專利名稱：：層疊型壓電元件以及使用該壓電元件的噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及層疊型壓電元件以及使用該壓電元件的噴射裝置，更詳細(xì)地說例如涉及汽車發(fā)動機(jī)的燃料噴射裝置、噴墨器等液體噴射裝置、光學(xué)裝置等精密定位裝置、振動防止裝置等上搭載的驅(qū)動元件；燃燒壓力傳感10器、敲擊傳感器、加速度傳感器、荷重傳感器、超聲波傳感器、感壓傳感器、偏航率傳感器等上搭載的傳感器元件；壓電陀螺、壓電開關(guān)、壓電變壓器、壓電斷路器等上搭載的電路元件等中采用的層疊型壓電元件以及噴射裝置。"
背景技術(shù)：
迄今為止，公知有一種壓電執(zhí)行器，其使用層疊型壓電元件，該層疊型壓電元件具有層疊體，所述層疊體是隔著內(nèi)部電極層(金屬層)對多個(gè)壓電體層進(jìn)行層疊而成的。該壓電執(zhí)行器被分成兩種，一種是同時(shí)燒制類型，另一種是交替層疊由一個(gè)壓電磁器構(gòu)成的壓電體層和板狀體的內(nèi)部電20極層的堆疊類型。由于在低電壓化、制造成本降低以及薄層化的發(fā)明有利，且在耐久性的方面有利，所以同時(shí)燒制類型的壓電執(zhí)行器顯示出優(yōu)越性。圖13A是表示現(xiàn)有的層疊型壓電元件的立體圖。該層疊型壓電元件由層疊體110和在相互對向的側(cè)面上形成的一對外部電極104構(gòu)成。層疊體110是多個(gè)壓電體層101隔著內(nèi)部電極層102而層疊的層疊體。多個(gè)內(nèi)部25電極層102以在層疊體110的相互對向的側(cè)面交替露出的方式被層疊。而且，一對外部電極104分別形成于層疊體110的對向的側(cè)面，每隔一層連接于內(nèi)部電極層102。一般地說，外部電極104是將含有銀等導(dǎo)電材料和玻璃的導(dǎo)電性膏劑涂敷在層疊體110的側(cè)面，通過進(jìn)行燒印而形成的(例如，專利文獻(xiàn)l:日本特開2000—332312號公報(bào)、專利文獻(xiàn)2:日本特開302000—31558號公報(bào)、專利文獻(xiàn)3:日本特開2005—174974號公報(bào))。層疊體110的層疊方向上的兩端面層疊有不活性層109。圖13B是用于說明上述的層疊型壓電元件上的壓電體層101和內(nèi)部電極層102的層疊狀態(tài)的局部截面圖。如圖13A、圖13B所示，在該層疊型壓電元件中，多個(gè)內(nèi)部電極層102沒有形成在壓電體層101的主面整體上，5而形成內(nèi)部電極層102的面積小于壓電體層101的主面的面積的構(gòu)造、所謂局部電極構(gòu)造。在層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層101、101之間存在內(nèi)部電極層102和該內(nèi)部電極層102的側(cè)端部102a與層疊體110的側(cè)面110a之間的周緣部(內(nèi)部電極非形成部位)111。圖14是更詳細(xì)地表示上述層疊型壓電元件上的層疊體的側(cè)面與外部io電極的接合部分的放大截面圖。如圖14所示，層疊體101是構(gòu)成其的壓電體層101(101!，1012，，101n-(n^2))與內(nèi)部電極層102(102!，1022，，102n—,，102n(n^2))交替層疊而成的。在該層疊體110中，設(shè)有例如在壓電體層101的主面上沒有形成內(nèi)部電極層102的周緣部111(.，lllm,.,，lllm+2，'''(2當(dāng)m^n15—3))，該周緣部111被配置成交替鄰接于一對外部電極104。由此，內(nèi)部電極層102每隔一層露出于層疊體110的不同的側(cè)面，并每隔一層分別與在層疊體110的相對的側(cè)面形成的一對外部電極104連接。在將該層疊型壓電元件用作壓電執(zhí)行器時(shí)，利用焊料進(jìn)一步將導(dǎo)線106固定于外部電極104，通過該導(dǎo)線106，在一對外部電極104之間施加20規(guī)定的電位。由此，驅(qū)動層疊型壓電元件。尤其在近年來，層疊型壓電元件要求小型化，并且要求在大的壓力下確保較大的變位量。為此，要求施加更高的電場，要求能夠進(jìn)行長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動。但是，在現(xiàn)有的層疊型壓電元件中，如前所述，由于內(nèi)部電極層102為局部電極構(gòu)造，所以如果對外部電極104、104施加電壓，則只有被位25于壓電體層101的上下的兩片內(nèi)部電極層102夾著的部分、即將一個(gè)內(nèi)部電極層102相對于另一個(gè)內(nèi)部電極層102相層疊方向投影時(shí)重合的區(qū)域變位(變位部)。另一方面，在壓電體層101之中的，如圖13B、圖14所示沒有形成內(nèi)部電極層102的部分(與周緣部lll相接的部分)中，壓電體層101不變位(非變位部)。例如內(nèi)部電極層102m的周緣部lllm的層疊方30向兩側(cè)的壓電體層101m—"101m被同極的內(nèi)部電極層102m—"02mw夾著。因此，由于沒有對相對于周緣部IIU的層疊方向兩側(cè)的壓電體層101m-,、101m施加電場，所以該部分不變位。而且，在周緣部lllm中由于在層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層101m-i、101m相互被牢固地接合，所以存在該周緣部IIU限制層疊體整體的變位，元件的變位量變小的問題。對于周緣部511U+2等其他周緣部也存在上述同樣的問題。另一方面，該周緣部lll為了使內(nèi)部電極層102交替地與一對外部電極104連接而起到確保絕緣性的作用，并且不隔著內(nèi)部電極層102而直接接合壓電體層101彼此，起到提高層疊型壓電元件的抗折強(qiáng)度的作用。專利文獻(xiàn)l:日本特開2000—332312號公報(bào)io專利文獻(xiàn)2:日本特開2000—31558號公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本特開2005—174974號公報(bào)如上所述，近年，由于強(qiáng)烈要求通過小型的層疊型壓電元件確保大的變位量，所以采取增加壓電體層以及內(nèi)部電極層的層疊數(shù)，或施加更高的電場來確保變位量的對策。15但是，在現(xiàn)有的層疊型壓電元件的構(gòu)造中，由于存在沒有形成內(nèi)部電極層的周緣部，所以該部分的壓電體層即使向外部電極施加電壓也不會變位，反而限制變位部的動作(變位)。另一方面，周緣部為了確保絕緣性和確保抗折強(qiáng)度，需要具有某種程度的大小。即，無法縮小內(nèi)部電極層的側(cè)端部和層疊體的側(cè)面之間距離。但是，如果增大周緣部，則限制力變大，20存在變位性能下降的問題。相反如果減小周緣部，則存在抗折強(qiáng)度以及絕緣性下降的問題。
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的是提供一種抗折強(qiáng)度以及絕緣性高、具有優(yōu)越變25位性能的層疊型壓電元件以及具有該元件的噴射裝置。本發(fā)明的層疊型壓電元件由以下構(gòu)成。(1)一種層疊型壓電元件，其具有隔著內(nèi)部電極層層疊多個(gè)壓電體層而成的層疊體，其特征在于，位于在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層間、且位于所述內(nèi)部電極層的30側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間的周緣部的至少一部分，是多個(gè)由無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域隔著空隙散布的散布部。(2)如所述(1)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域是由金屬構(gòu)成的金屬區(qū)域，所述散布部是多個(gè)所述金屬區(qū)域在與所述內(nèi)部電極層絕緣的狀態(tài)下散布而形成的。5(3)—種層疊型壓電元件，其具有隔著內(nèi)部電極層層疊多個(gè)壓電體層而成的層疊體，其特征在于，位于在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層間、且位于所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間的周緣部的至少一部分，是多個(gè)由金屬構(gòu)成的金屬區(qū)域在與所述內(nèi)部電極層絕緣的狀態(tài)下散布的散布部。10(4)如所述(2)或(3)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述金屬區(qū)域由銀鈀合金構(gòu)成。(5.)如所述(1)(4)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域是由陶瓷構(gòu)成的陶瓷區(qū)域，所述散布部是15多個(gè)所述陶瓷區(qū)域散布而形成的。(6)如所述(5)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述陶瓷區(qū)域連結(jié)在所述層疊體的層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層。(7)如所述(5)或(6)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述陶瓷區(qū)域由與所述壓電體層相同的壓電陶瓷構(gòu)成。20(8)—種層疊型壓電元件，其具有隔著內(nèi)部電極層層疊多個(gè)壓電體層而成的層疊體，其特征在于，位于在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層間、且位于所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間的周緣部的至少一部分，是多個(gè)由樹脂構(gòu)成的區(qū)域隔著空隙散布的散布部。25(9)如所述(1)(8)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述散布部比所述內(nèi)部電極層空隙多。(10)如所述(1)(9)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，30具有所述散布部的周緣部與不具有散布部的周緣部相比，內(nèi)部電極層的側(cè)端部和層疊體的側(cè)面之間的距離長。(11)如所述(1)(10)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述層疊體具有所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間5的距離不同的兩個(gè)以上的散布部。(12)如所述(1)(10)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述層疊體具有多個(gè)所述散布部，在層疊方向相鄰的散布部間配置有至少兩層以上的所述壓電體層。10(13)如所述(12)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述多個(gè)散布部以等間隔配置在所述層疊體的層疊方向。(14)如所述(1)(8)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體的全部的周緣部上，在各周緣部的至少一部分分別形成15有所述散布部。(15)如所述(1)(14)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體的側(cè)面形成有每隔一層分別與多個(gè)所述內(nèi)部電極層電連接的一對外部電極，所述外部電極的一部分進(jìn)入所述周緣部的一部分。20(16)如所述(15)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述外部電極的一部分進(jìn)入構(gòu)成所述散布部的多個(gè)所述區(qū)域之間。(17)如所述(15)或(16)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述周緣部形成有從所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部連通到所述外部電極的一部分的空隙。25(18)如所述(15)(17)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體上存在多個(gè)所述外部電極的一部分進(jìn)入的所述周緣部，這些周緣部規(guī)則地配置在所述層疊體的層疊方向上。(19)如所述(15)(18)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，30其特征在于，所述金屬區(qū)域的主成分與所述外部電極的主成分相同。(20)如所述(1)(19)中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體的側(cè)面形成有由樹脂構(gòu)成的被覆層，所述被覆層的一部5分進(jìn)入到所述周緣部的一部分。(21)—種噴射裝置，其特征在于，具備具有噴出孔的容器、和所述(1)(20)的任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，通過所述層疊型壓電元件的驅(qū)動，從所述噴射孔噴射在所述容器內(nèi)填10充的液體。發(fā)明效果根據(jù)上述(1)所述的層疊型壓電元件，由于上述周緣部的至少一部分是多個(gè)由無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域隔著空隙散布的散布部，所以能夠降低限制變位部的變位的非變位部的限制力。另外，在上述周緣部中，由于隔15著空隙使上述區(qū)域散布，所以能夠抑制元件的抗折強(qiáng)度以及絕緣性下降。由此，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高可靠性和高變位性能。其結(jié)果是，與現(xiàn)有技術(shù)相比，即使削減層疊數(shù)，也能夠維持高的變位量，因此，能夠使層疊型壓電元件小型化。另外，與現(xiàn)有技術(shù)相比，即使減小施加電壓，也能夠維持高的變位量。另外，通過使施加電壓下降，能夠更可靠地防止在電極間產(chǎn)生短路20(short)。而且，在本發(fā)明中，所謂"多個(gè)由無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域隔著空隙散布"是指在層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層之間，多個(gè)上述區(qū)域隔著空隙以相互孤立的狀態(tài)配置。在上述(2)所述的層疊型壓電元件中，無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域是由25金屬構(gòu)成的金屬區(qū)域，散布部是多個(gè)金屬區(qū)域在與內(nèi)部電極層絕緣的狀態(tài)下散布而形成的。如此，由于散布部是多個(gè)比構(gòu)成壓電體層的壓電性陶瓷更容易變形的金屬區(qū)域散布而成的，所以能夠進(jìn)一步降低限制變位部的變位的非變位部的限制力。另外，由于金屬區(qū)域由于隔著空隙散布，所以能夠使金屬區(qū)域和壓電體層接觸的面積減少，因此能夠降低金屬區(qū)域夾著壓30電體層的力。另外，在層疊型壓電元件變位時(shí)，壓縮應(yīng)力和拉伸應(yīng)力復(fù)雜地分布，但本發(fā)明的散布部由于是多個(gè)金屬區(qū)域散布而成的，所以能夠分別同時(shí)緩和在一個(gè)散布部內(nèi)存在的各個(gè)金屬區(qū)域從各種方向作用的壓縮應(yīng)力和拉伸應(yīng)力。另外，由于多個(gè)金屬區(qū)域在與內(nèi)部電極層絕緣的狀態(tài)下散布，所以能夠防止周緣部的絕緣性下降。5上述(3)所述的層疊型壓電元件，上述周緣部的至少一部分是多個(gè)由金屬構(gòu)成的金屬區(qū)域在與內(nèi)部電極層絕緣的狀態(tài)下散布的散布部。如此，由于具有多個(gè)比壓電體層更容易變形的金屬區(qū)域散布的散布部，所以能夠降低限制變位部的變位的非變位部的限制力，并且能夠抑制元件的抗折強(qiáng)度以及絕緣性的下降。10如上述(4)所述，在金屬區(qū)域由銀鈀合金構(gòu)成時(shí)，由于銀鈀合金是全率固溶的合金，所以可以使用任意組成比率的合金。由此，由于能夠選擇各種燒制溫度，所以在燒制層疊型壓電元件時(shí)，能夠同時(shí)燒結(jié)緩和層。另外，由于銀鈀合金熔融時(shí)的表面張力高，所以在由銀鈀合金形成的金屬區(qū)域上難以形成銳利的端部。由此，由于接合界面形成圓弧狀的新月，所15以金屬層本身不會產(chǎn)生應(yīng)力集中部位，能夠提高應(yīng)力緩和效果。另外，由于內(nèi)部電極層也是銀鈀，所以能夠在壓電體層的大致整個(gè)面上使燒結(jié)時(shí)的內(nèi)部電極層和壓電體層的熱膨脹差均勻化，因此能夠抑制產(chǎn)生因熱膨脹差引起的應(yīng)力。另外，在上述(5)所述的層疊型壓電元件中，無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)20域是由陶瓷構(gòu)成的陶瓷區(qū)域，散布部是多個(gè)陶瓷區(qū)域散布而形成的。如此，由于散布部是多個(gè)陶瓷區(qū)域散布而形成的，所以在應(yīng)力施加時(shí)，在直接接觸于陶瓷區(qū)域的壓電體層上能夠使應(yīng)力散布分散。另外，直接接觸于應(yīng)力集中部位的陶瓷區(qū)域的壓電體層，對應(yīng)于應(yīng)力使結(jié)晶構(gòu)造變化，能夠吸收該應(yīng)力。另外，在與陶瓷區(qū)域相接的壓電體層25的結(jié)晶構(gòu)造變化時(shí)，由于沒有與陶瓷區(qū)域相接的壓電體層(與空隙相接的壓電體層)的結(jié)晶構(gòu)造也變化，所以應(yīng)力不會局部集中，而分散到散布部整體。即，并不是陶瓷區(qū)域整體直接應(yīng)力緩和，而是利用與陶瓷區(qū)域相接的壓電體層的結(jié)晶構(gòu)造變化，間接地使應(yīng)力緩和。另外，在隔著空隙具備陶瓷區(qū)域和金屬區(qū)域時(shí)，由于與上述效果的相乘效果，能夠進(jìn)一步提高應(yīng)30力緩和效果。即，對于快速沖擊，壓電體發(fā)揮應(yīng)力緩和效果，對于強(qiáng)度大的沖擊，金屬區(qū)域發(fā)揮應(yīng)力緩和效果，因此，在散布部包括金屬區(qū)域和壓電體構(gòu)成的陶瓷區(qū)域時(shí)，應(yīng)力緩和效果最高。另外，如上述(6)所述，陶瓷區(qū)域連結(jié)在層疊體的層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層時(shí)，防止這些壓電體層彼此的接合強(qiáng)度過度下降，能夠提高5元件的抗折強(qiáng)度，且能夠?qū)⑹┘咏o陶瓷區(qū)域的應(yīng)力分散到與陶瓷區(qū)域相接的兩個(gè)壓電體層，從而緩和應(yīng)力。另外，如上述(7)所述，陶瓷區(qū)域由與壓電體層相同的壓電陶瓷構(gòu)成時(shí)，在應(yīng)力作用于陶瓷區(qū)域時(shí)，陶瓷區(qū)域本身對應(yīng)于應(yīng)力使結(jié)晶構(gòu)造變化，從而能夠吸收該應(yīng)力。另外，由于陶瓷區(qū)域隔著空隙散布，所以應(yīng)力10集中部位的陶瓷區(qū)域彼此隔離。因此，在對應(yīng)于應(yīng)力，陶瓷區(qū)域的結(jié)晶構(gòu)造變化時(shí)，對于位于其附近的陶瓷區(qū)域的結(jié)晶構(gòu)造幾乎不造成影響，各個(gè)陶瓷區(qū)域發(fā)揮應(yīng)力緩和效果。另外，由于與陶瓷區(qū)域相接的壓電體層也在此時(shí)的應(yīng)力的作用下結(jié)晶構(gòu)造變化，許哦一不會使因結(jié)晶構(gòu)造變化引起的應(yīng)力只集中于陶瓷區(qū)域，在散布部以及其周邊也能夠吸收應(yīng)力。另外，應(yīng)15力緩和的原動力由于是結(jié)晶構(gòu)造內(nèi)的離子的變位引起的構(gòu)造相轉(zhuǎn)移，所以在壓電陶瓷構(gòu)成的陶瓷區(qū)域的情況下，與金屬區(qū)域相比能夠高速變形。由此，相對于高速沖擊引起的應(yīng)力也能夠追隨于該速度，能夠形成感應(yīng)速度快的應(yīng)力緩和層。另外，如上述(8)所述，散布部也可以是多個(gè)由樹脂構(gòu)成的區(qū)域隔20著空隙散布的散布部。如此，散布部是多個(gè)比構(gòu)成壓電體層的壓電性陶瓷更容易變形的樹脂區(qū)域散布的散布部，所以能夠進(jìn)一步降低限制變位部的變位的非變位部的限制力。如上述(9)所述，優(yōu)選散布部比內(nèi)部電極層空隙多。即，在層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層之間，通過相比于內(nèi)部電極層在周緣部設(shè)置更多的25空隙，由此在變位部能夠充分確保內(nèi)部電極層和壓電體層的接觸面積。另一方面，在非變位部，散布部能夠更可靠地削弱限制層疊體的變位的力，并且能夠緩和在變位部和非變位部的邊界產(chǎn)生的應(yīng)力。在上述(10)所述的層疊型壓電元件中，具有散布部的周緣部與不具有散布部的周緣部相比，內(nèi)部電極層的側(cè)端部和層疊體的側(cè)面之間的距離30長。通過形成這樣的方式，由于能夠以跨過在變位部和非變位部的邊界產(chǎn)生的應(yīng)力集中部位設(shè)置緩和層，所以即使散布部的數(shù)量少，也能夠提高削減限制變位部的變位的限制力的效果。在上述(11)所述的層疊型壓電元件中，層疊體具有內(nèi)部電極層的側(cè)端部和層疊體的側(cè)面之間的距離不同的兩個(gè)以上的散布部。在變位部和非5變位部的邊界應(yīng)力最集中。假若內(nèi)部電極層的側(cè)端部和層疊體的側(cè)面之間的距離均勻，則元件的應(yīng)力越容易集中。因此，不使內(nèi)部電極層的側(cè)端部和層疊體的側(cè)面之間的距離均勻，形成多個(gè)不同的具有兩個(gè)以上的距離的散布部為好。另外，在層疊體的層疊方向上尤其在容易施加應(yīng)力的部位配置上述距離長的散布部，能夠進(jìn)一步提高限制力的降低效果，尤其在需要10高的抗折強(qiáng)度的部位，配置上述距離短的散布部，能夠進(jìn)一步提高強(qiáng)度。如上述(12)所述，在層疊體具有多個(gè)散布部，在層疊方向相鄰的散布部間配置有至少兩層以上的壓電體層時(shí)，能夠維持元件的高抗折強(qiáng)度。另外，如上述(13)所述，在多個(gè)散布部以等間隔配置在層疊體的層疊方向時(shí)，能夠在元件的層疊方向整體上使非變位部的限制力大致均勻。另外，15此時(shí)，應(yīng)力不會集中于特定的層疊部位，能夠使應(yīng)力分散。另外，在本發(fā)明中，在想要進(jìn)一步提高元件的變位量時(shí)，如上述(14)所述，在層疊體的全部的周緣部上，在各周緣部的至少一部分分別形成有散布部即可。由此，能夠?qū)⑾拗谱兾徊康淖兾坏姆亲兾徊康南拗屏υ趯盈B體整體上顯著降低，因此，能夠得到更大的變位量。20上述(15)所述的層疊型壓電元件，在層疊體的側(cè)面形成有每隔一層分別與多個(gè)內(nèi)部電極層電連接的一對外部電極，外部電極的一部分進(jìn)入周緣部的一部分。由此，由于形成從層疊體的側(cè)面向?qū)盈B體中打入樁子的構(gòu)造，所以能夠顯著提高外部電極和層疊體的接合強(qiáng)度。其結(jié)果是即使在高電場、高壓力下進(jìn)行長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動的情況下，也能夠防止外部電極從層25疊體的側(cè)面剝離，因此，能夠良好地保持外部電極和內(nèi)部電極層的連接，能夠防止產(chǎn)生變位特性下降的問題。另外，在連續(xù)地接合外部電極和金屬區(qū)域時(shí)，利用金屬區(qū)域的緩和效果，還能夠緩和外部電極引起的元件的應(yīng)力。另外，如上述(16)所述，外部電極的一部分也可以進(jìn)入構(gòu)成散布部30的多個(gè)區(qū)域之間。由此，能夠進(jìn)一步提高外部電極和層疊體的接合強(qiáng)度。另外，在上述區(qū)域是金屬區(qū)域的情況下，由于外部電極的一部分進(jìn)入金屬區(qū)域之間，所以通過構(gòu)成金屬區(qū)域的金屬和構(gòu)成外部電極的金屬的接合力，能夠進(jìn)一步提高外部電極的接合強(qiáng)度。如上述(17)所述，在周緣部形成有從內(nèi)部的電極層的側(cè)端部連通到5外部電極的一部分的空隙時(shí)，能夠有效地削弱對在該周緣部的層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層進(jìn)行限制的限制力，所以能夠進(jìn)一步增大元件的變位如上述(18)所述，在層疊體上存在多個(gè)外部電極的一部分進(jìn)入的周緣部，這些周緣部規(guī)則地配置在層疊體的層疊方向上時(shí)，外部電極在層疊10體的層疊方向的整個(gè)區(qū)域大致均勻且牢固地被接合。如上述(19)所述，由于在金屬區(qū)域的主成分與外部電極的主成分相同時(shí)，在形成外部電極時(shí)，金屬區(qū)域和外部電極能夠相互擴(kuò)散，所以外部電極相對于層疊體的密接強(qiáng)度變高，能夠提高外部電極的錨效果。其結(jié)果是，即使在高電場、高壓力下長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動的情況下，也能夠防止外部15電極從層疊體的側(cè)面剝離，所以能夠保持良好的外部電極和內(nèi)部電極的連接，能夠防止產(chǎn)生變位特性下降的問題。另外，由于能夠使外部電極和金屬區(qū)域的熱膨脹系數(shù)相同，所以即使層疊型壓電元件的使用環(huán)境溫度變動，也能夠使因外部電極和壓電體的熱膨脹次數(shù)的差引起的應(yīng)力和因金屬區(qū)域與壓電體的熱膨脹系數(shù)的差引起的應(yīng)力相接近。由此，由于在外部電20極和金屬區(qū)域之間內(nèi)部應(yīng)力的差變小，所以利用金屬區(qū)域的緩和效果，還能夠緩和外部電極引起的元件的應(yīng)力。上述(20)所述的層疊型壓電元件，在層疊體的側(cè)面形成有由樹脂構(gòu)成的被覆層，被覆層的一部分進(jìn)入到周緣部的一部分。由此，由于形成從層疊體的側(cè)面向?qū)盈B體中打入樁子(由被覆層的一部分構(gòu)成的被覆層)的25構(gòu)造，所以能夠顯著提高外部電極和層疊體的接合強(qiáng)度。其結(jié)果是即使在高電場、高壓力下進(jìn)行長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動的情況下，也能夠防止外部電極從層疊體的側(cè)面剝離，因此，能夠良好地保持外部電極和內(nèi)部電極層要求的、與元件外部的絕緣特性，能夠防止產(chǎn)生變位特性下降的問題。另外，在連續(xù)地接合外部電極和金屬區(qū)域時(shí)，利用金屬區(qū)域的緩和效果，還能夠緩和30被覆層引起的元件的應(yīng)力。即使產(chǎn)生因張力差引起的應(yīng)力，利用金屬區(qū)域的緩和效果，還能夠緩和因外部電極引起的元件的應(yīng)力。上述(21)所述的本發(fā)明的噴射裝置，由于具備具有噴出孔的容器、和上述的層疊型壓電元件，通過所述層疊型壓電元件的驅(qū)動，從所述噴射孔噴射在所述容器內(nèi)填充的液體，因此，液體的排出性能優(yōu)越，耐久性優(yōu)5越。圖1A是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的層疊型壓電元件的立體圖；圖1B是表示圖1A的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的10層疊狀態(tài)的局部立體圖；圖2是表示第一實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖；圖3是表示第二實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖；15圖4是表示第三實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖；圖5是表示第四實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖；圖6是表示第五實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極20層的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖；圖7是表示第六實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖；圖8是表示第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件的截面圖；圖9是表示第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的外部電極和層疊體的25側(cè)面的接合部分的局部放大截面圖；圖10是表示第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的周緣部的一個(gè)例子的局部放大截面圖；圖11是在層疊方向上垂直且在包括內(nèi)部電極層以及周緣部的平面上切第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件時(shí)的截面圖；30圖12是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的噴霧裝置的截面圖；15圖13A是表示現(xiàn)有的層疊型壓電元件的立體圖；圖13B是用于說明圖13A的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層疊狀態(tài)的局部立體圖；圖14是表示現(xiàn)有的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層5疊構(gòu)造的局部放大截面圖。圖中1、la、lb—壓電體層；2—內(nèi)部電極層；2a—內(nèi)部電極層的側(cè)端部；3—金屬區(qū)域；4一層疊體；4a—層疊體4的側(cè)面；5—外部電極；6—導(dǎo)線；31—周緣部；51—絕緣性陶瓷；61—散布部。10具體實(shí)施方式<層疊型壓電元件>(第一實(shí)施方式)以下參考附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的層疊型壓電元件。圖151A是表示本實(shí)施方式的層疊型壓電元件的立體圖；圖1B是表示該層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層(金屬層)的層疊狀態(tài)的局部截面圖；圖2是表示第一實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層和內(nèi)部電極層的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖。如圖1A、圖1B所示，該層疊型壓電元件具有多個(gè)壓電體層1隔著內(nèi)20部電極層2被層疊的層疊體4。在層疊體4的側(cè)面形成有每隔一層與多個(gè)內(nèi)部電極層2連接的一對外部電極5。多個(gè)內(nèi)部電極層2沒有形成在壓電體層1的主面整體上，而形成內(nèi)部電極層2的面積小于壓電體層1的主面的面積的構(gòu)造、即所謂的局部電極構(gòu)造。這些內(nèi)部電極層2以在層疊體4的相互對向的側(cè)面上交替露出的方式被層疊。25在該層疊型壓電元件中，如上所述，由于內(nèi)部電極層2形成局部電極構(gòu)造，所以如果對外部電極5、5施加電壓，則只是被位于壓電體層1的上下的兩片內(nèi)部電極層2夾著的部分、即一個(gè)內(nèi)部電極層2相對于另一個(gè)內(nèi)部電極層2在層疊方向重合的區(qū)域(變位部70)變位。另一方面，如圖1B所示，在壓電體層1中的、沒有形成內(nèi)部電極層2的部分(周緣部31)3031，壓電體層l不變位(非變位部71)。在將本發(fā)明的層疊型壓電元件用作壓電執(zhí)行器的情況下，可以利用焊料將導(dǎo)線6連接固定于外部電極5，并將導(dǎo)線6連接于外部電壓供給部。通過從該外部電壓供給部通過導(dǎo)線6對外部電極5、5施加規(guī)定的電壓，由此在逆壓電效果的作用下能夠使各壓電體層1變位。5如圖1B以及圖2所示，該層疊型壓電元件具有周緣部31，其位于在層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層1、1之間，且位于內(nèi)部電極層2的側(cè)端部2a和層疊體4的側(cè)面4a之間。在本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在多個(gè)周緣部31之中的、壓電體層la和壓電體層lb之間的周緣部31上形成有多個(gè)由金屬形成的金屬區(qū)域3散布的散布部61。如圖1B所示，該散布io部61在周緣部31的大致整體上形成(多個(gè)金屬區(qū)域3分布在周緣部31的大致整體上)。還可以取代金屬區(qū)域3，而使由比壓電性陶瓷更容易變形的其他物質(zhì)構(gòu)成的區(qū)域散布。在此，所謂"變形"可以是彈性變形、塑性變形、脆性變形等任一種方式的變形。作為比壓電性陶瓷更容易變形的物質(zhì)，可以是氣體、液體、固體、凝膠狀物質(zhì)等任一種形式。15如上所述，本實(shí)施方式中的區(qū)域3是由金屬構(gòu)成的金屬區(qū)域3。這些金屬區(qū)域3、3、，以與內(nèi)部電極層2絕緣的狀態(tài)散布于周緣部31。在此，所謂"以與內(nèi)部電極層2絕緣的狀態(tài)散布"是指處于多個(gè)金屬區(qū)域3不與內(nèi)部電極層2電導(dǎo)通的狀態(tài)，且處于金屬區(qū)域3彼此互相隔離而不為電導(dǎo)通的狀態(tài)。20將散布部61配置在位于層疊體4的多個(gè)周緣部31之中的、層疊體4的哪個(gè)位置并沒有特別限定。例如，可以在全部的周緣部31(全部的與內(nèi)部電極層2鄰接的周緣部31)上形成散布部61，還可以在任意選定的周緣部31上形成散布部61。在該第一實(shí)施方式中，如圖2所示，形成有散布部61的周緣部31存在多個(gè)，這些散布部61在層疊體4的層疊方向上25相隔兩層以上的壓電體層1被分別配置。作為構(gòu)成金屬區(qū)域3的材料，例如可使用與內(nèi)部電極層2同樣的材料，優(yōu)選是銀鈀合金。銀鈀合金由于在金屬中容易柔軟地變形，所以即使量少，使非變位部的限制力降低的效果也高。另外，銀鈀合金由于難以金屬疲勞，耐氧化性高，所以能夠抑制層疊型壓電元件的耐久性下降。對于金屬區(qū)域303的形狀、大小、存在于周緣部31的個(gè)數(shù)并沒有特別的限定，只要至少如上所述處于散布的狀態(tài)下即可。具體地說，在從層疊體4的層疊方向觀察形成了散布部61的周緣部31時(shí)，多個(gè)金屬區(qū)域3的合計(jì)面積相對于周緣部31的面積所占的比例，優(yōu)選為0.150%，更優(yōu)選為530%。如果金屬區(qū)域3所占的比例不到50.1%，則有可能無法充分得到降低對變位部的變位進(jìn)行限制的限制力的效果。另一方面，如果金屬區(qū)域3所占的比例超過50%，則抗折強(qiáng)度以及絕緣性有可能過度下降。另外，在從層疊體4的層疊方向觀察金屬區(qū)域3時(shí)的區(qū)域3的最大徑r并沒有特別的限定，但如果過度變大，則抗折強(qiáng)度以及絕緣性有可能下降。因此，區(qū)域3的最大徑r最好在周緣部31上的內(nèi)部io電極層2與外部電極5的最短距離L的1/2以下，優(yōu)選為1/10以下。舉出具體例子，例如，在最短距離L約為lmm左右時(shí)，區(qū)域3的最大徑r最好在500nm以下，優(yōu)選在100pm以下。另外，在本實(shí)施方式中，在形成了散布部61的周緣部31中，在相鄰的金屬區(qū)域3之間的一部分或全部分上存在絕緣性陶瓷區(qū)域，該絕緣性陶15瓷區(qū)域連結(jié)相鄰的壓電體層la、lb。作為在相鄰的金屬區(qū)域3之間存在且連結(jié)壓電體層l彼此的陶瓷，并沒有特別的限定，但優(yōu)選的是與壓電體層l相同的材料。作為壓電體層l的材料，在使用鈦酸鋯酸鉛的情況下，在周緣部31中，作為連結(jié)壓電體層1彼此的絕緣性陶瓷，優(yōu)選使用鈦酸鋯酸鉛。由此，不僅能夠防止因熱膨脹差引起的不良情況的發(fā)生，而且還可20以得到結(jié)合壓電體層1彼此的高的接合強(qiáng)度。另外，形成有散布部61的周緣部31更優(yōu)選的是以等間隔配置在層疊體4的層疊方向上。g卩，在多個(gè)內(nèi)部電極層2之中的、相隔兩層以上的壓電體層1以等間隔選擇的多個(gè)內(nèi)部電極層2的側(cè)端部2a和層疊體4的側(cè)面4a之間的多個(gè)周緣部31上，散布多個(gè)金屬區(qū)域3即可。如此使金屬區(qū)25域3散布于以等間隔選擇的多個(gè)周緣部31，因此，能夠使變位性能和抗折強(qiáng)度設(shè)定得更加平衡。作為壓電體層l的材料，可以使用各種壓電性陶瓷，并不特別限定，例如有Bi層狀化合物(層狀鈣鈦礦(perovskite)型化合物)，鎢青銅型化合物、Nb系鈣鈦礦型化合物(Nb酸納等Nb酸堿化合物(NAC)，Nb30酸鋇等Nb酸堿土類化合物(NAEC))，鎂鈮酸鉛(PMN系)，鎳鈮酸鉛(PNN系)，含有Pb的鈦酸鋯酸鉛(PZT)，鈦酸鉛等鈣鈦礦型化合物等。這之中，尤其最好是至少含有Pb的鈣鈦礦型化合物為好。例如，優(yōu)選含有鎂鈮酸鉛(PMN系)，鎳鈮酸鉛(PNN系)，含有Pb的鈦酸鋯酸鉛(PZT)或鈦酸鉛等的物質(zhì)。它們之中的鈦酸鋯酸鉛、鈦酸鉛在施加5大的變位方面優(yōu)選。壓電陶瓷優(yōu)選為表示其壓電特性的壓電變形常數(shù)d33fe古牧冋。作為內(nèi)部電極層2的材料，只要是具有導(dǎo)電性的材料即可，可采用金、銀、鈀、鉑、銅、鋁或它們的合金等。作為合金的具體例子，例如可舉出銀鈀合金等。內(nèi)部電極層2的厚度需要是具有導(dǎo)電性且不妨礙變位的程度io的厚度，一般說優(yōu)選0.57pm左右，更優(yōu)選為15pm左右。另外，壓電體層1的厚度、即內(nèi)部電極層2間的距離優(yōu)選為50200(im左右。如果壓電體層1的厚度過厚，則執(zhí)行器的小型化、低位化就無法實(shí)現(xiàn)，另一方面，如果壓電體層1的厚度過薄，則變得容易破壞絕緣。作為外部電極5的材料，只要是具有導(dǎo)電性的材料即可，可以采用金、銀、鈀、鉑、銅、15鋁、鎳或它們的合金等。接著，對于本實(shí)施方式的層疊型壓電元件的制造方法進(jìn)行說明。首先，制作料漿，其將鈦酸鋯酸鉛(PbZr03—PbTi03)等鈣鈦礦型氧化物構(gòu)成的壓電性陶瓷的暫燒粉末和堿系、丁縮醛系等有機(jī)高分子構(gòu)成的粘接劑以及DBP(鄰苯二甲酸二丁酯)、DOP(苯二甲酸二辛酯)等可塑劑進(jìn)行混合20而成，通過公知的刮板法或滾壓輥法等帶成型法將該料漿成形為陶瓷生片。接著，在銀一鈀等構(gòu)成內(nèi)部電極層2的金屬粉末中，添加混合粘接劑和可塑劑等，制作導(dǎo)電性膏劑，通過絲網(wǎng)印刷等將其印刷到所述陶瓷生片的上面，形成例如140(im左右的厚度。此時(shí)，在內(nèi)部電極層非形成部(周25緣部31)上通過絲網(wǎng)印刷以散布方式形成金屬區(qū)域3。使金屬區(qū)域3散布時(shí)可以采用噴霧器或蒸鍍等方法，或者通過蝕刻、噴砂等將形成為模狀的金屬層局部除去等其他方法。接著，將多個(gè)印刷了導(dǎo)電性膏劑的陶瓷生片進(jìn)行層疊，對該層疊成形體在規(guī)定溫度下進(jìn)行脫粘接劑處理，之后，在9001200'C下通過燒制可30以得到層疊體4。接著，在銀粉末中加入玻璃粉末和粘接劑，制作銀玻璃導(dǎo)電性膏劑，通過絲網(wǎng)印刷等方法將該導(dǎo)電性膏劑印刷到層疊體4的相對的側(cè)面4a、4a上，進(jìn)行干燥后，通過在500800。C下進(jìn)行燒印，可以形成外部電極5。此時(shí)，可以取代印刷，而將使上述銀玻璃膏劑干燥后的5nm以下的片進(jìn)行5燒印。接著，將形成了外部電極5的層疊體4浸漬在硅酮橡膠溶液中，在對該硅酮橡膠溶液進(jìn)行抽真空之后，從硅酮橡膠溶液拉起層疊體4，在層疊體4的側(cè)面涂敷硅酮橡膠。之后，通過使在層疊體4的側(cè)面涂敷的硅酮硬化，完成本發(fā)明的層疊型壓電元件。io最后，通過將導(dǎo)線連接于外部電極5，經(jīng)由該導(dǎo)線對一對外部電極5施加3kV/mm的直流電壓，對層疊體4進(jìn)行分極處理，由此完成使用本發(fā)明的層疊型壓電元件的壓電執(zhí)行器。導(dǎo)線連接于外部的電壓供給部，經(jīng)由導(dǎo)線以及外部電極5向金屬層2施加電壓，由此各壓電體層1在逆壓電效果的作用下較大地變位。由此，例如起到作為向發(fā)動機(jī)噴射供給燃料的汽15車用燃料噴射閥的作用。(第二實(shí)施方式)圖3是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層1和內(nèi)部電極層2的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖。如圖3所示，在本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在散布部61中，在相鄰的區(qū)域3、3之間形成有20空隙21。g卩，散布部61包括比構(gòu)成壓電體層1的壓電性陶瓷更容易變形的金屬區(qū)域3和空隙21。在散布部61，多個(gè)金屬區(qū)域3以與內(nèi)部電極層2絕緣的狀態(tài)下散布，并且散布有多個(gè)空隙21。在相鄰的金屬區(qū)域3、3之間夾有空隙21。由于空隙21存在于相鄰的金屬區(qū)域3之間，鄰接的金屬彼此不會導(dǎo)通而能夠可靠地確保絕緣性。另外，由于空隙21存在于相鄰25的金屬區(qū)域3之間，所以能夠使金屬區(qū)域3的變形更加容易的空間存在，因此，能夠進(jìn)一步降低非變位部的限制力。在圖3的實(shí)施方式中，在散布部61，在相鄰的金屬區(qū)域3、3之間存在絕緣性陶瓷區(qū)域，該絕緣性陶瓷區(qū)域連結(jié)彼此相鄰的壓電體層1。多個(gè)空隙21分散在絕緣性陶瓷區(qū)域中。在本實(shí)施方式中，示出了在絕緣性陶30瓷區(qū)域中形成有空隙21的情況，但在相鄰的區(qū)域3之間也可以僅存在絕緣性陶瓷區(qū)域，另外，還可以僅存在空隙21，而且還可以存在絕緣性陶瓷區(qū)域和空隙21這雙方。在形成了散布部61的周緣部31中，為了使空隙21存在于金屬區(qū)域3之間，可以如下這樣。即，為了僅存在空隙，在上述內(nèi)部電極的導(dǎo)電性膏5劑中，混合在脫脂時(shí)分解的樹脂、例如丙烯酸小球或石蠟等樹脂，通過將其進(jìn)行涂敷就能夠?qū)崿F(xiàn)。另外，也可以通過在形成了空隙的部位印刷粘接齊U。另外，在周緣部31中，為了在金屬區(qū)域3、3之間存在空隙21和絕緣性陶瓷區(qū)域這雙方，而通過在上述導(dǎo)電膏劑中混合絕緣性陶瓷的共材就能夠?qū)崿F(xiàn)。對于其他的部位，標(biāo)注圖l、圖2相同的符號，省略說明。io(第三實(shí)施方式)圖4是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層1和內(nèi)部電極層2的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖。如圖4所示，在該實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在全部的內(nèi)部電極層2的側(cè)端部2a和層疊體4的側(cè)面4a之間的多個(gè)周緣部31(周緣部31的全部)上形成有散布部61。15在圖4中，放大表示了層疊體4的一個(gè)側(cè)面附近，與其相對向的側(cè)面并沒有表示，但在該相對向的側(cè)面附近的全部周緣部31上也形成有散布部61。由此，由于能夠使限制變位部的變位的限制力顯著下降，所以能夠顯著提高層疊型壓電元件的變位性能。另外，在本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在散布部61中，在相鄰的金屬區(qū)域3之間的一部分或全部存在絕緣性陶20瓷51，該陶瓷51連結(jié)在相鄰的壓電體層1彼此之間。對于其他部位，標(biāo)注與圖l、圖2相同的符號，并省略說明。(第四實(shí)施方式)圖5是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層1和內(nèi)部電極層2的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖。如圖5所示，在該實(shí)施方25式的層疊型壓電元件中，形成了散布部61的周緣部31在層疊體4的層疊方向上配置有多個(gè)。這些散布部61上分別散布有多個(gè)金屬區(qū)域3和空隙41。本實(shí)施方式中的散布部61主要由金屬區(qū)域3和空隙41構(gòu)成。與圖3所示的實(shí)施方式的情況相比，由于在散布部61存在的絕緣性陶瓷區(qū)域少，所以元件的變位量變得更大。另外，在本實(shí)施方式中，散布部61比內(nèi)部30電極層2空隙多?？障兜亩嗌俚谋容^只要測量空隙率即可?？障堵释ㄟ^與后述相同的方法能夠測量。對于其他部位，標(biāo)注與圖1圖3相同的符號，省略說明。(第五實(shí)施方式)圖6是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層15和內(nèi)部電極層2的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖。如圖6所示，在該實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，形成了散布部61的周緣部31比沒有形成散布部的周緣部32大。在此，在本實(shí)施方式中，所謂"形成了散布部61的周緣部31比沒有形成散布部的周緣部32大"，意味著內(nèi)部電極層2的側(cè)端部2a和層疊體4的側(cè)面4a之間的距離長。另外，也可以由從層疊體4的層io疊方向觀察時(shí)的面積來比較周緣部31或周緣部32。此時(shí)，周緣部31的面積比周緣部32的面積大。如此，通過將金屬區(qū)域3散布的周緣部31形成為大于沒有金屬區(qū)域散布的周緣部32的構(gòu)造，即使在金屬區(qū)域3散布的周緣部31的數(shù)量少時(shí)，也能夠提高限制變位部的變位的限制力的降低效果。對于其他部位，標(biāo)注與圖1圖3相同的符號，省略說明。15(第六實(shí)施方式)圖7是表示本發(fā)明的第六實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的壓電體層1和內(nèi)部電極層2的層疊構(gòu)造的局部放大截面圖。如圖7所示，在該實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，內(nèi)部電極層2的側(cè)端部2a和層疊體4的側(cè)面4a之間的距離不同的周緣部31、31'在層疊體4的層疊方向上配置有多個(gè)。20在這些周緣部31、31'上以與內(nèi)部電極層2絕緣的狀態(tài)分別形成有多個(gè)金屬區(qū)域3散布的散布部61、61'。通過形成這樣的構(gòu)造，能夠進(jìn)一步降低限制力。對于其他部位，標(biāo)注與圖1圖3相同的符號，省略說明。(第七實(shí)施方式)圖8是第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件的截面圖。圖9是本實(shí)施方式25中的外部電極和層疊體的側(cè)面之間的接合部位的放大截面圖。如圖8、圖9所示，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件具有層疊體4，該層疊體4是多個(gè)壓電體層l(L，12，，ln—,(n^2))和多個(gè)內(nèi)部電極層2(2,，22，，2n-,，2n(n^2))交替層疊而構(gòu)成的，在該層疊體4的相對向的側(cè)面接合有每隔一層將內(nèi)部電極層2的端部電連接的30—對外部電極5。在各外部電極5上通過焊料等連接固定有導(dǎo)線6。該導(dǎo)線6連接于外部的電壓供給部(沒有圖示)。如果通過導(dǎo)線6對各壓電體層1施加規(guī)定的電壓，則在壓電體層1產(chǎn)生因逆壓電效果產(chǎn)生的變位。另一方面，在層疊體4的層疊方向的兩端部分別配置有由多個(gè)壓電體層構(gòu)成的不活性層9。這些不活性層9僅在一方5的主面?zhèn)扰渲脙?nèi)部電極層2，在另一方的主面?zhèn)葲]有配置內(nèi)部電極層，因此即使施加電壓也不會產(chǎn)生變位。如圖8、圖9所示，在從多個(gè)壓電體層1:，12，■，1n-i選擇的、在層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層1k—,，lk(2^k<n—l)之間，設(shè)有內(nèi)部電極層2k、以及該內(nèi)部電極層2k的側(cè)端部2a與層疊體4的側(cè)面4a之間的周緣部31。o內(nèi)部電極層2k主要由金屬和空隙構(gòu)成，是有利于鄰接的壓電體層lk—,，1k變位的區(qū)域。在存在于層疊體4多個(gè)周緣部31之中的、位于內(nèi)部電極層2k的側(cè)端部2a與層疊體4的側(cè)面4a之間的周緣部31上，形成有多個(gè)由比構(gòu)成壓電體層1的壓電性陶瓷更容易變形的物質(zhì)形成的區(qū)域散布的散布部61k。另一方面，在位于內(nèi)部電極層2k+2的側(cè)端部2a和層疊體154的側(cè)面4a之間的周緣部31上，沒有形成散布部，填充有和鄰接于層疊方向的兩側(cè)的壓電體層lk+,，lk+2相同的壓電體陶瓷。圖10是表示本實(shí)施方式的周緣部的一個(gè)例子的局部放大截面圖。如圖10所示，散布部61k包括金屬區(qū)域3和空隙41。g卩，本實(shí)施方式的情況下，上述的"由容易變形的物質(zhì)形成的區(qū)域"是由金屬形成的金屬區(qū)域203和空隙41，金屬區(qū)域3隔著空隙41在與內(nèi)部電極層3絕緣的狀態(tài)下在散布部61k上散布有多個(gè)。該散布部61k，能夠降低限制變位部的變位的非變位部的限制力。另外，由于在散布部61k上散布有上述區(qū)域，所以能夠抑制元件的抗折強(qiáng)度以及絕緣性下降。由此，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高的可靠性和高的變位性能。另外，散布部61k還有利于變位時(shí)的應(yīng)力緩和。25另外，如圖10所示，形成了散布部61k的周緣部31比內(nèi)部電極層2k空隙多，在該周緣部31的一部分進(jìn)入有外部電極5的一部分5a。如此，通過使外部電極5的一部分5a侵入散布部61k，由此形成從層疊體4的側(cè)面4a向?qū)盈B體4中打入樁子的構(gòu)造，由于所謂的錨效果，外部電極5和層疊體4的接合強(qiáng)度大幅度提高。由此，即使在高電場、高壓力下長時(shí)間30驅(qū)動層疊型壓電元件的情況下，也能夠防止外部電極5從層疊體4的側(cè)面4a剝離。在現(xiàn)有的層疊型壓電元件中，在高電場、高壓力下長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動時(shí)，由于層疊體的伸縮，在層疊體的側(cè)面和外部電極的接合部產(chǎn)生應(yīng)力，外部電極的一部分從層疊體的側(cè)面剝離，存在無法對一部分的壓電體供給電壓5而在驅(qū)動時(shí)變位特性發(fā)生變化的問題。另一方面，第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件，即使在高電場、高壓力下長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動時(shí)，也能夠抑制外部電極從層疊體的側(cè)面剝離，耐久性優(yōu)越。在散布部61k和內(nèi)部電極層2k之間比較空隙的多少時(shí)，例如利用掃描型電子顯微鏡(SEM)、金屬顯微鏡、光學(xué)顯微鏡等觀察內(nèi)部電極層2kio的截面以及散布部61k的截面(與層疊方向平行的截面或與層疊方向垂直的截面)，得到截面圖像，只要對該截面圖像進(jìn)行評價(jià)即可。在該截面圖像中，在確認(rèn)到內(nèi)部電極層2k和散布部61k的空隙的數(shù)量存在明顯差量的情況下，只要通過目視進(jìn)行比較即可。另夕卜，在通過目視不能判別內(nèi)部電極層2k和散布部61k的空隙的多少的情況下，還可以通過后述的方法分別15測量空襲率進(jìn)行比較即可。在本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，散布部61k被設(shè)定成空隙率高于內(nèi)部電極層2k。所謂散布部61k的空隙率，是指在層疊體4的截面(與層疊方向垂直或水平的截面)中，在散布部61k的截面內(nèi)存在的空隙的面積相對于散布部61k的總截面面積所占的比例(％)。所謂內(nèi)部電極層2k的20空隙率是指在層疊體4的截面中，在內(nèi)部電極層2k的截面內(nèi)存在的空隙的面積相對于內(nèi)部電極層2k的總截面積所占的比例(％)。另外，測量空隙率的方法主要分為如下兩種方法。第一種方法是對通過與層疊方向平行的面截?cái)鄬盈B體4時(shí)的截面進(jìn)行觀察的方法，第二種方法是對通過與層疊方向垂直的面截?cái)鄬盈B體4時(shí)的截面進(jìn)行觀察的方法。25在通過第一種方法測量散布部61k的空隙率和內(nèi)部電極層2k的空隙率時(shí)，例如可以如下這樣進(jìn)行。首先，使與層疊方向平行的截面露出，利用公知的研磨機(jī)構(gòu)對層疊體4進(jìn)行研磨處理。具體地說，例如作為研磨裝置可采用kemettoJapan(株)公司制造的臺式研磨機(jī)KEMET—V—300，用金剛石研磨膏進(jìn)行研磨。對于通過該研磨處理露出的截面，例如利用掃30描型電子顯微鏡(SEM)、光學(xué)顯微鏡、金屬顯微鏡、光學(xué)顯微鏡等進(jìn)行觀察，得到截面圖像，通過對該截面圖像進(jìn)行圖像處理，能夠測量散布部6U的空隙率以及內(nèi)部電極層2k的空隙率。如果舉出具體例子，則對于由光學(xué)顯微鏡拍攝的散布部61k或內(nèi)部電極層2k的圖像，將空隙部分涂上黑色，將空隙以外的部分涂上白色，求出黑色部分的比率、§卩、(黑色部分5的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，通過用百分率迸行表示能夠算出空隙率。例如，在截面圖像是彩色圖像時(shí)，可以變化成灰色標(biāo)度而分成黑色部分和白色部分。此時(shí)，在需要對黑色部分和白色部分設(shè)定雙灰度化用的邊界的閾值時(shí)，可以通過圖像處理軟件或目視來設(shè)定邊界的閾值進(jìn)行二進(jìn)制化即可。io另外，在通過第二種方法對散布部61k的空隙率以及內(nèi)部電極層2k的空隙率進(jìn)行測量時(shí)，例如可以如下這樣進(jìn)行。首先，利用公知的研磨裝置在層疊體4的層疊方向上進(jìn)行研磨，直到露出想要測量空隙率的內(nèi)部電極層2k的截面或散布部61k的截面(與層疊方向垂直的截面)為止。具體地說，例如作為研磨裝置可采用kemettoJapan(株)公司制造的臺式研磨15機(jī)KEMET—V—300，用金剛石研磨膏進(jìn)行研磨。對于通過該研磨處理露出的截面，例如利用掃描型電子顯微鏡(SEM)、光學(xué)顯微鏡、金屬顯微鏡、光學(xué)顯微鏡等進(jìn)行觀察，得到截面圖像，通過對該截面圖像進(jìn)行圖像處理，能夠測量散布部61k的空隙率以及內(nèi)部電極層2k的空隙率。具體地說，對于由光學(xué)顯微鏡拍攝的散布部61k或內(nèi)部電極層2k的圖像，將空隙20部分涂上黑色，將空隙以外的部分涂上白色，求出黑色部分的比率、艮P、(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，通過用百分率進(jìn)行表示能夠算出空隙率。例如，在截面圖像是彩色圖像時(shí)，可以變化成灰色標(biāo)度而分成黑色部分和白色部分。此時(shí)，在需要對黑色部分和白色部分設(shè)定雙灰度化用的邊界的閾值時(shí)，可以通過圖像處理軟件或目視來設(shè)25定邊界的閾值進(jìn)行二進(jìn)制化即可。另外，優(yōu)選在觀察內(nèi)部電極層2k或散布部61k的截面時(shí)，進(jìn)行研磨直到達(dá)到它們的厚度的約1/2的位置為止，由此對露出的截面進(jìn)行觀察。但是，在內(nèi)部電極層2k的厚度或散布部61k的厚度薄，且厚度的偏差較大的情況下，有時(shí)通過研磨處理無法使內(nèi)部電極層2k的截面整體或散布部61fc的截面整體露出。在這樣的情況下，在進(jìn)行30研磨處理直到內(nèi)部電極層2k或散布部61k的一部分露出為止的時(shí)刻，觀察該露出部分，在得到截面圖像之后，還可以反復(fù)多次進(jìn)行如下操作。艮卩，進(jìn)一步進(jìn)行研磨，觀察除了已觀察完的部分以外的部分。只要能夠?qū)⑷绱诉M(jìn)行多次操作得到的觀察圖像加起來觀察內(nèi)部電極層2k或散布部61k的截面整體即可。5散布部61k使隔著該散布部61k配置的內(nèi)部電極層2k和外部電極5的一部分5a絕緣。由此，能夠?qū)⒍鄠€(gè)內(nèi)部電極層2交替地連接于外部電極5。為了使內(nèi)部電極層2和外部電極5絕緣，可以采用多種方法，在本實(shí)施方式種的散布部61k上，散布有多個(gè)處于與內(nèi)部電極層2k絕緣的狀態(tài)下的金屬區(qū)域3。如此，內(nèi)部電極層2的非形成部位即散布部61k，利用多個(gè)無機(jī)io物(在本實(shí)施方式中是金屬區(qū)域3)局部地接合在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層lk-，lk，因此能夠?qū)?nèi)部電極層2k和外部電極5絕緣。另外，如現(xiàn)有的周緣部那樣，與在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層彼此在整個(gè)面上牢固地被接合的情況相比，由于能夠降低變位部的限制壓電體的限制力，所以能夠得到變位量大的元件。15另外，散布部61k由于具有隔著空隙41散布有多個(gè)金屬區(qū)域3的構(gòu)造，所以基于如下理由，能夠使外部電極5的一部分5a進(jìn)入散布部61k。艮P，如后述的制法的說明所述那樣，在將成為外部電極5的導(dǎo)電膏劑涂敷到層疊體4的側(cè)面上進(jìn)行燒印時(shí)，如果導(dǎo)電膏劑達(dá)到該導(dǎo)電膏劑的軟化溫度以上，則由于毛細(xì)管現(xiàn)象，導(dǎo)電膏劑會容易侵入到構(gòu)成散布部61k的散布的20多個(gè)金屬區(qū)域3之間。其結(jié)果是，能夠使外部電極5有效地侵入到散布部61k的一部分。由此，能夠使外部電極5牢固地接合于層疊體4的側(cè)面4a，即使在高電場、高產(chǎn)生力下以高速進(jìn)行長時(shí)間驅(qū)動的情況下，也發(fā)揮優(yōu)越的耐久性。外部電極5的一部分5a從層疊體4的側(cè)面4a進(jìn)入到散布部61k內(nèi)的25深度D最好在lpm以上、優(yōu)選在5(im以上。在深度D比lpm淺的情況下，無法得到足夠的錨效果，有可能得不到外部電極5和層疊體4側(cè)面的足夠的接合強(qiáng)度。另一方面，深度D的上限只要是將外部電極5的一部分5a與內(nèi)部電極層2電絕緣，就沒有特別的限定。另外，構(gòu)成散布部61k的金屬區(qū)域3的大小(與層疊方向垂直的方向30的寬度)優(yōu)選為1100pm的程度。在金屬區(qū)域3的大小小于lpm時(shí)，散布部61k的厚度變得過薄，存在外部電極5的一部分5a變得難以侵入到散布部61k內(nèi)的傾向。另一方面，在金屬區(qū)域3的大小大于100pm的情況下，在散布部61k內(nèi)分散吸收因?qū)盈B體4的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力的效果下降，存在應(yīng)力容易集中于特定的金屬區(qū)域3的顧慮。因此，通過使在散布部61k5散布的金屬區(qū)域3的大小設(shè)為1100pm，由此能夠有效地使外部電極5的一部分5a進(jìn)入到散布部61k的一部分，且散布部61k能夠有效地將因?qū)盈B體4的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力分散吸收。更優(yōu)選的是，金屬區(qū)域3的大小最好是35(Vm。另外，各金屬區(qū)域3的形狀可以是圓柱形、近似球形等，并沒有特別限定。io另外，在本實(shí)施方式的散布部61k上，隔著空隙41散布有構(gòu)成散布部61k的多個(gè)金屬區(qū)域3。如此，由于構(gòu)成散布部61k的金屬區(qū)域3隔著空隙3b散布，所以能夠容易地使散布部61k的空隙率高于內(nèi)部電極層2k的空隙率。如此，通過使散布部61k的空隙率高于內(nèi)部電極層2k的空隙率，如后所述，在形成外部電極5的工序中，能夠使外部電極5的一部分5a深深15地進(jìn)入到空隙多的散布部6U內(nèi)，因此，能夠更有效地提高外部電極5和層疊體4的接合強(qiáng)度。為了在形成外部電極5的工序中使外部電極5的一部分5a有效地進(jìn)入到空隙41的一部分，散布部6"的空隙率優(yōu)選為4599.9%，更優(yōu)選為8099.9%。另外，通過將空隙率設(shè)定在上述范圍，能夠得到外部電極520的一部分5a深深地進(jìn)入到散布部61k內(nèi)而帶來的錨效果，并且可以得到在變位時(shí)削弱限制層疊體4的變位的限制力的效果。在空隙率小于45%的情況下，存在外部電極5的一部分5a難以進(jìn)入散布部61k的顧慮。另一方面，在空隙率大于99.9%的情況下，散布部6U內(nèi)的金屬區(qū)域3的存在量變少，在燒制時(shí)存在因壓電體層1、1之間的散布部61k而容易剝離的顧慮。25另外，如圖10所示，外部電極5的一部分5a優(yōu)選進(jìn)入到在散布部61k散布的多個(gè)金屬區(qū)域3之間。如此，通過使外部電極5的一部分5a進(jìn)入到散布部61k內(nèi)的金屬區(qū)域3之間，外部電極5相對于層疊體4的側(cè)面4a的錨效果增強(qiáng)，能夠大幅度地提高接合強(qiáng)度。圖11是在通過與層疊方向垂直且包括內(nèi)部電極層2k以及散布部61k30在內(nèi)的平面截?cái)啾緦?shí)施方式的層疊型壓電元件時(shí)的截面圖。如圖11所示，散布部61k構(gòu)成為散布有多個(gè)處于與內(nèi)部電極層2k絕緣的狀態(tài)下的金屬區(qū)域3。該構(gòu)成散布部61k的多個(gè)金屬區(qū)域3隔著空隙41散布。該空隙41由于從內(nèi)部電極層2k的側(cè)端部2a連通到外部電極5的一部分5a，所以能夠有效地削弱限制在該散布部61k的層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層1、15的限制力。由此，能夠使元件的變位量進(jìn)一步增大。另外，具有使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的散布部61的周緣部31優(yōu)選在層疊體4的層疊方向上存在多個(gè)。由此，能夠進(jìn)一步提高使層疊型壓電元件的變位量增大的效果，并且能夠進(jìn)一步提高外部電極5的接合強(qiáng)度。另外，使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的多個(gè)周緣部31優(yōu)選在層疊方io向上規(guī)則地配置。如此，通過將外部電極5進(jìn)入的周緣部31規(guī)則地配置在層疊方向上，由此將外部電極5大致均勻且牢固地接合在層疊體4的在層疊方向上的整個(gè)區(qū)域上。使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的多個(gè)周緣部31，最好在內(nèi)部電極層2的全部層數(shù)的1/2以下的各層數(shù)配置，更優(yōu)選的是，在全部層數(shù)的1/815以下的各層數(shù)配置，最優(yōu)選的是在全部層數(shù)的1/15以下的各層數(shù)配置。假如，使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的周緣部31的配置周期，是超過內(nèi)部電極層2的全部層數(shù)的1/2的每層數(shù)，則由于外部電極5的一部分進(jìn)入到層疊體4內(nèi)的部位變少，所以外部電極5的接合強(qiáng)度有可能在層疊方向上產(chǎn)生偏差。20在此，使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的周緣部31"被規(guī)則地配置"，是指如下的概念，其當(dāng)然包括這些周緣部的配置間隔全都相同的情況，并且還包括各周緣部的配置間隔近似到能夠在層疊體4的側(cè)面4a中在層疊方向全部區(qū)域上能夠大致均勻且牢固地接合外部電極5的程度的情況。具體地說，使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的周緣部31的配置間隔相對于各25周緣部31的配置間隔的平均值，優(yōu)選在±20%的范圍內(nèi)，更優(yōu)選的是在±15%的范圍內(nèi)，更優(yōu)選的是都為相同的數(shù)。作為規(guī)則地配置使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的周緣部31的方法，例如可以舉出將這些周緣部31按每規(guī)定的片數(shù)(例如每20層等)進(jìn)行配置的方法。但是，在這樣的情況下，在內(nèi)部電極層的總片數(shù)不能被上述規(guī)30定片數(shù)整除時(shí)，在層疊體的兩端附近，還可以使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的周緣部31的配置不遵從于上述每規(guī)定片數(shù)的規(guī)則。另外，使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的周緣部31，在形成正極以及負(fù)極的外部電極5的層疊體4的側(cè)面中，優(yōu)選被配置成交替地鄰接于一對外部電極。由此，正極側(cè)的外部電極5和負(fù)極側(cè)的外部電極5均等地進(jìn)入5到周緣部31，能夠?qū)⒄龢O側(cè)以及負(fù)極側(cè)的外部電極5與層疊體4牢固且平衡地很好接合。尤其是如果只重視性能方面，則優(yōu)選在全部的壓電體層1、1之間設(shè)置使外部電極5的一部分5a進(jìn)入的周緣部31。在該情況下，由于能夠?qū)⑼獠侩姌O5相對于層疊體4的側(cè)面在層疊方向整個(gè)區(qū)域上進(jìn)一步牢固地接io合，所以即使在高電場下連續(xù)進(jìn)行高速驅(qū)動時(shí)，外部電極5也難以從層疊體4的側(cè)面剝離，能夠更可靠地防止產(chǎn)生驅(qū)動中變位量下降的問題。另一方面，不是在全部的壓電體層之間，而是通過如上述那樣規(guī)則地配置周緣部31k,在性能方面和制造成本方面能夠很好地實(shí)現(xiàn)兩者的平衡。在本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，對于周緣部31k內(nèi)的無機(jī)物由金15屬區(qū)域3構(gòu)成的情況進(jìn)行了說明，但這些無機(jī)物還可以是金屬材料或壓電材料、或者是由金屬材料與壓電材料構(gòu)成的材料。在無機(jī)物是金屬材料構(gòu)成的情況下，對元件施加高電場，即使在元件本身較大變形的情況下，由于金屬材料相比于壓電體層1的楊氏模量低，所以金屬材料變形而能夠使應(yīng)力分散。由此，能夠抑制在壓電體層l上產(chǎn)生裂紋。另外，由于金屬材20料容易變形，所以能夠進(jìn)一步降低周緣部31k限制層疊體4的變位的限制力，進(jìn)而能夠得到高的變位。構(gòu)成無機(jī)物的金屬材料的主成分優(yōu)選是從周期表第811族金屬中選擇的至少一種。通過如上述那樣選擇金屬材料的主成分，能夠同時(shí)燒制壓電體層1和周緣部31k，能夠牢固地接合壓電體層1和金屬區(qū)域3的接合25界面。另外，即使在元件變位而對周緣部31k施加應(yīng)力的情況下，由于周緣部3U本身由伸縮容易的上述金屬構(gòu)成，所以應(yīng)力不會集中于一點(diǎn)，能夠提供耐久性優(yōu)越的層疊型壓電元件。尤其構(gòu)成周緣部3U的金屬成分優(yōu)選是從周期表第810族金屬即Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru以及Os或周期表第11族金屬即Cu、Ag以及Aii之中選擇的金屬或這些金屬的合金。這30是近年來在合金粉末合成技術(shù)中量產(chǎn)性優(yōu)越的金屬組成。29另外，在內(nèi)部電極層2是由從銀一鈀合金等的周期表第810族金屬即Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru以及Os之中選擇的一種以上的金屬和從周期表第11族金屬即Cu、Ag以及Au之中選擇的一種以上的金屬構(gòu)成的合金的情況下，優(yōu)選由周期表第11族金屬或含有周期表第11族金屬的合金形5成金屬區(qū)域3，金屬區(qū)域3中的周期表第ll族金屬的比率被設(shè)定成高于形成內(nèi)部電極層2k的金屬材料之中的周期表第11族金屬的比率。由此，由于能夠使周緣部31k的楊氏模量低于內(nèi)部電極層2k，所以周緣部31k能夠有效地吸收因?qū)盈B體4的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力。由此，能夠降低因?qū)盈B體4的伸縮而在外部電極5產(chǎn)生的應(yīng)力，因此能夠防止外部電極5的一部分5aio從層疊體4的側(cè)面4a剝離等不良情況的發(fā)生。另外，在無機(jī)物由壓電材料構(gòu)成的情況下，即使在高壓力下使用，由于構(gòu)成周緣部31k的壓電材料相對于壓力容易變形，所以壓力不會集中于1點(diǎn)，能夠防止高應(yīng)力施加于與周緣部31k相鄰的壓電體層1。而且，在無機(jī)物由金屬材料和壓電材料構(gòu)成的情況下，由于上述兩個(gè)15效果，能夠提供即使在高壓力下進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動時(shí)，元件本身也不會斷裂，兼?zhèn)渖鲜鰞蓚€(gè)效果的層疊型壓電元件。另外，在無機(jī)物包含金屬材料的情況下，優(yōu)選的是該金屬材料的主成分與內(nèi)部電極層2的主成分相同。由此，能夠同時(shí)燒制壓電體層l和內(nèi)部電極層2以及周緣部31k，能夠提供廉價(jià)的層疊型壓電元件。20而且，在無機(jī)物包含壓電材料的情況下，優(yōu)選的是構(gòu)成該無機(jī)物的壓電材料和構(gòu)成壓電體層1的壓電材料是相同組成。通過使構(gòu)成無機(jī)物的壓電材料和構(gòu)成壓電體層1的壓電材料的組成相同，能夠同時(shí)燒制壓電體層l和周緣部31k，另外，即使在燒制時(shí)引起組成的相互擴(kuò)散的情況下，也不會引起構(gòu)成壓電體層1的壓電材料的組成變化，能夠得到具有希望的壓電25特性的層疊型壓電元件。另外，在無機(jī)物含有金屬材料的情況下，優(yōu)選的是該金屬材料的主成分和外部電極5的主成分相同。如果構(gòu)成金屬區(qū)域3的金屬材料和外部電極5的主成分相同，則在將形成外部電極5的膏劑涂敷在層疊體4的側(cè)面4a上并燒印時(shí)，在無機(jī)物和外部電極5的接合部分主成分相互擴(kuò)散，通過30所謂的擴(kuò)散接合能夠使周緣部31k的金屬區(qū)域3和外部電極5的接合牢固，能夠使外部電極5向?qū)盈B體4的側(cè)面接合的接合強(qiáng)度更高。如此，在外部電極5和無機(jī)物擴(kuò)散接合的情況下，形成外部電極5和無機(jī)物相溶的相溶區(qū)域。在這樣的方式的情況下，所述的外部電極5的一部分5a從層疊體4的側(cè)面4a進(jìn)入到周緣部3U的深度D是指從相溶區(qū)域和只是無機(jī)物的區(qū)5域的邊界部分到層疊體4的側(cè)面4a的距離。并且，在本實(shí)施方式中，內(nèi)部電極層2k和具有金屬區(qū)域3散布的散布部61k的周緣部31的邊界，能夠通過比較例如由空隙率表示的空隙的多少來進(jìn)行判別。但是，在空隙率的差小、且內(nèi)部電極層2k和構(gòu)成散布部61k內(nèi)的金屬區(qū)域3的金屬是相同的材料的情況下，有時(shí)難以判別內(nèi)部電極層io2k和散布部61k的邊界。在這樣的情況下，通過如下這樣的判別方法能夠近似地決定內(nèi)部電極層2k和散布部61k的邊界。即，如圖9所示，在沒有金屬區(qū)域3散布的壓電體層1k+'，1k+2間的周緣部31上，在內(nèi)部電極層2K+2的側(cè)端部2a和層疊體4的側(cè)面4a之間的區(qū)域填充有壓電體。因此，能夠明確地判別內(nèi)部電極層2k+2和沒有金屬區(qū)域3散布的周緣部1531的邊界。通常，各內(nèi)部電極層2，在層疊方向上投影時(shí)，每隔一層且在大致相同的為止重疊配置。因此，在難以判別內(nèi)部電極層2k和散布部61k的邊界的情況下，可以近似認(rèn)為內(nèi)部電極層2k和散布部61k的邊界例如處于與內(nèi)部電極層2K+2和周緣部31的邊界大致相同的位置。接著，說明第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件的制法。首先，制作料漿，20其將由PZT等構(gòu)成的鈣鈦礦(perovskite)型氧化物的壓電性陶瓷的暫燒粉末和堿系、丁縮醛系等有機(jī)高分子構(gòu)成的粘接劑以及DBP(苯二甲酸二丁酯)、DOP(苯二甲酸二辛酯)等可塑劑進(jìn)行混合而成，通過公知的刮板法或滾壓輥法等帶成型法將該料漿制成形成壓電體層1的陶瓷生片。接著，在銀一鈀等構(gòu)成內(nèi)部電極層2的金屬粉末中，添加混合粘接劑、25可塑劑等，以及根據(jù)需要還添加混合上述壓電陶瓷的暫燒粉末等，制作內(nèi)部電極層2用的導(dǎo)電性膏劑，通過絲網(wǎng)印刷等將其印刷到上述各陶瓷生片的上面，形成例如140pm左右的范圍的厚度。之后，在內(nèi)部電極層2的周緣部31上印刷用于使多個(gè)無機(jī)物散布的散布用膏劑。該散布用膏劑，是例如在銀那樣的主成分是周期表第81130族金屬的金屬材料以及壓電材料之中的至少之一的材料構(gòu)成的無機(jī)物粉末中，添加混合粘接劑、可塑劑等、而且在干燥時(shí)被粘接固定并在燒制時(shí)揮發(fā)的丙烯酸小球等有機(jī)物之后形成的。通過使該散布用膏劑中預(yù)先含有干燥時(shí)被粘接固定、燒制時(shí)揮發(fā)的有機(jī)物，能夠形成具有任意的空隙率，且由散布的無機(jī)物構(gòu)成的散布部61k。通過控制添加到散布用膏劑中的丙5烯酸小球的量，能夠控制周緣部31的空隙率。即，在添加的丙烯酸小球的量少的情況下，空隙率變小，相反在丙烯酸小球的量多的情況下，空隙率變大。而且，散布用膏劑使用的壓電材料的粉末優(yōu)選是與形成壓電體層1的壓電材料相同組成的壓電陶瓷的暫燒粉末。接著，按照規(guī)定的順序?qū)υ谏厦嬗∷⒘藘?nèi)部電極層2用的導(dǎo)電性膏劑10的生片和印刷了形成內(nèi)部電極層2的導(dǎo)電性膏劑以及散布用膏劑的生片進(jìn)行層疊，得到層疊成形體，在以規(guī)定的溫度對該層疊成形體進(jìn)行脫粘接劑處理之后，通過在900120(TC下燒制得到層疊體(層疊燒結(jié)體)。如此，在要形成使金屬區(qū)域3以及空隙41散布的散布部61k的壓電體層l的部分上層疊印刷了散布用膏劑的生片。由此，能夠在希望的位置形15成金屬區(qū)域3隔著空隙41散布的散布部61k。另外，在全部的壓電體層之間，在想要形成上述區(qū)域散布的周緣部31的情況下，還可以在全部的生片上印刷導(dǎo)電性膏劑和散布用膏劑來層疊。另外，在不活性層9用的生片中，添加銀一鈀等構(gòu)成內(nèi)部電極層2的金屬粉末，或者在層疊不活性層9用的生片時(shí)，通過在生片上印刷銀一鈀20等構(gòu)成內(nèi)部電極層2的金屬粉末以及無機(jī)化合物和粘接劑和可塑劑構(gòu)成的膏劑，能夠使不活性層9和其他部分在燒結(jié)時(shí)的收縮舉動以及收縮率一致，因此，能夠形成致密的層疊體4。而且，層疊體4并不限定于通過上述制法制作，只要可以制作交替層疊多個(gè)壓電體層1和多個(gè)內(nèi)部電極層2而成的層疊體4，可以通過任意的25制法形成。接著，利用公知的平面磨床等將得到的層疊體磨削成規(guī)定的形狀。之后，在以銀為主成分的導(dǎo)電性粉末和玻璃粉末中添加粘接劑、可塑劑以及溶劑，制作銀玻璃導(dǎo)電性膏劑，通過絲網(wǎng)印刷等將該銀玻璃導(dǎo)電性膏劑印刷到形成外部電極5的層疊體4的側(cè)面4a上。之后，通過以規(guī)定的溫度30進(jìn)行千燥、燒印，能夠形成外部電極5。在此，玻璃成分從提高與壓電體層1的接合強(qiáng)度且能夠有效侵入到散布部61k內(nèi)的方面看，優(yōu)選為含有氧化鉛或氧化硅至少一種的玻化溫度在80(TC以下的玻璃。另外，如上面說明的以外，玻璃成分還可以使用石英玻璃、鈉鈣玻璃、鉛堿硅酸玻璃、鋁硼硅酸鹽玻璃、硼硅酸鹽玻璃、鋁硅酸鹽玻璃、硼酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃、5鉛玻璃等。例如，作為硼硅酸鹽玻璃，可以使用含有SiO2為4070質(zhì)量X、B203為230質(zhì)量％、八1203為020質(zhì)量％、MgO、CaO、SrO、BaO之類的堿土類金屬氧化物的總量為010質(zhì)量％、堿金屬氧化物為010質(zhì)量％的硼硅酸鹽玻璃。另外，還可以是在上述硼硅酸鹽玻璃中含有530質(zhì)量io%的ZnO的玻璃。ZnO具有使硼硅酸鹽玻璃的操作溫度降低的效果。另夕卜，作為磷酸鹽玻璃，可以使用含有？205為4080質(zhì)量％、A1203為030質(zhì)量％、B203為030質(zhì)量％、ZnO為030質(zhì)量X、堿土類金屬氧化物為030質(zhì)量％，堿金屬氧化物為010質(zhì)量％之類的玻璃。另外，作為鉛玻璃，可以使用含有PbO為3080質(zhì)量X、SiO2為01570質(zhì)量％、Bi203為030質(zhì)量％、八1203為020質(zhì)量％、ZnO為030質(zhì)量％、堿土類金屬氧化物為030質(zhì)量％，堿金屬氧化物為010質(zhì)量%之類的玻璃。另外，構(gòu)成外部電極5的導(dǎo)電材料，從具有耐氧化性、楊氏模量低、且廉價(jià)等方面出發(fā)，優(yōu)選以銀為主成分。從提高耐電遷移性的方面出發(fā)，20也可以添加微量的鉑或鈀。銀玻璃導(dǎo)電性膏劑的燒印溫度，從使外部電極5的一部分5a進(jìn)入周緣部31k、且提高外部電極5和層疊體4的側(cè)面4a的接合強(qiáng)度的觀點(diǎn)看，是銀玻璃導(dǎo)電性膏劑中含有的玻璃的?；瘻囟纫陨系臏囟?，優(yōu)選是500800°C。另外，銀玻璃導(dǎo)電性膏劑中的玻璃的?；瘻囟龋瑑?yōu)選是50080025。C。另外，在外部電極5的外表面還可以形成由埋設(shè)了金屬網(wǎng)或網(wǎng)狀金屬板的導(dǎo)電性粘接劑構(gòu)成的導(dǎo)電性輔助部件。此時(shí)，通過在外部電極5的外表面設(shè)置導(dǎo)電性輔助部件，即使對執(zhí)行器接通大電流，在高速下驅(qū)動的情況下，也能夠在導(dǎo)電性輔助部件中流通大電流，能夠降低在外部電極5中30流通的電流，由于這個(gè)理由，能夠防止外部電極5引起局部發(fā)熱而斷線的情況，能夠大幅度提高耐久性。另外，由于在導(dǎo)電性粘接劑中埋設(shè)金屬的網(wǎng)或網(wǎng)狀的金屬板，所以能夠防止在導(dǎo)電性粘接劑上產(chǎn)生龜裂。所謂金屬的網(wǎng)是編織金屬線而成的，所謂網(wǎng)狀金屬板是在金屬板上形成孔而做成網(wǎng)狀的板。5構(gòu)成導(dǎo)電性輔助部件的導(dǎo)電性粘接劑優(yōu)選由使作為導(dǎo)電性粒子的銀粉末分散了的聚酰亞胺樹脂構(gòu)成。即，通過使比電阻低的銀粉末分散到耐熱性高的聚酰亞胺樹脂中，能夠形成即使在高溫下使用時(shí)，電阻值也低且能維持高粘接強(qiáng)度的導(dǎo)電性輔助部件。另外，導(dǎo)電性粒子優(yōu)選是薄片狀或針狀等非球形的粒子。通過使導(dǎo)電10性粒子的形狀為薄片狀或針狀等非球形的粒子，能夠使該導(dǎo)電性粒子間的絡(luò)合牢固，能夠進(jìn)一步提高該導(dǎo)電性粘接劑的剪切強(qiáng)度。之后，在包括外部電極5的層疊體4的側(cè)面4a上利用浸漬(dipping)等方法涂敷由硅酮橡膠等構(gòu)成的外裝樹脂，通過利用焊料等將導(dǎo)線6連接于外部電極5，完成本發(fā)明的層疊型壓電元件。15另外，本發(fā)明的層疊型壓電元件并不限定于此，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。例如，在上述實(shí)施方式中，對于在層疊體4的相對的側(cè)面上形成外部電極5的例子進(jìn)行了說明，但在本發(fā)明中，例如還可以在相鄰的側(cè)面上形成一對外部電極5。<噴射裝置>20圖12是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的噴射裝置的截面圖。如圖12所示，該噴射裝置是在具有噴出孔7的收納容器6的內(nèi)部收容本發(fā)明的層疊型壓電元件構(gòu)成的壓電執(zhí)行器13而成的。該噴射裝置將液體燃料導(dǎo)入收納容器6內(nèi)，并且通過壓電執(zhí)行器13的驅(qū)動從噴出孔7向外部噴出導(dǎo)入的液體燃料。在收納容器6的內(nèi)部，收容有能夠開閉噴出孔7的針閥8。在噴25出孔7上燃料通路9能夠連通地設(shè)置。該燃料通路9連結(jié)于外部的燃料供給源，向燃料通路9常態(tài)下以一定的壓力(高壓)供給燃料。因此，如果針閥8打開噴出孔7，則向燃料通路9供給的燃料以一定的壓力被噴出向內(nèi)燃機(jī)的未圖示的燃料室內(nèi)。另外，針閥8的上端部的直徑變大，具有在收納容器6形成的工作缸IO合能夠滑動的活塞11。在收納容器6內(nèi)收納30有上述的壓電執(zhí)行器13。在這樣的噴射裝置中，若壓電執(zhí)行器13被施加電壓而伸長，則活塞ll被按壓，針閥8關(guān)閉噴出孔7停止燃料的供給。另外，如果停止施加電壓，則壓電執(zhí)行器13收縮，盤簧12壓回活塞11，噴出孔7與燃料通路9連通，迸行燃料的噴射。5以上，對于本發(fā)明的層疊型壓電元件以及噴射裝置進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述各實(shí)施方式。例如，在上述實(shí)施方式中，對于在壓電體層的端部存在帶狀的內(nèi)部電極層非形成部的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于這樣的方式，例如可以是內(nèi)部電極層非形成部存在于壓電體層的角部分的情況等。10而且，在上述實(shí)施方式中，對于區(qū)域是金屬區(qū)域的情況以及空隙的情況進(jìn)行了說明，但除此以外只要是比構(gòu)成壓電體層的壓電性陶瓷更容易變形的物質(zhì)構(gòu)成的區(qū)域即可。作為比壓電性陶瓷更容易變形的物質(zhì)，例如有各種陶瓷、各種塑料、橡膠等固體，此外還有液體、凝膠狀物質(zhì)等。作為這些物質(zhì)之中的、耐熱溫度在層疊體的燒制溫度以下時(shí)的制造方法，可舉)5出下面這樣的方法。目卩，可舉出的方法是不對層疊體整體進(jìn)行一體燒制，而是例如在制作了多個(gè)層疊體之后，在這些層疊體之間使上述物質(zhì)構(gòu)成的區(qū)域散布來接合等方法。由此，由于能夠降低對變位部的變位造成限制的非變位部的限制力，同時(shí)還能夠抑制抗折強(qiáng)度以及絕緣性的下降，因此，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高可靠性和高的變位性能。20另外，在本發(fā)明中，即使是在周緣部上散布由多個(gè)陶瓷構(gòu)成的區(qū)域，在這些陶瓷區(qū)域之間存在空隙的方式也可。作為該陶瓷，可以是與壓電體層相同的材料，還可以是其他的陶瓷。由此，由于能夠降低對變位部的變位造成限制的非變位部的限制力，同時(shí)還能夠抑制抗折強(qiáng)度以及絕緣性的下降，因此，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高可靠性和高的變位性能。25另外，本發(fā)明的層疊型壓電元件例如除了汽車發(fā)動機(jī)的燃料噴射裝置、噴墨器等液體噴射裝置、光學(xué)裝置等精密定位裝置、振動防止裝置等上搭載的驅(qū)動元件；燃燒壓力傳感器、敲擊傳感器、加速度傳感器、荷重傳感器、超聲波傳感器、感壓傳感器、偏航率傳感器等上搭載的傳感器元件；壓電陀螺、壓電開關(guān)、壓電變壓器、壓電斷路器等上搭載的電路元件30以外，只要是利用壓電特性的元件，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)就能夠適于各種用途。實(shí)施例1以下，詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例。以下這樣制作使用了本發(fā)明的層疊型壓電元件的壓電執(zhí)行器。首先，制作混合了以平均粒徑為0.4^im的鈦酸5鋯酸鉛(PZT)為主成分的壓電性陶瓷的暫燒粉末、粘接劑以及可塑劑的料漿，通過刮板法制作壓電體層l用的陶瓷生片，使得燒制后的厚度約為150,。接著，在該陶瓷生片的單面上，通過絲網(wǎng)印刷法形成在銀一鈀合金(銀95質(zhì)量％—鈀5重量％)中添加了粘接劑的導(dǎo)電性膏劑。對這些生片進(jìn)行io熱壓接層疊，燒制。燒制以80(TC保持后，以100(TC燒制。由此，分別得到具有圖2圖7以及圖14所示的構(gòu)造的層疊體。另外，圖4所示的構(gòu)造的層疊型壓電元件，以在周緣部散布多個(gè)金屬區(qū)域3的方式，利用實(shí)施了掩模圖案的絲網(wǎng)制版印刷金屬區(qū)域3的圖案(通過絲網(wǎng)印刷形成島狀的金屬區(qū)域3)。作為構(gòu)成金屬區(qū)域3的材料使用銀15鈀合金，對包含該金屬的膏劑進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。圖5所示的構(gòu)造的層疊型壓電元件，在島狀的金屬區(qū)域3以外的部分印刷粘接劑，進(jìn)行遮避，在燒制后形成空隙41。圖3所示的構(gòu)造的層疊型壓電元件，以在周緣部散布多個(gè)金屬區(qū)域3的方式，利用實(shí)施了掩模圖案的絲網(wǎng)制版印刷金屬區(qū)域3的圖案，并且在20金屬區(qū)域3以外的部分印刷混合了PZT的共性材料和粘接劑的膏劑進(jìn)行制作。由此，形成在周緣部散布金屬區(qū)域3，在這些金屬區(qū)域3之間夾著由PZT構(gòu)成的絕緣陶瓷區(qū)域，在絕緣陶瓷區(qū)域中分散空隙的構(gòu)造。接著，將銀玻璃膏劑印刷到層疊體4的外部電極5面上進(jìn)行干燥，在70(TC下燒印30分鐘，形成外部電極5。之后，將導(dǎo)線連接于外部電極5，25經(jīng)由導(dǎo)線向正極以及負(fù)極的外部電極5施加15分鐘的3kV/mm的直流電場，進(jìn)行分極處理。由此，得到圖l或圖13所示的層疊型壓電元件。對得到的層疊型壓電元件施加150V的直流電壓，利用激光變位計(jì)測量得到的變位量。另外，通過4點(diǎn)彎曲破壞荷重試驗(yàn)測量層疊體的抗折強(qiáng)度。結(jié)果如表l所示。(表l)<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>如表1所示，與在周緣部沒有金屬區(qū)域3散布(沒有形成島狀的區(qū)域3)的試料No.l相比，在使金屬區(qū)域3散布的試料Na27中，抗折強(qiáng)度不會下降，能夠提高初始狀態(tài)的變位量。實(shí)施例2接著，如以下這樣制作第七實(shí)施方式的層疊型壓電元件。首先，制作混合了以平均粒徑為0.4(Lmi的鈦酸鋯酸鉛(PZT)為主成分的壓電性陶瓷的暫燒粉末、粘接劑以及可塑劑的料漿，通過刮板法制作壓電體層l用的陶瓷生片，使得燒制后的厚度約為150pm。io接著，在該陶瓷生片的單面上通過絲網(wǎng)印刷法印刷平均厚度為4pm的導(dǎo)電性膏劑，該導(dǎo)電性膏劑是在平均粒徑為0.8pm的銀一鈀合金中添加粘接劑制作而成的。然后，通過絲網(wǎng)印刷法將在無機(jī)物中加入粘接劑以及丙烯酸小球而制作的散布用膏劑印刷到所述導(dǎo)電性膏劑的非形成部(周緣部)，形成平均4pm的厚度。另外，作為無機(jī)物采用了平均粒徑為0.8pm15的銀粉末。作為丙烯酸小球采用了平均粒徑為0.5pm的丙烯酸小球，相對于銀粉末100體積％而添加成為200體積％。之后，以相對于只印刷了導(dǎo)電性膏劑的生片20層、而以1層的印刷了導(dǎo)電性膏劑和散布用膏劑雙方的生片的比例進(jìn)行層疊，得到層疊成形體。接著，在35045(TC的溫度下對該層疊成形體進(jìn)行脫脂，之后在98020IIO(TC下燒制得到層疊燒制體。接著，用平面磨床磨削得到的層疊燒制體，得到層疊體4。接著，混合平均粒徑為2pm的銀粉末和剩余部分是以平均粒徑為2fim的硅為主成分的玻化溫度為65(TC的玻璃粉末，得到混合物，在該混合物中添加粘接劑，制作銀玻璃導(dǎo)電性膏劑，將該銀玻璃導(dǎo)電性膏劑通過絲網(wǎng)印刷印刷到層疊體4側(cè)面的外部電極5形成面上，形成平均為30pm的厚5度，通過在70(TC下進(jìn)行30分鐘的燒印，形成外部電極5。此時(shí)，預(yù)先印刷了散布用膏劑的壓電體層之間內(nèi)部電極層2和層疊體4側(cè)面之間的周緣部31形成以平均空隙率95%散布有多個(gè)無機(jī)物的構(gòu)造。在該周緣部31以平均深度10pm進(jìn)入有外部電極5的一部分5a。另外，內(nèi)部電極層2的空隙率平均是20%。而且，無機(jī)物散布的周緣部31的平io均空隙率可通過分別測量無機(jī)物散布的多個(gè)周緣部的空隙率來算出其平均值。對于內(nèi)部電極層2的平均空隙率也同樣進(jìn)行測量。另外，所謂外部電極5的一部分5a進(jìn)入的深度D的平均，是指觀察全部的周緣部31，測量各自的深度D，算出其平均值?？障堵实臏y量方法如下所述。即，首先，以在層疊方向上露出平行截面的方式，利用15kemettoJapan(株)公司制造的臺式研磨機(jī)KEMET—V—300用金剛石研磨膏研磨層疊體4。對于通過該研磨處理而露出的截面，利用光學(xué)顯微鏡放大250倍進(jìn)行觀察，得到截面圖像，從該截面圖像測量周緣部31的空隙率以及內(nèi)部電極層2的空隙率。另外，空隙率是如下這樣求得的，艮P:將用光學(xué)顯微鏡拍攝的截面圖像的空隙部分涂上黑色，將空隙以外的部分20涂上白色，求出黑色部分的比率、即、(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，通過用百分率進(jìn)行表示能夠算出空隙率。此時(shí)，可以將彩色的截面圖像變化成灰色標(biāo)度而二進(jìn)制化為黑色部分和白色部分。在對黑色部分和白色部分設(shè)定二進(jìn)制化用的邊界的閾值時(shí)，可以通過目視來設(shè)定邊界的閾值。25之后，將導(dǎo)線連接于外部電極5，經(jīng)由導(dǎo)線對正極以及負(fù)極的外部電極5施加15分鐘的3kV/mm的直流電場，進(jìn)行分極處理，制作采用了圖1所示的層疊型壓電元件的壓電執(zhí)行器。在對得到的層疊型壓電執(zhí)行器施加160V的直流電壓之后，在層疊方向上得到40^im的變位量。另夕卜，在室溫下對該層疊型壓電執(zhí)行器施加150Hz的頻率的0+160V的交流電壓，30連續(xù)驅(qū)動1乂109次進(jìn)行試驗(yàn)，得到的結(jié)果如表2所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table>如表2所示，在本發(fā)明的層疊型壓電元件(試料號l)中，與連續(xù)驅(qū)動前同樣得到變位量4(Him,另外，在外部電極5沒有發(fā)現(xiàn)異常。另一方5面，只是沒有無機(jī)物散布的周緣部，外部電極的一部分沒有進(jìn)入層疊體側(cè)面的試料號2的層疊型壓電元件中，初始的變位量比本發(fā)明的層疊型壓電元件(試料號1)少2,，而且，在驅(qū)動lX10n欠后，變位量下降到30pm。這是因?yàn)椋捎跊]有周緣部，在內(nèi)部電極層的非形成部分(周緣部)，全部的相鄰的壓電體層之間被牢固地接合，周緣部限制層疊體的變位，相比io于試料號1初始的變位量變少。另外，在試料號2的層疊型壓電元件中，由于外部電極的一部分沒有進(jìn)入層疊體內(nèi)，所以外部電極和層疊體側(cè)面的接合強(qiáng)度弱，結(jié)果是外部電極的一部分從層疊體側(cè)面剝離，在一部分的內(nèi)部電極層和外部電極之間產(chǎn)生斷線，無法向一部分的壓電體供給電壓，所以變位量下降。1實(shí)施例3接著，除了使構(gòu)成周緣部的無機(jī)物的材質(zhì)和周緣部的層數(shù)變化以外，與實(shí)施例2同樣地制作層疊型壓電元件。評價(jià)結(jié)果如表3所示(表3)<table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>從表3可知，在本發(fā)明的層疊型壓電元件中，試料號l、3、4、5、6、7即使在連續(xù)驅(qū)動1X109次的情況下，也得到與連續(xù)驅(qū)動前同樣的變位量，是具有高可靠性的壓電執(zhí)行器。權(quán)利要求1.一種層疊型壓電元件，其具有多個(gè)壓電體層隔著內(nèi)部電極層層疊而成的層疊體，其特征在于，位于在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層間、且位于所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間的周緣部的至少一部分是多個(gè)由無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域隔著空隙散布的散布部。2.如權(quán)利要求l所述的層疊型壓電元件，其特征在于，10所述無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域是由金屬構(gòu)成的金屬區(qū)域，所述散布部是多個(gè)所述金屬區(qū)域在與所述內(nèi)部電極層絕緣的狀態(tài)下散布而形成的。3.—種層疊型壓電元件，其具有多個(gè)壓電體層隔著內(nèi)部電極層層疊而成的層疊體，其特征在于，位于在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層間、且位于所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間的周緣部的至少一部分是多個(gè)由金屬構(gòu)成的金屬區(qū)域在與所述內(nèi)部電極層絕緣的狀態(tài)下散布的散布部。4.如權(quán)利要求2或3所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述金屬區(qū)域由銀鈀合金構(gòu)成。5.如權(quán)利要求14中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述無機(jī)化合物構(gòu)成的區(qū)域是由陶瓷構(gòu)成的陶瓷區(qū)域，所述散布部是多個(gè)所述陶瓷區(qū)域散布而形成的。6.如權(quán)利要求5所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述陶瓷區(qū)域連結(jié)在所述層疊體的層疊方向相鄰的兩個(gè)壓電體層。7.如權(quán)利要求5或6所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述陶瓷區(qū)域由與所述壓電體層相同的壓電陶瓷構(gòu)成。8.—種層疊型壓電元件，其具有多個(gè)壓電體層隔著內(nèi)部電極層層疊而成的層疊體，其特征在于，位于在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層間、且位于所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間的周緣部的至少一部分是多個(gè)由樹脂構(gòu)成的區(qū)域隔著空隙散布的散布部。9.如權(quán)利要求18中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述散布部比所述內(nèi)部電極層空隙多。510.如權(quán)利要求19中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，具有所述散布部的周緣部與不具有散布部的周緣部相比，內(nèi)部電極層的側(cè)端部和層疊體的側(cè)面之間的距離長。11.如權(quán)利要求110中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征10在于，所述層疊體具有所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部和所述層疊體的側(cè)面之間的距離不同的兩個(gè)以上的散布部。12.如權(quán)利要求110中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述層疊體具有多個(gè)所述散布部，在層疊方向相鄰的散布部間配置有至少兩層以上的所述壓電體層。13.如權(quán)利要求12所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述多個(gè)散布部在所述層疊體的層疊方向上等間隔地配置。14.如權(quán)利要求18中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體的全部的周緣部上，分別在各周緣部的至少一部分形成有所述散布部。15.如權(quán)利要求114中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體的側(cè)面形成有每隔一層分別與多個(gè)所述內(nèi)部電極層電連接的一對外部電極，所述外部電極的一部分進(jìn)入所述周緣部的一部分。16.如權(quán)利要求15所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述外部電極的一部分進(jìn)入構(gòu)成所述散布部的多個(gè)所述區(qū)域間。17.如權(quán)利要求15或16所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述周緣部形成有從所述內(nèi)部電極層的側(cè)端部至所述外部電極的一部分連通的空隙。18.如權(quán)利要求1517中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體上存在多個(gè)所述外部電極的一部分進(jìn)入的所述周緣部，5這些周緣部規(guī)則地配置在所述層疊體的層疊方向上。19.如權(quán)利要求1518中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述金屬區(qū)域的主成分與所述外部電極的主成分相同。20.如權(quán)利要求119中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，在所述層疊體的側(cè)面形成有由樹脂構(gòu)成的被覆層，所述被覆層的一部分進(jìn)入到所述周緣部的一部分。21.—種噴射裝置，其特征在于，具備具有噴出孔的容器、和權(quán)利要求120中的任一項(xiàng)所述的層疊15型壓電元件，通過所述層疊型壓電元件的驅(qū)動，從所述噴射孔噴射在所述容器內(nèi)填充的液體。全文摘要提供一種抗折強(qiáng)度以及絕緣性高、具有優(yōu)越變位性能的層疊型壓電元件以及具有該元件的噴射裝置。該層疊型壓電元件具有隔著內(nèi)部電極層(2)層疊多個(gè)壓電體層(1)而成的層疊體(4)，其中，位于在層疊方向上相鄰的兩個(gè)壓電體層(1、1)間、且位于所述內(nèi)部電極層(2)的側(cè)端部(2a)和所述層疊體(4)的側(cè)面(4a)之間的周緣部(31)的至少一部分，是多個(gè)金屬區(qū)域(3)隔著空隙(21)散布的散布部。文檔編號H01L41/083GK101253638SQ20068003176公開日2008年8月27日申請日期2006年8月29日優(yōu)先權(quán)日2005年8月29日發(fā)明者中村成信,莊司順也,稻垣正祥申請人:京瓷株式會社