(yù)定條件的判斷結(jié)果來(lái)選擇。另外，在計(jì)算相關(guān)性系數(shù)時(shí)，也可以根據(jù)用戶屬性信息來(lái) 改變執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、多個(gè)種類的參數(shù)的值的多個(gè)組的使用次數(shù)，由此進(jìn)行基于用戶屬性 信息的加權(quán)并計(jì)算相關(guān)性系數(shù)。例如，如果用戶屬性信息表示用戶為經(jīng)驗(yàn)較長(zhǎng)的用戶，則根 據(jù)經(jīng)驗(yàn)的長(zhǎng)度來(lái)準(zhǔn)備該用戶的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、多個(gè)種類的參數(shù)的值的多個(gè)組，如果用戶 屬性信息表示用戶為經(jīng)驗(yàn)較短的用戶，則僅準(zhǔn)備該用戶的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、多個(gè)種類的參 數(shù)的值的一個(gè)組。然后，基于準(zhǔn)備的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、多個(gè)種類的參數(shù)的值的多個(gè)組來(lái)計(jì) 算相關(guān)性系數(shù)，由此從結(jié)果上可得到增大了經(jīng)驗(yàn)長(zhǎng)的用戶的值的權(quán)重時(shí)的相關(guān)性系數(shù)。更 具體地說(shuō)，例如可以準(zhǔn)備與各用戶的經(jīng)驗(yàn)?zāi)陻?shù)相應(yīng)的組數(shù)的由執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè) 種類的參數(shù)的值組成的組，并基于該多個(gè)組的信息來(lái)獲得相關(guān)性信息，由此可得到依據(jù)經(jīng) 驗(yàn)?zāi)陻?shù)進(jìn)行了加權(quán)的相關(guān)性系數(shù)。由相關(guān)性獲取部107獲取的相關(guān)性信息等例如儲(chǔ)存在圖 中沒(méi)有示出的存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)等中。相關(guān)性獲取部107通?？赏ㄟ^(guò)MPU、存儲(chǔ)器等來(lái)實(shí) 現(xiàn)。相關(guān)性獲取部107的處理步驟通常通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄在ROM等記錄介質(zhì) 中。不過(guò)，也可以通過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
輔助信息獲取部108使用由相關(guān)性獲取部107獲取的相關(guān)性信息來(lái)獲取輔助信 息，該輔助信息是與針對(duì)目標(biāo)值接受部101所接受的目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)有關(guān)的信息。 針對(duì)目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)是指針對(duì)與當(dāng)前(或最新)的目標(biāo)值相同或接近的目標(biāo)值，對(duì) 目標(biāo)值與執(zhí)行值之差的相關(guān)性高的參數(shù)。具體地說(shuō)，輔助信息獲取部108使用針對(duì)下述目 標(biāo)值所獲取的相關(guān)性信息來(lái)構(gòu)成輔助信息，其中所述目標(biāo)值是與目標(biāo)值接受部101所接受 的當(dāng)前目標(biāo)值相同或近似的目標(biāo)值、例如相對(duì)于當(dāng)前目標(biāo)值落入預(yù)定范圍內(nèi)的目標(biāo)值。輔 助信息具體是指與對(duì)當(dāng)前目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)相關(guān)聯(lián)地向用戶示出的信息，例如是用于 顯示用戶在設(shè)定用于獲得目標(biāo)值的參數(shù)時(shí)可作為輔助利用的信息、例如成為輔助的信息的 信息。具體來(lái)說(shuō)是用于示出為了使執(zhí)行結(jié)果接近目標(biāo)值而應(yīng)調(diào)節(jié)的參數(shù)的、表示相關(guān)性高 的參數(shù)的信息或表示該參數(shù)的設(shè)定值的例子等的信息。輔助信息獲取部108例如從與當(dāng)前 目標(biāo)值相同或接近的目標(biāo)值對(duì)應(yīng)起來(lái)的由目標(biāo)值、執(zhí)行值和參數(shù)的值組成的組中的目標(biāo)值 與執(zhí)行結(jié)果之差小的組，獲取其相關(guān)性信息表示對(duì)目標(biāo)值與執(zhí)行值之差相關(guān)性高的參數(shù)的 值作為輔助信息，其中與當(dāng)前目標(biāo)值相同或接近的目標(biāo)值例如是相對(duì)于當(dāng)前目標(biāo)值落入預(yù) 定范圍內(nèi)的目標(biāo)值。舉具體例來(lái)說(shuō)，輔助信息獲取部108從由儲(chǔ)存部105儲(chǔ)存的參數(shù)的值 中獲取輔助信息，該輔助信息是由相關(guān)性獲取部107獲取的相關(guān)性系數(shù)大的一個(gè)以上種類 的參數(shù)的值、并且是表示對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的值小的參數(shù)的值。表示偏 差的值小的參數(shù)的值例如既可以是表示偏差的值比閾值小的參數(shù)的值，也可以是從表示偏 差的值小的一側(cè)起選擇的預(yù)定個(gè)數(shù)的參數(shù)的值，或者是從表示偏差的值小的一側(cè)起選擇的 預(yù)定比例的參數(shù)的值。比閾值小的值既可以包含閾值，或者也可以不包含閾值。另外，閾值 例如既可以是預(yù)選設(shè)定的值，也可以根據(jù)得到的偏差來(lái)決定。在后者的情況下，例如，閾值 可以是表示偏差的值的最大值乘以0. 9等比1小的值而得的值。輔助信息獲取部108也可以使用用戶屬性信息來(lái)獲取輔助信息。例如，輔助信息 獲取部108也可以從儲(chǔ)存部105所儲(chǔ)存的參數(shù)的值中的、使用與該參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)的用 戶屬性信息來(lái)選擇的參數(shù)的值，獲取輔助信息，該輔助信息是相關(guān)性系數(shù)大的一個(gè)以上種 類的參數(shù)的值、并且是表示對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的值小的參數(shù)的值?！笆褂?用戶屬性信息來(lái)選擇”例如是指根據(jù)用戶屬性信息的值是否滿足預(yù)定條件的判斷結(jié)果來(lái)選 擇。具體地也可以對(duì)保存在保存部106中的信息，基于與該信息對(duì)應(yīng)的用戶屬性信息來(lái)進(jìn) 行在構(gòu)成輔助信息時(shí)是否利用該信息的過(guò)濾。例如，輔助信息獲取部108也可以獲取表示 相關(guān)性高的參數(shù)種類的信息和下述組的參數(shù)的值等作為輔助信息，所述組是被保存在保存 部106中的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、參數(shù)的值以及用戶屬性信息的組中與當(dāng)前目標(biāo)值相同或接 近的目標(biāo)值相對(duì)應(yīng)、并且與用戶屬性信息中將用戶工齡等經(jīng)驗(yàn)長(zhǎng)度數(shù)值化后的值高的用戶 屬性信息相對(duì)應(yīng)的組。或者，也可以根據(jù)用戶的姓名、職責(zé)等來(lái)對(duì)與該用戶對(duì)應(yīng)的參數(shù)的值 等進(jìn)行過(guò)濾以使其不被輸出為輔助信息。另外，輔助信息也可以僅獲取由相關(guān)性獲取部107 獲取的相關(guān)性信息中與目標(biāo)值接受部101所接受的目標(biāo)值相對(duì)應(yīng)的相關(guān)性信息，具體來(lái)說(shuō) 僅獲取對(duì)應(yīng)于與在步驟S101中獲取的目標(biāo)值相同或接近的目標(biāo)值的相關(guān)性信息，并將該 相關(guān)性信息配置為根據(jù)需要示出模板的信息等，由此構(gòu)成用于顯示的信息。對(duì)于輔助信息 獲取部108獲取輔助信息的定時(shí)、觸發(fā)(trigger)等不做限制。例如，輔助信息獲取部108 既可以在分別接受或獲取了目標(biāo)值、參數(shù)的值以及執(zhí)行結(jié)果時(shí)、或者除此之外還獲取了用 戶屬性信息時(shí)進(jìn)行輔助信息的獲取，也可以在從用戶接受了顯示輔助信息的指示時(shí)、或者
13在被輸入了目標(biāo)值的時(shí)間點(diǎn)獲取輔助信息。另外，輔助信息獲取部108也可以只有在最新 的目標(biāo)值與最新的執(zhí)行結(jié)果之差為預(yù)先指定的范圍以外的值時(shí)才獲取輔助信息。輔助信息 獲取部108通常可通過(guò)MPU、存儲(chǔ)器等來(lái)實(shí)現(xiàn)。輔助信息獲取部108的處理步驟通常通過(guò) 軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄在ROM等記錄介質(zhì)中。不過(guò)，也可以通過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí) 現(xiàn)。輸出部109輸出由信息獲取部獲取的輔助信息。在此所述的輸出是指包含向顯示 器進(jìn)行顯示、通過(guò)打印機(jī)向紙張等上進(jìn)行印刷、向外部裝置等進(jìn)行發(fā)送等的概念。輸出部 109既可以認(rèn)為包含顯示器、打印機(jī)等輸出裝置，也可以認(rèn)為不包含顯示器、打印機(jī)等輸出 裝置。輸出部109可通過(guò)輸出裝置的驅(qū)動(dòng)軟件、或者輸出裝置的驅(qū)動(dòng)軟件和輸出裝置等來(lái) 實(shí)現(xiàn)。制造裝置200是對(duì)被處理基片、例如半導(dǎo)體晶片、用于有機(jī)膜的玻璃基片、液晶面 板基片等進(jìn)行預(yù)定的半導(dǎo)體制造工藝的裝置。制造裝置200例如進(jìn)行成膜處理、蝕刻處理、 熱氧化處理等針對(duì)被處理基片的各種處理。制造裝置200例如是半導(dǎo)體晶片制造裝置等制 造裝置、用于有機(jī)EL顯示器的成膜裝置、液晶面板制造裝置、等離子顯示器用面板制造裝置等等。圖3是示出制造裝置200的一例子的圖。在此，例舉制造裝置200為RLSA(Radial Line Slot Antenna，徑向線縫隙天線)等離子CVD裝置的例子進(jìn)行說(shuō)明，但制造裝置200 也可以是其他的制造裝置。RLSA等離子CVD裝置具有頂棚面開(kāi)口的圓筒狀處理容器300。在頂棚面的開(kāi)口處 嵌入有噴淋板305。處理容器305與噴淋板305通過(guò)在處理容器300內(nèi)壁的臺(tái)階部與噴淋 板305的下表面外周部之間配置0型環(huán)310而被密封，由此形成了實(shí)施等離子處理的處理 室U。例如，處理容器300由鋁等金屬制成，噴淋板305由鋁等金屬或電介質(zhì)制成，并且被電 接地。載置晶片W的載置臺(tái)(承載盤(pán))315經(jīng)由絕緣體320設(shè)置在處理容器300的底部。 高頻電源325b經(jīng)由耦合器325a連接在載置臺(tái)315上，從而通過(guò)從高頻電源325b輸出的高 頻電力來(lái)對(duì)處理容器300的內(nèi)部施加預(yù)定的偏壓。另外，高電壓直流電源330b經(jīng)由線圈 330a連接在承載盤(pán)310上，從而通過(guò)從高電壓直流電源330b輸出的直流電壓而靜電吸附基 片G。另外，在載置臺(tái)315的內(nèi)部設(shè)置有加熱器331，從而通過(guò)從加熱器用電源332供應(yīng)的 電力來(lái)加熱晶片W。另外，在載置臺(tái)315的內(nèi)部設(shè)置有冷卻套管335，該冷卻套管335供應(yīng) 用于冷卻晶片W的冷卻水。噴淋板305在其上部被蓋板340覆蓋。在蓋板340的頂面設(shè)置有徑向線縫隙天線 345。徑向線縫隙天線345包括形成有許多圖中沒(méi)有示出的縫隙的圓盤(pán)上的縫隙板345a ； 保持縫隙板345a的圓盤(pán)上的天線主體345b ；以及設(shè)置在縫隙板345a與天線主體345b之 間并由氧化鋁(A1203)等電介質(zhì)形成的滯波板345c。關(guān)于徑向線縫隙天線345，例如準(zhǔn)備有 小型、大型等大小不等的，或者模式A、模式B等縫隙模式等不同的天線，并且可根據(jù)用途等 適當(dāng)替換。徑向線縫隙天線345經(jīng)由同軸導(dǎo)波管350與外部的微波發(fā)生器355連接。在處理容器300上安裝有真空泵(圖中沒(méi)有示出)，從而經(jīng)由排氣管360排出處理 容器300內(nèi)的氣體，由此將處理室U減壓至期望的真空度。氣體供應(yīng)源365包括多個(gè)閥V、多個(gè)質(zhì)量流量控制器MFC、供應(yīng)一種以上第一材料氣體和一種以上第二材料氣體的多個(gè)材料氣體供應(yīng)源365a。通過(guò)分別控制各閥V的開(kāi)閉以 及各質(zhì)量流量控制器MFC的開(kāi)度，使氣體供應(yīng)源365向處理容器300的內(nèi)部供應(yīng)期望濃度 的氣體。這樣，第一材料氣體經(jīng)過(guò)第一流道370a從貫穿噴淋板305的導(dǎo)氣管375被供應(yīng)到 處理室U的上方，第二材料氣體經(jīng)過(guò)第二流道370b從一體式氣體管道380被供應(yīng)到比第一 材料氣體更靠下的位置。通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)，使得各種氣體通過(guò)從微波發(fā)生器355經(jīng)由縫隙 以及噴淋板305射入處理室U內(nèi)的微波而生成等離子體，并通過(guò)生成的等離子體在基片上 形成膜。在制造裝置200上還設(shè)置有圖中沒(méi)有示出的控制部?？刂撇扛鶕?jù)預(yù)先設(shè)定的配 方的參數(shù)的值、或者根據(jù)針對(duì)制造裝置200預(yù)先設(shè)定的通常用戶無(wú)法改變的靜態(tài)參數(shù)的值 等，來(lái)控制制造裝置200的各種動(dòng)作，其中配方用于設(shè)定對(duì)處理對(duì)象的處理?xiàng)l件等。例如， 在設(shè)定有處理溫度的情況下，控制部根據(jù)圖中沒(méi)有示出的一個(gè)以上的溫度檢測(cè)部測(cè)出的溫 度，來(lái)對(duì)加熱器等的輸出進(jìn)行所謂的反饋控制，從而控制處理容器300內(nèi)的溫度使其達(dá)到 通過(guò)設(shè)定值設(shè)定的溫度。另外，控制部控制處理容器300內(nèi)的壓力使其達(dá)到通過(guò)設(shè)定值設(shè) 定的壓力。例如，也可以將預(yù)選保存的基準(zhǔn)值作為控制的目標(biāo)值來(lái)進(jìn)行這樣的控制。另外， 控制部還進(jìn)行除此以外的制造裝置200整體的控制，例如氣體流量的控制、閥開(kāi)閉控制等， 但由于這些控制是公知技術(shù)，在此省略說(shuō)明。上述的參數(shù)的值被儲(chǔ)存在圖中沒(méi)有示出的存 儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)中，并根據(jù)需要由控制部讀出。所述儲(chǔ)存也包含臨時(shí)存儲(chǔ)。對(duì)于如何接受 這些參數(shù)的值以及如何儲(chǔ)存到存儲(chǔ)介質(zhì)等中，不進(jìn)行限制。例如，也可以通過(guò)制造裝置200 的圖中沒(méi)有示出的接受部等將由用戶等輸入的參數(shù)的值儲(chǔ)存到存儲(chǔ)介質(zhì)中。也可以通過(guò)制 造裝置200的圖中沒(méi)有示出的接受部接受從信息處理裝置10等其他裝置輸出的參數(shù)的值， 并將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)介質(zhì)等中。另外，也可以替代儲(chǔ)存，由控制部直接接受參數(shù)的值并用于控 制和指定動(dòng)作。另外，控制部也可以將由圖中沒(méi)有示出的溫度檢測(cè)部測(cè)出的信息經(jīng)由圖中 沒(méi)有示出的輸出部等輸出到信息處理裝置10?？刂撇客ǔ？赏ㄟ^(guò)MPU、存儲(chǔ)器等來(lái)實(shí)現(xiàn)?？?制部的處理步驟通常通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)，該軟件被記錄在ROM等記錄介質(zhì)中。不過(guò)，也可以通 過(guò)硬件(專用電路)來(lái)實(shí)現(xiàn)。圖14a、圖14b是示出制造裝置200的其他例子的圖。在這些圖中，示出了制造裝 置200為形成有機(jī)膜時(shí)所使用的有機(jī)膜成膜裝置的例子。如圖14a所示，蒸鍍?cè)磫卧?00e 1 600e3具有相同的內(nèi)部構(gòu)造。蒸鍍?cè)磫卧?00e 的端部連接在圖中沒(méi)有示出的氬氣供應(yīng)源上，從氬氣供應(yīng)源輸出的氬氣被供應(yīng)到蒸鍍?cè)磫?元600e的內(nèi)部。供應(yīng)的氬氣流經(jīng)分多階段設(shè)置的多個(gè)氣體流道后被送入第一材料氣化室U 內(nèi)。在第一材料氣化室U的材料容器610中容納有有機(jī)成膜材料，從而通過(guò)加熱材料容器 610來(lái)氣化有機(jī)成膜材料。氣化了的有機(jī)成膜材料將導(dǎo)入到第一材料氣化室U中的氬氣作為載氣，在輸送通 道615中飛向輸送機(jī)構(gòu)200。如在圖14a中用B-B面橫向剖開(kāi)蒸鍍機(jī)構(gòu)1900的圖14b所 示，通過(guò)了輸送通道615的有機(jī)分子和載氣從設(shè)置在運(yùn)送機(jī)構(gòu)200內(nèi)部的輸送通道的迂回 通道205a經(jīng)由閥300進(jìn)入輸送通道的主通道205b內(nèi)，并如圖14a所示那樣被運(yùn)向噴出機(jī) 構(gòu) 400。在閥300上安裝有用于開(kāi)閉閥300的桿305，一旦通過(guò)桿305而關(guān)閉閥300，則成膜 材料以及載氣被閥300攔截，不能再運(yùn)送。一旦通過(guò)桿305而開(kāi)啟閥300，則成膜材料以及載氣流經(jīng)由閥300被運(yùn)送到輸送通道的主通道205b內(nèi)。這樣，在蒸鍍?cè)磫卧?00el 600e3 中氣化了的有機(jī)分子中，只有對(duì)形成膜必需的有機(jī)分子通過(guò)輸送通道的主通道205b，并在 通過(guò)的期間一邊混合一邊被運(yùn)送至噴出機(jī)構(gòu)400。噴出機(jī)構(gòu)400在其上部具有噴出部405，在其下部具有分支部410。噴出部405在 其內(nèi)部具有中空的空間S，并在頂面中心處具有圖中沒(méi)有示出的用于噴出成膜分子的開(kāi)口。 被載氣運(yùn)送到噴出機(jī)構(gòu)400的有機(jī)分子流經(jīng)下述四個(gè)分支路410中的任一個(gè)，并從與噴出 部405的空間S相連通的開(kāi)口 S1被噴向基片G，其中所述四個(gè)分支路410是為了使通過(guò)分 支路410的載氣和有機(jī)分子的傳導(dǎo)率相等而以從分支源至分支終端為等距離的方式分階 段分出的?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)1410包括載置臺(tái)1410a、支撐體1410b、以及滑座機(jī)構(gòu)1410c。載置臺(tái) 1410a被支撐體1410b支撐，并通過(guò)從圖中沒(méi)有示出的高電壓電源施加的高電壓來(lái)靜電吸 附基片G?；鶛C(jī)構(gòu)1410c例如被安裝在處理容器Ch內(nèi)的頂棚部并被接地，用于使基片G 與載置臺(tái)1410a、支撐體1410b —起沿處理容器Ch的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)，由此使基片G在比噴出 機(jī)構(gòu)400稍高的噴出機(jī)構(gòu)400的上空中平行移動(dòng)。另外，在載置臺(tái)1410a內(nèi)部設(shè)置有冷卻 套管1411，該冷卻套管1411供應(yīng)用于冷卻基片的冷卻水。另外，在該制造裝置200中也可以與圖3中所說(shuō)明的制造裝置同樣地設(shè)置圖中沒(méi) 有示出的控制部。接下來(lái)，使用圖4的流程圖來(lái)說(shuō)明信息處理裝置的動(dòng)作。(步驟S401)目標(biāo)值接受部101判斷是否接受了一個(gè)以上種類的目標(biāo)值。當(dāng)已接 受時(shí)，將目標(biāo)值臨時(shí)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)中，進(jìn)入步驟S402。當(dāng)沒(méi)有接受時(shí)，返回步驟 S401。(步驟S402)參數(shù)獲取部102判斷是否獲取了一個(gè)以上種類的參數(shù)的值。當(dāng)已獲 取時(shí)，將參數(shù)的值臨時(shí)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)中，進(jìn)入步驟S403。當(dāng)沒(méi)有獲取時(shí)，返回步 驟 S402。(步驟S403)用戶屬性獲取部104判斷是否獲取了用戶屬性信息。當(dāng)已獲取時(shí)，將 用戶屬性信息臨時(shí)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)中，進(jìn)入步驟S404。當(dāng)沒(méi)有獲取時(shí)，返回步驟 S403。另外，在省略用戶屬性獲取部104的情況下，該處理被省去。(步驟S404)執(zhí)行結(jié)果獲取部103判斷是否獲取了與在步驟S401中接受的所有目 標(biāo)值相對(duì)應(yīng)的執(zhí)行結(jié)果。當(dāng)已獲取時(shí)，將執(zhí)行結(jié)果臨時(shí)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)中，進(jìn)入步 驟S405。當(dāng)沒(méi)有獲取時(shí)，返回步驟S404。(步驟S405)輔助信息獲取部108判斷是否輸出輔助信息。例如，可以在從用戶經(jīng) 由圖中沒(méi)有示出的接受部而接受了輸出輔助信息的指示時(shí)判斷為輸出輔助信息，也可以僅 當(dāng)在步驟S401中接受的目標(biāo)值與在步驟S404中獲取的執(zhí)行結(jié)果之間的偏差超過(guò)了預(yù)定范 圍、例如超過(guò)了預(yù)先指定的比率時(shí)判斷為輸出輔助信息。另外，也可以根據(jù)在步驟S403中 獲取的用戶屬性信息來(lái)判斷是否輸出。例如，也可以僅在用戶屬性信息為用戶對(duì)制造裝置 200的使用經(jīng)驗(yàn)?zāi)陻?shù)小于或等于預(yù)定年數(shù)的情況、或者為當(dāng)前處于登錄的制造裝置200的 使用次數(shù)小于或等于預(yù)定次數(shù)的情況等時(shí)，判斷為輸出輔助信息。當(dāng)輸出輔助信息時(shí)進(jìn)入 步驟S406，當(dāng)不輸出輔助信息時(shí)進(jìn)入步驟S410。另外，在始終輸出輔助信息的情況下，該步 驟可以省去。
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(步驟S406)輔助信息獲取部108判斷在由相關(guān)性獲取部107獲取的相關(guān)性信息 中是否存在與在步驟S101中獲取的目標(biāo)值相對(duì)應(yīng)的相關(guān)性信息，具體地說(shuō)對(duì)應(yīng)于與在步 驟S101中獲取的目標(biāo)值相同或接近的目標(biāo)值的相關(guān)性信息。當(dāng)存在時(shí)進(jìn)入步驟S407，當(dāng)不 存在時(shí)進(jìn)入步驟S410。(步驟S407)輔助信息獲取部108從由相關(guān)性獲取部107獲取的相關(guān)性信息中獲 取與在步驟S101中獲取的目標(biāo)值相對(duì)應(yīng)的相關(guān)性信息，并構(gòu)成輔助信息。(步驟S408)輸出部109輸出由輔助信息獲取部108構(gòu)成的輔助信息。例如，輸出 部109在圖中沒(méi)有示出的監(jiān)視器等上顯示輔助信息。(步驟S409)輸出部109判斷是否結(jié)束輔助信息的輸出。例如，可以在從用戶接受 到結(jié)束輔助信息的輸出的指示、或進(jìn)行用于修正參數(shù)值等的輸入的指示等的情況下判斷為 結(jié)束輸出。另外，也可以在從開(kāi)始輸出起經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間時(shí)判斷為結(jié)束輸出。當(dāng)結(jié)束輸出 時(shí)進(jìn)入步驟S410，當(dāng)不結(jié)束時(shí)返回步驟S409。(步驟S410)儲(chǔ)存部105將在步驟S401至步驟S404中接受或獲取的目標(biāo)值、參數(shù) 的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)起來(lái)并儲(chǔ)存到保存部106中。(步驟S411)相關(guān)性獲取部107使用在步驟S410中儲(chǔ)存的目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶 屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果的組、以及已存儲(chǔ)在保存部106中的目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信 息以及執(zhí)行結(jié)果的組，來(lái)獲取相關(guān)性信息。具體地說(shuō)，讀出相對(duì)于在步驟S410中儲(chǔ)存的目 標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果的組而具有相同或接近的目標(biāo)值的目標(biāo)值、參 數(shù)的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果的組，并使用在步驟S410中儲(chǔ)存的組和讀出的組來(lái)獲 取相關(guān)性信息。另外，當(dāng)在保存部106中未保存有相對(duì)于在步驟S410中儲(chǔ)存的目標(biāo)值、參 數(shù)的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果的組而具有相同或接近的目標(biāo)值的目標(biāo)值、參數(shù)的值、 用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果的組時(shí)，不進(jìn)行該相關(guān)性信息的計(jì)算。(步驟S412)相關(guān)性獲取部107將在步驟S411中獲取的相關(guān)性信息儲(chǔ)存到圖中沒(méi) 有示出的存儲(chǔ)器、硬盤(pán)等存儲(chǔ)介質(zhì)中。另外，當(dāng)已儲(chǔ)存有關(guān)于相同目標(biāo)值的相關(guān)性信息時(shí)， 以使得最新的相關(guān)性信息能夠被指定的方式追加相關(guān)性信息。追加時(shí)也可以刪除不需要的 先前的相關(guān)性信息。另外，當(dāng)在步驟S411中未能獲取相關(guān)性信息時(shí)，忽略該處理。然后回 到步驟S401。另外，在圖4的流程圖中，可以適當(dāng)?shù)馗淖儾襟ES401至步驟S403的處理順序等。另外，步驟S410的處理也可以在步驟S404以后的任意階段進(jìn)行。另外，步驟S411以及步驟S412的處理也可以在步驟S405和步驟S405之間進(jìn)行。另外，在步驟S410中，當(dāng)目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之差不落入預(yù)先指定的范圍內(nèi)時(shí)，也 可以在保存部106中不存儲(chǔ)目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息和執(zhí)行結(jié)果。另外，在步驟S405中根據(jù)目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之差是否處于預(yù)先指定的范圍內(nèi)來(lái) 判斷是否輸出輔助信息的情況下，當(dāng)在步驟S409中結(jié)束了輸出時(shí)，也可以不將目標(biāo)值、參 數(shù)的值、用戶屬性信息和執(zhí)行結(jié)果儲(chǔ)存到保存部106中而返回到步驟S401。另外，在步驟S410中，例如也可以根據(jù)表示用戶的經(jīng)驗(yàn)?zāi)陻?shù)等的用戶屬性信息， 而在保存部106中不儲(chǔ)存目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息和執(zhí)行結(jié)果。另外，在圖4的流程圖中，通過(guò)切斷電源、處理結(jié)束等的中斷而結(jié)束處理。下面，說(shuō)明本實(shí)施方式中的信息處理裝置的具體動(dòng)作。在此，例舉制造裝置200為
17如圖3所示的等離子體CVD裝置的情況進(jìn)行說(shuō)明。在此，為了便于說(shuō)明，對(duì)經(jīng)由輸入界面等 輸入目標(biāo)值、參數(shù)的值、執(zhí)行結(jié)果的情況進(jìn)行說(shuō)明。另外，在此，首先對(duì)不使用用戶屬性信息 的情況進(jìn)行說(shuō)明。另外，本實(shí)施方式中示出的數(shù)值等值是用于便于說(shuō)明而例舉的值，不同于 實(shí)際的數(shù)據(jù)。另外，算出的相關(guān)性系數(shù)等值也是用于便于說(shuō)明而例舉的值，并不一定與使用 實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)算出的值相一致。圖5是用于管理保存在保存部106中的目標(biāo)值、參數(shù)的值、執(zhí)行結(jié)果的組的管理 表。在圖5中，“目標(biāo)工藝條件”相當(dāng)于上述的目標(biāo)值。在此，具有“膜厚”和“膜厚均勻性” 這兩個(gè)目標(biāo)值，該“膜厚”是要形成的膜的厚度，該“膜厚均勻性”表示膜厚度的均勻性?！芭?方參數(shù)”、“裝置參數(shù)”、“其他(部件類型)”相當(dāng)于上述的參數(shù)。配方參數(shù)是指能夠作為配 方而設(shè)定的參數(shù)，在此指定有氣體流量、MW輸出(微波功率(W))、以及載置臺(tái)加熱器的輸出 等?！把b置參數(shù)”是指對(duì)裝置預(yù)先設(shè)定的參數(shù)，指定有“穩(wěn)定條件”、“MW類型”等表示根據(jù)配 方等來(lái)控制裝置時(shí)的控制方法、控制條件等的參數(shù)等。另外，“其他(部件類型)”是指表示 制造裝置200的結(jié)構(gòu)的參數(shù)，指定有“天線種類”、“縫隙模式”等，該“天線種類”表示促使等 離子體產(chǎn)生的縫隙天線的種類，“縫隙模式”是縫隙天線的模式?！疤炀€種類”具有“小型”、 “大型”等表示縫隙天線大小的值。另外，“縫隙模式”具有“模式A”、“模式B”等表示模式 的值?！肮に嚱Y(jié)果”相當(dāng)于上述的執(zhí)行結(jié)果。該“工藝結(jié)果”是對(duì)根據(jù)基于上述的“制造法參 數(shù)”、“裝置參數(shù)”、“其他(部件類型)，，中示出的參數(shù)使制造裝置200工作而實(shí)際形成的膜 進(jìn)行實(shí)測(cè)得到的與“目標(biāo)工藝條件”相同項(xiàng)目的實(shí)測(cè)值?！肮に嚱Y(jié)果”與“目標(biāo)工藝條件”同 樣，具有“膜厚”和“膜厚均勻性”這樣的項(xiàng)目。在此，用“模式1”、“模式2”等表示的各列 相當(dāng)于目標(biāo)值、參數(shù)的值以及執(zhí)行結(jié)果的各組。首先，當(dāng)用戶使用鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等選擇了用于輸入目標(biāo)值、參數(shù)的值、執(zhí)行結(jié)果的菜 單等時(shí)，如圖6所示，顯示用于輸入目標(biāo)值、參數(shù)的值、執(zhí)行結(jié)果的輸入界面的畫(huà)面。該輸入 項(xiàng)目等與圖5的管理表的項(xiàng)目等相對(duì)應(yīng)。接著，用戶操作鼠標(biāo)、鍵盤(pán)等，輸入目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果。假定執(zhí)行結(jié)果是 使用圖中沒(méi)有示出的檢查裝置等對(duì)通過(guò)制造裝置200實(shí)際形成的膜進(jìn)行了膜厚、膜厚均勻 性等的測(cè)量的結(jié)果。此外，也可以將在此輸入的參數(shù)的值發(fā)送到制造裝置200，并使制造裝 置200根據(jù)該參數(shù)的值來(lái)執(zhí)行工藝。接著，當(dāng)用戶使用鼠標(biāo)等按下圖6中示出的“輸入完畢”按鈕61、或者從菜單等中 選擇了輸入完畢的項(xiàng)目時(shí)，輔助信息獲取部108判斷被輸入的各目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之差是 否落入預(yù)先指定的范圍內(nèi)。當(dāng)判斷出不在范圍內(nèi)時(shí)，輔助信息獲取部108開(kāi)始獲取輔助信 肩、o在此，具體說(shuō)明相關(guān)性獲取部107獲取相關(guān)性信息的處理。圖7是示出由相關(guān)性獲取部107獲取的相關(guān)性信息的圖。首先，相關(guān)性獲取部107 從如圖5所示的保存在保存部106中的目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果的一組以上的數(shù)據(jù)中 讀出作為目標(biāo)值之一的“膜厚”相同或接近的組的數(shù)據(jù)。例如，在此預(yù)先設(shè)定為如果膜厚之 差在5nm以內(nèi)則判斷為“膜厚”的目標(biāo)值相同。不過(guò)也可以只讀出目標(biāo)值相同的組。然后， 對(duì)于讀出的數(shù)據(jù)的每一組，計(jì)算目標(biāo)值的“膜厚”與執(zhí)行結(jié)果的“膜厚”之差。然后，獲取多 個(gè)算出的差與作為多個(gè)參數(shù)之一的“氣體流量A”的值的組合。然后，基于獲取的目標(biāo)值的 “膜厚”和執(zhí)行結(jié)果的“膜厚”之差與“氣體流量A”的值的多個(gè)組合，來(lái)計(jì)算目標(biāo)值的“膜厚”
18和執(zhí)行結(jié)果的“膜厚”之差與參數(shù)“氣體流量A”之間的相關(guān)性系數(shù)。另外，同樣地，對(duì)于“氣 體流量A”之外的種類的各個(gè)參數(shù)、例如“氣體流量B”等，也計(jì)算目標(biāo)值的“膜厚”和執(zhí)行結(jié) 果的“膜厚”之差與參數(shù)之間的相關(guān)性系數(shù)。在此，假定計(jì)算相關(guān)性系數(shù)的絕對(duì)值。將上述 計(jì)算結(jié)果按照參數(shù)種類示出時(shí)如圖7的“膜厚相關(guān)性系數(shù)”項(xiàng)目的值所示。在此，假定相關(guān) 性系數(shù)大的參數(shù)對(duì)目標(biāo)值的“膜厚”與執(zhí)行結(jié)果的“膜厚”之差的相關(guān)性高。同樣地，將關(guān)于 “膜厚均勻性”的相關(guān)性系數(shù)的計(jì)算結(jié)果按照參數(shù)種類示出時(shí)如圖7的“膜厚均勻性相關(guān)性 系數(shù)”項(xiàng)目的值所示。不過(guò)，在此，假定“膜厚均勻性”是僅使用目標(biāo)值的“膜厚均勻性”相同 的組來(lái)計(jì)算的。每當(dāng)儲(chǔ)存目標(biāo)值、參數(shù)的值以及執(zhí)行結(jié)果時(shí)進(jìn)行計(jì)算該相關(guān)性系數(shù)的處理， 并將獲取的相關(guān)性信息以可知最新的相關(guān)性信息方式依次追加儲(chǔ)存到硬盤(pán)、存儲(chǔ)器等存儲(chǔ) 介質(zhì)中。另外，按照相同或接近的目標(biāo)值，分別構(gòu)成相關(guān)性信息。例如，在圖5中，“膜厚相 關(guān)性系數(shù)”和“膜厚均勻性相關(guān)性系數(shù)”的值分別按照各自接近的目標(biāo)值來(lái)計(jì)算。相關(guān)性系 數(shù)的計(jì)算方法是公知技術(shù)，因此在此省略說(shuō)明。另外，非數(shù)值的參數(shù)的值等也可以替換成適 當(dāng)?shù)臄?shù)值后再計(jì)算相關(guān)性系數(shù)。輔助信息獲取部108首先獲取當(dāng)前已輸入到如圖6所示的用于輸入目標(biāo)值等的 畫(huà)面中的作為目標(biāo)值之一的“膜厚”的值，并在如圖7所示的相關(guān)性信息中檢索對(duì)應(yīng)于與該 “膜厚”的值相同或接近的“膜厚”的相關(guān)性信息。不過(guò)，也可以只檢索對(duì)應(yīng)于與該“膜厚” 的值相同的“膜厚”的相關(guān)性信息。在此，若假定當(dāng)前輸入的“膜厚”的值為500nm，則檢測(cè) 出與包含該值的目標(biāo)值相對(duì)應(yīng)的“膜厚相關(guān)性系數(shù)”。在此，檢測(cè)出圖7的相關(guān)性信息中的 “目標(biāo)值”項(xiàng)目的值為“500nm士 10”的“膜厚相關(guān)性系數(shù)”的列。然后，在圖7的相關(guān)性信息 中的“500nm士 10”的“膜厚相關(guān)性系數(shù)”列中，檢測(cè)出相關(guān)性系數(shù)的值為0. 7以上的值，獲 取與該值相對(duì)應(yīng)的參數(shù)名。在此，“氣體流量A”以及“天線種類”的參數(shù)的相關(guān)性系數(shù)值分 別為0. 7以上，從而輔助信息獲取部108獲取該“氣體流量A”以及“天線種類”的參數(shù)名。接著，從保存在保存部106中的如圖5所示的目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果的一組 以上的數(shù)據(jù)中讀出作為目標(biāo)值之一的“膜厚”為當(dāng)前的“膜厚”的目標(biāo)值、或者與其相同或接 近的組的數(shù)據(jù)。不過(guò)，也可以只讀出作為目標(biāo)值之一的“膜厚”為當(dāng)前的“膜厚”的目標(biāo)值、 或與其相同的組的數(shù)據(jù)。然后，針對(duì)讀出的數(shù)據(jù)，計(jì)算有關(guān)“膜厚”的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之 差，并從其差小的一側(cè)起依次決定1組以上的其差最小的目標(biāo)值、參數(shù)的值以及執(zhí)行結(jié)果 的組。在此例如決定3組。從所決定的組中，獲取與從相關(guān)性信息中獲取的“氣體流量A”以及“天線種類”的 參數(shù)名相對(duì)應(yīng)的參數(shù)的值。例如，在此，假定在“膜厚”的目標(biāo)值為“500 士 lOnm”的組中，與其他組相比圖5的 “模式3”組的“膜厚”的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之差最小，則輔助信息獲取部108獲取該模式3 的“氣體流量A”的“1050. OOsccm”、以及“天線種類”的“大型”這樣的值。輔助信息獲取部108構(gòu)成輔助信息。該輔助信息是用于表示在當(dāng)前的目標(biāo)值下獲 得了更高精度的用戶將哪個(gè)參數(shù)設(shè)定為什么樣的值的信息。同樣地，輔助信息獲取部108對(duì)于當(dāng)前輸入的作為目標(biāo)值之一的“膜厚均勻性”， 也與上述相同地構(gòu)成輔助信息，并將構(gòu)成的輔助信息彼此結(jié)合而得到圖8所示的輔助信 肩、o輸出部109在圖中沒(méi)有示出的監(jiān)視器等的屏幕上顯示如圖8所示的輔助信息。
在此，由于目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之差處于指定范圍之外，因此儲(chǔ)存部105不將當(dāng)前 的目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果的組合儲(chǔ)存到保存部106。在此，假定在用戶使用鼠標(biāo)等按下圖6中示出的“輸入完畢”按鈕、或者從菜單等 中選擇了輸入完畢項(xiàng)目的時(shí)間點(diǎn)，輔助信息獲取部108做出了輸入的各目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果 之差不在預(yù)先指定的范圍內(nèi)的判斷。在此情況下，輔助信息獲取部108不進(jìn)行輔助信息的獲取，儲(chǔ)存部105將當(dāng)前的目 標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果的組合存儲(chǔ)到保存部106中。相關(guān)性獲取部107在新儲(chǔ)存的目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果的組中讀出目標(biāo)值相 同或接近的組，并如上述那樣對(duì)于這些組求出相關(guān)性信息。然后，使用求出的相關(guān)性信息覆 蓋與相同目標(biāo)值相對(duì)應(yīng)的相關(guān)性信息來(lái)進(jìn)行更新。接著，說(shuō)明使用了用戶屬性信息的具體例。圖9是管理保存在保存部106中的目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果 的組的管理表。用戶屬性信息是輸入了目標(biāo)值等的用戶的屬性信息。在此，用戶屬性信息 包括“用戶名”和“經(jīng)驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)”這樣的項(xiàng)目，其中“用戶名”是用戶的姓名，“經(jīng)驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)”是用 戶使用制造裝置200的總時(shí)間。除用戶屬性信息之外，圖9的管理表與圖5的管理表相同。首先，當(dāng)用戶使用鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等選擇了用于輸入目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息 以及執(zhí)行結(jié)果的菜單等時(shí)，顯示在圖6所述的輸入畫(huà)面中還追加了作為用戶屬性信息的 “用戶名”和“經(jīng)驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)”的輸入項(xiàng)目的輸入畫(huà)面。該輸入項(xiàng)目等與圖9的管理表的項(xiàng)目等 相對(duì)應(yīng)。在此，關(guān)于相關(guān)性獲取部107獲取相關(guān)性信息的處理，基本上與沒(méi)有用戶屬性信 息的情況相同，此時(shí)，與目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息和執(zhí)行結(jié)果的組中的用戶屬性信 息的“經(jīng)驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)”小于預(yù)定值、例如小于“200小時(shí)”的組有關(guān)的值在計(jì)算相關(guān)性系數(shù)時(shí)不被 使用。即，相關(guān)性獲取部107從如圖9所示的保存在保存部106中的目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí) 行結(jié)果的一個(gè)以上組中讀出下述的組作為目標(biāo)值之一的“膜厚”相同或接近的組、并且作 為用戶屬性信息之一的“經(jīng)驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)”為200小時(shí)以上的組。例如，相關(guān)性獲取部107不讀出 模式1等。通常，使用制造裝置的時(shí)長(zhǎng)短的用戶、即經(jīng)驗(yàn)短淺的用戶所設(shè)定的參數(shù)的值就算 其結(jié)果的精度高，大多也不能作為參考。因此，使用用戶屬性信息來(lái)去除這樣的用戶的參數(shù) 的值的組合后求出相關(guān)性系數(shù)等，由此能夠只將有經(jīng)驗(yàn)保證的適當(dāng)?shù)膮?shù)的值的組合反映 在輔助信息中，由此可提供高質(zhì)量的輔助信息。接著，當(dāng)用戶操作鼠標(biāo)、鍵盤(pán)等來(lái)輸入目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果并完成輸入 時(shí)，輔助信息獲取部108判斷輸入的各目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之差是否落入預(yù)先指定的范圍 內(nèi)，當(dāng)判斷為不在范圍內(nèi)時(shí)，輔助信息獲取部108開(kāi)始獲取輔助信息。在此，與相關(guān)性獲取部107同樣地，輔助信息獲取部108在獲取輔助信息時(shí)，也不 使用與目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果的組中用戶屬性信息的“經(jīng)驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)” 小于預(yù)定值、例如小于“200小時(shí)”的組有關(guān)的值。輔助信息獲取部108的其他動(dòng)作與不使 用用戶屬性信息的情況相同。在圖10中示出了如上構(gòu)成的輔助信息的顯示例。例如，在此顯示從關(guān)于“膜厚”的 目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之差最小的目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果的組中獲得 的“用戶名”。
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另外，在上述具體例中，對(duì)制造裝置200為等離子體CVD裝置的情況進(jìn)行了說(shuō)明， 但制造裝置200也可以是其他的制造裝置200，例如也可以是有機(jī)膜成膜裝置。在圖11中示出了在制造裝置200為如圖14a所示的有機(jī)膜成膜裝置的情況下對(duì) 保存在信息處理裝置10的保存部106中的目標(biāo)值、參數(shù)的值、用戶屬性信息以及執(zhí)行結(jié)果 的組進(jìn)行管理的管理表的例子。以上，根據(jù)本實(shí)施方式，基于有關(guān)目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果之間的相關(guān)性的相 關(guān)性信息，來(lái)獲取并輸出與對(duì)當(dāng)前的目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)的種類有關(guān)的輔助信息，由此 能夠向用戶示出為得到與目標(biāo)值接近的執(zhí)行結(jié)果應(yīng)調(diào)節(jié)的參數(shù)和其值等，從而能夠有效且 迅速地調(diào)節(jié)參數(shù)的值。另外，目標(biāo)值、參數(shù)的值以及執(zhí)行結(jié)果被依次儲(chǔ)存，并反映在相關(guān)性信息中，因此 能夠向用戶提示更準(zhǔn)確的輔助信息。另外，通過(guò)在獲取相關(guān)性信息、輔助信息等時(shí)使用用戶屬性信息，能夠?qū)⒃O(shè)定了參 數(shù)的值等的用戶的經(jīng)驗(yàn)等反映在輔助信息中，從而能夠向用戶只示出有經(jīng)驗(yàn)保證的可靠的 輔助信息。根據(jù)本實(shí)施方式，在接受或獲取目標(biāo)值、參數(shù)的值和執(zhí)行結(jié)果之后輸出了輔助信 息，但在本發(fā)明中，也可以在用戶輸入了目標(biāo)值的時(shí)間點(diǎn)獲取并顯示輔助信息。另外，在上述的各實(shí)施方式中，各處理(各功能)也可以由單一裝置(系統(tǒng))通過(guò) 集中處理來(lái)實(shí)現(xiàn)，或者也可以由多個(gè)裝置通過(guò)分散處理來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，在上述的各實(shí)施方式中，存在于一個(gè)裝置的兩個(gè)以上的通信單元(接受部、 獲取部等)當(dāng)然也可以通過(guò)一個(gè)物理介質(zhì)來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，在上述的各實(shí)施方式中，對(duì)信息處理裝置為單機(jī)(stand-alone)的情況進(jìn) 行了說(shuō)明，但信息處理裝置既可以是單機(jī)的裝置，也可以是服務(wù)器/客戶端系統(tǒng)中的服務(wù) 器裝置。在后者的情況下，輸出部、接收部等經(jīng)由通信線路接受輸入，或者輸出畫(huà)面。另外，在上述的各實(shí)施方式中，各構(gòu)成要素即可以通過(guò)專用的硬件來(lái)構(gòu)成，或者可 通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)的構(gòu)成要素也可以通過(guò)執(zhí)行程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。例如，通過(guò)由MPU等程序執(zhí)行部讀 出記錄在硬盤(pán)、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等記錄介質(zhì)中的軟件程序來(lái)執(zhí)行，可實(shí)現(xiàn)各構(gòu)成要素。實(shí)現(xiàn)在上述的各實(shí)施方式中的信息處理裝置的軟件是如下的程序。即，該程序用 于使計(jì)算機(jī)發(fā)揮以下各部的功能目標(biāo)值接受部，其接受一個(gè)以上種類的目標(biāo)值，該目標(biāo)值 是表示使用制造裝置對(duì)被處理基片進(jìn)行的預(yù)定的半導(dǎo)體制造工藝的目標(biāo)的值；參數(shù)獲取 部，其獲取一個(gè)以上種類的參數(shù)的值，該參數(shù)是與所述制造裝置有關(guān)的執(zhí)行所述半導(dǎo)體制 造工藝時(shí)的參數(shù)；執(zhí)行結(jié)果獲取部，其獲取一個(gè)以上種類的執(zhí)行結(jié)果，該執(zhí)行結(jié)果是表示執(zhí) 行了所述半導(dǎo)體制造工藝的結(jié)果的值；儲(chǔ)存部，其將由所述執(zhí)行結(jié)果獲取部獲取的執(zhí)行結(jié) 果、由所述目標(biāo)值接受部接受的目標(biāo)值、以及由所述參數(shù)獲取部獲取的參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái) 儲(chǔ)存；相關(guān)性獲取部，其獲取相關(guān)性信息，該相關(guān)性信息是與所述儲(chǔ)存部所儲(chǔ)存的所述執(zhí)行 結(jié)果、所述目標(biāo)值以及所述參數(shù)的值之間的相關(guān)性有關(guān)的信息；輔助信息獲取部，其使用由 所述相關(guān)性獲取部獲取的相關(guān)性信息來(lái)獲取輔助信息，該輔助信息是與針對(duì)所述目標(biāo)值接 受部所接受的目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)有關(guān)的信息；以及輸出部，其輸出由所述輔助信息獲 取部獲取的輔助信息。另外，在上述程序中，由上述程序?qū)崿F(xiàn)的功能中不包含只能通過(guò)硬件來(lái)實(shí)現(xiàn)的功
21能。例如，獲取信息的獲取部、輸出信息的輸出部等中只能通過(guò)調(diào)制解調(diào)器、接口卡等硬件 來(lái)實(shí)現(xiàn)的功能不包含在由上述程序?qū)崿F(xiàn)的功能中。另外，執(zhí)行該程序的計(jì)算機(jī)既可以是一個(gè)，也可以多個(gè)。即，可以進(jìn)行集中處理，或 者也可以進(jìn)行分散處理。圖12是示出執(zhí)行上述程序來(lái)實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施方式的信息處理裝置的計(jì)算機(jī)的外觀 的一例子的示意圖。上述實(shí)施方式通過(guò)計(jì)算機(jī)硬件以及在其上執(zhí)行的計(jì)算機(jī)程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。在圖12中，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500包括計(jì)算機(jī)501、鍵盤(pán)502、鼠標(biāo)503、以及監(jiān)視器504， 計(jì)算機(jī)501包括CD-ROM (Compact Disk Readonly Menory，壓縮光盤(pán)-只讀存儲(chǔ)器)驅(qū)動(dòng) 505、FD(Flexidle Disk，軟盤(pán))驅(qū)動(dòng) 506。圖13是示出計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的圖。在圖13中，除⑶-ROM驅(qū)動(dòng)505、FD驅(qū)動(dòng)506之外， 計(jì)算機(jī)501還包括MPU(Micro Processing Unit，微處理器)511 ；用于存儲(chǔ)引導(dǎo)程序等程 序的ROM (Read Only Memory，只讀存儲(chǔ)器)512 ；與MPTO11連接并在臨時(shí)存儲(chǔ)應(yīng)用程序的指 令的同時(shí)提供臨時(shí)存儲(chǔ)空間的RAM (Random Access Memory，隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)513 ；存儲(chǔ)應(yīng) 用程序、系統(tǒng)程序以及數(shù)據(jù)的硬盤(pán)514 ；將MPTO11、R0M512等相互連接起來(lái)的總線515。另 外，計(jì)算機(jī)501也可以包括提供向LAN等的鏈接的圖中沒(méi)有示出的網(wǎng)卡。在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500中，也可以將用于執(zhí)行基于上述實(shí)施方式的信息處理裝置的功 能的程序存儲(chǔ)在CD-R0M521或FD522中，并通過(guò)將所述CD-R0M521或FD522插入CD-ROM驅(qū) 動(dòng)505或FD驅(qū)動(dòng)506中來(lái)傳輸?shù)接脖P(pán)514中。代替這些，該程序也可以經(jīng)由圖中沒(méi)有示出 的網(wǎng)絡(luò)來(lái)發(fā)送，并存儲(chǔ)到硬盤(pán)514中。程序在執(zhí)行時(shí)被加載到RAM513中。另外，程序也可 以從⑶-R0M521、FD522或網(wǎng)絡(luò)直接加載。程序并不一定必須包含使計(jì)算機(jī)501執(zhí)行基于上述實(shí)施方式的信息處理裝置的 功能的操作系統(tǒng)(0S)或第三方程序(third-party program)等。程序也可以只包括在被 控制的狀態(tài)下調(diào)用恰當(dāng)?shù)墓δ?模式)并可得到期望的結(jié)果的指令的部分。關(guān)于計(jì)算機(jī)系 統(tǒng)500如何動(dòng)作屬于公知技術(shù)，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明不限于以上的實(shí)施方式，可進(jìn)行各種變更，這些也當(dāng)然包含在本發(fā)明的范 圍內(nèi)。(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)如上所述，本發(fā)明的信息處理裝置等適于作為用于設(shè)定半導(dǎo)體制造裝置等的參數(shù) 的值的裝置，尤其適于作為用于設(shè)定與目標(biāo)值相應(yīng)的參數(shù)的值的裝置等。
權(quán)利要求
一種信息處理裝置，包括目標(biāo)值接受部，其接受一個(gè)以上種類的目標(biāo)值，該目標(biāo)值是表示使用制造裝置對(duì)被處理基片進(jìn)行的預(yù)定的半導(dǎo)體制造工藝的目標(biāo)的值；參數(shù)獲取部，其獲取一個(gè)以上種類的參數(shù)的值，該參數(shù)是與所述制造裝置有關(guān)的執(zhí)行所述半導(dǎo)體制造工藝時(shí)的參數(shù)；執(zhí)行結(jié)果獲取部，其獲取一個(gè)以上種類的執(zhí)行結(jié)果，該執(zhí)行結(jié)果是表示執(zhí)行了所述半導(dǎo)體制造工藝的結(jié)果的值；儲(chǔ)存部，其將由所述執(zhí)行結(jié)果獲取部獲取的執(zhí)行結(jié)果、由所述目標(biāo)值接受部接受的目標(biāo)值、以及由所述參數(shù)獲取部獲取的參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存；相關(guān)性獲取部，其獲取相關(guān)性信息，該相關(guān)性信息是與所述儲(chǔ)存部所儲(chǔ)存的所述執(zhí)行結(jié)果、所述目標(biāo)值以及所述參數(shù)的值之間的相關(guān)性有關(guān)的信息；輔助信息獲取部，其使用由所述相關(guān)性獲取部獲取的相關(guān)性信息來(lái)獲取輔助信息，該輔助信息是與針對(duì)所述目標(biāo)值接受部所接受的目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)有關(guān)的信息；以及輸出部，其輸出由所述輔助信息獲取部獲取的輔助信息。
2.如權(quán)利要求1所述的信息處理裝置，其中， 所述參數(shù)獲取部獲取多個(gè)種類的參數(shù)的值，所述儲(chǔ)存部?jī)?chǔ)存多個(gè)將由所述執(zhí)行結(jié)果獲取部獲取的執(zhí)行結(jié)果、由所述目標(biāo)值接受部 接受的目標(biāo)值、以及由所述參數(shù)獲取部獲取的多個(gè)種類的參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)的組，所述相關(guān)性獲取部針對(duì)由所述儲(chǔ)存部對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè)種類 的參數(shù)的值的多個(gè)組中的每一組，獲取表示目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏差的值，并使用所 述獲取的表示偏差的值和與所述表示偏差的值相對(duì)應(yīng)的多個(gè)種類的參數(shù)的值組成的多個(gè) 組，來(lái)計(jì)算所述相關(guān)性信息，所述相關(guān)性信息是所述多個(gè)種類的參數(shù)中的每個(gè)參數(shù)與所述 表示偏差的值之間的相關(guān)性系數(shù)，所述輔助信息獲取部獲取輔助信息，所述輔助信息是與所述多個(gè)種類的參數(shù)中的所述 相關(guān)性系數(shù)大的一個(gè)以上種類的參數(shù)有關(guān)的信息。
3.如權(quán)利要求2所述的信息處理裝置，其中，所述輔助信息獲取部從由所述儲(chǔ)存部?jī)?chǔ)存的參數(shù)的值中獲取所述輔助信息，所述輔助 信息是所述相關(guān)性系數(shù)大的一個(gè)以上種類的參數(shù)的值、并且是表示對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié) 果之間的偏差的值小的參數(shù)的值。
4.如權(quán)利要求1所述的信息處理裝置，其中，還包括獲取用戶屬性信息的用戶屬性獲取部，該用戶屬性信息是表示執(zhí)行所述半導(dǎo)體 制造工藝的用戶的屬性的值，所述儲(chǔ)存部將所述用戶屬性信息與所述執(zhí)行結(jié)果對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存， 所述相關(guān)性獲取部使用所述用戶屬性信息來(lái)獲取所述相關(guān)性信息。
5.如權(quán)利要求4所述的信息處理裝置，其中，所述輔助信息獲取部使用所述用戶屬性信息來(lái)獲取所述輔助信息。
6.如權(quán)利要求1所述的信息處理裝置，其中，還包括獲取用戶屬性信息的用戶屬性獲取部，該用戶屬性信息是表示執(zhí)行所述半導(dǎo)體 制造工藝的用戶的屬性的值，所述儲(chǔ)存部將所述用戶屬性信息分別與所述執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè)種類的參數(shù)的 值的組對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存，所述相關(guān)性獲取部從由所述儲(chǔ)存部對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè)種類的 參數(shù)的值的多個(gè)組中，使用與所述多個(gè)組分別對(duì)應(yīng)起來(lái)的所述用戶屬性信息來(lái)選擇多個(gè)在 計(jì)算所述相關(guān)性系數(shù)時(shí)使用的所述執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及多個(gè)種類的參數(shù)的值的組，并使 用所述選擇的組來(lái)計(jì)算所述相關(guān)性系數(shù)。
7.如權(quán)利要求6所述的信息處理裝置，其中，所述輔助信息獲取部從所述儲(chǔ)存部所儲(chǔ)存的參數(shù)的值中的使用與所述參數(shù)的值對(duì)應(yīng) 起來(lái)的所述用戶屬性信息而選擇的參數(shù)的值中，獲取所述輔助信息，所述輔助信息是所述 相關(guān)性系數(shù)大的一個(gè)以上種類的參數(shù)的值、并且是表示對(duì)應(yīng)的目標(biāo)值與執(zhí)行結(jié)果之間的偏 差的值小的參數(shù)的值。
8.一種信息處理方法，使用目標(biāo)值接受部、參數(shù)獲取部、執(zhí)行結(jié)果獲取部、儲(chǔ)存部、相關(guān) 性獲取部、輔助信息獲取部以及輸出部被執(zhí)行，所述信息處理方法包括目標(biāo)值接受步驟，用于由所述目標(biāo)值接受部接受一個(gè)以上種類的目標(biāo)值，該目標(biāo)值是 表示使用制造裝置對(duì)被處理基片進(jìn)行的預(yù)定的半導(dǎo)體制造工藝的目標(biāo)的值；參數(shù)獲取步驟，用于由所述參數(shù)獲取部獲取一個(gè)以上種類的參數(shù)的值，該參數(shù)是與所 述制造裝置有關(guān)的執(zhí)行所述半導(dǎo)體制造工藝時(shí)的參數(shù)；執(zhí)行結(jié)果獲取步驟，用于由所述執(zhí)行結(jié)果獲取部獲取一個(gè)以上種類的執(zhí)行結(jié)果，該執(zhí) 行結(jié)果是表示執(zhí)行了所述半導(dǎo)體制造工藝的結(jié)果的值；儲(chǔ)存步驟，用于由所述儲(chǔ)存部將在所述執(zhí)行結(jié)果獲取步驟中獲取的執(zhí)行結(jié)果、在所述 目標(biāo)值接受步驟中接受的目標(biāo)值、在所述參數(shù)獲取步驟中獲取的參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存；相關(guān)性獲取步驟，用于由所述相關(guān)性獲取部獲取相關(guān)性信息，該相關(guān)性信息是與在所 述儲(chǔ)存步驟中儲(chǔ)存的所述執(zhí)行結(jié)果、所述目標(biāo)值以及所述參數(shù)的值之間的相關(guān)性有關(guān)的信 息；輔助信息獲取步驟，用于由所述輔助信息獲取部使用在所述相關(guān)性獲取步驟中獲取的 相關(guān)性信息來(lái)獲取輔助信息，該輔助信息是與針對(duì)在所述目標(biāo)值接受步驟中接受的目標(biāo)值 相關(guān)性高的參數(shù)有關(guān)的信息；以及輸出步驟，用于由所述輸出部輸出在所述輔助信息獲取步驟中獲取的輔助信息。
9.一種程序，用于使計(jì)算機(jī)發(fā)揮以下各部的功能目標(biāo)值接受部，其接受一個(gè)以上種類的目標(biāo)值，該目標(biāo)值是表示使用制造裝置對(duì)被處 理基片進(jìn)行的預(yù)定的半導(dǎo)體制造工藝的目標(biāo)的值；參數(shù)獲取部，其獲取一個(gè)以上種類的參數(shù)的值，該參數(shù)是與所述制造裝置有關(guān)的執(zhí)行 所述半導(dǎo)體制造工藝時(shí)的參數(shù)；執(zhí)行結(jié)果獲取部，其獲取一個(gè)以上種類的執(zhí)行結(jié)果，該執(zhí)行結(jié)果是表示執(zhí)行了所述半 導(dǎo)體制造工藝的結(jié)果的值；儲(chǔ)存部，其將由所述執(zhí)行結(jié)果獲取部獲取的執(zhí)行結(jié)果、由所述目標(biāo)值接受部接受的目 標(biāo)值、以及由所述參數(shù)獲取部獲取的參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存；相關(guān)性獲取部，其獲取相關(guān)性信息，該相關(guān)性信息是與所述儲(chǔ)存部所儲(chǔ)存的所述執(zhí)行 結(jié)果、所述目標(biāo)值以及所述參數(shù)的值之間的相關(guān)性有關(guān)的信息；輔助信息獲取部，其使用由所述相關(guān)性獲取部獲取的相關(guān)性信息來(lái)獲取輔助信息，該 輔助信息是與針對(duì)所述目標(biāo)值接受部所接受的目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)有關(guān)的信息·，以及 輸出部，其輸出由所述輔助信息獲取部獲取的輔助信息。
全文摘要
解決以往無(wú)法有效且迅速地調(diào)節(jié)半導(dǎo)體制造參數(shù)的問(wèn)題。一種信息處理裝置，包括目標(biāo)值接受部(101)，其接受半導(dǎo)體制造工藝的一個(gè)以上種類的目標(biāo)值；參數(shù)獲取部(102)，其獲取執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝時(shí)的一種以上種類的參數(shù)的值；執(zhí)行結(jié)果獲取部(103)，其獲取表示半導(dǎo)體制造工藝的執(zhí)行結(jié)果的一種以上種類的執(zhí)行結(jié)果；儲(chǔ)存部(105)，其將執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值、參數(shù)的值對(duì)應(yīng)起來(lái)儲(chǔ)存；相關(guān)性獲取部(107)，其獲取儲(chǔ)存的執(zhí)行結(jié)果、目標(biāo)值以及參數(shù)的值之間的相關(guān)性信息；輔助信息獲取部(108)，其使用由相關(guān)性獲取部(107)獲取的相關(guān)性信息來(lái)獲取輔助信息，該輔助信息是與針對(duì)目標(biāo)值接受部(101)所接受的目標(biāo)值相關(guān)性高的參數(shù)有關(guān)的信息；輸出部，其輸出由輔助信息獲取部獲取的輔助信息。
文檔編號(hào)H01L21/02GK101903975SQ200880122229
公開(kāi)日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月21日
發(fā)明者山上宗隆 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社