專利名稱：基板載臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型關(guān)于一種基板載臺，特別是關(guān)于一種減少基板的接觸面積來 防止靜電產(chǎn)生的基板載臺。
背景技術(shù)：
隨著科技進(jìn)步，具有省電、無幅射、體積小、低耗電量、平面直角、高 解析度、畫質(zhì)穩(wěn)定等多項(xiàng)優(yōu)勢的液晶顯示器，為原先處獨(dú)占地位的傳統(tǒng)映像
管屏幕(簡稱CRT)帶來了莫大的沖擊，尤其是現(xiàn)今各式信息產(chǎn)品如手機(jī)、筆 記型計(jì)算機(jī)、數(shù)字相機(jī)、PDA、液晶屏幕等產(chǎn)品越來越普及，亦使得液晶顯示 器(LCD)的需求量大大提升。
液晶顯示器主要系包括一液晶顯示面板以及一背光模組，其中液晶顯示 面板是由一彩色濾光片基板、 一薄膜晶體管數(shù)組基板以及配置于此兩基板之 間的液晶層所構(gòu)成。其中，在液晶顯示面板的制造過程中，必須不斷地對玻 璃基板進(jìn)行清洗、長膜、光阻涂布、曝光、顯影、蝕刻、光阻剝離、熱處理 等處理。而且，在每一道處理步驟后，也需要針對基板進(jìn)行檢測，以確保制 造出來的面板其功能正常。甚至，液晶顯示面板于制作完成、接受檢驗(yàn)合格 后，也需要裝箱包裝。
因此，液晶顯示面板的生產(chǎn)流程需經(jīng)過許多工作站與機(jī)臺，如何將基板 順利地搬送在這些工作站間，并置放在工作站的機(jī)臺上以進(jìn)行后續(xù)制程，自 然成為必然面臨的問題。而目前液晶顯示面板的制造廠中，載送液晶面板于 各工作站時(shí)，系多采用人工搬運(yùn)、吸取機(jī)構(gòu)或移載臂來迸行各個(gè)工作站間的 連結(jié)。
以目前業(yè)界中最常見的移載臂為例，請參考圖1A至閨1B,其為公知的載 臺1及其搭配使用移載臂3的示意圖。如圖1A圖所示，載臺1包含一固定機(jī) 座10、一設(shè)置于固定機(jī)座10上的承載臺ll以及一與承載臺ll相結(jié)合的傳動 機(jī)構(gòu)12。其中，傳動機(jī)構(gòu)包含一撓性線槽121以及一滑軌122,撓性線槽121 兩端分別連接于承載座11與滑軌122，且滑軌122與固定機(jī)座10連接。因此， 當(dāng)一基板2放置于承載臺11上時(shí)，傳動機(jī)構(gòu)12可帶動基板2相對于固定機(jī) 座10移動。
3另外，雖未繪示，固定機(jī)座還包含一舉升裝置，設(shè)置于承載臺ll下方。 在一實(shí)施例中，舉升裝置具有復(fù)數(shù)根升降銷(圖未示)，且升降銷可從承載臺
11表面所設(shè)置的開孔111伸出。采用這種結(jié)構(gòu)，經(jīng)由移載臂3被搬入該工作 站的基板2，被托持在升降銷上后，可與升降銷一起下降，并被放置到承載臺 11的表面上以進(jìn)行該工作站所負(fù)責(zé)的制程。
接著，當(dāng)完成工作站中所欲執(zhí)行的制程后，放置在承載臺11上的基板2 會再度被升降銷托持并上升，亦即使基板2離開承載臺11的表面。此時(shí)，如 圖1B所示，移載臂3會穿過基板2與承載臺11間的空隙，接手拖持住基板2 并將基板2向上搬離，使基板2完全脫離載臺1。
然而，由于物體間的接觸面相互摩擦之下容易產(chǎn)生靜電，因此基板2在 脫離承載臺11的瞬間會發(fā)生帶電現(xiàn)象，進(jìn)而使基板2上的靜電值瞬間升高。 此時(shí)，在一連串的處理過程中，帶電基板高風(fēng)險(xiǎn)地將因放電現(xiàn)象而使其表面 的組件或電路圖案操作損傷，且塵埃等粉塵亦相當(dāng)容易附著于基板上。
針對上述，基板時(shí)常在制程中因產(chǎn)生靜電現(xiàn)象而損壞的情形，有業(yè)者想 出使用吹氣式除靜電器，利用吹出的離子風(fēng)來對帶電的基板進(jìn)行正負(fù)電中和 作用。但是，采用此一方法的速度緩慢，能夠降低的靜電值有限。且吹氣方 式也很容易造成揚(yáng)塵，反而易使基板受到污染。
因而，如何發(fā)展出 一種降低基板在載臺1與移載臂3間發(fā)生靜電現(xiàn)象的機(jī) 率，乃是^:計(jì)者汲思的目標(biāo)。

實(shí)用新型內(nèi)容
有鑒于此，為了有效解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種基板載臺，可 用以解決上述公知技藝所遭遇的困境，降低基板發(fā)生靜電現(xiàn)象的機(jī)率。
本實(shí)用新型提供的此載臺，用以承載一基板，且至少包含一固定機(jī)座以 及一承載臺。承載臺設(shè)置于固定機(jī)座上方，且具有復(fù)數(shù)個(gè)間隔組件可供基板 放置于其上，并使得基板與承載臺之間具有一間隙。其中，間隔組件為墊片， 且為一止滑墊。
在本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中，墊片所總占面積約介于承載臺面積的 1-5%。如前文所述，靜電經(jīng)由物體間的接觸面相互摩擦所產(chǎn)生，故本實(shí)用新 型藉由降低基板的接觸面積以防止靜電現(xiàn)象的發(fā)生。
關(guān)于本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)與精神，以及更詳細(xì)的實(shí)施方式可以藉由以下的實(shí)施方式以及所附圖式得到進(jìn)一步的了解。

圖1A為公知的載臺及其搭配使用移載臂的俯視示意圖； 圖IB為公知的載臺及其搭配使用移載臂的側(cè)視示意圖； 圖2A為本實(shí)用新型的一實(shí)施例中將基板放置于承載臺上的側(cè)視示意圖； 圖2B為本實(shí)用新型的一實(shí)施例中將基板放置于承載臺上的俯視示意圖。主要組件符號說明
1 載臺 11 承載臺 111 開孔 12 傳動才幾構(gòu) 121 撓性線槽 122 滑軌
2 基板 3 移載臂 4間隔細(xì)W牛
具體實(shí)施方式
首先，如前所述，本實(shí)用新型所提供的載臺1用以承載一基板2。載臺1 包含一固定機(jī)座IO、 一設(shè)置于固定機(jī)座10上的承載臺11以及一與承載臺11 相結(jié)合的傳動機(jī)構(gòu)12。其中，傳動機(jī)構(gòu)包含一撓性線槽121以及一滑軌122， 撓性線槽121兩端分別連接于承載座11與滑軌122,且滑軌122與固定機(jī)座 IO連接。因此，當(dāng)一基板2放置于承載臺11上時(shí)，傳動機(jī)構(gòu)12可帶動基板 2相對于固定機(jī)座10移動。其中，基板可為一薄膜晶體管液晶顯示器、 一超 扭轉(zhuǎn)向列液晶顯示器、等離子體顯示器、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器或多晶硅顯 示器的面板。
另外，雖未繪示，固定機(jī)座10還包含一舉升裝置，設(shè)置于承載臺11下 方。在一實(shí)施例中，舉升裝置具有復(fù)數(shù)根升降銷(圖未示)，且升降銷可從承 載臺ll表面所設(shè)置的開孔lll伸出。采用這種結(jié)構(gòu)，經(jīng)由移載臂3被搬入該 工作站的基板2，被托持在升降銷上后，可與升降銷一起下降，并被放置到承 載臺11的表面上以進(jìn)行該工作站所負(fù)責(zé)的制程。
然而，需特別說明的是，圖1A至圖1B所示的載臺l僅作為一實(shí)施例說 明，本實(shí)用新型所提供的載臺1并不欲以此為限。舉例來說，本實(shí)用新型的 載臺1可為一執(zhí)行搬送步驟的載臺，只需負(fù)責(zé)承載基板2至工作站。此時(shí)載 臺1可不設(shè)置傳動機(jī)構(gòu)12。另外，載臺1也可以為配合一影像擷取設(shè)備執(zhí)行光學(xué)檢測步驟的載臺，此時(shí)載臺1便需要設(shè)置傳動機(jī)構(gòu)12,始能自由移動基 板的位置以進(jìn)行檢測。亦即，承載臺11并不一定要能相對于固定機(jī)臺10移 動，端視載臺1所需被應(yīng)用的面向以及功能為何來調(diào)整其所需要的細(xì)部組件。
接著，請參考圖2A至圖2B,其分別繪示本實(shí)用新型的一實(shí)施例中將基板 2放置于承載臺ll上的側(cè)視與俯視示意圖。如圖所示，承載臺11的表面上設(shè) 置有復(fù)數(shù)個(gè)間隔組件4,可提供基板2放置于其上，并使得基板2與承載臺 ll之間具有一間隙。此時(shí)，上述的移載臂3，可透過基板2與承載臺11之間 的間隙，取放基板2。且移載臂3更包含有至少一孔洞(未圖示)，可透過孔洞 抽真空而吸附基板2。
進(jìn)一步說明的是，間隔組件4為墊片。在較佳實(shí)施例中，間隔組件4為 止滑墊，且復(fù)數(shù)個(gè)墊片總占面積約介于載臺總面積的1-5%之間。
另外，間隔組件4可以貼合的方式設(shè)置于承載臺11上，但并不以此為P艮。 亦即，間隔組件4可采用黏合、磁附、扣合等固定方式，并不受限于上述任 一的方式為之。
綜上所述，可以了解本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于
(1) 本實(shí)用新型在載臺1上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)小面積的間隔組件4,來減少基 板2直接與承載臺ll表面接觸的接觸面積。此方法經(jīng)實(shí)際測量，靜電值可由 10kV下降至200V內(nèi)，確實(shí)可有效達(dá)到降低靜電產(chǎn)生的效果，且無須使用公知 的吹氣機(jī)構(gòu)，造成基板的污染。同時(shí)，墊片的價(jià)格便宜，此方法也不需要額 外增加制程上的成本。
(2) 另外，由于在本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例中使用止滑墊來作為間隔 組件，亦可在減少基板接觸面積的目的之外，有效地防止面板放置于載臺上 時(shí)，因滑動所發(fā)生的損毀。
雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例公開如上，然其并非用以限定本實(shí)用新 型，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種 的更動與潤飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1. 一種基板載臺，用以承載一基板，其特征在于，包括一固定機(jī)座；以及一承載臺，設(shè)置于該固定機(jī)座上方，具有復(fù)數(shù)個(gè)間隔組件可供該基板放置于其上，并使得該基板與該承載臺之間具有一間隙。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板載臺，其特征在于，該間隔組件為墊片。
3. 如權(quán)利要求2所述的基板載臺，其特征在于，該復(fù)數(shù)個(gè)墊片總占面積 介于該承載臺面積的1 - 5%。
4. 如權(quán)利要求2所述的基板載臺，其特征在于，該間隔組件為止滑墊。
5. 如權(quán)利要求1所述的基板載臺，其特征在于，還包含一與該承載臺相 結(jié)合的傳動機(jī)構(gòu)，該傳動機(jī)構(gòu)連接于該固定機(jī)座，并帶動該基板相對于該固 定才幾座移動。
6. 如權(quán)利要求5所述的基板載臺，其特征在于，該傳動機(jī)構(gòu)包含一撓性 線槽以及一滑軌，該撓性線槽兩端分別連接于該承載座與該滑軌，且該滑軌 與該固定機(jī)座連接。
7. 如權(quán)利要求1所述的基板載臺，其特征在于，該承載臺還包含有至少 一開孔。
8. 如權(quán)利要求7所述的基板載臺，其特征在于，該機(jī)座還包含一舉升裝 置，設(shè)置于該承載臺下方，通過該開孔抵住該基板并帶動其升降。
9. 如權(quán)利要求1所述的基板載臺，其特征在于，該抗靜電載臺配設(shè)一移 載臂，透過該基板與該承載臺之間的間隙，取放該基板。
10. 如權(quán)利要求9所述的基板載臺，其特征在于，該移載臂還包含有至 少一孔洞，透過該孔洞抽真空而吸附該基板。
11. 如權(quán)利要求1所述的基板載臺，其特征在于，基板為一薄膜晶體管 液晶顯示器、 一超扭轉(zhuǎn)向列液晶顯示器、等離子體顯示器、有機(jī)發(fā)光二極管 顯示器或多晶硅顯示器的面板。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種基板載臺，是用以承載一基板。此載臺包括一固定機(jī)座以及一承載臺。承載臺設(shè)置于固定機(jī)座上方，且具有復(fù)數(shù)個(gè)間隔組件可供基板放置于其上，并使得基板與承載臺之間具有一間隙。
文檔編號H01L21/00GK201274285SQ200820135798
公開日2009年7月15日 申請日期2008年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月10日
發(fā)明者李智強(qiáng), 簡青俊, 陳儀龍 申請人:華映視訊(吳江)有限公司;中華映管股份有限公司