專利名稱：半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件中的數(shù)據(jù)線布局及其形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及半導(dǎo)體器件，更具體，本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件中的信號(hào)傳輸?shù)臄?shù)據(jù)線布局及其形成方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件通常包括用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)單元陣列區(qū)和用于訪問(wèn)該存儲(chǔ)單元并進(jìn)行各種處理操作的外圍電路區(qū)。存儲(chǔ)單元陣列區(qū)通常包括具有交叉的字線和位線的多個(gè)數(shù)據(jù)塊。在存儲(chǔ)單元陣列區(qū)和外圍電路區(qū)之間操作地插入解碼器區(qū)，以在其間發(fā)送地址和數(shù)據(jù)信號(hào)。解碼器區(qū)通常被分為行解碼器，用于接口存儲(chǔ)單元陣列區(qū)的字線和外圍電路區(qū)，以及列解碼器，用于接口存儲(chǔ)單元陣列區(qū)的位線和外圍電路區(qū)。
圖1是說(shuō)明傳統(tǒng)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的布局的平面圖。
參照?qǐng)D1，本實(shí)例的傳統(tǒng)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件包括位于多個(gè)字線WL<0:31>和多個(gè)位線BL<0:n>的交叉處的數(shù)據(jù)塊DB。還根據(jù)該實(shí)例，偶數(shù)編號(hào)的字線WL延伸到第一行解碼器行DEC1，以及奇數(shù)編號(hào)的字線WL延伸到第二行解碼器行DEC2，其中第一和第二行解碼器行DEC1和行DEC2位于數(shù)據(jù)塊DB的相對(duì)側(cè)。相似地，偶數(shù)編號(hào)的位線BL延伸到第一列解碼器列DCE1，以及奇數(shù)編號(hào)的位線BL延伸到第二列解碼器行列DEC2，其中第一和第二列解碼器列DEC1和列DEC2位于數(shù)據(jù)塊DB的相對(duì)側(cè)。
在替換布局(未示出)中，單個(gè)行解碼器設(shè)置在數(shù)據(jù)塊DB的一側(cè)，并連接到所有字線WL，以及單個(gè)列解碼器設(shè)置在數(shù)據(jù)塊DB的一側(cè)，并連接到所有的位線。然而，通過(guò)如圖1所示在數(shù)據(jù)塊DB的相對(duì)側(cè)上提供兩個(gè)行解碼器和兩個(gè)列解碼器，可以更加容易地縮小位線之間的間距(pitch)和字線之間的間距。
圖2是說(shuō)明傳統(tǒng)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)塊的字線布局的平面圖。在該實(shí)例中，存儲(chǔ)器件的每個(gè)數(shù)據(jù)塊包括32條字線WL<0:31>。
如圖2所示，在字線WL00-WL31中的奇數(shù)編號(hào)的字線延伸到右解碼器區(qū)，以及在字線WL00-31中的偶數(shù)編號(hào)的字線延伸到左解碼器區(qū)。每個(gè)字線包括焊盤延伸部分12，其在給定方向上延伸，用于通過(guò)布線連接到外圍器件。由于偶數(shù)編號(hào)的字線和奇數(shù)編號(hào)的字線交替地連接到左側(cè)解碼器區(qū)和右側(cè)解碼器區(qū)，可以獲得焊盤延伸部分12之間的相對(duì)大的間隔。然而，當(dāng)字線的線寬被減小為小于由光刻工序限定的極限值時(shí)，減小了相鄰焊盤延伸部分12之間的間隔，其可以使得保持足夠的空間來(lái)允許在焊盤延伸部分12上形成接觸圖形變得困難。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供包括數(shù)據(jù)塊的半導(dǎo)體器件，該數(shù)據(jù)塊包括M條標(biāo)號(hào)為{0，1，2，...n，n+1，...，m-1，m}的平行并連續(xù)地排列的數(shù)據(jù)線，其中M、n和m是正整數(shù)，并且其中n＜m，并且M＝m+1，以及分別位于數(shù)據(jù)塊的相對(duì)側(cè)上的第一解碼器區(qū)和第二解碼器區(qū)。M條數(shù)據(jù)線中的第一數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第一解碼器區(qū)，并且M條數(shù)據(jù)線中的第二數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第二解碼器區(qū)。第一數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，以及第二數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了形成數(shù)據(jù)線的方法，其包括在半導(dǎo)體襯底上限定數(shù)據(jù)塊，并在數(shù)據(jù)塊的相對(duì)側(cè)上限定第一和第二解碼器區(qū)、形成多個(gè)平行的虛擬圖形，其延伸以使得從第一解碼器區(qū)到第二解碼器區(qū)橫跨數(shù)據(jù)塊、形成包圍多個(gè)虛擬圖形的側(cè)壁的隔片圖形、以及通過(guò)構(gòu)圖將每個(gè)隔片圖形分為兩部分，以限定M條標(biāo)號(hào)為{0，1，2，...n，n+1，...，m-1，m}的平行并連續(xù)地排列的數(shù)據(jù)線，其中M、n和m是正整數(shù)，并且其中n＜m，并且M＝m+1。M條數(shù)據(jù)線中的第一數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第一解碼器區(qū)，并且M條數(shù)據(jù)線中的第二數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第二解碼器區(qū)。第一數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，以及第二數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線。


從下面的參照附圖的詳細(xì)說(shuō)明中，本發(fā)明的上述和其他方面及實(shí)施例的特性將變得更加顯而易見(jiàn)，其中圖1是說(shuō)明傳統(tǒng)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的布局的平面圖；圖2是說(shuō)明傳統(tǒng)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線分布的平面圖；圖3是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的平面圖；圖4至7是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的形成半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的方法的平面圖；圖8是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的平面圖；以及圖9至12是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的形成半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的方法的平面圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將詳細(xì)參考本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，在附圖中說(shuō)明其實(shí)例。然而，本發(fā)明不限制于在隨后說(shuō)明的實(shí)施例，而是，在此示出的實(shí)施例是用于便于理解本發(fā)明的范圍和精神。應(yīng)理解，當(dāng)層稱為在另一層或襯底之上時(shí)，其可以直接在其他層或襯底之上，也可以存在中間層。在通篇，相同參考標(biāo)號(hào)指示相同的元件。
圖3是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的平面圖。
半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的存儲(chǔ)單元陣列包括多個(gè)數(shù)據(jù)塊，并且數(shù)據(jù)塊包括以8的倍數(shù)標(biāo)號(hào)的字線。參照?qǐng)D3，該實(shí)例的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的每個(gè)數(shù)據(jù)塊包括M條平行字線WL，其順序地編號(hào)為{0，1，...，m-1，m}，其中M＝m+1。在該實(shí)施例的特定實(shí)例中，M＝16(即，m＝15)，并且因此每個(gè)數(shù)據(jù)塊包括16條字線WL00-WL15。優(yōu)選地，字線WL的數(shù)目M是8的倍數(shù)，例如8，16，32，64等。
同樣，分別在數(shù)據(jù)塊的相對(duì)側(cè)限定第一解碼器區(qū)DEC1和第二解碼器區(qū)DEC2。
將字線WL分為兩個(gè)組，即第一字線組和第二字線組。第一字線組延伸到第一解碼器區(qū)DEC1，并且第二字線組延伸到第二解碼器區(qū)DEC2。
參照?qǐng)D3，第一字線組包括字線WL{0，1，2，...n}中的偶數(shù)編號(hào)的字線，和字線WL{n+1，...，m-1，m}中的奇數(shù)編號(hào)的字線，其中n＜m。優(yōu)選地n是奇數(shù)，并且還優(yōu)選地m＝2n+1。在該實(shí)施例的實(shí)例中，n＝7。因此，第一字線組包括字線WL00、WL02、WL04、WL06、WL09、WL11、WL13和WL15。
第二字線組包括字線WL{0，1，2，...n}中的奇數(shù)編號(hào)的字線，和字線WL{n+1，...，m-1，m}中的偶數(shù)編號(hào)的字線。再次，在本實(shí)施例的實(shí)例中，n＝7。因此，第二字線組包括字線WL01、WL03、WL05、WL07、WL08、WL10、WL12和WL14。
在如圖3所示的該實(shí)施例的實(shí)例中，每個(gè)字線WL的一端包括焊盤延伸部分PAD，在其上形成接觸圖形CT。即，如果考慮字線WL在第一方向上(例如，在圖3中左到右)延伸，字線WL的一端包括相對(duì)于第一方向延伸一角度(例如，圖3中的上和下)的焊盤延伸部分。
還在如圖3所示的該實(shí)施例的實(shí)例中，在字線WL(0，1，2，...，m-1，m)中偶數(shù)編號(hào)的字線WL的焊盤延伸部分和在字線WL(0，1，2，...，m-1，m)中奇數(shù)編號(hào)的字線WL的焊盤延伸部分在相反的方向上延伸。更具體，相對(duì)于圖3的平面圖，偶數(shù)字線WL00...WL14的焊盤延伸部分在圖中向下延伸，而奇數(shù)字線WL01...WL15的焊盤延伸部分在圖中向上延伸。因此，在第二解碼器DEC2中，直接相鄰的第n條字線WL07和第n+1條字線WL08在相反方向上延伸，這允許最小化這些字線之間的空間。也可以緊密地隔開(kāi)剩余字線WL(除了WL06和WL09之外)，由于在相鄰接觸圖形CT下面的焊盤延伸部分在第一和第二解碼器DEC1和DEC2內(nèi)的相同方向上延伸。此外，盡管字線WL06和WL09的焊盤延伸部分彼此朝向延伸，它們被兩條插入的字線WL07和WL08隔開(kāi)，由此允許在第一解碼器DEC1中的足夠的布局。
還參照?qǐng)D3，可以通過(guò)在第一和第二解碼器DEC1和DEC2內(nèi)將接觸圖形CT的位置橫向地移動(dòng)(或偏移)偏移間隔I1，而獲得字線WL之間的間距的進(jìn)一步最小化。根據(jù)圖3的實(shí)例，在第一解碼器DEC1中這通過(guò)順序地減小字線WL(0，1，2，...，n)中偶數(shù)編號(hào)的字線的長(zhǎng)度，并且順序地增大在字線WL(n+1，...，m-1，m)中奇數(shù)編號(hào)的字線長(zhǎng)度來(lái)實(shí)現(xiàn)。換句話說(shuō)，偶數(shù)編號(hào)的字線WL00-WL06長(zhǎng)度順序地減小，而奇數(shù)編號(hào)的字線WL09-WL15長(zhǎng)度順序地增加。在第二解碼器DEC2中，接觸圖形CT的偏移是通過(guò)順序地增加字線WL(0，1，2，...，n)中奇數(shù)編號(hào)的字線的長(zhǎng)度，并且順序地減小在字線WL(n+1，...，m-1，m)中偶數(shù)編號(hào)的字線的長(zhǎng)度來(lái)實(shí)現(xiàn)。換句話說(shuō)，偶數(shù)編號(hào)的字線WL08-WL14長(zhǎng)度順序地減小，而奇數(shù)編號(hào)的字線WL01-WL07長(zhǎng)度順序地增加。同樣，在圖3中，第n條字線(WL07)的長(zhǎng)度與第n+1條字線(WL08)的長(zhǎng)度相同。
在上述實(shí)例中，描述了存儲(chǔ)陣列塊的字線布局。然而，本發(fā)明不限制于該方面，而是該布局可以施用于其他類型的數(shù)據(jù)線，例如位線。
圖4至7是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的形成半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的方法的平面圖。
首先參照?qǐng)D4，在半導(dǎo)體襯底上形成多個(gè)條狀(striped)虛擬圖形50。虛擬圖形50每個(gè)具有寬度L1并彼此分隔距離I2。此外，在一個(gè)方向上將第一至第四虛擬圖形(從圖4的頂開(kāi)始計(jì)數(shù))順序地偏移距離I1，同時(shí)在相反方向上將第五至第八虛擬圖形50順序地偏移距離I1。此外，在圖4中所示的相同橫向偏移位置上形成第四和第五虛擬圖形50a和50b。
參照?qǐng)D5，在虛擬圖形50的側(cè)壁上形成隔片圖形52。此時(shí)，當(dāng)以相同距離布置數(shù)據(jù)線時(shí)，可以相等地設(shè)置虛擬圖形59的寬度和隔片圖形52之間的距離為L(zhǎng)1。格片圖形52具有數(shù)據(jù)線的結(jié)構(gòu)。當(dāng)隔片圖形52用于形成字線時(shí)，隔片圖形52是其中在絕緣膜上形成導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)。特別地，當(dāng)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件是非易失性存儲(chǔ)器件(例如閃存器件)時(shí)，隔片圖形包括形成在柵絕緣膜上的多個(gè)浮置柵、形成在浮置柵上的控制柵電極、以及在浮置柵和控制柵電極之間插入的柵層間介質(zhì)膜。隔片圖形52可用于字線和位線。
參照?qǐng)D6，在除去虛擬圖形50之后，在閉合(loop)形狀中的隔片圖形52剩余。通過(guò)除去閉合形狀部分中的隔片圖形52的兩個(gè)部分，可以將一個(gè)隔片圖形52分為兩個(gè)條形圖形。此時(shí)，使用掩模MK1除去隔片圖形52以打開(kāi)隔片圖形52的對(duì)角相對(duì)的邊緣部分，然后可以獲得兩個(gè)條形圖形。此外，兩個(gè)條形圖形可以具有在端部彎曲為彼此相對(duì)的方向的部分。
參照?qǐng)D7，通過(guò)除去部分隔片圖形52而形成條形的多條數(shù)據(jù)線(字線WL)。此時(shí)，通過(guò)適宜地選擇分開(kāi)隔片圖形52的部分，形成焊盤延伸部分PAD，其中彎曲每個(gè)字線WL的一個(gè)端部。接下來(lái)，接觸圖形連接到焊盤延伸部分PAD，然后可以獲得數(shù)據(jù)線的布局，如圖3所示。
如圖3所示，第一實(shí)施例的焊盤延伸部分PAD可具有小于光刻工序的極限值的寬度。因此，可以具有接觸圖形CT的小的接觸面積，其由光刻工序所限定，以及焊盤延伸部分PAD。在本發(fā)明的第二實(shí)施例中，提供了具有接觸焊盤CT的大接觸區(qū)域的數(shù)據(jù)線，其由光刻工序和形成其的方法所限定。
圖8是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的平面圖。
參考圖8，第二實(shí)施例與圖3的第一實(shí)施例相似，因此在此不重復(fù)第二實(shí)施例的相似元件的描述，以避免描述上的重復(fù)。
與第一實(shí)施例不同，焊盤延伸部分PAD的長(zhǎng)度(圖8中的左到右)比字線WL的寬度(圖8中的上和下)要寬。例如，每個(gè)焊盤延伸部分PAD的長(zhǎng)度可以是字線WL的寬度的兩倍或更多。接觸圖形CT連接到焊盤延伸部分PAD。因此，焊盤延伸部分PAD和接觸圖形CT的接觸面積大于第一實(shí)施例的。
圖9至12是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的形成半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的數(shù)據(jù)線布局的方法的平面圖。
參照?qǐng)D9，在半導(dǎo)體襯底上形成多個(gè)虛擬圖形150，以形成數(shù)據(jù)線的線寬小于光刻工序的極限值。虛擬圖形150以帶狀彼此平行。虛擬圖形150包括彼此對(duì)稱設(shè)置的第一虛擬圖形組和第二虛擬圖形組。第一虛擬圖形組包括第一虛擬圖形150a，并且第二虛擬圖形組包括第二虛擬圖形150b。每個(gè)第一虛擬圖形150a和第二虛擬圖形150b的兩個(gè)端部分別包括延伸到相反方向的部分150p1和150p2。在第一虛擬圖形組和第二虛擬圖形組之間形成第三虛擬圖形150c。在第一解碼器區(qū)中第三虛擬圖形150c的端部包括延伸到兩個(gè)方向的部分150p3。在第二解碼器區(qū)中第一虛擬圖形組和第二虛擬圖形組的端部150p2，與在第一解碼器區(qū)中第一虛擬圖形組和第二虛擬圖形組的端部150p1，在相反的延伸方向上延伸。此時(shí)，可以將虛擬圖形設(shè)置為在寬度和高度上位移預(yù)設(shè)距離，使得數(shù)據(jù)線可以被設(shè)置為在一個(gè)方向上位移。在這種情況下，期望虛擬圖形的延伸部分150p1、150p2和150p3的每個(gè)端部面對(duì)相鄰虛擬圖形的側(cè)壁。期望虛擬圖形的延伸部分和側(cè)壁之間的距離小于將稍后形成的隔片圖形的寬度的兩倍。在這種情況下，由于可以在面對(duì)延伸部分的端部和虛擬圖形的部分將隔片圖形彼此連接，可以形成具有寬的寬度的焊盤延伸部分。在第二解碼器區(qū)中的相同垂直側(cè)上設(shè)置鄰近于第三虛擬圖形150c的第一和第二虛擬圖形150a和150b和第三虛擬圖形150c的端部。此外，在第一解碼器區(qū)中，相對(duì)于第三虛擬圖形150c，將鄰近于第三虛擬圖形150c的第一和第二虛擬圖形150a和150b向左位移預(yù)設(shè)距離。
參照?qǐng)D10，在虛擬圖形150的側(cè)壁上形成隔片圖形152。在第二實(shí)施例中，隔片圖形152包括稍后將成為數(shù)據(jù)線的結(jié)構(gòu)。由于虛擬圖形的端部和相鄰的另一虛擬圖形的側(cè)壁之間的距離小于隔片圖形152的寬度的兩倍，在隔片圖形152中虛擬圖形的端部連接到相鄰另一虛擬圖形的側(cè)壁。將隔片圖形512位移預(yù)設(shè)距離I11，并以臺(tái)階形狀在虛擬圖形的側(cè)壁上形成。
參照?qǐng)D11，在除去虛擬圖形150之后，剩余具有多個(gè)條狀裂縫的隔片圖形152。通過(guò)使用掩模MK2除去隔片圖形以打開(kāi)部分隔片圖形152，形成數(shù)據(jù)線。
參照?qǐng)D12，通過(guò)除去部分隔片圖形152形成多個(gè)條形的數(shù)據(jù)線(這里，字線WL)。此時(shí)，通過(guò)適宜地選擇分開(kāi)隔片圖形152的部分形成焊盤延伸部分PAD，其中彎曲每個(gè)字線WL的一個(gè)端部。由于焊盤延伸部分PAD的寬度是隔片圖形的寬度的兩倍，焊盤延伸部分PAD和接觸圖形CT的接觸面積比如圖8所示的第一實(shí)施例的要大。
根據(jù)本發(fā)明，數(shù)據(jù)線延伸到分別設(shè)置在數(shù)據(jù)塊的兩側(cè)的第一解碼器區(qū)和第二解碼器區(qū)。此時(shí)，由于在預(yù)設(shè)序數(shù)之前的偶數(shù)和在預(yù)設(shè)數(shù)目之后的奇數(shù)延伸到第一解碼器區(qū)或第二解碼器區(qū)，可以獲得數(shù)據(jù)線的小的線寬，并可以獲得接觸圖形之間的間隔。此外，由于在一個(gè)方向上位移然后在另一方向上位移設(shè)置在第一解碼器區(qū)和第二解碼器區(qū)上的數(shù)據(jù)線的端部，可以減小解碼器區(qū)。
本領(lǐng)域技術(shù)人員可知，可以在本發(fā)明中做出各種改進(jìn)和變化。因此，本發(fā)明旨在包括本發(fā)明的改進(jìn)和變化，只要它們?cè)谒降臋?quán)利要求及其等效的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體器件，包括數(shù)據(jù)塊，包括M條標(biāo)號(hào)為{0，1，2，...n，n+1，...，m-1，m}的平行并連續(xù)地排列的數(shù)據(jù)線，其中M、n和m是正整數(shù)，并且其中n＜m，并且M＝m+1；分別位于數(shù)據(jù)塊的相對(duì)側(cè)上的第一解碼器區(qū)和第二解碼器區(qū)；其中M條數(shù)據(jù)線中的第一數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第一解碼器區(qū)，其中M條數(shù)據(jù)線中的第二數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第二解碼器區(qū)，其中第一數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，以及其中第二數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線。
2.如權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中M條數(shù)據(jù)線的每一條在第一方向上延伸，并且其中M條數(shù)據(jù)線的每一條的端包括焊盤延伸部分，該焊盤延伸部分位于第一或第二解碼器區(qū)中，并相對(duì)于第一方向延伸一角度。
3.如權(quán)利要求2的半導(dǎo)體器件，其中數(shù)據(jù)線{0，1，2，...，m-1，m}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線的焊盤延伸部分在第二方向上延伸，并且其中數(shù)據(jù)線{0，1，2，...，m-1，m}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線的焊盤延伸部分在與第二方向相反的第三方向上延伸。
4.如權(quán)利要求3的半導(dǎo)體器件，其中第n條數(shù)據(jù)線和第n+1條數(shù)據(jù)線的焊盤延伸部分分別在第二和第三方向上延伸。
5.如權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中n是奇數(shù)。
6.如權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中m＝2n+1。
7.如權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中數(shù)據(jù)線(0，1，2，...，n)中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線的長(zhǎng)度順序地減小，并且數(shù)據(jù)線(n+1，...，m-1，m)中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線的長(zhǎng)度順序地增大，以及其中數(shù)據(jù)線(0，1，2，...，n)中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線的長(zhǎng)度順序地增大，并且數(shù)據(jù)線(n+1，...，m-1，m)中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線的長(zhǎng)度順序地減小。
8.如權(quán)利要求7的半導(dǎo)體器件，其中第n條數(shù)據(jù)線的長(zhǎng)度與第n+1條數(shù)據(jù)線的長(zhǎng)度相同。
9.如權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中M條數(shù)據(jù)線的每一條是字線。
10.如權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中M條數(shù)據(jù)線的每一條是位線。
11.一種形成數(shù)據(jù)線的方法，包括在半導(dǎo)體襯底上限定數(shù)據(jù)塊，并在數(shù)據(jù)塊的相對(duì)側(cè)上限定第一和第二解碼器區(qū)；形成多個(gè)平行的虛擬圖形，其延伸以使得從第一解碼器區(qū)到第二解碼器區(qū)橫跨數(shù)據(jù)塊；以及形成包圍多個(gè)虛擬圖形的側(cè)壁的隔片圖形；以及通過(guò)構(gòu)圖將每個(gè)隔片圖形分為兩部分，以限定M條標(biāo)號(hào)為{0，1，2，...n，n+1，...，m-1，m}的平行并連續(xù)地排列的數(shù)據(jù)線，其中M、n和m是正整數(shù)，并且其中n＜m，并且M＝m+1，其中M條數(shù)據(jù)線中的第一數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第一解碼器區(qū)，其中M條數(shù)據(jù)線中的第二數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第二解碼器區(qū)，其中第一數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，以及其中第二數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，...n}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，...，m-1，m}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線。
12.如權(quán)利要求11的方法，其中M條數(shù)據(jù)線的每一條在第一方向上延伸，并且其中M條數(shù)據(jù)線的每一條的端包括焊盤延伸部分，該焊盤延伸部分位于第一或第二解碼器區(qū)中，并相對(duì)于第一方向延伸一角度。
13.如權(quán)利要求11的方法，其中虛擬圖形包括對(duì)稱設(shè)置的第一虛擬圖形組和第二虛擬圖形組，以及設(shè)置在第一虛擬圖形組和第二虛擬圖形組之間的第三虛擬圖形組，第一虛擬圖形組和第二虛擬圖形組包括具有在彼此不同的方向上延伸的兩個(gè)端部的虛擬圖形，在第一解碼器區(qū)中第三虛擬圖形的端部延伸到兩個(gè)方向，以及在第二解碼器區(qū)中第一圖形組和第二圖形組的端部朝向第三虛擬圖形延伸。
14.如權(quán)利要求13的方法，其中將虛擬圖形在一個(gè)方向上位移，并設(shè)置為相對(duì)于第三虛擬圖形變得遠(yuǎn)離第三虛擬圖形的虛擬圖形。
15.如權(quán)利要求13的方法，其中虛擬圖形的延伸端部面對(duì)相鄰的其他虛擬圖形的側(cè)壁。
16.如權(quán)利要求13的方法，其中虛擬圖形的延伸端部和相鄰虛擬圖形之間的距離小于隔片圖形的寬度的兩倍。
17.如權(quán)利要求11的方法，其中相鄰虛擬圖形之間的最小距離小于隔片圖形的寬度的兩倍，并且相鄰虛擬圖形之間的最大距離大于隔片圖形的寬度的兩倍。
全文摘要
在一個(gè)方面，提供包括數(shù)據(jù)塊的半導(dǎo)體器件，該數(shù)據(jù)塊包括M條標(biāo)號(hào)為{0，1，2，…n，n+1，…，m－1，m}的平行并連續(xù)地排列的數(shù)據(jù)線，其中M、n和m是正整數(shù)，并且其中n＜m，并且M＝m+1，以及分別位于數(shù)據(jù)塊的相對(duì)側(cè)上的第一解碼器區(qū)和第二解碼器區(qū)。M條數(shù)據(jù)線中的第一數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第一解碼器區(qū)，并且M條數(shù)據(jù)線中的第二數(shù)據(jù)線組從數(shù)據(jù)塊延伸到第二解碼器區(qū)。第一數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，…n}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，…，m－1，m}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，以及第二數(shù)據(jù)線組包括數(shù)據(jù)線{0，1，2，…n}中的奇數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線，和數(shù)據(jù)線{n+1，…，m－1，m}中的偶數(shù)編號(hào)的數(shù)據(jù)線。
文檔編號(hào)G11C11/4193GK1877738SQ20061009236
公開(kāi)日2006年12月13日 申請(qǐng)日期2006年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月1日
發(fā)明者薛鐘善, 崔正達(dá) 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社