專利名稱：主訓練夾具的制作方法
技術領域：
本文描述的實施例涉及盤處理系統(tǒng)的領域，并且具體地涉及在襯底更換系統(tǒng)上的訓練。
背景技術：
在磁記錄盤的制造中使用各種處理系統(tǒng)。一種這樣的處理系統(tǒng)是可從日本Canon ANELVA公司得到的ANELVA C3040盤濺射系統(tǒng)。C3040系統(tǒng)包括拾取和放置系統(tǒng)，該系統(tǒng)使 用χ-機器人和阻尼拾取器來從緩沖臺向載體面板傳送盤。在盤在腔體之間傳輸期間，由于 速度為1300pph (磅/小時)，未適當放置在載體內(nèi)的盤可能從載體夾持器中掉落。另外，位于χ-機器人末端的阻尼拾取器在每次清洗時需要更換。在阻尼拾取器被 更換之后，X-機器人對盤在載體的定位對準需要重校準。當X-機器人已經(jīng)以合適的對準 將盤定位在載體中時，技術人員很難使用其肉眼和“第六感”手動執(zhí)行精確重校準。


本發(fā)明通過示例的方式被圖解說明，而不受附圖中圖形的限制，在附圖中圖1圖解說明根據(jù)本發(fā)明一個實施例的具有盤載體定位裝置的盤濺射系統(tǒng)的部 件；圖2A圖解說明根據(jù)本發(fā)明一個實施例的盤更換系統(tǒng)的側(cè)視圖；圖2B圖解說明相對于圖2A的側(cè)視圖旋轉(zhuǎn)90度的載體面板的一個實施例的正視 圖；圖3A是圖解說明根據(jù)本發(fā)明一個實施例的載體面板的正面的側(cè)視圖；圖;3B是圖解說明根據(jù)本發(fā)明一個實施例的載體面板的背面的側(cè)視圖；圖3C是圖解說明根據(jù)本發(fā)明一個實施例的包含光束傳感器的載體面板的一部分 的更詳細的視圖；圖4A是概念地圖解說明根據(jù)本發(fā)明一個實施例當盤被對準時側(cè)光束傳感器的操 作的截面圖；圖4B是概念地例示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例當盤未對準時側(cè)光束傳感器的操作 的截面圖；圖5A是概念地例示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的頂部光束傳感器的操作的截面 圖；圖5B是概念地例示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的頂部光束傳感器的操作的正視 圖；以及圖6是例示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的載體面板的蓋子和導線部件的分解視圖。
具體實施例方式在此參照附圖描述方法的各實施例。然而，可以實踐具體實施例而不具有這些具體細節(jié)中的一個或者更多，或者與其它已知的方法、材料和裝置相結(jié)合。在隨后的描述中， 闡述了諸多具體細節(jié)，如具體材料、尺寸和處理參數(shù)等，以提供徹底的理解。在其它實例中， 沒有特別詳細地描述已知的制造過程和設備以避免不必要地模糊要求保護的主題。整個說 明書中對“實施例/實施方式”的引用是指所描述的與此實施例有關的特定特征、結(jié)構、材 料或特性被包含在本發(fā)明的至少一個實施例中。因而，短語“在一個實施例中”在整個說明 書各個位置的出現(xiàn)未必指代相同的實施例。此外，可以在一個或者更多實施例中以任何適 當?shù)姆绞浇M合特定特征、結(jié)構、材料或者特性。本文描述具有盤載體定位裝置的盤濺射系統(tǒng)和訓練盤定位的方法的實施例。在一 個實施例中，該盤濺射系統(tǒng)包括盤傳輸載體和盤更換系統(tǒng)，所述盤傳輸載體包括具有多個 盤開口的面板，每個盤開口具有對應的盤夾持器以將盤固定在其中，所述盤更換系統(tǒng)可操 作地與盤傳輸系統(tǒng)耦連以插入盤并在盤開口內(nèi)從夾持器取出盤。在一個實施例中，盤載體 定位裝置包括布置在每個盤開口周圍以在盤固定到盤開口內(nèi)時平行于盤的表面投射光束 的多個光束傳感器，其中多個光束傳感器的每個包括位于面板的每一側(cè)上的至少一個光束 傳感器。在一個實施例中，訓練盤定位到面板的盤開口中的方法包括使用機械臂將盤插入 載體的盤開口，以及使用布置在盤開口周圍的多個光束傳感器檢測所插入的盤在載體中的 未對準。圖1例示根據(jù)本發(fā)明各實施例具有盤載體定位裝置的盤濺射系統(tǒng)的部件。在一個 實施例中，盤濺射系統(tǒng)100是可從日本的Canon ANELVA公司獲得的ANELVA C3040盤濺射 系統(tǒng)。在可替換實施例中，系統(tǒng)100可以是在盤制造中使用的其它類型的濺射系統(tǒng)或者其 它類型的盤處理系統(tǒng)。另外，盡管本文中相對于磁記錄盤討論本發(fā)明的各實施例，但是此處 的裝置和方法可以與其它類型的盤一起使用，例如光記錄盤(如緊湊盤(CD)和數(shù)字通用盤 (DVD))。所例示的盤濺射部件100的部件包括布置在傳送器120上的載體面板200，傳送 器120用于將載體面板200傳輸?shù)秸疚恢靡杂杀P更換系統(tǒng)130操作并且也傳輸?shù)奖P濺射系 統(tǒng)的一個或者更多腔體以處理載體面板200的盤開口 150保持的一個或者更多盤。在一個 實施例中，盤更換系統(tǒng)130由用于在載體面板200和操作臺140(例如加熱站、冷卻站或者 緩沖臺)之間傳輸盤的機械臂130組成?？商娲?，盤更換系統(tǒng)130可以利用其它類型的 拾取與放置機械裝置。在一個實施例中，載體面板200具有磁傳輸?shù)鬃?例如圖3A的底座 210)，其使得載體面板200能夠使用磁力保持在傳送器120上。機械臂130具有末端執(zhí)行 器，其具有用于固定盤105的拾取器135，如以下參照圖2A和2B的進一步描述。圖2A例示盤更換系統(tǒng)130的側(cè)視圖，圖2B例示相對于圖2A的側(cè)視圖旋轉(zhuǎn)90度 的面板的正視圖，以示出當盤105固定在面板200內(nèi)時拾取器135和盤105之間的相互作 用。在此實施例中，盤更換系統(tǒng)130包括盤105固定在其上的拾取器135。盤濺射系統(tǒng)100 命令盤更換系統(tǒng)移動并將盤105定位在X、Y和Z軸中以在面板200的夾持器203中(其也 稱為棘爪)固定盤105，接著從盤釋放拾取器135。盡管圖2Β中例示了三個夾持器，但是可 以使用更多或更少的夾持器。在盤濺射系統(tǒng)100的操作期間的各個時刻，可能要求盤更換系統(tǒng)130的訓練以確 保盤更換系統(tǒng)130將盤與載體面板200適當對準，使得在沿著傳送器120傳輸期間盤不掉 出面板。這種訓練可以當盤濺射系統(tǒng)100首次啟動時、在系統(tǒng)100清潔維護期間當阻尼拾取器135要求更換時等發(fā)生。這些活動要求盤更換系統(tǒng)130的校準、或者重校準以確保盤 更換系統(tǒng)130以適當?shù)膶蕦⒈P插入載體面板。進行訓練使得盤濺射系統(tǒng)100記住盤更換系統(tǒng)130盤105在面板200中的插入位 置。存儲在盤濺射系統(tǒng)100內(nèi)的軟件程序提供有與通過訓練操作在盤更換系統(tǒng)130的載體 面板200內(nèi)適當對準時盤的位置(稱為訓練點)相對應的可變坐標。在訓練操作中使用載 體面板200形式的主訓練夾具(master teaching jig)。主訓練夾具的目的是確保盤傳輸 系統(tǒng)100具有多組載體上方的良好的訓練點以幫助減少系統(tǒng)100處于生產(chǎn)模式時盤的掉 落。如以下的詳細討論，在訓練夾具中光學傳感器的使用可允許例如以+/-0. Imm精確度將 65毫米(mm)直徑0. 635mm厚的盤放置在生產(chǎn)載體面板中。提供這樣的尺寸和值僅僅為了 示例的目的，并不意味著本發(fā)明的各實施例局限于此。圖3A是例示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的載體面板的正面的側(cè)視圖。載體面板200 可以用作用于訓練操作的主訓練夾具。為了便于理解，載體面板200的部件可以分三個部 分考慮傳輸部分、傳感器部分以及蓋子部分。傳輸部分包括諸如V形條211和傳輸?shù)鬃?210等部件，傳輸?shù)鬃?10允許載體面板固定在傳送帶120上以便在系統(tǒng)100內(nèi)運動。V形 條211在盤濺射系統(tǒng)100的腔體內(nèi)與傳輸輥接觸。主底座212耦連在磁性底座210的頂部。 載體面板200還可以包括一個或者更多蓋子以保護導線，其包含在面板的凹陷/空腔區(qū)域 中，例如底蓋220、頂蓋230和231，以及前蓋MO，如以下更詳細的描述。在此實施例中，使 用兩個分離的蓋子230和231，其中頂蓋支撐件232耦連在之間。可替代地，可以使用單個 頂蓋。在此實施例中，載體面板200包括兩個盤開口，其配置為容納通過圖2B中例示的 夾持器203固定在其中的盤?？商娲?，載體面板200可以配置為具有兩個以上或以下的 盤開口，具有對應的夾持器和光束傳感器，如下文的討論。圖3A例示盤105位于面板200的其中一個盤開口中，而其它盤開口 250示為其內(nèi) 沒有盤。每個盤開口具有布置在其周圍的多個光束傳感器以在盤固定到盤開口內(nèi)時平行 于盤的表面(例如，表面106)投射光束。在一個實施例中，載體面板200具有上側(cè)傳感器 310、下側(cè)傳感器320、頂部位置傳感器330以及中間側(cè)傳感器340 (在圖3A的正面視圖中不 可見)。中間側(cè)傳感器340與后蓋241布置在面板200的相對后側(cè)，如在圖的背面后側(cè) 視圖中所例示的。當中間側(cè)傳感器340被激活時，其鄰近盤開口的中心區(qū)域投射光束341 穿過盤開口。中間側(cè)傳感器340可以通過檢測光束341的中斷來確定插入到盤開口中的盤 105的傾斜未對準。應注意中間側(cè)傳感器340可以單獨用于確定盤105的未對準或者與上 側(cè)和下側(cè)傳感器中的一個或者兩者結(jié)合用于確定盤105的未對準，如下文更詳細的討論。圖3C是例示圖3A的載體面板的局部放大的較詳細的視圖。盤105示為通過底部 夾持器303固定在其中一個盤開口中。耦連到底部夾持器303的B-塊304用于向夾持器 303提供向上的彈力。在可替換實施例中，可以使用額外的夾持器將盤105固定在面板的 盤開口中。如圖3C更清楚的圖示，下側(cè)傳感器320靠近盤105的下部區(qū)域布置在正面(即 如圖2A和2B的例示朝向盤更換系統(tǒng)130的面板的一面)，并且當被激活時，通過盤開口的 下部區(qū)域投射光束321穿過盤開口。上側(cè)傳感器310靠近盤105的上部區(qū)域也布置在面板 200的正面，并且當被激活時，通過盤開口的上部區(qū)域投射光束311穿過盤開口。在一個示 例性實施例中，上側(cè)傳感器310布置在距離盤開口的頂邊緣大約^mm到27mm的范圍內(nèi)，下側(cè)傳感器320布置在距離盤開口的頂邊緣大約^mm到30mm的范圍內(nèi)，中間側(cè)傳感器340 布置在距離盤開口的底邊緣大約IOmm到Ilmm的范圍內(nèi)。頂部位置傳感器330用于在豎直 方向(例如沿著圖2A的ζ軸方向)遇到盤105。在一個實施例中，光束傳感器是FU-18M Keyence光纖傳感器?？商娲?，可以使用其它光束傳感器。下面參照圖4-6更詳細地描述 傳感器的操作。圖4A是概念地例示根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的側(cè)光束傳感器的操作的截面圖。 盤105顯示為被盤更換系統(tǒng)100插入419之后通過底部夾持器303和頂部夾持器304固定 在面板200的盤開口中。如從圖4A的概念例示中可見，側(cè)傳感器的位置產(chǎn)生用于插入盤 105的“0K”區(qū)域410。在一個實施例中，可以使用位于正面(即面向插入419的方向)的 上側(cè)和下側(cè)傳感器來檢測盤更換系統(tǒng)130的取出距離和被夾持器固定時盤105在盤開口中 的傾斜未對準。在一個實施例中，可以使用中間側(cè)傳感器來確定在訓練期間盤更換系統(tǒng)130 未過度插入以及檢測當被夾持器固定時盤開口中存在的盤105的傾斜未對準?？梢允褂蒙?側(cè)、下側(cè)和中間側(cè)傳感器通過投射相應光束穿過盤105的表面以及檢測一個或者更多光束 是否被存在的盤中斷來檢測傾斜未對準的存在。在訓練期間，各光束傳感器利用導線通過放大器660連接到盤濺射系統(tǒng)100的可 編程控制器(圖6所示的控制器690)。光束的中斷觸發(fā)對應的傳感器向可編程控制器690 發(fā)送信號。如果盤如圖4A所示在OK區(qū)域410中適當對準，則盤將不會中斷任何光束投射， 并且光束傳感器不會觸發(fā)信號到可編程控制器690。然而，如果一個或者更多光束傳感器觸 發(fā)指示如圖4B的光束320投射中斷所例示的對應光束投射被中斷的信號，則這種狀況造成 確定盤105在該特定位置具有傾斜未對準或者在OK區(qū)域之外(例如由于不足或者過度插 入)，其中盤被盤更換系統(tǒng)150放置在該特定位置。當存在未對準狀況時，盤更換系統(tǒng)130 重定位盤105，并且可編程控制器690重檢查是否任何光束傳感器仍觸發(fā)指示任何一個光 束投射中斷的信號。直至可編程控制器690不再感測到傳感器的觸發(fā)，技術人員對盤更換 系統(tǒng)130的重訓練可以結(jié)束。圖5A是概念地例示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的頂部光束傳感器的操作的截面圖。 在此實施例中，頂部位置傳感器330包括左側(cè)頂部傳感器540和右側(cè)頂部傳感器530 (即涉 及相對于圖2B的盤更換系統(tǒng)的正視圖)以由盤更換系統(tǒng)130檢測盤105被夾持器固定時 在盤開口中的豎直未對準。右側(cè)頂部傳感器530和左側(cè)頂部傳感器540用傳感器托架539 和549耦連到面板200的頂部袋結(jié)構(top pocket) 550。頂部袋結(jié)構550還包括頂部夾持 器以幫助固定盤105。右側(cè)頂部位置傳感器530向盤105的前表面投射光束531，而左側(cè)頂 部位置傳感器MO向盤105的后表面投射光束Ml。如圖5B的正視圖可見，左側(cè)頂部傳感 器540和右側(cè)頂部傳感器530并非布置得精確地彼此相對，而是間隔開距離D。在一個示例 性實施例中，距離D大約為20mm?？商娲兀梢允褂闷渌g隔距離。當檢測到盤在豎直方向上適當對準時，右側(cè)頂部傳感器530和左側(cè)頂部傳感器 540向盤濺射系統(tǒng)100的可編程控制器提供信號。當可編程控制器690檢測不到信號時，這 種狀況指示盤豎直方向未對準。圖6是例示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的載體面板的蓋子和導線部件的分解視圖。載 體面板200還可以包括一個或者更多蓋子以保護包含在面板的凹陷區(qū)域中連接傳感器至 電子部件的導線，如下文更詳細的討論。蓋子的使用還可以幫助在面板到其它腔體的傳輸期間防止導線與盤濺射系統(tǒng)100的其它部件纏繞。面板200包括位于蓋子下方的凹陷區(qū)域(例如在頂蓋231下方的頂部凹陷區(qū)域 631)，其在面板中形成空腔以包含耦連到光束傳感器的導線。在一個實施例中，頂部位置傳 感器(例如傳感器330)的傳感器導線(例如傳感器導線631)包含在相應頂部凹陷區(qū)域內(nèi) (例如凹陷區(qū)域631)，并且下側(cè)傳感器(例如傳感器320)的傳感器導線(例如，傳感器導 線621)包含在與盤開口關聯(lián)的相應底部凹陷區(qū)域620中。來自與每個盤開口對應的光束 傳感器的傳感器導線被引導到中間空腔區(qū)域630，在一個實施例中，中間空腔區(qū)域630由前 蓋240和后蓋241形成。中間凹陷區(qū)域可以包含傳感器導線連接器。當載體面板200位于 訓練位置時，一個或者更多蓋子可以被去除以允許放大器(AMP)660連接到光束傳感器導 線連接器。如上所述，在一個實施例中，光束傳感器是FU-18M Keyence光纖傳感器。FU-18M 尺寸很小(1.5mm χ 2mm χ 20mm)并且最小可檢測物體是+/-0. 02mm。在另一實施例中，為 了優(yōu)化光束傳感器的靈敏度，放大器可以耦連到光束傳感器導線以向盤濺射系統(tǒng)100的可 編程控制器690發(fā)送放大的觸發(fā)信號。放大器可以是FS-V31放大器，其也可從Keyence獲 得。可替代地，可以使用其它類型的放大器。上述方法的特定實施例可以實現(xiàn)為計算機實現(xiàn)的方法，其可包括存儲在計算機可 讀介質(zhì)上的指令。該方法可以由可包括硬件(例如電路、專用邏輯、可編程邏輯、微代碼 等)、軟件(例如指令)、固件或其組合的處理邏輯來執(zhí)行。這些指令可用于對控制器690 編程以執(zhí)行所描述的操作。機器可讀介質(zhì)包括用于存儲或者發(fā)送計算機可讀形式信息的任 何機械裝置。計算機可讀介質(zhì)可以包括但是不限于磁性存儲介質(zhì)(例如軟盤)；光存儲介 質(zhì)(例如CD-ROM)；磁-光存儲介質(zhì)；只讀存儲器(ROM)；隨機存取存儲器(RAM)；可擦除可 編程存儲器(例如EPROM和EEPR0M)；閃存；或者適于存儲電子指令的其它類型的介質(zhì)。盡管此處方法的操作以特定順序示出和描述，但是每個方法的操作順序可以變 化，從而特定操作可以以相反順序執(zhí)行，或者特定操作可以(至少部分地)與其它操作并行 地執(zhí)行。在另一實施例中，不同操作的指令或者子操作可以采用間歇性的方式和/或交替 的方式。另外，一些操作可以在特定方法的迭代中重復。在上述說明中，參照具體示例性實施例描述了本發(fā)明。然而，明顯地可以進行各種 修改和變化而不背離本發(fā)明實施例的較寬范圍，該范圍由所附的權利要求限定。相應地，說 明書和附圖是例示性的而不構成限制。
權利要求
1.一種盤載體定位裝置，包括具有配置為容納盤的盤開口的面板；以及多個光束傳感器，其布置在所述盤開口周圍以在固定到所述盤開口內(nèi)時平行于所述盤 的表面投射光束，所述多個光束傳感器包括位于所述面板的正面和背面的每面上的至少一 個光束傳感器。
2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，還包括頂部夾持器和底部夾持器以將所述盤固定在所 述盤開口中，并且其中所述多個光束傳感器被配置為檢測在所述盤被所述頂部夾持器和底 部夾持器固定時所述盤在所述盤開口中的對準。
3.根據(jù)權利要求2所述的裝置，其中所述多個光束傳感器包括上側(cè)傳感器、下側(cè)傳感 器以及中間側(cè)傳感器以檢測在所述盤被所述頂部夾持器和底部夾持器固定時所述盤在所 述盤開口中的傾斜。
4.根據(jù)權利要求3所述的裝置，其中所述上側(cè)傳感器布置在所述載體的第一側(cè)靠近所述盤開口的上部區(qū)域，所述下側(cè)傳感器布置在所述載體的第一側(cè)靠近所述盤開口的下部區(qū)域，并且所述中間側(cè)傳感器布置在所述載體的第二側(cè)，鄰近所述盤開口的中心區(qū)域。
5.根據(jù)權利要求4所述的裝置，還包括第一和第二頂部傳感器以檢測當被所述頂部夾 持器和底部夾持器固定時所述盤在所述盤開口內(nèi)的豎直位置。
6.根據(jù)權利要求5所述的裝置，其中第一和第二頂部傳感器布置在在所述頂部夾持器 的相對端上所述盤開口的上方。
7.根據(jù)權利要求6所述的裝置，其中所述多個光束傳感器和所述頂部傳感器是光纖傳 感器。
8.根據(jù)權利要求1所述的裝置，還包括多個蓋子，每一個耦連到所述面板并且與所述面板形成相應空腔；以及導線，耦連到所述多個光束傳感器并且布置在所述空腔中。
9.根據(jù)權利要求8所述的裝置，其中所述多個蓋子包括頂蓋、前蓋、后蓋和底蓋。
10.根據(jù)權利要求9所述的裝置，其中所述前蓋和后蓋的至少之一可去除，以使所述導 線能夠耦連到放大器。
11.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其中所述面板包括一個或者更多額外的盤開口，其配 置為容納對應的一個或者更多額外的盤，所述一個或者更多額外的盤開口的每個具有布置 在周圍的對應的額外多個光束傳感器以平行于一個或者更多額外盤的表面投射光束，所述 額外多個光束傳感器的每個包括位于所述面板的每側(cè)的至少一個額外的光束傳感器。
12.—種訓練盤定位的方法，包括使用機械臂將盤插入載體的盤開口 ；以及使用布置在所述盤開口周圍的多個光束傳感器確定插入的盤在所述載體中的未對準， 其中所述多個光束傳感器包括位于所述盤的每側(cè)的至少一個光束傳感器。
13.根據(jù)權利要求12所述的方法，其中確定未對準包括通過使用所述多個光束傳感器 平行于所述盤的表面投射多個光束和檢測所述多個投射光束中的至少一個的中斷來確定 所述盤在所述盤開口中的傾斜未對準。
14.根據(jù)權利要求13所述的方法，其中確定所述盤的傾斜未對準還包括由上側(cè)傳感器投射所述多個光束中的第一光束； 由下側(cè)傳感器投射所述多個光束中的第二光束； 由中間側(cè)傳感器投射所述多個光束中的第三光束；以及檢測所述第一、第二和第三光束中的一個或者更多的中斷，所述中斷指示所述盤在所 述盤開口中的傾斜。
15.根據(jù)權利要求14所述的方法，其中確定未對準還包括確定所述盤在所述開口中的 豎直未對準。
16.根據(jù)權利要求15所述的方法，其中確定所述盤的豎直未對準包括 由第一頂部傳感器向所述盤的邊緣投射第四光束；由第二頂部傳感器向所述盤的所述邊緣投射第五光束；以及從所述第一和第二頂部傳感器檢測不到信號，指示所述盤在豎直方向未適當對準。
17.根據(jù)權利要求12所述的方法，還包括 使用所述機械臂將所述盤插入所述盤開口 ；以及使用所述多個光束傳感器檢測所述盤的不足插入和過度插入的至少之一。
18.一種盤濺射裝置，包括盤傳輸載體，其包括具有多個盤開口的面板，所述盤開口的每個具有對應的盤夾持器 以將盤固定在其中； 盤更換系統(tǒng)；以及控制器，其可操作地與所述盤更換系統(tǒng)耦連以在面板的盤開口內(nèi)將盤插入所述夾持器 和從所述夾持器中取出盤，其中所述面板還包括多個光束傳感器，其布置在每個盤開口周圍以當所述盤固定在所述盤開口內(nèi)時平行于 所述盤的表面投射光束，所述多個光束傳感器中的每個包括位于所述面板的每側(cè)的至少一 個光束傳感器。
19.根據(jù)權利要求18所述的盤濺射裝置，其中所述面板還包括將所述盤固定在所述盤開口中的頂部夾持器和底部夾持器，并且其中所述多個光束傳 感器被配置為檢測當被所述頂部和底部夾持器固定時所述盤在所述盤開口內(nèi)的對準，并且 其中所述多個光束傳感器包括上側(cè)傳感器、下側(cè)傳感器以及中間側(cè)傳感器，以向所述控制器發(fā)送對應的觸發(fā)信號，指 示在所述盤開口中存在盤的未對準，并且其中所述上側(cè)傳感器布置在所述載體的第一側(cè)，面向盤阻尼拾取器，靠近所述盤開口的上 部區(qū)域，所述下側(cè)傳感器布置在所述載體的所述第一側(cè)，靠近所述盤開口的下部區(qū)域，以及 所述中間側(cè)傳感器布置在所述載體的第二側(cè)，鄰近所述盤開口的中心區(qū)域。
20.根據(jù)權利要求18所述的盤濺射上部，還包括通過導線可耦連到所述多個光束傳感 器的放大器。
全文摘要
本發(fā)明公開一種襯底更換系統(tǒng)中用于訓練盤定位的盤載體。盤載體由面板和多個光束傳感器組成，所述面板具有配置為容納盤的盤開口，所述光束傳感器布置在盤開口周圍以當固定在盤開口內(nèi)時平行于盤的表面投射光束。多個光束傳感器可以由位于面板的正面和背面的每面上的至少一個光束傳感器組成。
文檔編號G11B5/84GK102103868SQ20101060204
公開日2011年6月22日 申請日期2010年12月20日 優(yōu)先權日2009年12月21日
發(fā)明者C·B·昂, C·H·唐, E·K·譚, H·S·孔, Y·C·譚 申請人:西部數(shù)據(jù)傳媒公司