專利名稱：一種離子注入機絕緣套的拆卸裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明主要應用于半導體芯片生產(chǎn)制造領域離子注入機絕緣套拆卸的裝置。
背景技術：
在半導體芯片生產(chǎn)領域中，有一道過程叫離子注入，即由離子注入機通 過高壓將離子注入目標靶。離子注入機的重要部分是離子元，其腔中通過高 壓對目標革巴進行離子注入。離子元的外部，用絕緣套隔離內外部電場，保護 內部離子不受外部電場影響。這個絕緣套需要定期維護， 一般維護每半月或 者一個月拆卸一次?，F(xiàn)在的拆卸辦法是人進入^li器內部進行手工拆卸。由于
絕緣套重量達到20-40公斤，又是懸空安置，空間狹小，造成拆卸困難，勞 動強度大，而且拆卸人員安全無法保證。更重要的是由于是手工作業(yè)，拆卸 精度無法控制，從而影響絕緣效果。

發(fā)明內容
針對以上問題，本發(fā)明提供了一種方便拆卸絕緣軸套的裝置。 一種離子注入機絕緣套的拆卸裝置，該拆卸裝置包括底座、推動螺母 絲杠和支撐托。底座上裝有推動螺母，該推動螺母通過螺紋連接絲杠，絲杠
的頂端設有與絕緣套外表面相配合的支撐托。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，為使用推動螺母更加易于手工操作，所 述的推動螺母上有螺紋嚙合轉動齒輪，轉動齒輪外接搖桿。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述的推動螺母上有螺紋嚙合轉動齒輪， 轉動齒輪外接搖桿。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述的推動螺母和轉動齒輪之間的螺紋嚙 合是垂直嚙合。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述的推動螺母和轉動齒輪的外部可以包 圍一個防護罩。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述支撐托為中空弧形體。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述的底座上裝有三個或者三個以上立 柱，立柱頂端用環(huán)形圈相互連"^妻。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述的底座底部可以裝有三個或者三個以 上轉動輪。
有益效果使用絲杠原理，升降支撐托托住絕緣套，可以更好的定位， 從而精度大大上升，勞動強度減低，安全性能提高。


圖1為本發(fā)明拆卸裝置的結構示意圖。
圖2為本發(fā)明拆卸裝置推動螺母部分的結構示意圖。
具體實施例方式
圖1中，本發(fā)明的拆卸裝置由底座l,推動螺母2，絲杠3和支撐托4 組成。底座1上裝有推動螺母2,螺母2通過螺紋嚙合絲杠3，絲杠3的頂 端設有與絕緣套外表面相配合的支撐托4。
操作時候，轉動推動螺母2，驅動絲杠3升降，絲杠3頂端的支撐托4 也跟著升降。由于支撐托4和絕緣套外表面相互配合，當支撐托4升到和絕 緣套緊密結合的時候，轉動停止，絕緣套被本裝置完全固定，從而可以完成 對絕緣套的拆卸。完成拆裝后，反向轉動推動螺母2，驅動絲杠3下降，絲 杠頂端的支撐托4也跟著降下，本裝置使用結束，撤出工作區(qū)。
圖2中，為使用本裝置轉動靈活并且更加易于操作，可在本裝置中的推 動螺母2上有螺紋嚙合轉動齒輪6，轉動齒輪6外接搖桿5。工作時轉動搖 桿5，帶動與其固定的轉動齒輪6轉動，轉動齒輪6由于與推動螺母2表面 的螺紋嚙合，從而推動螺母2轉動，最終推動了絲杠3的升降。
圖2中，本裝置中推動螺母2和轉動齒輪6之間的螺紋嚙合是垂直嚙合。
圖2中，本裝置中的推動螺母2和轉動齒4侖6的外部可以包圍一個防護 罩7,保護內部絲杠和螺紋嚙合。
圖1中，支撐托4為中空弧形體。
圖1中，本裝置可以在底座1上裝有三個或者三個以上立柱8，立柱8 頂端用環(huán)形圏9相互連接。立柱8和其頂端的環(huán)形圈9是安全裝置。萬一推 動螺母2滑動，絲杠3也會滑落，支撐托4和其上的絕緣套也將掉落。屆時， 這些立柱8和環(huán)形圈9將起到阻擋支撐托4和絕緣套的滑落作用，從而保護 工作人員安全。
圖1中，本裝置可以在底座1底部安裝有三個或者三個以上轉動4侖10, 從而使得裝置移動更加容易。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用于限制本發(fā)明。凡在本 發(fā)明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在 本發(fā)明的保護范圍之內。
權利要求
1.一種離子注入機絕緣套的拆卸裝置，其特征在于該拆卸裝置包括底座(1)、推動螺母(2)、絲杠(3)和支撐托(4)；底座(1)上裝有推動螺母(2)，該推動螺母(2)通過螺紋連接絲杠(3)，絲杠(3)的頂端設有與絕緣套外表面相配合的支撐托(4)。
2， 按照權利要求l所述的拆卸裝置，其特征在于所述的推動螺母(2)上有螺紋嚙合轉動齒輪(6 )，轉動齒輪(6 )外接搖桿(5 )。
3， 按照權利要求2所述的拆卸裝置，其特征在于所述的推動螺母(2)和轉動齒輪(6)之間的螺紋嚙合是垂直嚙合。
4， 按照權利要求2或者3所述的拆卸裝置，其特征在于所述的推動螺母(2)和轉動齒輪(6)的外部可以包圍一個防護罩(7)。
5， 按照權利要求l， 2或者3所述的拆卸裝置，其特征在于所述支撐托(4 )為中空弧形體。
6， 按照權利要求l， 2，或者3所述的拆卸裝置，其特征在于所述的底座(1)上裝有三個或者三個以上立柱(8)，立柱(8)頂端用環(huán)形圈 (9)相互連接。
7， 按照權利要求l， 2，或者3所述的拆卸裝置，其特征在于所述的底 座(1)底部可以裝有三個或者三個以上轉動輪(10 )。
全文摘要
一種離子注入機絕緣套的拆卸裝置，其特征在于該拆卸裝置包括底座(1)、推動螺母(2)、絲杠(3)和支撐托(4)；底座(1)上裝有推動螺母(2)，該推動螺母(2)通過螺紋連接絲杠(3)，絲杠(3)的頂端設有與絕緣套外表面相配合的支撐托(4)。
文檔編號H01L21/02GK101369508SQ20071004485
公開日2009年2月18日 申請日期2007年8月14日 優(yōu)先權日2007年8月14日
發(fā)明者張碧波, 鹖 許 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司