專利名稱：半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞叩闹谱鞣椒?br> 技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導體器件管腿外觀檢驗的模具，它普遍適用于各種封裝形式的半導體器件的管腿外觀的檢驗。尤其適用于TSOP，QFP，SOP，SIP，SSIP，SOJ，QFJ，DIP，ZIP，PGA等封裝形式。
背景技術(shù)：
在半導體器件生產(chǎn)的很多工序，需要檢驗器件管腿的外觀，檢驗項目一般有管腿上下浮沉，管腿間距，劃傷，打痕等。在大規(guī)模生產(chǎn)中，傳統(tǒng)上一般采用以下方法來檢驗器件管腿的外觀事先作成各種外觀項目的限度樣品，將實際需要檢驗的器件與限度樣品進行比對，用以判斷器件外觀的合格與不合格。但是遇有臨界或比對后模糊難以判斷的情況，需要逐個用工場顯微鏡來測量難以判斷的項目，并逐一比對測量結(jié)果與標準值的差異。這樣會大大影響檢驗速度，難以適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型提供一種半導體器件管腿外觀檢驗的模具，它能方便快捷地檢驗出器件的管腳外形是否合格，以適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)的需要。
本實用新型涉及的半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞?，所述的模具包括一個基座，在基座的兩端分別固定有管腿沉浮測量卡具、管腿間距測量卡具，在卡具的端面上開有一通長的凹槽，凹槽的深度等于被測器件管腿厚度與管腿沉浮最大允許量，在卡具的端面中部設(shè)有一排管腿間距測量槽其寬度等于被測器件的管腳寬度與管腿彎曲最大允許量之和，其深度大于等于包括管腿的器件寬度減去樹脂部分的器件寬度的差值的一半，在卡具的兩端分別設(shè)有測量器件管腿間距的突起，即最小允許管腿間距及最大允許管腿間距，并分別等于被測器件管腿中心線間距減去器件管腿彎曲最大允許量再減去管腿寬度，及被測器件管腿中心線間距加上器件管腿彎曲最大允許量減去管腿寬度，突起的長度大于等于包括管腿的器件寬度減去樹脂部分的器件寬度的差值的一半。
所述的半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞撸褂玫牟馁|(zhì)要求為SUS440C；熱處理HRC58-62。
該實用新型將管腿沉浮量合格否的檢驗與管腿間距合格否的檢驗集中在一個檢驗?zāi)＞呱希c傳統(tǒng)的逐個用工場顯微鏡測量半導體器件的管腳外形尺寸的方法相比，使用本實用新型的模具，能方便快捷地檢驗出器件的管腳外形是否合格。它特別適用于大規(guī)模半導體器件的外觀檢驗。能提高檢驗速度，節(jié)省檢驗時間。


圖1是半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞呤疽鈭D圖2是半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞逫向視圖圖3是半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞逬向視圖圖4是半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞逿向視圖圖5是半導體器件制品側(cè)視外形圖圖6是半導體器件制品俯視外形圖具體實施方式
以下結(jié)合附圖對該實用新型做詳細描述如圖1-4所示，一種半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞?，包括一個基座1，在基座1的兩端分別固定有管腿沉浮測量卡具2、管腿間距測量卡具3，在卡具2的端面上開有一通長的凹槽T，凹槽的深度要等于被測器件管腿厚度及管腿沉浮最大允許量，在卡具3的端面中部設(shè)有一排管腿間距測量槽Y其寬度要等于被測器件的管腳寬度及管腿彎曲最大允許量，其深度U要大于等于包括管腿的器件寬度減去樹脂部分的器件寬度的一半，在卡具3的兩端分別設(shè)有測量器件管腿間距的突起最小允許管腿間距W及最大允許管腿間距X，W要等于被測器件管腿中心線間距減去器件管腿彎曲最大允許量減去管腿寬度，X等于被測器件管腿中心線間距加上器件管腿彎曲最大允許量減去管腿寬度，突起的長度大于等于包括管腿的器件寬度減去樹脂部分的器件寬度的差值的一半。
所述的模具使用的材質(zhì)要求為SUS440C；熱處理HRC58-62。
圖中所列符號含義如下

半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞咴O(shè)計規(guī)則如下

檢驗?zāi)＞叩氖褂谜f明將待檢驗器件的單側(cè)管腿水平輕輕滑入管腿浮沉量測量縫，若能順利滑入，表明管腿浮沉未超標；若不能順利進入縫隙，則表明管腿浮沉超標，需要修正或作為不良品處置。將待檢驗器件的單側(cè)管腿水平輕輕滑入管腿間距測量槽，若能順利滑入，表明管腿間距正常；若不能順利進入槽中，則表明管腿間距超標，需要修正或作為不良品處置。
正常管腳間距應(yīng)在最大管腿間距測量突起的寬度與最小管腿間距測量突起的寬度之間。測量時，將器件管腳間距輕輕推入管腿間距測量突起，不能通過小突起的，表明管腿間距太小，需要修正或作為不良品處置。將器件管腳間距輕輕推入管腿間距測利通過大突起的，表明管腿間距太大，需要修正或作為不良品處置。如圖5-6所示，以54pin TSOP(□)(400mil)封裝的產(chǎn)品外形為例，產(chǎn)品尺寸如下

根據(jù)產(chǎn)品尺寸設(shè)計出模具尺寸如下
權(quán)利要求1.一種半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞?，其特征在于所述的模具包括一個基座(1)，在基座(1)的兩端分別固定有管腿沉浮測量卡具(2)、管腿間距測量卡具(3)，在卡具(2)的端面上開有一通長的凹槽T，凹槽的深度等于被測器件管腿厚度及管腿沉浮最大允許量，在卡具(3)的端面中部設(shè)有一排管腿間距測量槽Y，其寬度等于被測器件的管腳寬度與管腿彎曲最大允許量之和，其深度U大于等于包括管腿的器件寬度減去樹脂部分的器件寬度的差值的一半，在卡具(3)的兩端分別設(shè)有測量器件管腿間距的突起，即最小允許管腿間距W及最大允許管腿間距X，W等于被測器件管腿中心線間距減去器件管腿彎曲最大允許量再減去管腿寬度，X等于被測器件管腿中心線間距加上器件管腿彎曲最大允許量減去管腿寬度，突起的長度大于等于包括管腿的器件寬度減去樹脂部分的器件寬度的差值的一半。
2.如權(quán)利要求1所述的半導體器件管腿外觀檢驗?zāi)＞撸涮卣髟谟谒龅哪＞呤褂玫牟馁|(zhì)為SUS440C；熱處理HRC58-62。
專利摘要本實用新型涉及一種半導體器件管腳外觀檢驗?zāi)＞?所述的模具包括一個基座(1),在基座(1)的兩端分別固定有管腿沉浮測量卡具(2)、管腿間距測量卡具(3),在卡具(2)的端面上開有一通長的凹槽T,凹槽的深度要等于被測器件管腿厚度及管腿沉浮最大允許量,在卡具(3)的端面中部設(shè)有一排管腿間距測量槽,在卡具(3)的兩端分別設(shè)有測量器件管腿間距的突起最小允許管腿間距W及最大允許管腿間距X,管腿沉浮量的檢驗與管腿間距合格否的檢驗集中在一個檢驗?zāi)＞呱?能方便快捷地檢驗出器件的管腳外形是否合格,它特別適用于大規(guī)模半導體器件的外觀檢驗,能提高檢驗速度,節(jié)省檢驗時間。
文檔編號H01L21/66GK2513226SQ0127026
公開日2002年9月25日 申請日期2001年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月6日
發(fā)明者付銀, 李建國, 汪晶晶 申請人:首鋼日電電子有限公司