專利名稱：半導(dǎo)體元件及其布局方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有多條連接功能塊的布線的半導(dǎo)體元件，以及該半導(dǎo) 體元件的布局方法。
背景技術(shù)：
在以往的具有總線布線的半導(dǎo)體元件中，為了便于使所連接的功能 塊之間的布線電阻、布線間電容一致，使用同一布線層形成總線布線， 由此減小總線布線的布線長(zhǎng)度之差，并進(jìn)行調(diào)整以達(dá)到相同的布線電阻 和布線電容。另外，在這樣的半導(dǎo)體元件中，如果布線總數(shù)加倍，則會(huì)導(dǎo)致布線 區(qū)域的面積增加一倍以上，增大了半導(dǎo)體電路的電路面積、特別是布線 區(qū)域的面積，因此將總線布線分配在多層，用多層布線來(lái)進(jìn)行布局。例如，在專利文獻(xiàn)l中公開(kāi)了以下技術(shù)在將總線線路分為多層進(jìn) 行布線時(shí)，為了設(shè)置各個(gè)位線的引出口，而將各個(gè)位線分配在奇數(shù)層或 偶數(shù)層，空出位線的上層或下層來(lái)進(jìn)行布線。專利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)平11 - 233637號(hào)公報(bào)但是，在上述以往的技術(shù)中僅僅公開(kāi)了將布線總數(shù)按照布線層均等地 分配來(lái)進(jìn)行多層布線的技術(shù)，在各個(gè)布線層的布線寬度、布線間隔不同的 情況下，才艮據(jù)該方法進(jìn)行分配，則未必能縮小布局面積，^使布線電阻、布 線間電容具有適當(dāng)值。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題而做出的，其目的在于提供一種半導(dǎo)體元 件以及該半導(dǎo)體元件的布局方法，即使在各個(gè)布線層的布線寬度、布線 間隔不同的情況下，也有助于縮小布局的面積，且對(duì)布線間電容進(jìn)行適 當(dāng)?shù)卣{(diào)整。200810126964.5說(shuō)明書(shū)第2/10頁(yè)本發(fā)明提供一種解決上述問(wèn)題的半導(dǎo)體元件。本發(fā)明的半導(dǎo)體元件具有在多個(gè)布線層上形成的多條布線，該多條布線將第1功能塊和第2功能 塊連接起來(lái)，其特征在于，多個(gè)布線層的每個(gè)布線層具有一定的布線寬度 和布線間隔，各個(gè)布線層所具有的布線條數(shù)，是基于將各個(gè)布線層中的布比例的總和后的值，乘以多條布線的總數(shù)而得到的值來(lái)決定的。由此，本發(fā)明即4吏在各個(gè)布線層的布線寬度、布線間隔不同的情況下， 也可以縮小布局面積，另外可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整布線間電容。


圖1是表示第1實(shí)施例中的半導(dǎo)體元件的概略的圖。 圖2是圖1中的A-A'處的剖面圖。圖3是表示第1實(shí)施例中的半導(dǎo)體元件的布局方法的流程圖。 圖4是應(yīng)用了第1實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路的概略圖。 圖5是圖4中的區(qū)域B的部分放大圖。 圖6是圖5中的C-C'處的剖面圖。 圖7是圖4中的區(qū)域D的部分放大圖。圖中符號(hào)說(shuō)明100-第l功能塊；200-第2功能塊；300 -布線 區(qū)域；310、 610-第l布線層；320、 620-第2布線層；330、 630 -第 3布線層；500-驅(qū)動(dòng)電路；510-驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域；511-引腳；512 -第 l導(dǎo)電部；513-第1引出布線；514 -第1連接部；520-布線區(qū)域；521 -總線布線；522-第l布線區(qū)域；523-第2布線區(qū)域；530-焊盤(pán)區(qū) 域；531-電極焊盤(pán)；532-第2導(dǎo)電部；533-第2引出布線；534 -第 2連接部具體實(shí)施方式
以下，參照?qǐng)Dl和圖2，對(duì)本發(fā)明的半導(dǎo)體元件及其布局方法的實(shí) 施例進(jìn)行說(shuō)明。[實(shí)施例1圖l是表示根據(jù)實(shí)施例1的布局方法所設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體元件的概略的說(shuō)明圖。圖2是圖1的A-A'剖面圖。圖l所示的本實(shí)施例的半導(dǎo)體元件，由第I功能塊IOO、第2功能 塊200和布線區(qū)域300構(gòu)成，在該布線區(qū)域300中形成有由連接第1功 能塊IOO和第2功能塊200的多條布線所構(gòu)成的總線布線。第1功能塊100和第2功能塊200， ^:才艮據(jù)半導(dǎo)體元件的功能劃分的 區(qū)域。作為功能塊的例子，可以列舉出驅(qū)動(dòng)LSI中的驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域、電極 焊盤(pán)區(qū)域、保持?jǐn)?shù)據(jù)的存儲(chǔ)區(qū)域、進(jìn)行運(yùn)算的運(yùn)算區(qū)域等，通過(guò)總線布線 與其他功能塊連接的區(qū)域也屬于上述功能塊。再者，在后述的應(yīng)用例中， 以第1功能塊100與驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域?qū)?yīng)，第2功能塊200與電極焊盤(pán)區(qū)域 對(duì)應(yīng)的例子來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。布線區(qū)域300形成在多個(gè)布線層中，是形成有連接第1功能塊100和 第2功能塊200的多條布線的區(qū)域。在各個(gè)布線層中，設(shè)定有一定的布線寬度和布線間隔。這^jf艮據(jù)半導(dǎo) 體工藝上的限制和布局設(shè)計(jì)中的布線規(guī)則等決定的值。圖2所示的本實(shí)施例的半導(dǎo)體元件的剖面圖表示A - A'處的布線區(qū)域 300的剖面圖。關(guān)于本實(shí)施例中的布線區(qū)域300，多個(gè)布線層是由三層構(gòu)成的布線 層，由最下層的第l布線層310、設(shè)置在第1布線層310上的第2布線 層320、 i殳置在第2布線層320上的第3布線層330構(gòu)成。此時(shí)，對(duì)于 各個(gè)布線層的布線寬度以及布線間隔，設(shè)定第1布線層310的布線寬度 為3fim、布線間隔為3nm，第2布線層320的布線寬度為2nm、布線 間隔為2nm,第3布線層330的布線寬度為lnm、布線間隔為ljim。本實(shí)施例的圖l和圖2例示了將第l功能塊100和第2功能塊200 連接起來(lái)的布線需要10條的情況。此時(shí)，對(duì)于分配給各層的布線的條 數(shù)，第1布線層310為2條、第2布線層320為3條、第3布線層330 為5條。這里，針對(duì)圖2所示的布線區(qū)域300中形成的多條布線，說(shuō)明如何對(duì) 各個(gè)布線層進(jìn)行分配。即、對(duì)導(dǎo)出在第l布線層310中形成2條布線、在
第2布線層320中形成3條布線、在第3布線層330中形成5條布線的計(jì) 算方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，計(jì)算各個(gè)布線層的布線寬度和布線間隔之和。這是形成l條布 線時(shí)所需要的寬度。接著，通過(guò)取該值的倒數(shù)來(lái)求得每單位寬度的布線比 例，并計(jì)算出各層的每單位寬度的布線比例之和。接下來(lái)，將欲求得所要各層的每^位寬度的;線比例之和。進(jìn)而通過(guò)將^除法運(yùn)i后的值乘以整體 上的布線總數(shù)，計(jì)算出欲求得所要分配的布線條數(shù)的布線層的布線條數(shù)。 基于這樣得到的值，決定在各個(gè)布線層中分配多少條布線。如上所述，在本實(shí)施例中，關(guān)于各個(gè)布線層中的布線寬度和布線間隔， 在第1布線層310中為3jim和3nm，在第2布線層320中為2nm和2nm， 在第3布線層330中為lnm和ljim。若具體地計(jì)算，則第1布線層310、 第2布線層320、第3布線層330的每單位寬度的布線比例分別為0.17、 0.25以及0.5,各個(gè)布線層的每單位寬度的布線比例之和為0.92。分配 給第1布線層310的布線條數(shù)為第1布線層310的每單位寬度的布線 比例除以各層的每單位寬度的布線比例之和，并乘以布線總數(shù)，由此計(jì) 算為1.8。對(duì)于第2布線層320和第3布線層330也一樣，計(jì)算為2.7 和5.4。此時(shí)，計(jì)算出的值如果為整數(shù)，則計(jì)算出的值為分配給各個(gè)布線層 的布線條數(shù)。但是，如上所述，計(jì)算出的值未必為整數(shù)，此時(shí)需要調(diào)整 這些數(shù)值。對(duì)于得到的值不是整數(shù)的情況，計(jì)算所得到的數(shù)值的整數(shù)部 分之和與布線總數(shù)的差值，按照小數(shù)點(diǎn)以下的值的由大到小的順序，對(duì)差值條數(shù)數(shù)目的數(shù)值，進(jìn)行進(jìn)位，除此之外將小數(shù)點(diǎn)以下舍去。如上所述，在第1布線層310、第2布線層320以及第3布線層330 的計(jì)算出的值分別為1.8、 2.7和5.4的情況下，才艮據(jù)整數(shù)部分之和與布 線總數(shù)之間的差值，成為差值的條數(shù)為2條，按照小數(shù)點(diǎn)以下的值的由 大到小的順序，對(duì)兩個(gè)、即1.8和2.7，將小數(shù)點(diǎn)以下作為l進(jìn)上去，而 分別成為2和3，對(duì)5.4，將小數(shù)點(diǎn)以下舍去，而成為5。這樣，即使得 到的值不是整數(shù)的情況下，也可以調(diào)整為整數(shù)值，由此，可以導(dǎo)出分配 給第1布線層310、第2布線層320以及第3布線層330的條數(shù)為2條、 3條和5條。通過(guò)這樣決定分配給各個(gè)布線層的布線條數(shù)，即使各個(gè)布線層的布
線寬度和布線間隔不同的情況下，也可以將布線適當(dāng)?shù)胤峙浣o各個(gè)布線 層，縮小布局的面積。另外，此時(shí)通過(guò)將布線寬度和布線間隔設(shè)定為布 線層所能布線的最小布線寬度和最小布線間隔，可以進(jìn)一步縮小布局的 面積。接著，使用圖3對(duì)用于實(shí)現(xiàn)實(shí)施例1的布局方法的流程圖進(jìn)行說(shuō)明。圖3所示的實(shí)施例1的流程圖，由總線布線識(shí)別步驟410、功能塊 區(qū)域提取步驟420、總線布線分配規(guī)則生成步驟430、布線路徑定義步 驟440、總線布線分配步驟450、總線布線生成步驟460構(gòu)成。首先，在總線布線識(shí)別步驟410中，輸入本實(shí)施例中的半導(dǎo)體電路 的網(wǎng)絡(luò)表，作為總線布線，提取需要處理的連接關(guān)系的布線，并生成總 線布線數(shù)據(jù)412。接著，在功能塊區(qū)域提取步驟420中，從具有配置功能塊的位置等 信息的功能塊配置數(shù)據(jù)421中取出總線布線數(shù)據(jù)412、所連接的功能塊 的引腳的位置坐標(biāo)以及引腳形狀的信息，生成用于識(shí)別總線布線起點(diǎn)和 終點(diǎn)的位置的引腳位置數(shù)據(jù)422。另外，從功能塊配置數(shù)據(jù)421中，基 于功能塊內(nèi)的布線區(qū)域僅取出用于總線布線的布線層的圖形，生成作為 不能形成總線布線的區(qū)域的信息的禁止布線區(qū)域數(shù)據(jù)423。接著，在總線布線分配規(guī)則生成步驟430中，針對(duì)各個(gè)總線布線， 根據(jù)布線層數(shù)據(jù)431計(jì)算分配給各個(gè)布線層的總線布線的條數(shù)。在布線 層數(shù)據(jù)431中給出了各個(gè)布線層的構(gòu)造、在各個(gè)布線層中可形成的最小 布線寬度以及最小布線間隔等信息?；诳偩€布線條數(shù)的計(jì)算結(jié)果，將 分配給各個(gè)布線層的總線布線的條數(shù)作為總線布線分配規(guī)則數(shù)據(jù)432輸 出。另外，關(guān)于計(jì)算的具體方法在后面進(jìn)行描述。對(duì)于以下的步驟、即總線布線路徑定義步驟440、總線布線分配步 驟450以及總線布線生成步驟460各個(gè)步驟，從總線布線的條數(shù)多的布 線層開(kāi)始依次進(jìn)行，對(duì)由總線布線數(shù)據(jù)412給出的所有總線布線進(jìn)行。在布線路徑定義步驟440中，輸入總線布線數(shù)據(jù)412、引腳位置數(shù)據(jù) 422、禁止布線區(qū)域數(shù)據(jù)423以及總線布線分配規(guī)則數(shù)據(jù)432,根據(jù)分配給 各個(gè)布線層的布線條數(shù)以及最小布線寬度、最小布線間隔計(jì)算各個(gè)布線層 中的總線布線寬度。將各個(gè)布線層的總線布線寬度中的最大值作為總線布 線整體所需要的最小的總線布線寬度，以最小的總線布線寬度為基準(zhǔn)，按
照避開(kāi)禁止布線區(qū)域、同時(shí)使布線長(zhǎng)度最短的方式?jīng)Q定總線布線的路徑。由此生成總線布線路徑數(shù)據(jù)441。接著，在總線布線分配步驟450中，為了基于總線布線分配規(guī)則數(shù)據(jù) 432將總線布線分配給各個(gè)布線層，將與總線布線連接的功能塊的引腳分 配給各個(gè)布線層，將分配到同一布線層的引腳定義為總線布線組451。對(duì)于功能塊的引腳的分配，可以任意設(shè)定。例如通it^一端的引腳開(kāi) 始依次將某個(gè)功能塊的多個(gè)引腳分配到各個(gè)布線層、或按每個(gè)布線層連續(xù) 地分配等，可以進(jìn)行各種設(shè)定。接著，在總線布線生成步驟460中，基于引腳位置數(shù)據(jù)422、總線布 線i^數(shù)據(jù)432以及總線布線組451，層疊各個(gè)布線層的總線布線而形成 總線布線。通過(guò)在各個(gè)布線層中進(jìn)行這些步驟,可以利用多層布線形成總線布線。這里，對(duì)總線布線分配規(guī)則生成步驟中的分配給各個(gè)布線層的總線布 線條數(shù)的計(jì)算方法進(jìn)行"i兌明。設(shè)連接功能塊100和功能塊200所需要的總線布線的總條數(shù)為X，布 線層的總數(shù)為m層。另外，設(shè)最下層的布線層為第1布線層，從第1布線 層開(kāi)始第n層為第n布線層，在第n布線層中的最小布線寬度為an，最小 布線間隔為bn。此時(shí)，通過(guò)將各個(gè)值帶入式l中而得到分配給第n布線層的總線布線的條數(shù)Xn。另外，根據(jù)式l所得到的值不是整數(shù)的情況下，需要將各個(gè)值調(diào)整為 整數(shù)。此時(shí)，作為調(diào)整方法，可以列舉出將小數(shù)點(diǎn)第l位四舍五入的方法， 和從位于最下側(cè)的布線層開(kāi)始依次將小數(shù)點(diǎn)以下作為1進(jìn)上去來(lái)4吏其符合 總條數(shù)的方法等。此時(shí)，通過(guò)利用以下方法，即、求出所得到的數(shù)值的整(式l)
數(shù)部分之和與總線布線的總條數(shù)X之差，并按照小數(shù)點(diǎn)以下的值的由大到小的順序，對(duì)差值條數(shù)數(shù)目的所得到的數(shù)值，將小數(shù)點(diǎn)以下的值作為l進(jìn) 上去，除此以外，舍去小數(shù)點(diǎn)以下的值，由此來(lái)將各個(gè)數(shù)值調(diào)整為整數(shù)值 的方法，可以按照每單位寬度的布線所占的比例進(jìn)行調(diào)整，通過(guò)使用該方 法可以有助于縮小布局面積。另外，對(duì)于在上述半導(dǎo)體元件構(gòu)造的說(shuō)明中的、分配給各個(gè)布線層的總線布線的條數(shù)，是設(shè)總線布線的總條數(shù)為10條、布線層的總數(shù)為3層、 第1布線層的最小布線寬度為3jim、最小布線間隔為3nm、第2布線層 的最小布線寬度為2jim、最小布線間隔為2jim、第3布線層的最小布線 寬度為lnm、最小布線間隔為ljim,并使用式l計(jì)算出的。這樣，在各個(gè)布線層中分別設(shè)定了最小布線寬度和最小布線間隔的 情況下，也可以通過(guò)對(duì)分配給各個(gè)布線層的總線布線的條數(shù)的計(jì)算方法 進(jìn)行公式化，來(lái)對(duì)總線布線的布線條數(shù)進(jìn)行自動(dòng)最優(yōu)化。這樣，即使在 對(duì)總線布線的總數(shù)、布線層的總數(shù)、各個(gè)布線的最小布線寬度以及最小 布線間隔給出了不同條件的情況下，也不需要每次都進(jìn)行以下電路設(shè) 計(jì)，即、根據(jù)基于設(shè)計(jì)者的知識(shí)、經(jīng)驗(yàn)而分配給各個(gè)布線層的總線布線 的條數(shù)、所得到的總線布線寬度來(lái)設(shè)定路徑等，可以減少設(shè)計(jì)工序。在本實(shí)施例中，關(guān)于總線布線的條數(shù)，說(shuō)明了將多條總線布線作為 一個(gè)多層布線組的情況，但是并不局限于此，對(duì)于將多條總線布線集中 在多個(gè)多層布線組中時(shí)的各個(gè)多層布線組，也可以應(yīng)用本發(fā)明。(本發(fā)明的第1實(shí)施例的應(yīng)用例)接著，使用圖4至圖7對(duì)將本發(fā)明應(yīng)用到驅(qū)動(dòng)電路中時(shí)的應(yīng)用例進(jìn) 行說(shuō)明。圖4是表示驅(qū)動(dòng)電路500的概略的圖，圖5是表示圖4中的圓 形虛線所包圍的區(qū)域B的部分放大圖，圖6是圖5中的C-C，剖面，圖 7是圖4中的圓形虛線所包圍的區(qū)域D的部分放大圖。圖4所示的本發(fā)明的應(yīng)用例，公開(kāi)了驅(qū)動(dòng)電路500，其被劃分為驅(qū)動(dòng) 單元區(qū)域510、包圍驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域510的布線區(qū)域520、包圍布線區(qū)域520 的焊盤(pán)區(qū)域530。驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域510是與上述功能塊100相對(duì)應(yīng)的區(qū)域，在驅(qū)動(dòng)單元區(qū) 域510中形成有位單元等電路元件和灰度等級(jí)補(bǔ)償用電阻等(未圖示)、并 且形成有與它們電連接的引腳511。驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域繪制成方形，從其一邊
側(cè)輸入輸入信號(hào)，從其另一邊側(cè)輸出輸出信號(hào)。布線區(qū)域520是與上述布線區(qū)域300相對(duì)應(yīng)的區(qū)域，在布線區(qū)域520 中形成了總線布線521，總線布線521具有在多個(gè)布線層中形成的多條布 線。布線區(qū)域520具有第l布線區(qū)域522和第2布線區(qū)域523，第1布線 區(qū)域522形成有經(jīng)由焊盤(pán)區(qū)域530將輸出信號(hào)輸出到外部的總線布線521; 第2布線區(qū)域523形成有從外部經(jīng)由焊盤(pán)區(qū)域530輸入輸入信號(hào)的總線布 線521。焊盤(pán)區(qū)域530是與上述功能塊200對(duì)應(yīng)的區(qū)域，在焊盤(pán)區(qū)域530中排 列有與外部封裝體等連接的電極焊盤(pán)531。圖5是圖4中的虛線包圍的區(qū)域B的部分放大圖，圖6是圖5中的C -C，處的剖面圖。圖5公開(kāi)了與驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域510中的未圖示的電路元件 等電連接且將所生成的信號(hào)輸出到總線布線521的輸出部、即引腳511， 總線布線521以及將引腳511與總線布線521電連接起來(lái)的第1導(dǎo)電部 512?？偩€布線521如圖6所示，具有形成在多個(gè)布線層中的多條布線。布 線層由成為最下層的第1布線層610、形成在第1布線層610上的第2布 線層620、形成在第2布線層620上的第3布線層630構(gòu)成。第1導(dǎo)電部512如圖5所示，由從引腳511延伸到布線區(qū)域520的第 1引出布線513、以及連接第1引出布線513和構(gòu)成總線布線521的布線的 第1連接部514構(gòu)成。第1引出布線513可以形成在圖6所示的第l布線 層610、第2布線層620以及第3布線層630中的任一個(gè)布線層中，也可 以形成于其他層。第1引出布線513和形成在第l至第3布線層中的布線 通過(guò)第1連接部514連接，第1連接部514可以通過(guò)接觸孔等使要連接的 布線層一并導(dǎo)通，也可以在各個(gè)布線層中依次形成通孔等而4吏它們導(dǎo)通。輸出在驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域510中所形成的輸出信號(hào)的引腳511，輸出來(lái)自 在驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域510內(nèi)形成的未圖示的電路元件的信號(hào)。此時(shí)輸出輸出信 號(hào)的引腳511，輸出RGB信號(hào)、即R信號(hào)、G信號(hào)以及B信號(hào)等。這里，對(duì)輸出信號(hào)和在各個(gè)布線層中形成的布線之間的關(guān)系進(jìn)行^L明。 例如輸出同樣的R信號(hào)、G信號(hào)以及B信號(hào)的引腳511，優(yōu)選與形成在相 同布線層中的布線連接。例如R信號(hào)與形成在第l布線層610中的布線連 接；G信號(hào)與形成在第2布線層620中的布線連接；以及B信號(hào)與形成在
第3布線層630中的布線連接，由此可以構(gòu)成總線布線521。通過(guò)這樣來(lái) 連接形成在總線布線521的各個(gè)布線層中的布線，對(duì)于RGB各個(gè)信號(hào)， 可以獨(dú)立地進(jìn)行電阻調(diào)整，可以按照各個(gè)信號(hào)調(diào)整輸出動(dòng)作的時(shí)刻。也就 是說(shuō)，即使在發(fā)生了輸出動(dòng)作的時(shí)刻由于RGB中的任一個(gè)信號(hào)發(fā)生延遲 等而產(chǎn)生偏差這樣的問(wèn)題的情況下，也不必調(diào)整內(nèi)部電路本身，通過(guò)調(diào)整 總線布線的布局便可以簡(jiǎn)單地調(diào)整輸出動(dòng)作的時(shí)刻。此時(shí)，作為輸出R信 號(hào)、G信號(hào)以及B信號(hào)的引腳511的排列，優(yōu)選輸出相同種類的信號(hào)的引 腳每隔兩個(gè)配置一個(gè)，例如在輸出R信號(hào)的引腳511的鄰側(cè)配置輸出G信 號(hào)的引腳511，在輸出G信號(hào)的引腳511的鄰側(cè)配置輸出B信號(hào)的引腳511， 在輸出B信號(hào)的引腳511的鄰側(cè)配置輸出R信號(hào)的引腳511。才艮據(jù)這樣的 排列，對(duì)于用于^f吏i更置在同一布線層中的布線連接起來(lái)的第1導(dǎo)電部512， 例如可以根據(jù)引出布線513的形狀、和第1連接部514的大小、個(gè)數(shù)等來(lái) 調(diào)整電阻等，可提高設(shè)計(jì)自由度。進(jìn)而，關(guān)于輸出RGB信號(hào)的引腳511的排列，也可以，反復(fù)進(jìn)行以下 這樣的配置，即、在輸出R信號(hào)的引腳511的鄰側(cè)配置輸出G信號(hào)的引腳 511，在輸出G信號(hào)的引腳511的鄰側(cè)配置輸出B信號(hào)的引腳511，在輸 出B信號(hào)的引腳511的鄰側(cè)配置輸出R信號(hào)的引腳511，在將三個(gè)引腳作 為一組有規(guī)律地排列RGB信號(hào)時(shí)，例如在僅觀察一個(gè)信號(hào)的情況下，使 每隔一個(gè)組的相同輸出的信號(hào)與同一布線層的布線連接。具體地說(shuō)，例如 可以使每隔一組的R信號(hào)與第1布線層610中所形成的布線連接，使每隔 一組的G信號(hào)與第2布線層620中所形成的布線連接J吏每隔一組的B信 號(hào)與第3布線層630中所形成的布線連接。通過(guò)使相同極性的RGB信號(hào) 與在相同布線層中形成的布線連接，即使在鄰接的RGB信號(hào)的組分別輸 出具有相反極性的信號(hào)的情況下，與將相^J級(jí)性的RGB信號(hào)鄰接配置于 同一布線層的情;;U目比，可以減小布線間電容，防止信號(hào)延遲。另外，即 使在布線間形成成為接地電位的布線，也可以抑制布線間的特性的影響。 另外，關(guān)于極性不同的R信號(hào)、G信號(hào)、B信號(hào)，只要同樣地按RGB信 號(hào)與在相同布線層中形成的布線連接即可。此時(shí)，對(duì)于各個(gè)相同的信號(hào)的 組，形成為在各個(gè)不同的布線層中形成的布線，或即4吏在相同的布線層也 充分分離地i殳置為不同的總線布線。圖7是圖4中的虛線包圍的區(qū)域D的部分放大圖。圖7公開(kāi)了形成在 焊盤(pán)區(qū)域530中的電極焊盤(pán)531、總線布線521、使電極焊盤(pán)531和總線布 線521電連接的第2導(dǎo)電部532。 第2導(dǎo)電部532由第2引出布線533和第2連接部534構(gòu)成，第2引 出布線533從引腳531延伸到布線區(qū)域520;第2連接部534使第2引出 布線533與構(gòu)成總線布線的布線連接。第2引出布線533,可以與第1引 出布線513—樣，形成在第l至第3布線層中的任一個(gè)布線層中，也可以 形成于其他層。另外，第2連接部534和第1連接部514—樣，與構(gòu)成總 線布線的布線連接，此時(shí)，可以通過(guò)接觸孔等^f吏它們一并導(dǎo)通，也可以在 各個(gè)布線層中依次形成通孔等來(lái)^"吏它們導(dǎo)通。在這樣的驅(qū)動(dòng)電路500中，關(guān)于布線521，可以使用本實(shí)施例中說(shuō)明 過(guò)的多層布線。由此，可以抑制總線布線的布局面積，并且抑制布線間的 布線間電容，可以防止布線延遲。此時(shí)對(duì)于傳輸RGB信號(hào)的布線，比傳 輸其他信號(hào)的布線優(yōu)先應(yīng)用本實(shí)施例的多層布線，由此可以抑制由與各個(gè) 布線層連接的布線的組合所引起的布線間電容，防止延遲，而且能縮小布 局面積。
權(quán)利要求
1、一種半導(dǎo)體元件，具備形成在多個(gè)布線層上的將第1功能塊和第2功能塊連接起來(lái)的多條布線，其特征在于，上述多個(gè)布線層的每個(gè)布線層具有一定的布線寬度和布線間隔，各個(gè)上述布線層所具有的布線條數(shù)，是基于如下得到的值來(lái)決定的，即、將各個(gè)布線層中的上述布線寬度和上述布線間隔之和的每單位長(zhǎng)度的該布線的比例除以各個(gè)上述布線層的該布線的比例的總和后的值，乘以上述多條布線的總數(shù)而得到的值。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體元件，其特征在于，關(guān)于分配給上述布線層的布線條數(shù)，在上述得到的值不是整數(shù)的情 況下，按照各個(gè)上述布線層的該得到的值的小數(shù)部分的由大到小的順 序，對(duì)各個(gè)上述布線層的該得到的值中整數(shù)部分的總和與上述布線條數(shù) 的總和之差的數(shù)目的值，將小數(shù)點(diǎn)以下作為l進(jìn)上去，對(duì)其他布線層的 該得到的值，將小數(shù)點(diǎn)以下舍去，基于由此得到的值來(lái)設(shè)定各個(gè)布線層 中的布線條數(shù)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體元件，其特征在于，上述布線寬度和布線間隔，是上述各層中的最小布線寬度和最小布 線間隔。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1 ~3中的任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體元件，其特征在于， 上述第1區(qū)域是具有位單元的驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域，上述第2區(qū)域是具有電極焊盤(pán)的焊盤(pán)區(qū)域。
5、 一種布局方法，通過(guò)在多個(gè)布線層上形成的多條布線將第1功 能塊和第2功能塊連接起來(lái)，其特征在于，上述多個(gè)布線層的每個(gè)布線層具有一定的布線寬度和布線間隔，各個(gè)上述布線層所具有的布線條數(shù)，是基于如下得到的值來(lái)決定的， 即、將各個(gè)布線層中的上述布線寬度和上述布線間隔之和的每單位長(zhǎng)度的該布線的比例除以各個(gè)上述布線層的該布線的比例的總和后的值，乘以上 述多條布線的總數(shù)而得到的值。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的布局方法，其特征在于，在上述得到的值不是整數(shù)的情況下，按照各個(gè)上述布線層的該得到 的值的小數(shù)部分的由大到小的順序，對(duì)各個(gè)上述布線層的該得到的值中 整數(shù)部分的總和與上述布線條數(shù)的總和之差的數(shù)目的值，將小數(shù)點(diǎn)以下 作為1進(jìn)上去，對(duì)其他布線層的該得到的值，將小數(shù)點(diǎn)以下舍去，基于 由此得到的值來(lái)設(shè)定各個(gè)布線層中的布線條數(shù)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的布局方法，其特征在于，上述布線寬度和布線間隔，是上述各層中的最小布線寬度和最小布 線間隔。
8、 一種半導(dǎo)體元件，其特征在于，具備 焊盤(pán)區(qū)域，其具有多個(gè)電極焊盤(pán)；驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域，其具有輸出第l信號(hào)的多個(gè)第l輸出部、輸出第2 信號(hào)的多個(gè)第2輸出部、和輸出第3信號(hào)的多個(gè)第3輸出部；以及布線區(qū)域，其連接上述焊盤(pán)區(qū)域和上述驅(qū)動(dòng)單元區(qū)域，在該布線區(qū) 域中，形成有多個(gè)布線層，在該多個(gè)布線層中分別形成有使上述電極焊 盤(pán)和上述輸出部電連接的布線；上述第l輸出部、上述第2輸出部以及上述第3輸出部，分別與不 同的上述布線層中所形成的上述布線連接，并與上述電極焊盤(pán)連接。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件，其特征在于，上述第1輸出部、上述第2輸出部以及上述第3輸出部沿著上述驅(qū) 動(dòng)單元區(qū)域的端部排列，上述第2輸出部與上述第l輸出部鄰接地排列，上述第3輸出部與 該第2輸出部鄰接地排列，上述第l輸出部與該第3輸出部鄰接地排列。
10、 根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的半導(dǎo)體元件，其特征在于， 上述多個(gè)布線層的每個(gè)布線層具有一定的布線寬度和布線間隔，各個(gè)上述布線層所具有的布線條數(shù)，是基于如下得到的值來(lái)決定的， 即、將各個(gè)布線層中的上述布線寬度和上述布線間隔之和的每單位長(zhǎng)度的 該布線的比例除以各個(gè)上述布線層的該布線的比例的總和后的值，乘以上 述多條布線的總數(shù)而得到的值。
11、根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體元件，其特征在于，關(guān)于分配給上述布線層的布線條數(shù)，在上述得到的值不是整數(shù)的情 況下，按照各個(gè)上述布線層的該得到的值的小數(shù)部分的由大到小的順 序，對(duì)各個(gè)上述布線層的該得到的值中整數(shù)部分的總和與上述布線條數(shù) 的總和之差的數(shù)目的值，將小數(shù)點(diǎn)以下作為l進(jìn)上去，對(duì)其他布線層的 該得到的值，將小數(shù)點(diǎn)以下舍去，基于由此得到的值設(shè)定各個(gè)布線層中 的布線條數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體元件及其布局方法，該半導(dǎo)體元件具備在多個(gè)布線層上形成的將第1功能塊和第2功能塊連接起來(lái)的多條布線，多個(gè)布線層的每個(gè)布線層具有一定的布線寬度和布線間隔，各個(gè)布線層所具有的布線條數(shù)，是基于將各個(gè)布線層中的布線寬度和布線間隔之和的每單位長(zhǎng)度的布線比例除以各個(gè)布線層的布線比例的總和之后的值，乘以多條布線的總數(shù)而得到的值來(lái)決定的。從而，對(duì)于由多個(gè)布線層構(gòu)成的總線布線，即使在各個(gè)布線層的布線寬度、布線間隔不同的情況下，也有助于縮小布局的面積，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整布線間電容。
文檔編號(hào)H01L23/482GK101399252SQ20081012696
公開(kāi)日2009年4月1日 申請(qǐng)日期2008年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月27日
發(fā)明者山手美千乃 申請(qǐng)人:沖電氣工業(yè)株式會(huì)社