專利名稱：貯存架和貯存方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在搬運液晶玻璃基片等的被搬運物品的搬運工序 中，暫時地貯存被搬運物品的貯存架和貯存方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造、液晶制造、FA (Factory Automation)等中，將液晶玻璃基片或半導(dǎo)體晶片等的多片被處理物(被搬運物)貯存在盒內(nèi)， 就要以盒為單位搬運到暫時保管貯存裝置或施行各種處理的處理裝置 等中。而且，作為現(xiàn)有的貯存裝置有一種由多個貯存部構(gòu)成的貯存架， 各個貯存部由利用各個貯存部的左右側(cè)面上對向配置的一對直線狀構(gòu) 件的欞條支撐盒的左右兩底面而構(gòu)成。日本專利文獻1中公開了一種 將該被搬運物經(jīng)由搬運路徑轉(zhuǎn)載到貯存裝置和各個處理裝置等的轉(zhuǎn)載 裝置。根據(jù)這篇日本專利文獻l，由于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動的第一及第二杠桿，會 使裝載被搬運物的叉狀裝置伸縮，通過轉(zhuǎn)載裝置下降，將被搬運物裝 載到貯存裝置、各個處理裝置等內(nèi)。
日本專利文獻l:特開2002—370184號公報(圖l) 可是，該專利文獻l中，在裝載了被搬運物的狀態(tài)下伸長叉狀裝 置時，由于被搬運物的重量使叉狀裝置彎曲。因此，對于裝載被搬運 物的各個處理裝置的裝載部來說，就不可能維持被搬運物平行了。這 樣一來，裝載被搬運物時，被搬運物相對裝載部會傾斜下降，只有被 搬運物的最低點最初與裝載部相接觸。并且，繼續(xù)照舊裝載動作時， 其接觸部分錯動裝載部，其結(jié)果是，在被搬運物與裝載部之間產(chǎn)生滑 動磨損，并產(chǎn)生了大量的微粒(微小塵埃)。配置有上述轉(zhuǎn)載裝置和 處理裝置的空間雖然進行了空氣凈化，但是若這些微粒等伴隨著氣流 也附著于其他的被搬運物上的話，就會發(fā)生制品質(zhì)量下降這樣的問題 啦。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提出一種不會產(chǎn)生微粒等而能夠貯存被搬運物 的貯存架和貯存方法。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明為一種貯存架，該貯存架借助于具備水 平移動被搬運物的水平杠桿部和升降該被搬運物的升降部的轉(zhuǎn)載裝 置，可搬出搬入地保管被搬運物，其特征在于備有通過用所述轉(zhuǎn)載 裝置水平移動到裝載位置的上方以后再下降，將所述被搬運物裝載在 所述裝載位置上的裝載部；以及設(shè)置在下降到所述裝載部裝載所述被 搬運物之際最初接觸的部分的，沿所述水平移動方向移動自如的移動 部。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，水平移動降運載上述被搬運物的上述轉(zhuǎn)載裝置的 上述水平杠桿部時，上述水平杠桿部由于上述被搬運物的重量，朝向 水平移動方向頂端彎曲。在這種狀態(tài)下下降上述轉(zhuǎn)載裝置的上述升降 部的話，在上述被搬運物完全地裝載到裝載位置之前，上述被搬運物 水平移動方向頂端與上述移動部相接觸。之后，隨著上述被搬運物的 下降，由于上述被搬運物的水平移動方向頂端和作為在水平移動方向 移動自如的上述移動部向水平移動方向移動，所以在上述被搬運物與 上述裝載部之間就不會產(chǎn)生滑動磨損。因此，不會因滑動磨損而產(chǎn)生 微粒(微小塵埃)，能夠?qū)⑸鲜霰话徇\物裝載到上述裝載部，并貯存 上述被搬運物。另外，本發(fā)明也可以是上述裝載部具有相對配置，在上述被搬運 物的下面兩端部支撐上述被搬運物的一對直線狀支撐構(gòu)件和設(shè)置在直 線狀支撐構(gòu)件上的大致長方體形狀的缺口部，上述移動部具有旋轉(zhuǎn)軸 與上述水平動方向垂直地配置在上述缺口部的旋轉(zhuǎn)滾筒和可旋轉(zhuǎn)自 如地保持旋轉(zhuǎn)滾筒并支撐上述被搬運物的移動支撐部。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，用上述轉(zhuǎn)載裝置將上述被搬運物裝載到上述裝載 部時，在上述被搬運物最初接觸的部分設(shè)有在水平移動方向旋轉(zhuǎn)的旋 轉(zhuǎn)滾筒和具有支撐上述被搬運物的移動支撐部的移動部。因此，上述 被搬運物傾斜地與上述裝載部接觸后，即使在被裝載的情形下，因為 與用上述移動支撐構(gòu)件支撐的上述被搬運物的同時，上述移動部通過 上述旋轉(zhuǎn)滾筒也在水平移動方向轉(zhuǎn)動，所以能夠降低在上述被搬運物 與上述直線狀支撐構(gòu)件之間產(chǎn)生摩擦等的危險。另外，本發(fā)明中與上述水平移動方向平行地伸縮的彈性體用彈性 體的各個兩端固定上述移動體和上述裝載部也行。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，將上述被搬運物裝載到上述裝載部內(nèi)，由于上述 被搬運物而使上述移動部沿水平移動方向移動時，上述彈性體處于上 述移動部的上述水平移動方向時，只是縮小上述彈性體移動的部分， 上述彈性體處于和上述水平移動方向的相反方向時，只是伸長上述彈 性體移動的部分。之后，將上述被搬運物從上述裝載部去掉時，隨著 伸縮力而使上述彈性體恢復(fù)到將上述被搬運物裝載到上述裝載部之前 的狀態(tài)，所以固定在上述彈性體上的上述移動部也回到將上述被搬運 物裝載到上述裝載部之前的位置。因此，上述被搬運物裝載在上述裝 載部時，能夠省去控制上述移動體配置在上述被搬運物與上述裝載部 的最初接觸位置。另外，本發(fā)明通過沿裝載部方向下降被搬運物，該被搬運物的一 部分最初與上述裝載部接觸后，該被搬運物的一部分一邊對上述裝載 部滑動一邊最終整個裝載該被搬運物時，使上述裝載部的上述被搬運 物的一部分最初接觸的部位向上述滑動的方向移動。根據(jù)該方法，通過使上述被搬運物的一部分最初接觸的上述裝載 部的部位向滑動的方向移動，從接觸的位置移動到最終整個裝載上述 被搬運物位置的期間能夠避免由于上述被搬運物的滑動而產(chǎn)生上述被 搬運物與上述裝載部的摩擦。


圖1為表示本實施方式的貯存架中，裝載部和使被搬運物下降并 裝載到裝載部時，沿設(shè)定為最初接觸部分的水平移動方向移動自如的移動部的剖視圖，圖1 (a)表示在圖3中的A—A^面的剖視圖，圖l (b)表示在圖3中的B—B'面的剖視圖。圖2為表示本實施方式貯存架的裝載部及移動部的立體圖。 圖3為表示本實施方式貯存架的裝載部及移動部的頂視圖。 圖4為用于說明轉(zhuǎn)載裝置與裝載部的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4 (a)表示 頂視圖，圖4(b)表示側(cè)視圖。圖5為用于說明被搬運物裝載到裝載部上的動作圖。 圖6為表示解決本發(fā)明問題方面的轉(zhuǎn)載裝置側(cè)視圖。 圖7為用于說明解決本發(fā)明問題方面的解決方法的被搬運物及裝 載部的側(cè)視圖，圖7 (a)表示被搬運物的水平移動方向頂端部與裝載 部接觸的圖。圖7 (b)表示隨著被搬運物的下降，被搬運物的水平移 動方向頂端部和移動部一起向水平移動方向移動的圖，而圖7(c)表示整 個被搬運物完全裝載在裝載部的圖。圖8為表示本發(fā)明第一改變例的立體圖。圖9為表示本發(fā)明第二改變例的立體圖。符號說明1 貯存架 la 單元架2 盒(載置部)2a支撐部(直線狀支撐構(gòu)件)2b 缺口部3 搬出搬入裝置(移載裝置) 10盒(被搬運物) 20滑塊構(gòu)件(移動部)22 滑板(移動支撐部)23 滾筒(旋轉(zhuǎn)滾筒)具體實施方式
下面，說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。本實施方式的貯存架l是一種暫時地保管搬運被搬運物的所謂的"盒"。如圖4所示，它是由一 個以上貯存被搬運物的單元架la構(gòu)成。被搬運物用搬出搬入裝置3出 入單元架la。并且，本實施方式中，所謂被搬運物，就是貯存例如多枚玻璃基 片或半導(dǎo)體晶片等的正方體或具有長方體形狀的盒。在下面的說明中， 將被搬運物稱為"盒"。(機械結(jié)構(gòu)單元架la) 如圖4 (b)所示，貯存架1中沿垂直方向設(shè)有四層單元架la，單 元架la配置了以盒10的底面支撐盒10的盒2 (裝載部)。并且，借 助于下述的搬出搬入裝置3 (轉(zhuǎn)載裝置)，使盒IO水平移動和下降， 把盒10裝載到單元架la的欞條2上。(機械結(jié)構(gòu)欞條2) 如圖4 (a)所示，欞條2由支撐盒10底面的兩端的對向配置的 一對直線狀支撐部2a (直線狀支撐構(gòu)件)構(gòu)成。進而，如圖l(a)所示 的表示圖3中的A—A '面的剖視圖，由于支撐部2a的一部分上形成 具有大致長方體底面的缺口部2b，所以支撐部2a的剖面具有大致"- " 字形狀。而且，圖l(a)和圖1 (b)中所示的表示圖3中的B—B '面的 剖視圖，缺口部2b和水平移動方向平行，兩個滑動構(gòu)件20 (移動部) 分別配置在將缺口部2b的長度大致三等分的位置，支撐部2a的兩個外 面?zhèn)扔脧椈?4連接起來。而且，所配置的兩個滑動構(gòu)件20按水平方 向順序就是滑動構(gòu)件20b、滑動構(gòu)件20a。如圖2及圖3所示，具體地
說，順著水平方向觀察時，支撐部2a與滑塊20b之間、滑動構(gòu)件20b 與滑塊20a之間、而且滑塊20a與支撐部2a之間，在支撐部2a的兩個 外面?zhèn)确謩e都用彈簧24連接起來。此時的彈簧24維持在自然長度， 進而，在缺口部2b的底面配設(shè)底板21，滑動構(gòu)件20在該底板21上沿 著水平移動方向往復(fù)移動。如圖l(b)所示，該底板21的寬度比支撐部 2a (缺口部2b)的寬度稍長，兩端部曲折成"L"字型，用該"L"字 型部分夾住支撐部2a的樣子與支撐部2a嵌合。上述缺口部2b及滑動構(gòu)件20設(shè)置在將盒10裝載在欞條2上時最 初與盒10接觸的部分。后面詳細敘述，不過盒10裝載在欞條2上時， 盒IO朝水平移動方向垂直向下方彎曲。因此，如下述的圖7 (a)所示， 為了將盒10裝載在欞條2上垂直朝下方向下降時，盒10的水平移動 方向頂端最初與欞條2接觸。進而，如下述的圖7(b)所示，盒10隨 著垂直往下方向下降，從水平移動方向頂端開始慢慢地進行和水平移 動方向的反方向與欞條2接觸，盒IO的整個接觸平面沿著水平移動方 向滑動。因而，由于以盒10設(shè)置了滑動構(gòu)件20使其與滑動構(gòu)件20接 觸，所以能夠在水平方向使盒IO滑動。本實施方式中，設(shè)有兩個滑動 構(gòu)件20，不過與設(shè)置了一個滑動構(gòu)件20的情形相比，能夠在寬闊范圍 內(nèi)擋住滑動構(gòu)件20。而且，至于滑動構(gòu)件20的大小及件數(shù)也可適當(dāng)改 變。(機械結(jié)構(gòu)滑動構(gòu)件20) 如圖1 (a) 、 (b)所示，滑動構(gòu)件20具有滑板22和滾筒23。 滑板22由支撐盒10的頂板22a和設(shè)置在該頂板22a的兩端部可旋轉(zhuǎn)自 如地支撐滾筒23的"L"字型的軸承22b構(gòu)成，可在水平移動方向往 復(fù)移動。軸承22b的"L"字部分要與上述底板21的彎曲成"L"字型 的部分相扣合，相關(guān)扣合部分實現(xiàn)水平移動方向往復(fù)運動的滑板22的 滑動作用。另外，軸承22b設(shè)有未圖示的孔，滾筒23的旋轉(zhuǎn)軸23a慢 慢插入(緩揷)，就會使?jié)L筒23介于頂板22a與底板21之間。因此， 滑動構(gòu)件20通過滾筒23在底板21上旋轉(zhuǎn)，就會在底板21上沿著水
平移動方向往復(fù)運動。如上所述，缺口部2b與滑動構(gòu)件20設(shè)置在盒10裝載在欞條2上時最初與盒IO接觸的部分。若更具體地說明，下述搬出搬入裝置3 的第一杠桿30與第二杠桿31在水平移動著的狀態(tài)下，如圖6的箭頭 所示，由于盒10的重量，支撐了盒10的叉狀本體32在頂端處向下方 彎曲。因此，裝載在叉狀本體32的盒IO也在頂端處變得傾斜。因而， 這種狀態(tài)下使盒10向裝載部方向下降時，相對欞條2的支撐部2a就會 傾斜地裝載盒10。此時，對支撐部2a而言，就在與盒10的頂端部分 最初接觸的部分設(shè)置缺口部2 b與滑動構(gòu)件2 0 。還有，配設(shè)缺口部2b與滑動構(gòu)件20的位置，根據(jù)盒體尺寸、 第一及第二杠桿30、 31的長度也可適當(dāng)改變。(機械結(jié)構(gòu)搬出搬入裝置3) 如圖5所示，搬出搬入裝置3由對面平行配置的貯存架1之間形 成的通道6內(nèi)受到運行軌道6a支撐導(dǎo)向并在運行路徑上運行的運行體 (圖未示出)、豎立在運行體上的一對支柱3a、被支柱3a支撐導(dǎo)向而 升降的載荷臺3b、和設(shè)置在上述載荷臺3b上而且與單元架la之間轉(zhuǎn) 載盒10的轉(zhuǎn)載裝置3c構(gòu)成。上述轉(zhuǎn)載裝置3c旋轉(zhuǎn)第一杠桿30及第二杠桿31，叉狀本體32 便在一條直線上移動。而且，本實施方式中雖然沒有詳細敘述，但是 將第一杠桿30、第二杠桿31與叉狀本體32設(shè)置在載荷臺3a上所設(shè)置 的可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)盤34上使其旋轉(zhuǎn)，就會面向通道6，對任何一貫單元 架la都能夠搬出搬入盒10。如圖4(a)所示，叉狀本體32支撐在盒10的底面中央處，能夠穿 過對向的支撐部2a之間。即，支撐盒10的叉狀本體32從欞條2的上 方移動到下方時，叉狀本體32穿過一對支撐部2a之間，但盒10的底 面兩端部拉扯支撐部2a。因此，盒10就會脫離叉狀本體32，同時被裝 載到欞條2上。還有，通過第一及第二杠桿30、 31伸縮(旋轉(zhuǎn))，能 夠在退入位置和伸出位置之間以一定速度水平移動叉狀本體32。所謂 "退入位置"就是曲折第一及第二杠桿30、 31，意味著叉狀本體32位 于單元架la之外，所謂"伸出位置"就是伸長第一及第二杠桿30、 31， 意味著叉狀本體32位于單元架la之內(nèi)。
接下來，說明如上述構(gòu)成的搬出搬入裝置3的盒IO進行貯存時的 動作和對盒10進行裝載時的滑動構(gòu)件20的動作。
(盒10的動作給單元架la搬入盒10) 在叉狀本體32上裝載盒10的搬出搬入裝置3，接受來自未圖示 的操縱控制器等的指令信號，在運行軌道上運行，移動到目標(biāo)貯存架l 前面。之后，升降載荷臺3b，移動至目標(biāo)單元架la處。并且，通過旋 轉(zhuǎn)第一杠桿30及第二杠桿31，叉狀本體32從退入位置水平移動到伸 出位置。還有，處于突出位置的盒10及叉狀本體32，就會至少位于靠 近目標(biāo)單元架la的欞條2上方。
接著， 一邊保持該狀態(tài)一邊使載荷臺3a下降。隨著該載荷臺3a 的下降，叉狀本體32也下降。該叉狀本體32就會穿過對向的支撐部 2a之間，在其穿過之際，叉狀本體32上的盒IO將底面兩端部掛在支 撐部2a上，因此，盒10就裝載在欞條2上。
(貯存架的動作滑動構(gòu)件20)
另外，如上述一樣叉狀本體32由于盒10的重量，頂端部向重力 方向彎曲，在下降的途中，如圖7(a)所示，首先盒10的頂端部與滑 動構(gòu)件20接觸。該接觸部分設(shè)有滑板22，則盒10由滑動構(gòu)件20a的 滑板22支撐著。并且，隨著盒10的下降，由于滾筒23旋轉(zhuǎn)，滑動構(gòu) 件20在底板21上開始向圖7 (b)的水平移動方向的箭頭表示的方向 移動。進而，當(dāng)盒10進行下降時，盒10的底面也與滑動構(gòu)件20b接觸，滑動構(gòu)件20b和滑動構(gòu)件20a同樣，也以與盒IO接觸狀態(tài)向箭頭 方向開始移動。因而，不會在滑動構(gòu)件20與底板21之間因磨損而產(chǎn) 生微粒。盒10由于用滑動構(gòu)件20的滑板22支撐，也不會在盒10與 欞條2之間因磨損而產(chǎn)生微粒。并且，照舊使叉狀本體32下降時，如 圖7(c)所示，盒10就被裝載在欞條2上。滑動構(gòu)件20由于配設(shè)彈簧24，當(dāng)從欞條2上去掉盒IO時，借 助于彈簧24的伸縮力而回到到彈簧24自然長度的原來位置。另外， 在圖7中，在說明情況方面，省略了支撐盒10的叉狀本體32。(盒IO的貯存方法) 接著，就如上述構(gòu)成的貯存架，說明貯存盒10的貯存方法。 首先，使盒10向欞條方向下降。因此，盒10的頂端部最初與欞 條2接觸以后，使盒10的頂端部對欞條2活動，最終整體裝載盒IO。 此時，使欞條2上的盒IO頂端部沿最初接觸的部位滑動的方向移動。 更具體地說，當(dāng)盒10的頂端部與欞條2的滑動構(gòu)件20接觸時，頂端 部就沿滑動方向移動滑動構(gòu)件20。并且，頂端部就一邊向滑動方向移 動， 一邊最終地將盒10裝載在欞條2上。因此，能夠以不會產(chǎn)生微小 塵埃地將盒10裝載在欞條2上。(本實施方式的概要) 如上所述，本實施方式是在通過備有水平移動盒10的轉(zhuǎn)載裝置 3c和升降盒10的載荷臺3a的搬出搬入裝置3，可搬出搬入地保管盒 IO的單元架la中，構(gòu)成了具備通過用搬出搬入裝置3水平移動到裝載 位置的上方后使之下降，將盒10裝載在裝載位置的欞條2，和設(shè)置在 將盒10下降并裝載在欞條2上時最初接觸部分的、在水平移動方向可 移動自如的滑動構(gòu)件20的結(jié)構(gòu)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，使裝載盒10的搬出搬入裝置3的轉(zhuǎn)載裝置3c水 平移動時，轉(zhuǎn)載裝置由于盒10的重量，朝向水平移動方向的頂端彎曲。在這種狀態(tài)下降搬出搬入裝置3的載荷臺3b時，在盒10完全裝載在裝載位置之前，盒10的水平移動方向頂端與滑動構(gòu)件20接觸。之后， 隨著盒10的下降，由于盒10的水平移動方向頂端和在水平移動方向 移動自如的滑動構(gòu)件20同時向水平移動方向移動，所以在盒10與欞 條2之間不會產(chǎn)生滑動磨損。因此，不會因滑動磨損產(chǎn)生的微粒(微 小塵埃)，就能夠?qū)⒑?0裝載在欞條2上貯存盒10。另外，本實施方式是構(gòu)成欞條2具有對向配置，以盒10的下面兩 端部支撐盒10的一對支撐部2a和設(shè)置在支撐部2a的大致長方體形狀 的缺口部2，滑動構(gòu)件20具有旋轉(zhuǎn)軸與水平移動方向垂直、配置在缺 口部2b的滾筒23，和旋轉(zhuǎn)自如地保持滾筒23、并支撐盒10的滑板22 的構(gòu)成。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，用搬出搬入裝置3將盒10裝載在欞條2上時，在 最初與盒10接觸的部分，設(shè)置了具有在水平移動方向旋轉(zhuǎn)的滾筒23 和支撐盒10的滑板22的滑動構(gòu)件20。因此，盒10傾斜地與欞條2接 觸后，即使在這樣裝載的情形下，由于用滑板22支撐的盒10與滑動 構(gòu)件20 —起通過旋轉(zhuǎn)滾筒向水平移動方向移動，所以能夠降低盒10 與欞條2之間產(chǎn)生摩擦之類的危險。另外，本實施方式用彈簧24的各自兩端來固定與水平移動方向平 行伸縮的彈簧24與欞條2也可以。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，將盒10裝載在欞條2上，由于盒10而使滑動構(gòu) 件20向水平移動方向移動的情況下，彈簧24處于滑動構(gòu)件20的水平 移動方向時只縮小己移動的部分，彈簧24處于和水平移動方向的反方 向時只伸長已移動的部分。之后，當(dāng)將盒10從欞條2上去掉時，由于 彈簧24的伸縮力而回到將盒10裝載在欞條2上之前的位置。因此， 當(dāng)將盒10裝載在欞條2上時，能夠省去在盒10最初與欞條2接觸的 位置配置滑動構(gòu)件20的控制。本實施方式技術(shù)，通過使盒10向欞條2方向下降，在盒10的水平移動方向頂端最初與欞條2接觸以后，盒10的水平移動方向頂端部 對欞條2 —邊滑動一邊最終整個裝載盒10的時候，使欞條2上盒10 的水平移動方向頂端最初接觸的滑動構(gòu)件20向上述滑動的方向移動。根據(jù)此方法，由于使盒10的一部分最初接觸欞條2的部位向滑動 的方向移動，在從接觸位置移動到最終整個裝載盒10的位置的期間， 能夠避免因盒10的滑動而產(chǎn)生盒IO與欞條2間的摩擦。(本實施方式的變形例) 本發(fā)明記載了上述的優(yōu)選實施方式，但并非本發(fā)明只限定于此。 可以理解為，除此之外只要不脫離本發(fā)明的構(gòu)思與范圍的各種各樣實 施方式都是搞出來的。進而，本實施方式中，雖然陳述了發(fā)明結(jié)構(gòu)的 作用與效果，不過這些作用與效果只是一個例子，并非限定本發(fā)明。例如,在上述實施方式中，將在裝載方向往復(fù)移動的移動部制成由 滑板22與滾筒23等構(gòu)成的滑動構(gòu)件20，不過并不限定于此。例如， 如圖8所示，也可以制成將滾筒51直接安裝在支撐部2a上結(jié)構(gòu)(改變 例1)。具體點說，在支撐部2a的盒10所裝載的平面上設(shè)置開口部。 并且，并列配置了四個滾筒51，就要將各個滾筒51的旋轉(zhuǎn)軸51a可旋 轉(zhuǎn)自如地慢慢插入到支撐部2a的側(cè)面。此時，滾筒51的上面就會從支 撐部2a稍稍伸出一些。還有，也可以制作在滾筒51的下面?zhèn)仍O(shè)置支撐 滾筒51的支撐板52。另外，如圖9所示，也可以制成滾筒61直接安裝在支撐部2a上， 設(shè)置滑板62覆蓋其上的結(jié)構(gòu)(改變例2)。具體點說，在支撐部2a的 盒IO伸裝載的平面上設(shè)置開口部。并且，并列配置三個滾筒61，就要 將各個滾筒61的旋轉(zhuǎn)軸61a可旋轉(zhuǎn)自如地慢慢插入到支撐部2a的側(cè) 面?；?2的剖面設(shè)置成大致呈字形狀，使之覆蓋三個滾筒61。此時，滑板62的上部就從支撐部2a稍稍伸出些。另外，滑板62 的兩側(cè)面在支撐部2a和內(nèi)部用彈簧63連接起來。這時，彈簧63維持 自然長度狀態(tài)，即使是滑板62向任意方向移動，也能夠借助于彈簧63 回到原來的位置。還有，也可以制成在滾筒61的下面?zhèn)仍O(shè)置支撐滾筒 61的支撐板64。另外，上述本實施方式中，盒10最初與欞條2接觸的位置雖限定 于盒10的頂端，但也可以是盒10被裝到欞條2上的整個平面。具體 點說，相對欞條2從斜上方裝載盒10這樣的情況下，盒10的整個裝 載面就相對欞條2滑動。因此，為了使盒10的整個裝載面滑動就要設(shè) 置滑動構(gòu)件20等，能夠獲得與上述實施方式相同的效果。另外，就盒10裝到欞條2上的方法來說，也可以從上方夾住盒 10，以懸掛狀態(tài)裝到欞條2上，此時，也可以制作使盒IO的頂端部或 整個裝載面滑動這樣的結(jié)構(gòu)D進而，上述本實施方式中，被搬運物雖然設(shè)定盒IO，裝載部為欞 條2,但是并非限定于這些，上述實施方式說明過的結(jié)構(gòu)也可適當(dāng)改變。
權(quán)利要求
1.一種貯存架，該貯存架借助于具備水平移動被搬運物的水平杠桿部和升降該被搬運物的升降部的轉(zhuǎn)載裝置，可搬出搬入地保管被搬運物，其特征在于備有通過用所述轉(zhuǎn)載裝置水平移動到裝載位置的上方以后再下降，將所述被搬運物裝載在所述裝載位置上的裝載部；以及設(shè)置在下降到所述裝載部裝載所述被搬運物之際最初接觸的部分的，沿所述水平移動方向移動自如的移動部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所記載的貯存架，其特征在于， 所述裝載部具有對向配置，并以所述被搬運物的下面兩端部支撐所述被搬運物的 一對直線狀支撐構(gòu)件和設(shè)置在所述直線狀支撐構(gòu)件上的大致長方體形 狀的缺口部，所述移動部具有；旋轉(zhuǎn)軸和所述水平移動方向相垂直配置在所述缺口部的旋轉(zhuǎn)滾筒 和旋轉(zhuǎn)自如地保持所述旋轉(zhuǎn)滾筒并支撐所述被搬運物的移動支撐部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所記載的貯存架,其特征在于， 和所述水平移動方向平行地伸縮的彈性體,用彈性體的兩端分別固定所述移動體與所述裝載部。
4. 一種貯存方法，其特征在于，通過被搬運物向裝載部方向下降，該被搬運物的一部分最初與所 述裝載部接觸后，該被搬運物的一部分一邊相對所述裝載部滑動一邊 最終整個地裝載該被搬運物的時候，使在所述裝載部上的所述被搬運 物的一部分最初接觸的部位向所述滑動的方向移動。
全文摘要
提供一種不會產(chǎn)生微粒等，并將被搬運物存入貯存裝置的貯存裝置。在用具有水平移動盒10的轉(zhuǎn)載裝置3c和升降盒10的載荷臺3b的搬出搬入裝置3，可搬出搬入地保管盒10的單元架1a中，具備有通過用搬出搬入裝置3水平移動到裝載位置的上方以后再使之下降，在裝載位置裝載盒10的欞條2和設(shè)置在使盒10下降并裝載到欞條2上時最初接觸的部分的，可沿水平移動方向移動自如的滑塊構(gòu)件20。
文檔編號H01L21/67GK101108692SQ200710137778
公開日2008年1月23日 申請日期2007年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月3日
發(fā)明者前滝進 申請人:亞仕帝科技股份有限公司