單元格N表示為第一相位Pl，有底紋的第二資 料單元格N表示為第二相位P2。
[0068] 圖3B中的第二數(shù)據(jù)單元格N也以類似矩陣之方法表示。舉例而言，于第二成像范 圍A2的第一列中，第二數(shù)據(jù)單元格N依序可以被表示為N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18，其 中 Nn、N12、N14、N16、N18 為第一相位Pl (無底紋），而N 13、N15、N17為第二相位P2 (有底紋）。
[0069] 此外，同前所述，由于盤片106內(nèi)會記錄有對應(yīng)初始參考訊號點(diǎn)之信息，繞射光D 以及由繞射光D轉(zhuǎn)換而成之第一光束Ll與第二光束L2均具有對應(yīng)初始參考訊號點(diǎn)的數(shù)據(jù) 點(diǎn)。
[0070] 舉例而言，于第一光束Ll在光學(xué)接收器108上的第一成像范圍Al中，第一數(shù)據(jù)單 元格M n、M12、M13、M14、M15、M 16、M17、M18可以是對應(yīng)初始參考訊號點(diǎn)的數(shù)據(jù)點(diǎn)。為了方便說明， 第一數(shù)據(jù)單元格M n、M12、M13、M14、M15、M 16、M17、M18上標(biāo)示有初始參考訊號點(diǎn)R。
[0071] 同樣地，于第二光束L2在光學(xué)接收器108上的第二成像范圍A2中，第二數(shù)據(jù)單元 格N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18也會有對應(yīng)初始參考訊號點(diǎn)的數(shù)據(jù)點(diǎn)。為了方便說明，第 二數(shù)據(jù)單元格N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18上標(biāo)示有初始參考訊號點(diǎn)R。
[0072] 換言之，第一成像范圍Al與第二成像范圍A2中，第一數(shù)據(jù)單元格Mn、M 12、M13、M14、 M15、M16、M17、M18與第二資料單元格N n、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18的相位為已知，而其余的 第一資料單元格M與第二資料單元格N的相位為未知。
[0073] 圖4A與圖4B繪示圖1的全像裝置100進(jìn)行讀取第一光束Ll與第二光束L2的示 意圖。圖4A與圖4B中，所繪示的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2分別對應(yīng)于圖3A與 圖3B之第一成像范圍Al與第二成像范圍A2。此外，為了不使圖式過于復(fù)雜，第二成像范圍 A2以虛線邊框表示。
[0074] 同前所述，繞射光D可以透過剪切干涉儀120 (請見圖1)轉(zhuǎn)換為第一光束Ll與第 二光束L2,并分別于光學(xué)接收器108 (請見圖1)上成像形成第一成像范圍Al與第二成像范 圍A2,如前述之第一步驟。圖4A與圖4B中，第一光束Ll與第二光束L2于光學(xué)接收器108 上形成的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2為部分重迭。
[0075] 當(dāng)光學(xué)接收器108上的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2部分重迭時(shí)，于第一 成像范圍Al與第二成像范圍A2的重迭之區(qū)域內(nèi)，第一成像范圍Al與第二成像范圍A2重 迭的每一第一數(shù)據(jù)單元格M會與每一第二資料單元格N完全重合。例如，第一成像范圍Al 之第二列的第一數(shù)據(jù)單元格M (對應(yīng)至第3A圖之第一數(shù)據(jù)單元格M21、M22、M23、M24、M 25、M26、 M27、M2S)分別與第二成像范圍A2之第一列的第二數(shù)據(jù)單元格N(對應(yīng)至第3B圖之第二數(shù)據(jù) 單元格 Nn、N12、N13、N14、N15、N 16、N17、N18)完全重合。
[0076] 接著，資料讀取方法是根據(jù)第一成像范圍Al與第二成像范圍A2重迭之區(qū)域內(nèi)的 完全重合的第一資料單元格M與第二資料單元格N，將剪切干涉儀120所提供之第一光束 Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉(zhuǎn)換為強(qiáng)度分布形式，并以強(qiáng)度訊號之形式記 錄，如前述之第二步驟。
[0077] 于將第一光束Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉(zhuǎn)換為強(qiáng)度分布形式之 步驟中，轉(zhuǎn)換的步驟具有以下步驟。當(dāng)每一組完全重合之第一數(shù)據(jù)單元格M及第二數(shù)據(jù)單 元格N皆為第一相位Pl或第二相位P2，定義此組完全重合之第一數(shù)據(jù)單元格M及第二數(shù)據(jù) 單元格N于光學(xué)接收器108之強(qiáng)度為第一強(qiáng)度。當(dāng)每一組完全重合之第一數(shù)據(jù)單元格M及 第二數(shù)據(jù)單元格N分別為第一相位Pl與第二相位P2時(shí)，定義此組完全重合之第一數(shù)據(jù)單 元格M及第二數(shù)據(jù)單元格N于光學(xué)接收器108之強(qiáng)度為第二強(qiáng)度。
[0078] 換言之，第一光束Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉(zhuǎn)換為強(qiáng)度分布形 式之步驟是透過完全重合的第一數(shù)據(jù)單元格M與第二數(shù)據(jù)單元格N之間的相位關(guān)系定義。 相位關(guān)系例如為第一數(shù)據(jù)單元格M與第二數(shù)據(jù)單元格N之間的建設(shè)性干涉或是相消性干 涉。舉例而言，當(dāng)重合的第一數(shù)據(jù)單元格M與第二數(shù)據(jù)單元格N具有相同相位時(shí)，其相位關(guān) 系可以視為建設(shè)性干涉。反之，當(dāng)重合的第一數(shù)據(jù)單元格M與第二數(shù)據(jù)單元格N具有相反 相位時(shí)，其相位關(guān)系可以視為相消性干涉。
[0079] 本實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)換后的強(qiáng)度訊號是以二進(jìn)制的形式記錄為例作說明，亦即轉(zhuǎn)換 而成的強(qiáng)度分布形式所具有的第一強(qiáng)度與第二強(qiáng)度分別可以視為1跟0。于將第一光束Ll 與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉(zhuǎn)換為強(qiáng)度分布形式之步驟的過程中，數(shù)據(jù)讀取 方法是將重合的第一數(shù)據(jù)單元格M與第二數(shù)據(jù)單元格N之相位作相減以定義每一個(gè)數(shù)據(jù)的 強(qiáng)度。舉例而言，當(dāng)重合的一組資料單元格之相位為η與〇(或〇與時(shí)，此組數(shù)據(jù)單 元格之強(qiáng)度定義為1。當(dāng)重合的一組資料單元格之相位皆為(η與JO或皆為〇(〇與0) 時(shí)，此組數(shù)據(jù)單元格之強(qiáng)度定義為0。
[0080] 當(dāng)光學(xué)接收器108將第一光束Ll與第二光束L2透過干涉自相位分布形式轉(zhuǎn)換為 強(qiáng)度分布形式后，透過第一光束Ll與第二光束L2的強(qiáng)度分布形式與對應(yīng)初始參考訊號點(diǎn)R 之?dāng)?shù)據(jù)點(diǎn)，即可推算第一成像范圍Al內(nèi)的每一第一數(shù)據(jù)單元格M之相位，如前述之第三步 驟。
[0081] 請看到圖4A的箭頭所指之處（第一成像范圍Al的第二列與第二成像范圍A2的第 一列），于此處中，光學(xué)接收器108將因第一成像范圍Al之第二列的第一數(shù)據(jù)單元格M(對 應(yīng)至第3六圖之第一數(shù)據(jù)單元格1 21、]\122、]\123、]\124、]\1 25、]\126、]\127、]\128)與第二成像范圍42之第一 列的第二數(shù)據(jù)單元格N (對應(yīng)至第3B圖之第二數(shù)據(jù)單元格Nn、N12、N13、N14、N 15、N16、N17、N18) 分別完全地重合，而于不同位置的數(shù)據(jù)單元格接收到多個(gè)強(qiáng)度訊號。例如，光學(xué)接收器108 接到由M 21與N n迭加后之強(qiáng)度、M 22與N 12迭加后之強(qiáng)度、M 23與N 13迭加后之強(qiáng)度、M 24與N 14 迭加后之強(qiáng)度、M25與N 15迭加后之強(qiáng)度、M 26與N 16迭加后之強(qiáng)度、M 27與N 17迭加后之強(qiáng)度、M 28 與N18迭加后之強(qiáng)度分別為0、1、1、1、1、0、0、1。
[0082] 由于第二成像范圍A2的第一列內(nèi)的第二資料單元格N之相位為已知（標(biāo)記有初 始參考訊號點(diǎn)R)，透過相位相減的運(yùn)算規(guī)則，第一成像范圍Al的第二列內(nèi)的第一數(shù)據(jù)單元 格M之相位可以被推算出來。
[0083] 例如，由于M21與N n迭加之處中，由于M 21與N n迭加后之強(qiáng)度為0,因此可以推得 M21與N n之相位相同。接著，由于N n之相位為已知且為0相位，因此M21之相位可以被推算 為〇相位。
[0084] 反之，由于M22與N12迭加后之強(qiáng)度為1，因此可以推得M 21與N11之相位不同。接 著，由于N11之相位為已知且為0相位，因此M 21之相位可以被推算為π相位。藉由此推算 規(guī)則，第一成像范圍Al的第二列內(nèi)的第一數(shù)據(jù)單元格M之相位可以被推算出來。
[0085] 同樣地，當(dāng)?shù)谝怀上穹秶鶤l的第二列內(nèi)的第一資料單元格M之相位被推算出來 后，由于第一成像范圍Al與第二成像范圍A2的相位分布相同，因此可以得知第二成像范圍 A2的第二列內(nèi)的第二資料單元格N之相位。
[0086] 接著，請看到圖4B的箭頭所指之處（第一成像范圍Al的第三列與第二成像范圍 A2的第二列），于此處中，第一成像范圍Al的第三列內(nèi)的第一數(shù)據(jù)單元格M與第二成像范 圍A2的第二列內(nèi)的第二資料單元格N分別完全地重合。
[0087] 光學(xué)接收器108接到由M31與N 21 (未標(biāo)示，第3A圖之第一數(shù)據(jù)單元格M與與第3 圖之第二數(shù)據(jù)單元格N之標(biāo)示方式如矩陣規(guī)則）迭加后之強(qiáng)度、M32與N22迭加后之強(qiáng)度、M 33 與N23迭加后之強(qiáng)度、M 34與N 24迭加后之強(qiáng)度、M 35與N 25迭加后之強(qiáng)度、M 36與N 26迭加后之強(qiáng) 度為7與心7迭加后之強(qiáng)度、138與^迭加后之強(qiáng)度分別為0、1、1、1、0、1、1、0。根據(jù)前述推 算規(guī)則，由于此處之強(qiáng)度分布以及第二成像范圍A2的第二列內(nèi)的第二數(shù)據(jù)單元格N之相位 為已知，因此第一成像范圍Al的第三列內(nèi)的第一數(shù)據(jù)單元格M之相位可以被推算出來。
[0088] 具體而言，本實(shí)施方式之中，推算第一成像范圍Al內(nèi)的每一第一數(shù)據(jù)單元格M之 相位之步驟為以下步驟。自第一數(shù)據(jù)單元格M中對應(yīng)初始參考訊號點(diǎn)R之?dāng)?shù)據(jù)點(diǎn)之一者開 始向其他的每一組完全重合之第一數(shù)據(jù)單元格M及第二數(shù)據(jù)單元格N進(jìn)行推算。換言之， 由于本實(shí)施方式之第一成像范圍Al的第一列內(nèi)的第一數(shù)據(jù)單元格M的相位為已知，因此推 算第一成像范圍Al內(nèi)的其他第一數(shù)據(jù)單元格M之相位是自第一列依序推算至第二列、第三 列、第四列、第五列、第六列、第七列與第八列。
[0089] 綜上所述，本發(fā)明之?dāng)?shù)據(jù)讀取方法可以透過第一光束Ll與第二光束L2重迭后形 成重迭區(qū)域，其中光學(xué)接收器108接收到此重迭區(qū)域之形式為強(qiáng)度分布形式。接著，透過第 一光束Ll與第二光束L2于光學(xué)接收器108上的第一成像范圍Al與第二成像范圍A2中對 應(yīng)初始參考訊號點(diǎn)R之?dāng)?shù)據(jù)點(diǎn)，第一成像范圍Al的第一數(shù)據(jù)單元格M之相位可以藉由已知 相位的數(shù)據(jù)點(diǎn)被推算出來。
[0090] 當(dāng)?shù)谝怀上穹秶鶤l的第一數(shù)據(jù)單元格M之相位被推算出來后，全像裝置100即可 讀取出盤片106內(nèi)所儲存的數(shù)據(jù)。透過本發(fā)明之?dāng)?shù)據(jù)讀取方法，光學(xué)接收器108對繞射光D 進(jìn)行一次的讀取即可讀取出盤片106所儲存的相位信息，使得全像裝置100對盤片106的 讀取時(shí)間被縮短。再者，全像裝置100于縮短讀取時(shí)間的情況下仍可讀出高質(zhì)量之?dāng)?shù)據(jù)，因 此全像裝置100的讀取效能與效率大幅提升。
[0091] 此外，由于第一光束Ll與第二光束L2于被剪切干涉儀120轉(zhuǎn)換前為同一束繞射 光D，藉由相位相減的推算規(guī)則，第一光束Ll與第二光束L2中因光學(xué)組件的像差或盤片的 偏移產(chǎn)生的噪聲于進(jìn)行相消性干涉可以被消除，藉以提升全像裝置100的訊雜比。
[0092] 然而，應(yīng)了解到，以上