專利名稱：用于制造壓電彎曲變換器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于制造壓電彎曲變換器的方法，其中該壓電彎曲變 換器分別具有通過(guò)分隔間隙而相互分開(kāi)而且相互平行設(shè)置的兩個(gè)薄 片，這些薄片分別從一個(gè)自由的薄片端延伸至一個(gè)末端固定區(qū)域，在 該末端固定區(qū)域處這兩個(gè)薄片相互連接，其中該分隔間隙結(jié)束于該末 端固定區(qū)域中的一個(gè)末端固定間隙端。
背景技術(shù)：
也可以稱為間隙或縫隙彎曲變換器的這樣 一 種壓電彎曲變換器比如在EP 1 207 329 Bl中被公開(kāi)，其中兩個(gè)壓電彎曲變換器薄片在 一個(gè)安裝片段上相互固定連接，并一起固定安裝在一個(gè)閥門外殼中。 對(duì)應(yīng)于所期望的閥門功能，該壓電變換器可以相互獨(dú)立地被電氣控制， 以引起偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，這種偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)^皮用于打開(kāi)或關(guān)閉要控制的閥門。然用領(lǐng)域之一。該壓電彎曲變換器在制造時(shí)首先在一個(gè)第一制造步驟中由壓電襯 底片(Piezo-Nutzen)分離而成。該分隔間隙在此還沒(méi)有形成。該 分隔間隙在另 一 制造步驟中在所述分離或分開(kāi)之后才被插入。在此典 型地采用了一種簡(jiǎn)單的分隔方法，該方法可能在陶瓷的邊緣上以及在 末端固定區(qū)域處導(dǎo)致不期望的、縮短壽命的破裂。另外，這種制造方 法導(dǎo)致相對(duì)大的幾何公差，這對(duì)于壓電彎曲變換器的之后的應(yīng)用、比 如作為閥門的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)是有害的。發(fā)明內(nèi)容換器的方法，其中這樣制造的壓電彎曲變換器與常規(guī)制造的壓電彎曲 變換器相比具有微小的公差，并在應(yīng)用中可靠的運(yùn)行。該技術(shù)問(wèn)題利用具有獨(dú)立權(quán)利要求1特征的方法而得到解決。本 發(fā)明的改進(jìn)方案在從屬權(quán)利要求中給出。根據(jù)本發(fā)明的用于制造壓電彎曲變換器的方法，該壓電彎曲變換 器分別具有通過(guò)一個(gè)分隔間隙相互分隔的、相互平行設(shè)置的薄片，這 些薄片分別從一個(gè)自由薄片端延伸到一個(gè)末端固定區(qū)域，在該末端固 定區(qū)域中這兩個(gè)薄片相互連接，其中該分隔間隙結(jié)束于該末端固定區(qū) 域中的一個(gè)末端固定間隙端，提供了一種多層的片狀的壓電襯底片， 其多個(gè)條狀的薄片初始結(jié)構(gòu)，其中分別在該末端固定區(qū)域中在兩個(gè)相 互配對(duì)的薄片初始結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有在厚度方向上穿過(guò)該壓電襯底片的 一個(gè)孔。另外在兩個(gè)相互配對(duì)的薄片初始結(jié)構(gòu)之間插入了相應(yīng)的分隔間 隙，這樣使得它在孔的整個(gè)孔長(zhǎng)度上延伸直至該孔的朝向自由薄片端 的前孔區(qū)域，其中所述孔長(zhǎng)度在壓電襯底片的厚度方向上延伸。接著，設(shè)置有分隔間隙的壓電襯底片借助一種分離工具而被分離 為壓電彎曲變換器。從而已經(jīng)在該分離過(guò)程之前就進(jìn)行了分隔間隙的構(gòu)造。此外通過(guò) 該孔得到了相應(yīng)壓電彎曲變換器的分隔間隙的末端固定間隙端的更規(guī) 矩的終結(jié)，使得防止在該間隙末端上有縮短壽命的破裂。以尤其優(yōu)選的方式利用該分離工具來(lái)實(shí)施分隔間隙的插入。從而 可以把同一工具用于插入分隔間隙以及用于該分離過(guò)程。尤其優(yōu)選的是該分離工具是一種鋸。插入分隔間隙和/或分離為壓 電彎曲變換器從而優(yōu)選地通過(guò)一個(gè)切割過(guò)程來(lái)實(shí)施。然而其他的分隔 方法也是可以的，比如水噴射切割或諸如此類。作為鋸可以使用具有旋轉(zhuǎn)鋸片的薄片鋸，該鋸片優(yōu)選地相應(yīng)切入 到在兩個(gè)配對(duì)的薄片初始結(jié)構(gòu)之間的區(qū)域中。然而或者也可以從該壓 電襯底片的外邊緣切入。也可以考慮從內(nèi)向外地剪切。在借助薄片鋸插入分隔間隙時(shí)在凈皮切割的間隙末端上，亦即在末端固定間隙端上 在該元件中得到了 一個(gè)圓的切割末端范圍。在考慮到該壓電彎曲變換 器的彎曲特性和疲勞強(qiáng)度時(shí)這種輪廓是非常有害的，并決不允許位于壓電有效區(qū)域中，其中該有效區(qū)域通常至少部分地由PZT陶瓷來(lái)構(gòu)造。 但是切入到位于兩個(gè)條狀薄片初始結(jié)構(gòu)之間的孔中，確切地說(shuō)是在整 個(gè)孔長(zhǎng)度上切入，由此防止了這種圓的切割末端范圍，其中該孔長(zhǎng)度 在該壓電襯底片的厚度方向上延伸。該分隔間隙從而可以結(jié)束于基本 垂直于該壓電襯底片的板平面而延伸的一個(gè)末端固定間隙端。在本發(fā)明的一種改進(jìn)方案中，通過(guò)直到所屬孔的兩次切割來(lái)構(gòu)成 相應(yīng)的分隔間隙。如果一次切割的切割寬度小于要制造的分隔間隙的 寬度，比如如杲一個(gè)薄片鋸的鋸片的寬度小于要制造的分隔間隙的寬 度，那么就是上述這種情況。然而，如果切割的切割寬度與要制造的 分隔間隙的寬度相一致，那么原則上也可以利用單獨(dú)一次切割來(lái)制造 該分隔間隙。在本發(fā)明的一種改進(jìn)方案中，該孔可以是具有圓形截面的這種孔。 或者該孔也可以具有與圃形截面有差異的、比如長(zhǎng)圓孔形或橢圓形的 截面。可以設(shè)置具有前迷截面的單獨(dú)一個(gè)孔?；蛘咭部梢酝ㄟ^(guò)橫向的、 尤其垂直于切割方向的按照鉆孔的方式并列布置的多個(gè)子孔來(lái)構(gòu)造。 相鄰的子孔在此可以由相對(duì)窄的材料連接物來(lái)相互隔開(kāi)，其中這些材 料連接物可以容易地被斷開(kāi)。在使用薄片鋸來(lái)插入分隔間隙時(shí)優(yōu)選地設(shè)置有另 一孔，該孔在從 自由薄片端開(kāi)始的方向上成行地設(shè)置于該第一孔之后，并與該第一孔 相間隔，使得借助薄片鋸所產(chǎn)生的鋸縫在該壓電襯底片的表面上達(dá)到 該另一孔，并同時(shí)達(dá)到該第一孔的前孔區(qū)域的下邊緣。該另一孔從而 可以用作所切割至的定位標(biāo)志，其中則與鋸片的曲率半徑相互協(xié)調(diào)地 來(lái)保證在該第一孔上達(dá)到了前孔區(qū)域的下邊緣，由此從而不產(chǎn)生圓的切割范圍。在本發(fā)明的一種改進(jìn)方案中，多個(gè)壓電襯底片通過(guò)其表面相互重 疊地附著，在所形成的壓電襯底片組上的多個(gè)壓電襯底片上同時(shí)形成 分隔間隙。比如可以通過(guò)一種內(nèi)鉆孔鋸來(lái)進(jìn)行分隔間隙的插入，其中 該內(nèi)鉆孔鋸在切割時(shí)提供了高的精確度，而不產(chǎn)生粗糙度。


本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例在附圖中示出并在下文中進(jìn)行解釋。其中 圖1示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的一個(gè)壓電襯底片的俯視圖， 圖2示出了在插入分隔間隙時(shí)圖1的壓電襯底片的透視圖， 圖3示出了在插入分隔間隙之后圖1的壓電襯底片的透視圖， 圖4示出了圖3的單元X的放大圖，其具有沿圖3中的線IV-IV 穿過(guò)該壓電襯底片的 一次切割，圖5示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的一個(gè)壓電襯底片的俯視圖， 圖6示出了在插入分隔間隙時(shí)圖5的壓電襯底片的透視圖， 圖7示出了在插入分隔間隙之后圖5的壓電襯底片的透視圖， 圖8示出了圖7的單元Y的放大圖，其具有沿圖7中的線VIII-VIII穿過(guò)該壓電襯底片的一次切割，圖9示出了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的一個(gè)壓電襯底片的俯視圖， 圖10示出了在插入分隔間隙時(shí)圖9的壓電襯底片的透視圖， 圖11示出了在插入分隔間隙之后圖9的壓電襯底片的透視圖， 圖12示出了圖11的單元Z的放大圖，其具有沿圖11中的線XII-XII穿過(guò)該壓電襯底片的一次切割，圖13示出了在分離過(guò)程之后一個(gè)壓電彎曲變換器的俯視圖。
具體實(shí)施方式
圖1至4示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的一個(gè)壓電襯底片11。這 種壓電襯底片ll通過(guò)兩個(gè)不同的處理步驟來(lái)制造，亦即層壓處理和 涂層處理。在層壓中提供了一種栽體初始結(jié)構(gòu)，該載體初始結(jié)構(gòu)也可以稱作 半固化片(Prepreg)。半固化片是以優(yōu)選片狀的、還未固化的彎曲 松弛的毛坯形態(tài)的半成品，其中該毛坯還具有封入的加強(qiáng)纖維。該加 強(qiáng)纖維適當(dāng)?shù)匚挥谝换蚨鄠€(gè)單向的層上，該單向?qū)釉诎牍袒目v向 或橫向上。適當(dāng)?shù)匮刂旅鎸⒁枋龅膲弘妼?2的縱向方向?qū)R。當(dāng) 然該加強(qiáng)纖維也可以是編織物狀或纖維束狀?？梢砸赃€未固化的狀態(tài) 容易地使該半固化片成型并制成所期望的狀態(tài)。此外由于其粘性特征 而可以非常精密地來(lái)裝配元件。所述的元件是采用電路板形式設(shè)計(jì)的觸點(diǎn)單元13，該觸點(diǎn)單元具有用電氣絕緣材料制成的基板14。作為基板材料考慮使用玻璃纖維增強(qiáng)的環(huán)氧樹(shù)脂或合成樹(shù)脂。在該基板14的正面15上設(shè)置有由導(dǎo)電材料(比如銅)制成的多個(gè) 接點(diǎn)單元17，其中該基板稍后脫離載體16。也稱作接點(diǎn)焊盤的接點(diǎn)單 元17比如可以進(jìn)行光刻涂敷，其中一個(gè)接點(diǎn)焊盤18用于與下文中詳 細(xì)描述的上電極19相接觸， 一個(gè)第二接點(diǎn)焊盤20用于與下電極相接 觸。該載體初始結(jié)構(gòu)另外還裝配有壓電層12。該壓電層12基本直接與該觸點(diǎn)單元13的長(zhǎng)邊相鄰接。也可稱作壓電體的壓電層12由一種 壓電激活材料、尤其一種鉛-鋯酸-鈦氧化物陶瓷(PZT)或者其他一 種壓電陶瓷來(lái)構(gòu)成。也可以考慮壓電層的單層或多層構(gòu)造。在進(jìn)行層壓時(shí)，該壓電層12在熱量和壓力作用下利用該栽體半固 化片而被成型。在此該載體半固化片的基體材料、比如環(huán)氧樹(shù)脂通常 被擠壓，使得該壓電層12的背面大面積地與導(dǎo)電的加強(qiáng)纖維相接觸。 該加強(qiáng)纖維的這個(gè)區(qū)域現(xiàn)在可以為該壓電層12形成一個(gè)下電極。在該 觸點(diǎn)單元13與該栽體初始結(jié)構(gòu)之間在用高的溫度來(lái)固化該栽體初始 結(jié)構(gòu)時(shí)形成了一個(gè)取決于物質(zhì)的連接，如此使得存在一個(gè)固定粘接的 元件。該載體初始結(jié)構(gòu)在該層壓之后變成載體16。在該層壓處理之后進(jìn)行涂層處理，該涂層處理比如借助絲網(wǎng)印刷 或?yàn)R射來(lái)實(shí)施。這里在該壓電層12的朝向觸點(diǎn)單元13的邊緣上以及 與之相對(duì)的邊緣上印刷了電介質(zhì)21、 22,亦即由不導(dǎo)電材料構(gòu)成的 層。此外在該壓電層12上印刷了薄導(dǎo)電層，該導(dǎo)電層形成了該上電極 19。比如碳纖維材料就適合于此。如圖l所示，完成涂層的壓電襯底片ll從而具有多個(gè)條狀的薄片 初始結(jié)構(gòu)23、 24，其中相鄰的薄片初始結(jié)構(gòu)23、 24成對(duì)地相互配對(duì)。 薄片初始結(jié)構(gòu)23、 24的成對(duì)分配比如通過(guò)一個(gè)相應(yīng)的第二接點(diǎn)焊盤 20來(lái)形成，其中該接點(diǎn)焊盤在其端部在這兩個(gè)相互配對(duì)的薄片初始結(jié) 構(gòu)23、 24上延伸。相互間隔設(shè)置的該第二接點(diǎn)焊盤20的區(qū)域和該第 一接點(diǎn)焊盤18的區(qū)域、以及位于該接點(diǎn)焊盤18、 20之間的基板14 區(qū)域是該末端固定區(qū)域25，在該末端固定區(qū)域處相互連接了被分開(kāi)的 壓電變換器的薄片36、 37。該薄片初始結(jié)構(gòu)23、 24在該觸點(diǎn)單元13 的邊緣上相連接，并分別由該載體16的一個(gè)條狀區(qū)域、其上所層壓的 壓電層12以及上和下電極19來(lái)組成。如在圖1和4中所示，在該末端區(qū)域25中在兩個(gè)第一接點(diǎn)焊盤 18之間存在一個(gè)孔26a，尤其直接位于在該基板14的邊緣上，也即 在該基板14與該壓電層12的過(guò)渡部位上。根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例， 該孔26a具有一個(gè)圓形的截面。該孔26a在厚度方向上穿透該壓電襯 底片。該孔長(zhǎng)度從而延伸到該壓電襯底片11的整個(gè)厚度。該孔26a 具有朝向該薄片初始結(jié)構(gòu)23、 24的自由薄片端的一個(gè)前孔區(qū)域27a, 該前孔區(qū)域27a從而基本位于該基板14的邊緣。另外還設(shè)置了一個(gè)后孔區(qū)域28a，該后孔區(qū)域與該前孔區(qū)域27a相對(duì)。如圖l中所示， 該孔26a位于在該基板14與該壓電層12之間的過(guò)渡部位上所印刷的 電介質(zhì)21之下。另外還設(shè)置有另一孔29a,該孔從自由薄片端開(kāi)始成行地設(shè)置于 孔26的后面。根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例，該孔29a還具有一個(gè)圓形 的截面，尤其具有基本與孔26a大小相同的直徑。該孔26a和另外的孔29a可以填充有不導(dǎo)電的絕緣材料，比如環(huán) 氣樹(shù)脂，以對(duì)完成的壓電彎曲變換器的薄片進(jìn)行電氣隔離。接著在具有前迷構(gòu)造的壓電襯底片11上分別在兩個(gè)相互配對(duì)的 相鄰薄片初始結(jié)構(gòu)23、 24之間的區(qū)域中插入分隔間隙30。利用工具 來(lái)進(jìn)行分隔間隙30的插入，該工具還用于以下的分離過(guò)程。在此具有 鋸片32的一種薄片鋸31是尤其合適的。由此可以產(chǎn)生非常精密的切 割，由此防止在邊緣上產(chǎn)生破裂。典型地這種薄片鋸的鋸片 (Trennscheibe ) 32以相當(dāng)微小的高度、比如小于2咖超出該薄片 鋸31的相對(duì)大的凸緣。鋸片32的直徑通常比如壓電襯底片11的厚 度大得多。另外該鋸片32的厚度通常小于要制造的分隔間隙30的寬 度，使得兩次平行的切割33是必要的，其中位于切割33之間的材料 被分離出來(lái)。在開(kāi)始形成鋸縫之前，該壓電襯底片借助一種基材、比 如一種承栽薄膜來(lái)固定。也可以借助負(fù)壓來(lái)吸緊固定。在此該鋸軌道 可以事先設(shè)置在比如負(fù)壓吸緊裝置中。在形成切割33時(shí)，該鋸片32切入到該壓電4于底片11中的一個(gè) 預(yù)定位置。該切割在厚度方向上透過(guò)整個(gè)壓電襯底片11。由于與鋸片 突出和鋸片直徑有關(guān)的幾何關(guān)系，在該壓電襯底片11中在>^皮切入的切 割33的末端得到一個(gè)圓的切割范圍34。如杲存在這種切割范圍34， 那么在考慮到該壓電彎曲變換器的彎曲特性和疲勞強(qiáng)度時(shí)這是有害 的。然而孔26a防止出現(xiàn)具有前述有害特征的這種圓的切割范圍34。尤其如在圖4中所示，也就是說(shuō)該切割直至該孔26a的前孔區(qū)域 27a在該孔26a的整個(gè)孔長(zhǎng)度上來(lái)形成，其中該孔長(zhǎng)度在該壓電襯底 片11的厚度方向上延伸。該切割從而在該孔26a的下邊緣上結(jié)束。 圓的切割范圍34從而進(jìn)入到該孔26a中，其中在此確實(shí)沒(méi)有材料因 而沒(méi)有所迷的切割范圍34。在該第一切割之后進(jìn)行一個(gè)平行的第二切割，同樣在該孔26a的整個(gè)孔長(zhǎng)度上直至該孔26a的前孔區(qū)域27a，其中該孔長(zhǎng)度沿該壓電 襯底片ll的厚度方向延伸。位于切割33之間的材料被分離出來(lái)或者 自動(dòng)落下來(lái)，由此產(chǎn)生一個(gè)分隔間隙30,它的末端固定間隙端35通 過(guò)該孔26a的后孔區(qū)域28a來(lái)形成。該末端固定間隙端35基本垂直 于該壓電襯底片11的表面來(lái)延伸。另一孔29a從而用作在實(shí)施該切 割33時(shí)的定位輔助。因?yàn)樵摽?6a已經(jīng)覆蓋了電介質(zhì)21,所以把另 一孔29a作為停止點(diǎn)，其中在該壓電襯底片11的表面上直至另一孔 29a的區(qū)域都被切割掉。把該另 一孔29a以確定的間隔設(shè)置于該孔26a 之后，其中在達(dá)到另一孔29a時(shí)由于該切割范圍34而同時(shí)達(dá)到了該 孔26a的前孔區(qū)域27a的下邊緣。那么該切割33處于正確的位置。如果該分隔間隙30已經(jīng)插入到該壓電襯底片11中，那么就緊接 著進(jìn)行分離過(guò)程。在此該壓電襯底片11同樣利用薄片鋸31而被分離 為壓電彎曲變換器。這種壓電彎曲變換器在圖13中示出。該壓電彎曲 變換器從而具有通過(guò)分隔間隙30相互分隔的相互平行設(shè)置的兩個(gè)薄 片36、 37，其中該薄片分別從一個(gè)自由薄片端延伸到末端固定區(qū)域 25,在該末端固定區(qū)域處這兩個(gè)薄片36、 37相互連接。該分隔間隙 30結(jié)束于該末端固定區(qū)域25中的一個(gè)末端固定間隙端35。圖5至8示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例。與之前所述的第一實(shí)施例 相反，在此該孑L26a由多個(gè)子孑L26bl、 26bII、 26bIII組成，這些 子孔基本垂直于切割方向按照鉆孔的方式并列地布置。比如可以設(shè)置 三個(gè)并歹'J的子孑L 26bl、 26bII和26bIII。該子孑L 26bl、 26bII、 26bIII通過(guò)窄的材料連接物而相互隔開(kāi)，其中這些材料連接物可以以 簡(jiǎn)單的方式而斷開(kāi)。另外，另一孔29b同樣由子孔29bl、 29bII、 29bIII來(lái)構(gòu)成。f亥子孑L 29bl、 29bII、 29bIII成4亍地位于i亥孑L 26b 的子孑L26bl、 26bII、 26blII之后。i亥子孑L26bl、 26bII、 26bIII 在厚度方向上穿透該壓電襯底片。該子孔29bl、 29bII、 29bIII同 樣可以在厚度方向上完全穿透該壓電襯底片11。利用該薄片鋸31再次實(shí)施了兩個(gè)平行的切割33并且跨越兩個(gè)子 孑L26bl、 26bIII整個(gè)孑L長(zhǎng)&上直至兩個(gè)夕卜子孑L26bl、 26bIII的l月 向自由薄片端的前孔區(qū)域，其中該孔長(zhǎng)度在該壓電襯底片的厚度方向 上延伸。這兩次平行的切割33可以在該壓電襯底片ll的正面上基本 居中i也穿過(guò)兩個(gè)夕卜子孑L 26bl、 26bIII。后面的子孑L29bl、 29bII、29blII再次用作在實(shí)施切割時(shí)的定位輔助。位于兩次切割33之間的 材料那么就可以被切割掉，在此尤其把位于前子孔26bl、 26bII、 26blII之間的窄的材料連接物斷開(kāi)，使得再次形成一個(gè)分隔間隙30。 在形成該分隔間隙30之后再次以前述的方式來(lái)進(jìn)行壓電彎曲變換器 的分離。圖10至12示出了本發(fā)明的一個(gè)第三實(shí)施例。與前述的實(shí)施例不 同之處在于，孔26c設(shè)置有橢圓的或長(zhǎng)圓孔形的截面。這里再次還在 該孔26c之后成行地設(shè)置具有橢圓或長(zhǎng)圓孔形截面的另一孔29c。該孑L26c、 29c在厚度方向上完全穿透該壓電襯底片。在此還利用;i片鋸31在此實(shí)施了兩次平4亍的切割33并且跨越該 孔26c的整個(gè)長(zhǎng)度直至該孔26c的朝向自由薄片端的前孔區(qū)域27c方 向，其中該孔長(zhǎng)度在壓電村底片的厚度方向上延伸。在形成該分隔間 隙30之后又進(jìn)行上面所述的壓電彎曲變換器的分離。
權(quán)利要求
1.用于制造壓電彎曲變換器的方法，其中該壓電彎曲變換器分別具有通過(guò)一個(gè)分隔間隙(30)相互分隔的、相互平行設(shè)置的兩個(gè)薄片(36、37)，其中所述薄片分別從一個(gè)自由薄片端延伸至一個(gè)末端固定區(qū)域(25)，在該末端固定區(qū)域處所述兩個(gè)薄片(36、37)相互連接，其中所述分隔間隙(30)結(jié)束于所述末端固定區(qū)域(25)中的一個(gè)末端固定間隙端(35)，所述方法具有以下的步驟-提供具有多個(gè)條狀薄片初始結(jié)構(gòu)(23、24)的一個(gè)多層板狀壓電襯底片(11)，其中分別在兩個(gè)相互配對(duì)的薄片初始結(jié)構(gòu)(23、24)之間的末端固定區(qū)域(25)中設(shè)置在厚度方向上穿過(guò)所述壓電襯底片(11)的孔(26a、26b、26c)，-在兩個(gè)相互配對(duì)的薄片初始結(jié)構(gòu)(23、24)之間插入相應(yīng)的分隔間隙(30)使得該分隔間隙在所述孔(26a、26b、26c)的整個(gè)孔長(zhǎng)度上延伸至該孔(26a、26b、26c)的朝向自由薄片端的前孔區(qū)域(27a、27b、27c)，其中該孔長(zhǎng)度在所述壓電襯底片(11)的厚度方向上延伸，-借助一種分離工具把設(shè)置有分隔間隙(30)的壓電襯底片(11)分離為壓電彎曲變換器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過(guò)到達(dá)所屬孔 (26a、26b、26c)的兩次切割(33)來(lái)構(gòu)成一個(gè)相應(yīng)的分隔間隙(30)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述孔(26a) 是具有圓形截面的孔。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述孔(26c) 是具有長(zhǎng)圓孔形截面的孔。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述孔(26b) 通過(guò)橫向的、尤其垂直于切割方向按照鉆孔的方式并列布置的多個(gè)子 孑L (26bl、 26bII、 26bIII)來(lái)構(gòu)造。
6. 根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其特征在于，在插入所 述分隔間隙時(shí)(30)，切割到位于所述壓電襯底片之下的基材中。
7. 根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其特征在于，利用所述 的分離工具來(lái)實(shí)施分隔間隙(30)的插入。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述分離工具是一種鋸。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，作為鋸使用了具 有旋轉(zhuǎn)鋸片(32)的薄片鋸(31),其中該鋸片優(yōu)選地分別切入到在 兩個(gè)配對(duì)的薄片初始結(jié)構(gòu)(23、 24)之間的區(qū)域中。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，設(shè)置有另一孔 (29a、 29b、 29c)，其中該另 一孔從自由薄片端開(kāi)始成行地設(shè)置于所述第一孔(26a、 26b、 26c)之后，并與所述第一孔相間隔，使得 在使用薄片鋸(31)時(shí)所述切割(33)在所述壓電襯底片(11)的表 面上達(dá)到該另一孔(29a、 29b、 29c)，其中同時(shí)達(dá)到了所述第一孔 (26a、 26b、 26c)的前孑L區(qū)域(27a、 27b、 27c)的下邊^(qū)彖。
11. 根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其特征在于，多個(gè)壓電 襯底片(11)以表面對(duì)表面的方式相互重疊地相附著，并然后作為壓 電襯底片組在多個(gè)壓電襯底片(11)上同時(shí)形成分隔間隙(30)。
全文摘要
本發(fā)明推薦了用于制造壓電彎曲變換器的方法，其中該壓電襯底片變換器分別具有通過(guò)一個(gè)分隔間隙(30)相互分隔的、相互平行設(shè)置的兩個(gè)薄片(36、37)，該薄片分別從一個(gè)自由薄片端延伸至一個(gè)末端固定區(qū)域(25)，在該末端固定區(qū)域處這兩個(gè)薄片(36、37)相互連接，其中該分隔間隙(30)結(jié)束于該末端固定區(qū)域(25)中的一個(gè)末端固定間隙端(35)，其中該方法按照以下的步驟來(lái)執(zhí)行在兩個(gè)相互配對(duì)的薄片初始結(jié)構(gòu)(23、24)之間如此插入相應(yīng)的分隔間隙(30)，使得該分隔間隙在所述孔(26a、26b、26c)的整個(gè)孔長(zhǎng)度上延伸至該孔(26a、26b、26c)的朝向自由薄片端的前孔區(qū)域(27a、27b、27c)，其中該孔長(zhǎng)度在所述壓電襯底片(11)的厚度方向上延伸，借助分離工具把設(shè)置有分隔間隙(30)的壓電襯底片(11)分離為壓電彎曲變換器。
文檔編號(hào)H01L41/39GK101237022SQ200810009268
公開(kāi)日2008年8月6日 申請(qǐng)日期2008年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月31日
發(fā)明者A·施米德, A·肖爾茨, M·韋因曼 申請(qǐng)人:費(fèi)斯托合資公司