專利名稱：磁頭懸架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成在信息處理裝置，例如個(gè)人電腦中的硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸架。
背景技術(shù)：
硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸架包括一個(gè)承載梁，一個(gè)由承載梁支撐的磁頭，和一個(gè)固定在磁頭上的滑塊。該磁頭懸架具有當(dāng)施加震動(dòng)時(shí)確定從硬盤表面抬升滑塊的震動(dòng)特性。磁頭懸梁的震動(dòng)特性取決于承載梁的重量。
例如，第一磁頭懸架具有一個(gè)51μm厚度(t)、7mm長(zhǎng)度(1L)的承載梁，承載梁施加到磁頭的負(fù)載為2.5gf，第二磁頭懸架具有一個(gè)30μm厚度(t)、5.5mm長(zhǎng)度(1L)的承載梁，負(fù)載為2.5gf。如果向這些磁頭懸架施加1毫秒持續(xù)時(shí)間(半波的1毫秒)的震動(dòng)，第一磁頭懸架的滑塊以628G的加速度抬升，且第二磁頭懸架的滑塊以1103G的加速度抬升。
從這些例子可看出，為了改進(jìn)磁頭懸架的震動(dòng)特性，磁頭懸架的承載梁必須薄而短并且具有大的負(fù)載。
圖14給出了現(xiàn)有技術(shù)中硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸架101的平面圖。磁頭懸架101具有一個(gè)基板103，一個(gè)承載梁105和一個(gè)撓曲件107。承載梁105具有一個(gè)剛性部分(硬性部分)109和彈性部分(鉸鏈)111。剛性部分109的每個(gè)側(cè)邊具有從剛性部分109升起的軌道113。
圖15是硬盤驅(qū)動(dòng)器的局部剖面圖，其中安裝了圖14所示的磁頭懸架。托架115具有臂117。磁頭懸架101的基板103通過諸如型鍛方式而被固定于其中一個(gè)臂117上。
通過諸如音圈電動(dòng)機(jī)的定位電動(dòng)機(jī)118，托架115繞轉(zhuǎn)軸119旋轉(zhuǎn)。托架115繞轉(zhuǎn)軸119旋轉(zhuǎn)，從而將磁頭懸架101的磁頭121移動(dòng)至硬盤123的目標(biāo)軌道上。
當(dāng)硬盤123高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，磁頭121克服磁頭懸架101的負(fù)載而略微從硬盤123表面抬起。
為了改進(jìn)磁頭懸架101的震動(dòng)特性，使承載梁105的長(zhǎng)度(1L)變短而且變薄，從而減少承載梁105的重量。
實(shí)際上，臂117是震動(dòng)的。因此，承載梁105的設(shè)計(jì)必須要考慮臂117的第一彎曲頻率，也就是臂117在第一彎曲模式下的震動(dòng)頻率。第一彎曲頻率在下文簡(jiǎn)稱為“B1頻率”。確定承載梁105的B1頻率時(shí)，考慮臂117的B1頻率是很重要的。
圖16至18是2.5英寸硬盤驅(qū)動(dòng)器內(nèi)安裝的臂的B1頻率與震動(dòng)特性的關(guān)系曲線圖。在這些圖中，圖16表示向硬盤驅(qū)動(dòng)器施加震動(dòng)時(shí)滑塊抬升的加速度，圖17表示由于施加的震動(dòng)，臂的前端的最大加速度，且圖18表示由于施加的震動(dòng)，臂的最大位移。在圖16和17中，縱坐標(biāo)表示臂上的加速度。在圖18中，縱坐標(biāo)表示臂的位移。每種情況下施加的震動(dòng)加速度的振幅是300G。所施震動(dòng)的半波持續(xù)時(shí)間是2毫秒，1毫秒和0.4毫秒。
從圖16至18中可以看出，如曲線125A，125B，125C，127A，127B和127C所示，如果臂的B1頻率非常高(例如，1.5kHz)，臂在2毫秒或1毫秒持續(xù)時(shí)間的震動(dòng)下基本不移動(dòng)。另一方面，如曲線129A，129B和129C所示，臂在0.4毫秒持續(xù)時(shí)間的震動(dòng)下有不同的表現(xiàn)。
這是因?yàn)椋词贡鄣腂1頻率很高，臂在0.4毫秒持續(xù)時(shí)間的震動(dòng)下執(zhí)行了較大的運(yùn)動(dòng)。
固定于這樣一個(gè)臂的磁頭懸架必須跟隨臂的運(yùn)動(dòng)。如果磁頭懸架的承載梁能跟隨臂的震動(dòng)，磁頭懸架的滑塊將不會(huì)從磁盤表面抬升。
另一方面需要對(duì)磁頭懸架考慮的是偏離軌道特性?？梢钥闯龃蓬^懸架的垂直剛性(硬度)與磁頭懸架的偏離軌道特性無關(guān)。
實(shí)際上，磁頭懸架有輕微扭轉(zhuǎn)，并且磁盤有輕微傾斜。由于有扭轉(zhuǎn)和傾斜，磁頭懸架的垂直剛性或B1頻率會(huì)影響磁頭懸架的偏離軌道特性。
圖19給出了B1頻率為3.1kHz的磁頭懸架的偏離軌道特性的曲線圖。在圖19中，橫坐標(biāo)表示臂的頻率，縱坐標(biāo)表示偏離軌道位移。圖19的曲線圖中，實(shí)線繪制的曲線表示在一個(gè)以5400rpm旋轉(zhuǎn)的2.5英寸磁盤上測(cè)出的磁頭懸架的偏離軌道特性，而用虛線繪制的曲線表示在一個(gè)以7200rpm旋轉(zhuǎn)的2.5英寸磁盤上測(cè)出的磁頭懸架的偏離軌道特性。
圖19中，磁頭懸架具有較低的3.1kHz的B1頻率，因此，磁頭懸架的彎曲模式覆蓋臂的彎曲模式。其結(jié)果是在3.0kHz和3.3kHz處便觀察到偏離軌道現(xiàn)象。
為了避免偏離軌道現(xiàn)象，必須增加磁頭懸架的承載梁的B1頻率以使磁頭懸架的彎曲模式不會(huì)覆蓋臂的彎曲模式。
為了增加承載梁的B1頻率，圖14所示的沿剛性部分109的每個(gè)側(cè)邊連續(xù)形成軌道113是有效的。
對(duì)于圖20所示設(shè)置的承載梁，很難沿剛性部分109A的整個(gè)長(zhǎng)度形成一個(gè)連續(xù)的軌道。
圖20是磁頭懸架的透視圖。圖20中與圖14中的相應(yīng)部分用相同的附圖標(biāo)記加上“A”來表示。
為了改進(jìn)承載梁105A的垂直剛性(硬度)，圖20的磁頭懸架101A在承載梁105A的剛性部分109A上具有軌道113A。剛性部分109A的末端具有寬部131。寬部131具有向彈性部分111A逐步變寬的梯形形狀。寬部131沒有軌道。
圖20中的磁頭懸架101A用于3.5英寸硬盤，該硬盤對(duì)改進(jìn)震動(dòng)特性要求較低，但更需要有高的搖擺頻率。為了獲得較高的搖擺頻率，剛性部分109A具有寬部131。這里并不必需將磁頭懸架的軌道113A延伸到寬部131。
用于2.5英寸硬盤的磁頭懸架需要具有改進(jìn)的震動(dòng)特性。圖20中寬部131上沒有軌道的結(jié)構(gòu)表示對(duì)于承載梁105A，低頻B1頻率很難滿足所需的震動(dòng)特性。
為了滿足所需的震動(dòng)特性，圖21的結(jié)構(gòu)可以根據(jù)圖20的結(jié)構(gòu)來設(shè)計(jì)。圖21是磁頭懸架101B的透視圖。圖21中與圖20中的相應(yīng)部分用相同的附圖標(biāo)記加上“B”而不是“A”來表示。
圖21的磁頭懸架101B從剛性部分109B的前端到寬部131B連續(xù)形成軌道113B。這種結(jié)構(gòu)能改進(jìn)承載梁105B的B1頻率以滿足所需的震動(dòng)特性并且改進(jìn)了搖擺頻率。
從剛性部分109B的前端到寬部131B連續(xù)形成軌道113B包括每個(gè)軌道113B的中間部分的縱向曲線133。當(dāng)彎曲包括寬部131B的剛性部分109B來形成軌道113B時(shí)，軌道113B可在縱向曲線133處變形以扭轉(zhuǎn)剛性部分109B。剛性部分109B的扭轉(zhuǎn)會(huì)使磁頭懸架101B的偏離軌道特性惡化。
為了更詳細(xì)的了解上述現(xiàn)有技術(shù)的相關(guān)內(nèi)容，可以參考美國專利公開6765759B2和日本待審專利申請(qǐng)公開H9-282624。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種磁頭懸架，其具有承載梁以及在承載梁上形成的軌道，能夠獲得所需的震動(dòng)特性，并且能解決由于軌道縱向曲線引起的磁頭懸架扭曲的問題。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明一方面提供一個(gè)用于硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸架，其具有承載梁，承載梁包括彈性部分和其上形成了軌道的剛性部分。每個(gè)軌道在軌道縱向曲線處具有可變形部分。可變形部分很容易沿軌道的縱向和垂直方向變形，使得即使軌道上存在縱向曲線也可防止磁頭懸架的扭曲。
根據(jù)本發(fā)明這個(gè)方面，每個(gè)軌道的縱向曲線具有可變形部分，可變形部分相對(duì)于軌道的其它部分沿軌道的縱向和垂直方向容易變形。具有可變形部分的軌道能改進(jìn)承載梁的垂直剛性(硬度)，增加承載梁的B1頻率，并且滿足磁頭懸架所需的震動(dòng)和偏離軌道特性。


圖1是按照本發(fā)明第一實(shí)施例的磁頭懸架的透視圖；圖2A是圖1的磁頭懸架的部分放大透視圖；圖2B是沿圖1的II-II線的剖面圖；圖2C是對(duì)第一實(shí)施例改進(jìn)的剖面圖，圖2C中的該部分對(duì)應(yīng)于圖2B中的該部分；圖3是第一實(shí)施例的磁頭懸架的另一個(gè)視圖；圖4是第一實(shí)施例的磁頭懸架的垂直剛性(硬度)的分布曲線圖；圖5A是磁頭懸架的一個(gè)分析模型；圖5B是基于圖5A模型的擺動(dòng)模型；圖6是增加“Klb/Ksp”和基于圖5A和圖5B的門限(gain)之間關(guān)系的曲線圖；
圖7是臂的B1頻率、承載梁的B1頻率及滑塊抬升(lift off)之間關(guān)系的曲線圖；圖8是滑塊抬升、所施加的震動(dòng)幅度以及支撐與2.5英寸硬盤驅(qū)動(dòng)器結(jié)合的滑塊的磁頭懸架的B1頻率之間關(guān)系的列表；圖9是磁頭懸架的偏離軌道特性的曲線圖，其包括一個(gè)臂，總的B1頻率為3.6kHz；圖10是按照本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的磁頭懸架的透視圖；圖11A是第二個(gè)實(shí)施例的磁頭懸架的部分放大透視圖；圖11B是第二個(gè)實(shí)施例相應(yīng)于圖2B的磁頭懸架部分的剖面圖；圖11C是對(duì)第二個(gè)實(shí)施例改進(jìn)的剖面圖，圖11C中的該部分對(duì)應(yīng)于圖11B中的該部分；圖12是第二實(shí)施例的磁頭懸架的另一個(gè)視圖；圖13A是按照本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施例的磁頭懸架的部分放大透視圖；圖13B是第三個(gè)實(shí)施例相應(yīng)于圖2B的磁頭懸架部分的剖面圖；圖13C是對(duì)第三個(gè)實(shí)施例改進(jìn)的剖面圖，圖13C中的該部分對(duì)應(yīng)于圖13B中的該部分；圖14是現(xiàn)有技術(shù)的磁頭懸架的平面圖；圖15是硬盤驅(qū)動(dòng)器的部分剖面圖，其安裝了圖14的現(xiàn)有技術(shù)的磁頭懸架；圖16至18是現(xiàn)有技術(shù)中2.5英寸磁盤驅(qū)動(dòng)器中臂的B1頻率和臂的運(yùn)動(dòng)之間關(guān)系的曲線圖；圖19是現(xiàn)有技術(shù)中總B1頻率為3.1kHz的磁頭懸架的偏離軌道特性的曲線圖；圖20是現(xiàn)有技術(shù)中磁頭懸架的透視圖；以及圖21是現(xiàn)有技術(shù)中磁頭懸架的透視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的磁頭懸架通過在承載梁的彈性部分設(shè)置軌道來滿足所需的震動(dòng)特性，并且通過軌道上存在縱向曲線從而使軌道有可變形部分以防止磁頭懸架的扭曲。
參考圖1至3來了解本發(fā)明的第一實(shí)施例中的磁頭懸架，其中圖1是磁頭懸架的透視圖，圖2A是磁頭懸架的部分放大透視圖，圖2B是沿圖1的II-II線的剖面圖，圖2C是對(duì)第一實(shí)施例改進(jìn)的剖面圖，以及圖3是第一實(shí)施例的磁頭懸架的另一個(gè)視圖。
圖1至3中的磁頭懸架1用于2.5英寸磁盤，例如，其具有承載梁(LB)3，基板5和撓曲件7。
承載梁3將負(fù)載施加于磁頭8。磁頭8設(shè)置在承載梁3的前端，并且從磁盤上讀寫數(shù)據(jù)。承載梁3包括一個(gè)剛性部分(或硬性部分)9和一個(gè)彈性部分(或鉸鏈)11。剛性部分9由例如不銹鋼制成，并且具有例如30μm的厚度。
彈性部分11與剛性部分9分離預(yù)制。彈性部分11由例如一個(gè)薄的彈性軋制不銹鋼板制成。彈性部分11的第一端通過諸如激光焊接固定在剛性部分9的末端19，并且彈性部分11的第二端通過諸如激光焊接來固定于基板5。
基板5具有軸套12。軸套12通過型鍛固定到硬盤驅(qū)動(dòng)器中托架上的臂，由此基板可繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)?；?可與固定在托架上的臂結(jié)合為整體。
撓曲件7包括一個(gè)由例如彈性不銹鋼軋制薄板(SST)制成的導(dǎo)電薄板。在該薄板上形成一個(gè)絕緣層。在絕緣層上形成刻寫圖案。撓曲件7通過例如激光焊接被固定在剛性部分9上?？虒憟D案的一端電氣連接到磁頭8的滑塊支撐的讀寫終端?？虒憟D案的另一端沿基板5延伸。
剛性部分9具有一個(gè)窄的前端13并且具有預(yù)定的寬度。前端13具有一個(gè)裝載/卸載的翼片15和一個(gè)凹陷17。剛性部分9的末端19具有一個(gè)朝彈性部分11逐漸變寬的一個(gè)寬部21。例如，寬部21具有梯形平面形狀。寬部21的一端是連接到彈性部分11的接點(diǎn)22。在接點(diǎn)22處，剛性部分9與彈性部分11接合。
通過彎折側(cè)邊，在剛性部分9的各個(gè)側(cè)邊上形成軌道23，由此軌道23在剛性部分9的厚度方向上隆起。軌道23在剛性部分9的前端以及剛性部分9的基端19的寬部21上連續(xù)且完全地延伸。軌道23的厚度等于剛性部分9的一般厚度，剛性部分9在與軌道延伸方向(徑向)的交叉方向上靠近軌道23。
每個(gè)軌道23在對(duì)應(yīng)于前端13和基端19之間的剛性部分9的部分上有一個(gè)縱向曲線25?？v向曲線25在軌道23上展開的面積相當(dāng)于前后位置之間剛性部分9的面積，其中前端13的寬度開始變寬并形成寬部21。在縱向曲線25處，軌道23有一個(gè)矩形窗口27，即相當(dāng)于可變形部分的通孔。也即，至少部分去除軌道23的材料來形成可變形部分。
如圖2A和2B所示，縱向曲線25延伸了縱向距離H。軌道23的隆起方向上剛性部分9和各個(gè)軌道23之間形成了一個(gè)豎曲線S。豎曲線S在軌道23的隆起方向上延伸了距離S。在縱向曲線25上，窗口27大約跨度為距離H和S。也即，在縱向曲線25處，軌道23被窗口27部分切斷。根據(jù)本實(shí)施例，剛性部分9也被窗口部分切斷。窗口27可以大于距離H和S，或小于這些距離。在縱向曲線25處，軌道23與連接梁29連續(xù)。
通過窗口27，軌道23的縱向曲線25相比起軌道23的其余部分更容易在軌道23的縱向和隆起方向上變形。當(dāng)通過彎折剛性部分9的側(cè)邊來形成軌道23時(shí)，窗口27釋放或減輕剛性部分9和縱向曲線25上的壓力。
可變形部分如圖2C所示。圖2C中，縱向曲線25上的可變形部分包括一個(gè)凹槽27a和凹槽27a確定的薄部27b。凹槽27a和薄部27b的面積可以等于窗口27的面積。薄部27b可以在豎曲線S的厚度方向上位于內(nèi)部、外部或中間位置。
圖4給出了磁頭懸架1的垂直剛性(硬度)的分布圖。橫坐標(biāo)表示離軸套12中心的距離，縱坐標(biāo)表示垂直剛性。
圖4中，曲線31表示圖20所示現(xiàn)有技術(shù)中的磁頭懸架101A，其中僅沿著剛性部分109A的前端形成軌道113A。曲線33表示圖21所示現(xiàn)有技術(shù)中的磁頭懸架101B，其中軌道113B連續(xù)沿著剛性部分109B的前端和寬部131B，且軌道113B沒有可變形部分。曲線35表示本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例中的磁頭懸架1。
如圖4所示，軌道沿著剛性部分109B的前端和寬部131B延伸的磁頭懸架101B(圖21)和第一個(gè)實(shí)施例中的磁頭懸架1均比軌道113A僅沿著剛性部分109A的前端延伸的磁頭懸架101A(圖20)顯現(xiàn)出較高的垂直剛性。與沿著剛性部分109B的前端和寬部131B連續(xù)延伸且其上沒有可變形部分的軌道113B的磁頭懸架101B相比，第一個(gè)實(shí)施例中，具有相當(dāng)于軌道23的可變形部分的窗口27的磁頭懸架1給出了基本相同的垂直剛性。
下面闡釋承載梁必需跟隨臂運(yùn)動(dòng)的性質(zhì)或特性分析。
圖5A給出了磁頭懸架的分析模型，圖5B是基于圖5A的模型的震動(dòng)模型。圖5A和5B中，M是假定集中在重心上的承載梁3的質(zhì)量，Ksp是偏離重心的彈性部分11上的承載梁3的彈簧常數(shù)，其包括用臂28支撐的彈性部分11，Klb是剛性部分9的剛度從重心到凹陷的彈簧常數(shù)，G’s是震動(dòng)輸入，X0是臂的運(yùn)動(dòng)，且X是重心處承載梁3的位移。
位移X如下表示X＝A/{(Klb/Ksp)-(ω/ω0)2+ω02} ...(1)ω02＝Ksp/M減小位移X會(huì)導(dǎo)致抑制從硬盤抬升滑塊。為此，表達(dá)式(1)表示必須增加(Klb/Ksp)和ω02。圖6給出了(Klb/Ksp)的增加和門限之間的關(guān)系。當(dāng)如圖6所示(Klb/Ksp)增加了0.5，1，2，4和8時(shí)，頻率增加，而門限降低。
為了增加(Klb/Ksp)，必須增加klb，因?yàn)镵sp受彈性部分11的限制。也即，必須增強(qiáng)承載梁的垂直剛度(剛性)。為了增加ω02，必須降低M。
結(jié)果為了減小位移X，必須增強(qiáng)承載梁的垂直剛度，且也必須減小質(zhì)量M。
圖7給出了臂的B1頻率，承載梁的B1頻率和滑塊的抬升之間關(guān)系的圖表。橫坐標(biāo)表示承載梁的B1頻率，縱坐標(biāo)表示抬升承載梁的滑塊的震動(dòng)加速度。曲線37是B1頻率為1.52kHz的臂，曲線39是B1頻率為1.20kHz的臂。
很明顯如圖7所示，具有較低B1頻率的承載梁不能跟隨具有較高B1頻率的臂，這表示震動(dòng)特性較差，并導(dǎo)致滑塊以較低的加速度抬升。B1頻率為4kHz的承載梁能夠充分跟隨較高的B1頻率為1.52kHz的臂，其給出了較好的震動(dòng)特性，并實(shí)現(xiàn)以較高的加速度抬升滑塊。
圖7所示的數(shù)據(jù)涉及的陣列分別僅包含一個(gè)托板臂和一個(gè)磁頭懸架。實(shí)際上，由于涉及許多條件例如磁頭懸架座的性能和硬盤的操作模式，磁頭懸架的周圍環(huán)境更加復(fù)雜。圖8給出了在更實(shí)際情況下磁頭懸架的取樣數(shù)據(jù)。
圖8給出了滑塊抬升，所施加的震動(dòng)幅度，以及支撐滑塊的磁頭懸架的B1頻率之間關(guān)系的列表。圖8所示的數(shù)據(jù)涉及一個(gè)2.5英寸硬盤驅(qū)動(dòng)器。當(dāng)承載梁的B1頻率如圖8所示從3.11kHz增加到4.02kHz時(shí)，抬升承載梁的滑塊處每0.4毫秒的震動(dòng)程度從296G增加到325G。由此，增加承載梁的B1頻率能夠有效抑制承載梁的滑塊的抬升。
圖9給出了總B1頻率為3.6kHz的磁頭懸架的偏離軌道特性圖。橫坐標(biāo)表示頻率，縱坐標(biāo)表示偏離軌道量。圖9所示的數(shù)據(jù)涉及一個(gè)以7200rpm旋轉(zhuǎn)的2.5英寸硬盤。
參照?qǐng)D19，B1頻率較低的磁頭懸架的臂的彎曲模式會(huì)覆蓋磁頭懸架的彎曲模式，并導(dǎo)致了偏離軌道誤差。
第一個(gè)實(shí)施例增強(qiáng)了承載梁3的垂直剛度(剛性)來增加磁頭懸架1的B1頻率。這消除了磁頭懸架1和臂的彎曲模式的重疊，并降低了彎曲幅度。比較圖9的第一個(gè)實(shí)施例和圖19的現(xiàn)有技術(shù)，很明顯第一個(gè)實(shí)施例不會(huì)導(dǎo)致與磁頭懸架1的彎曲模式相關(guān)的偏離軌道誤差。
如上所述，本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例中的磁頭懸架在各個(gè)軌道23的縱向曲線25上有窗口27。當(dāng)彎曲剛性部分9的側(cè)邊來形成軌道23時(shí)，窗口27能防止剛性部分9變形。軌道23能增強(qiáng)承載梁3的垂直剛性，增加承載梁3的B1頻率，且滿足磁頭懸架1所需的震動(dòng)特性。剛性部分9的寬部21能增加搖擺頻率。寬部21具有從剛性部分9的前端13延續(xù)的軌道23以額外增加搖擺頻率。
窗口27覆蓋了各個(gè)軌道23的縱向曲線25的縱向距離H和垂直距離S。通過窗口27，軌道23的縱向曲線25相比起軌道23的其余部分更容易在軌道23的縱向和隆起方向上變形。當(dāng)通過彎折剛性部分9的側(cè)邊來形成軌道23時(shí)，窗口27釋放或減輕了剛性部分9和縱向曲線25上的壓力。當(dāng)彎折剛性部分9的側(cè)邊來形成軌道23時(shí)，該設(shè)置能防止剛性部分9變形，抑制了磁頭懸架1的扭轉(zhuǎn)，并消除了偏離軌道誤差。
參照?qǐng)D10到12來闡釋本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的磁頭懸架，其中圖10給出了磁頭懸架的透視圖，圖11A給出了磁頭懸架的部分放大透視圖，，圖11B給出了與圖2B所示部分相對(duì)應(yīng)的磁頭懸架部分的剖視圖，圖11C給出了第二個(gè)實(shí)施例的改進(jìn)剖視圖，圖11C所示部分對(duì)應(yīng)于圖11B所示部分，且圖12給出了第二個(gè)實(shí)施例的磁頭懸架的另一個(gè)視圖。第二個(gè)實(shí)施例中與第一個(gè)實(shí)施例中相同的部分用相同的附圖標(biāo)記或相同的附圖標(biāo)記加上“A”來表示。
第二個(gè)實(shí)施例中的磁頭懸架1A比第一個(gè)實(shí)施例要厚。磁頭懸架1A的剛性部分9的厚度大約為51μm。
軌道23A沿著剛性部分9的各個(gè)側(cè)邊形成，且在剛性部分9和軌道23A之間有一個(gè)豎曲線S1。
豎曲線S1朝向軌道23A的隆起方向。根據(jù)第二個(gè)實(shí)施例，豎曲線S1的厚度比鄰近豎曲線S1的剛性部分9要薄，該剛性部分位于與軌道延伸方向交叉的方向上。較薄的豎曲線S1用半蝕法來形成。
矩形窗口27A即相當(dāng)于可變形部分的通孔在縱向曲線25上形成，其面積和第一個(gè)實(shí)施例中相同。
可變形部分如圖11C所示。圖11C中，縱向曲線25處的可變形部分包括一個(gè)凹槽27Aa和凹槽27Aa形成的一個(gè)薄部27Ab。凹槽27Aa和薄部27Ab的面積等于窗口27A的面積。薄部27Ab可沿豎曲線S1的厚度方向位于內(nèi)部、外部或中間位置。
使豎曲線S1變薄使得軌道23A甚至可以從磁頭懸架1A的厚剛性部分9處形成。
參照?qǐng)D13A到13C來闡釋本發(fā)明的第三個(gè)實(shí)施例的磁頭懸架，其中圖13A給出了磁頭懸架的部分放大透視圖，圖13B給出了與圖2B所示部分相對(duì)應(yīng)的磁頭懸架部分的剖視圖，圖13C給出了第三個(gè)實(shí)施例的改進(jìn)剖視圖，圖13C所示部分對(duì)應(yīng)于圖13B所示部分。第三個(gè)實(shí)施例中與第一個(gè)實(shí)施例中相同的部分用相同的附圖標(biāo)記或相同的附圖標(biāo)記加上“B”來表示。
根據(jù)第三個(gè)實(shí)施例的磁頭懸架1B比實(shí)施例1和2的磁頭懸架要厚。磁頭懸架1B的剛性部分9的厚度大約64μm或更大。
軌道23B沿剛性部分9的各個(gè)側(cè)邊形成，剛性部分9和軌道23B之間有一個(gè)豎曲線S2。豎曲線S2朝向軌道23B的隆起方向。根據(jù)第三個(gè)實(shí)施例，軌道23B和豎曲線S2的厚度比鄰近豎曲線S2的剛性部分9要薄，該剛性部分位于與軌道延伸方向交叉的方向上。較薄的部分可以用半蝕法來形成。
矩形窗口27B即相當(dāng)于可變形部分的通孔在縱向曲線25上形成，其面積和第一個(gè)實(shí)施例中相同。
可變形部分如圖13C所示。圖13C中，縱向曲線25處的可變形部分包括一個(gè)凹槽27Ba和凹槽27Ba形成的一個(gè)薄部27Bb。凹槽27Ba和薄部27Bb的面積等于窗口27B的面積。薄部27Bb可沿豎曲線S2的厚度方向位于內(nèi)部、外部或中間位置。
使包括豎曲線S2的軌道23B變薄使得軌道23A甚至可以從厚度為64μm(76μm，100μm等)的厚剛性部分9處形成。
根據(jù)本發(fā)明，可變形部分(窗口27)可以在磁頭懸架的剛性部分上形成的軌道(23，23A，23B)的任何縱向曲線上形成。也即，可變形部分不但可以在鄰近剛性部分9的寬部21的縱向曲線上形成，而且可以在軌道的任何縱向曲線上形成。
可變形部分(27)可以具有任意形狀(橢圓，菱形等)和任意大小，當(dāng)從剛性部分9形成軌道23(23A，23B)時(shí)，該形狀和大小能夠有效防止磁頭懸架的變形。
權(quán)利要求
1.一種硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸架，包括固定在硬盤驅(qū)動(dòng)器的托架上并繞著托架的主軸轉(zhuǎn)動(dòng)的基板；承載梁，具有包括前端和基端的剛性部分；將剛性部分的基端與基板連接的彈性部分；和從設(shè)在硬盤驅(qū)動(dòng)器內(nèi)的硬盤讀寫數(shù)據(jù)的磁頭，該磁頭設(shè)置在剛性部分的前端，并接收來自承載梁的負(fù)載；固定在承載梁上的撓曲件，支撐磁頭并具有連接于磁頭的讀/寫電纜；彎曲剛性部分的各個(gè)側(cè)邊而形成的軌道，該軌道沿剛性部分的厚度方向隆起，并從剛性部分的前端延續(xù)到基端；和在軌道的縱向曲線部分上形成的可變形部分，可變形部分比其余部分更容易在軌道的縱向和垂直方向上變形。
2.權(quán)利要求1的磁頭懸架，其中可變形部分是在軌道的縱向曲線部分內(nèi)形成的通孔。
3.權(quán)利要求1的磁頭懸架，其中可變形部分包括在軌道的縱向曲線部分內(nèi)形成的凹槽和薄部。
4.權(quán)利要求1的磁頭懸架，還包括形成在剛性部分基端處的寬部，寬部的形狀為朝向彈性部分逐漸變寬，縱向曲線部分位于剛性部分的基端開始變寬以形成寬部的位置周圍。
5.權(quán)利要求2的磁頭懸架，還包括形成在剛性部分基端處的寬部，寬部的形狀為朝向彈性部分逐漸變寬，縱向曲線部分位于剛性部分的基端開始變寬以形成寬部的位置周圍。
6.權(quán)利要求3的磁頭懸架，還包括形成在剛性部分基端處的寬部，寬部的形狀為朝向彈性部分逐漸變寬，縱向曲線部分位于剛性部分的基端開始變寬以形成寬部的位置周圍。
7.權(quán)利要求1的磁頭懸架，其中可變形部分的擴(kuò)展面積由縱向曲線部分的縱向和垂直尺寸來確定。
8.權(quán)利要求2的磁頭懸架，其中可變形部分的擴(kuò)展面積由縱向曲線部分的縱向和垂直尺寸來確定。
9.權(quán)利要求3的磁頭懸架，其中可變形部分的擴(kuò)展面積由縱向曲線部分的縱向和垂直尺寸來確定。。
10.權(quán)利要求4的磁頭懸架，其中可變形部分的擴(kuò)展面積由縱向曲線部分的縱向和垂直尺寸來確定。。
11.權(quán)利要求5的磁頭懸架，其中可變形部分的擴(kuò)展面積由縱向曲線部分的縱向和垂直尺寸來確定。
12.權(quán)利要求6的磁頭懸架，其中可變形部分的擴(kuò)展面積由縱向曲線部分的縱向和垂直尺寸來確定。
13.權(quán)利要求1的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
14.權(quán)利要求2的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
15.權(quán)利要求3的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
16.權(quán)利要求4的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
17.權(quán)利要求5的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
18.權(quán)利要求6的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
19.權(quán)利要求7的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
20.權(quán)利要求8的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
21.權(quán)利要求9的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
22.權(quán)利要求10的磁頭懸架，其中沿著剛性部分的側(cè)邊的部分，并當(dāng)彎曲側(cè)邊以形成軌道，其薄于剛性部分。
23.權(quán)利要求11的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
24.權(quán)利要求12的磁頭懸架，其中沿著剛性部分側(cè)邊的一部分薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
25.權(quán)利要求1的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
26.權(quán)利要求2的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
27.權(quán)利要求3的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
28.權(quán)利要求4的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
29.權(quán)利要求5的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
30.權(quán)利要求6的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
31.權(quán)利要求7的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
32.權(quán)利要求8的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
33.權(quán)利要求9的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
34.權(quán)利要求10的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
35.權(quán)利要求11的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
36.權(quán)利要求12的磁頭懸架，其中剛性部分的側(cè)邊和沿著側(cè)邊的一部分分別薄于剛性部分，當(dāng)側(cè)邊形成軌道時(shí)，該部分彎曲。
全文摘要
一種硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸架，當(dāng)在磁頭懸架的剛性部分上形成軌道時(shí)，可以避免扭曲。磁頭懸架包括繞轉(zhuǎn)主軸轉(zhuǎn)動(dòng)的基板(5)、承載梁(3)和撓曲件(7)。承載梁包括剛性部分(9)、彈性部分(11)和磁頭(8)。剛性部分的基端(19)固定于彈性部分，由基板支撐。磁頭用于從硬盤讀寫數(shù)據(jù)，并位于剛性部分的前端(13)來接收來自承載梁的負(fù)載。撓曲件固定在承載梁上并支撐磁頭。通過在剛性部分的厚度方向上彎曲側(cè)邊，沿剛性部分的各側(cè)邊形成軌道(23)。軌道從剛性部分的前端延續(xù)到基端。剛性部分的基端變寬來形成寬部(21)。軌道在寬部的起點(diǎn)周圍具有縱向曲線?？v向曲線具有可變形部分(27)，比其余部分更容易在軌道的縱向和垂直方向上變形。
文檔編號(hào)G11B21/21GK1835088SQ20061005854
公開日2006年9月20日 申請(qǐng)日期2006年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月17日
發(fā)明者瀧川健一, 半谷正夫, 齋藤則幸 申請(qǐng)人:日本發(fā)條株式會(huì)社