專利名稱：一種注入機(jī)用晶片注入過渡夾的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種四寸改三寸的晶片夾，特別涉及離子注入機(jī)中的三寸晶片在四寸
晶片盒中和注入機(jī)械夾持靶上的晶片過渡裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
集成電路制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)各半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求，作為半 導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一的離子注入機(jī)，一般注入機(jī)只對(duì)特定的尺寸來設(shè)計(jì)特 定的一整套靶室晶片傳送裝置和注入時(shí)晶片夾持裝置，為了在同一機(jī)臺(tái)上既有束流寬度足 夠滿足注入晶片尺寸要求下，改做小尺寸晶片的注入工藝時(shí)。往往至少需要更改晶片傳送 機(jī)械手，定向臺(tái)，耙盤晶片夾持機(jī)構(gòu)，更換整套裝置不僅靶室注入流片系統(tǒng)設(shè)計(jì)者工作量 大，設(shè)備維護(hù)工程師在每次更換拆裝工作煩瑣，機(jī)械結(jié)構(gòu)的定位重復(fù)性、可靠性會(huì)大大下 降。為了避開靶室流片系統(tǒng)復(fù)雜的設(shè)計(jì)，采取直接把小尺寸晶片裝夾在與大尺寸同等厚度 和大小的晶片夾內(nèi)，裝有小尺寸晶片夾直接按槽放在標(biāo)準(zhǔn)晶片盒內(nèi)，傳片機(jī)械手直接取放 晶片夾到注入夾持靶盤上裝夾注入，這樣提高了同一注入機(jī)注入尺寸的兼容性，節(jié)省了靶 室設(shè)計(jì)改造的費(fèi)用和避開了維護(hù)工程師的因不同尺寸晶片注入要求的的整套靶室晶片傳 送和裝夾系統(tǒng)，提高了工作效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明采用一個(gè)與標(biāo)準(zhǔn)四寸晶片同等大小的鋁基片夾座上挖有公差稍大于三寸
晶片的圓孔，孔與鋁基座同心且孔深度與三寸晶片同等厚度，三寸晶片放置在孔中，在鋁基
座的上略大于三寸晶片外徑留有間斷的凸起圓環(huán)來與三寸晶片組成公差稍大的間隙配合，
用于限位三寸晶片，在凸起圓環(huán)隔斷處有設(shè)計(jì)了三個(gè)可以轉(zhuǎn)動(dòng)的彈性壓片，彈性壓片鉚接
在鋁基片夾上，用于更進(jìn)一步的限位固定三寸晶片。鋁基片夾上留有方型缺口方便裝卸片
時(shí)夾取晶片。由于標(biāo)準(zhǔn)的四寸晶片盒為25槽，為了適合槽的寬度和高度以及機(jī)械手取放片
時(shí)必須預(yù)留的上下活動(dòng)高度，整個(gè)一鋁基片夾外徑尺寸與標(biāo)準(zhǔn)四寸晶片等大，整個(gè)一鋁基
片夾高度較薄，凸起圓環(huán)以外的厚度尺寸設(shè)計(jì)成較大倒角，最外沿很薄。 該裝置由以下零件構(gòu)成一鋁基片夾l，三個(gè)彈性壓片2，三個(gè)空心鉚釘3，一塊三
寸晶片4，如附圖一所示 所述的的鋁基片夾1外徑尺寸設(shè)計(jì)成與標(biāo)準(zhǔn)四寸晶片等大，內(nèi)留與三寸晶片間隙 配合的圓孔，三寸晶片4限位在其上的凸起圓環(huán)內(nèi)，通過三個(gè)彈性壓片2壓住。所述的彈性 壓片2用空心鉚釘3同圓心的鉚接在鋁基片夾1上，彈性壓片觸壓晶片端留有很小彎角，且 壓晶片端略微上翹以方便壓住晶片。


附圖1為晶片夾裝置示意圖 附圖2為晶片夾放置在標(biāo)準(zhǔn)25槽晶片盒內(nèi)的示意圖
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)發(fā)明的限定。 鋁基晶片夾1與彈性壓片2用空心鉚釘3鉚接，鋁基晶片夾1的外徑設(shè)計(jì)成標(biāo)準(zhǔn)四
寸晶片大小，由于標(biāo)準(zhǔn)晶片盒的片槽是禊型的如附圖二所示，附圖一所說鋁基晶片夾1的
整個(gè)片夾厚度設(shè)計(jì)較薄，邊沿設(shè)計(jì)有較大倒角，晶片夾放置在片盒槽內(nèi)時(shí)，靠槽內(nèi)側(cè)晶片夾
的厚度薄到夠機(jī)械手取放晶片夾時(shí)高度距離做到不會(huì)發(fā)生與晶片盒發(fā)生干涉，使晶片夾位
置變動(dòng)引起機(jī)械手流片時(shí)掉片導(dǎo)致碎片，同時(shí)做到晶片夾片間的高度尺寸不發(fā)生干涉。本
發(fā)明將小尺寸的晶片直接用過渡片夾裝載在標(biāo)準(zhǔn)晶片盒內(nèi)，在不改動(dòng)大尺寸晶片靶室流片
系統(tǒng)上基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了成功流片，直到注入完成測(cè)試后晶片性能無影響，減輕了設(shè)計(jì)者的工
作量，提高了注入機(jī)的兼容性和工作效率。 本發(fā)明的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而 言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利 的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
本發(fā)明采用一個(gè)與標(biāo)準(zhǔn)四寸晶片同等大小的鋁基片夾座，在夾座上挖有公差稍大于三寸晶片的圓孔，孔與鋁基座同心且孔深度與三寸晶片同等厚度，三寸晶片放置在孔中；
2. 在鋁基座的上略大于三寸晶片外徑留有間斷的凸起圓環(huán)來與三寸晶片組成公差稍 大的間隙配合，用于限位三寸晶片；
3. 在凸起圓環(huán)隔斷處有設(shè)計(jì)了三個(gè)可以轉(zhuǎn)動(dòng)的彈性壓片，彈性壓片用空心鉚釘鉚接在 鋁基片夾上，用于更進(jìn)一步的限位固定三寸晶片。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種離子注入機(jī)用的晶片夾，屬于半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域。一般注入機(jī)只對(duì)特定的尺寸來設(shè)計(jì)特定的一整套靶室晶片傳送裝置和注入時(shí)晶片夾持裝置，為了在同一機(jī)臺(tái)上既有束流寬度足夠滿足注入晶片尺寸要求下，改做小尺寸晶片的注入工藝時(shí)。往往至少需要更改晶片傳送機(jī)械手，定向臺(tái)，靶盤晶片夾持機(jī)構(gòu)，更換整套裝置不僅靶室注入流片系統(tǒng)設(shè)計(jì)者工作量大，設(shè)備維護(hù)工程師在每次更換拆裝工作繁瑣，機(jī)械結(jié)構(gòu)的定位重復(fù)性、可靠性會(huì)大大下降，本發(fā)明為了避開靶室流片系統(tǒng)復(fù)雜的設(shè)計(jì)，直接采用設(shè)計(jì)一種晶片過渡夾裝夾三寸晶片放置在四寸晶片盒中，由靶室晶片傳送裝置傳送晶片夾完成注入。
文檔編號(hào)H01L21/673GK101764028SQ200810238898
公開日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2008年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月4日
發(fā)明者袁衛(wèi)華, 鐘新華, 龍會(huì)躍 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司