專利名稱：一種處理盤片的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于處理盤片的方法和設(shè)備。更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種用于減少光盤、例如數(shù)字視盤(以下稱“DVD”)和CD盤的翹曲的方法和設(shè)備。特別地，所述翹曲是在通過(guò)注射模塑而制成的(光盤的)盤片上產(chǎn)生的。通過(guò)減少這種翹曲，可以使盤片平直。
背景技術(shù)：
通常，光盤盤片，例如DVD盤片和CD盤片是通過(guò)注射模塑而成的。如圖14(A)、圖14(B)和圖14(C)所示，提供了一種模制盤片的方法。樹脂材料被注入到一對(duì)用于注射模塑的第一金屬模10和第二金屬模11中。在注射模塑之后，樹脂材料被模制成一個(gè)模制盤片1’，該模制盤片1’被固化成盤片1。在該時(shí)刻，預(yù)定的信息被記錄到模制盤片1’的兩個(gè)表面上。此后，如圖14(B)所示，第一金屬模10和第二金屬模11被相互分開(打開)。然后，一個(gè)取出機(jī)構(gòu)(未示出)的取出臂12向前移入第一金屬模10和第二金屬模11之間的一個(gè)區(qū)域中，以便牢固地吸住處于高溫且質(zhì)地仍然很軟的盤片1’。此后，取出臂12向后移動(dòng)，以便將模制盤片1’從第一金屬模10和第二金屬模11中取出。
然后，如圖14(C)所示，在一個(gè)預(yù)定的位置中，被取出的模制盤片1’被一個(gè)運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的輸送臂13直接的牢固吸附。該輸送臂13將模制盤片1’輸送給一個(gè)冷卻臺(tái)14(下一操作)。
更具體地說(shuō)，該模制盤片1’具有一個(gè)第一表面和一個(gè)與該第一表面相對(duì)的第二表面。在第一表面上，模制盤片1’被固定吸附到取出臂12的一個(gè)末端13A上。在模制盤片1’被吸附到末端13A的同時(shí)，末端12A釋放(即，停止吸附)模制盤片1’。然后，該輸送臂13在模制盤片1’被牢固地吸附在末端13A上的狀態(tài)下轉(zhuǎn)動(dòng)大約180°此后，輸送臂13向冷卻臺(tái)14輸送模制盤片1’。模制盤片1’被冷卻臺(tái)14冷卻，從而使模制盤片1’的樹脂材料固化。在固化之后，模制盤片1’被稱作盤片1。使樹脂材料固化的固化溫度例如大約為90℃。
如上所述，模制盤片1’在剛從第一金屬模10和第二金屬模11中取出后處于高溫，并且，非常軟。因此，在i)冷卻、ii)樹脂材料固化、和iii)形成盤片1的連續(xù)操作過(guò)程中，模制盤片1’會(huì)產(chǎn)生相當(dāng)大的變形，例如翹曲。過(guò)去，采用了各種方法通過(guò)調(diào)節(jié)下述注射模塑條件來(lái)減少翹曲i)調(diào)節(jié)成型機(jī)的第一金屬模10和第二金屬模11的溫度。
ii)設(shè)定第一金屬模10和第二金屬模11之間的溫度差。
iii)調(diào)節(jié)注射樹脂材料的壓力。
即使模制盤片1’的翹曲很小并且通過(guò)上述傳統(tǒng)的方法被減小，在模制盤片1’從第一金屬模10和第二金屬模11中取出的過(guò)程中和模制盤片被輸送給冷卻臺(tái)14的過(guò)程中，模制盤片也會(huì)產(chǎn)生翹曲。這種翹曲可歸因于下面反復(fù)描述的，即，“該模制盤片1’剛從成型機(jī)的第一金屬模10和第二金屬模11中取出后處于高溫狀態(tài)且非常軟”。進(jìn)而，這樣產(chǎn)生的翹曲在冷卻操作過(guò)程中變大。
圖15(A)、圖15(B)、圖15(C)中更具體地表示出了這種翹曲。該模制盤片1’從成型機(jī)的第一金屬模10和第二金屬模11中取出。如圖15(A)所示，該模制盤片1’被牢固地吸附到取出臂12的末端12A上。進(jìn)而(另外)，模制盤片1’被牢固地吸附到取出臂13的末端13A上。模制盤片1’處于高溫狀態(tài)并且非常軟。因此，該模制盤片1’當(dāng)模制盤片1’被充分吸附到模制盤片1’的中央?yún)^(qū)域中時(shí)產(chǎn)生翹曲，其方式為，向吸附側(cè)的相反方向翹曲(在圖15(A)中向右)彎曲。特別地，厚度大約為0.6mm(薄)的DVD表現(xiàn)出比厚度大約為1.2mm的CD更顯著的翹曲(彎曲)。進(jìn)而，如圖15(B)所示，模制盤片1’在被取出臂12吸附的狀態(tài)下被取出臂12以相當(dāng)高的速度轉(zhuǎn)動(dòng)，并且該模制盤片1’在被輸送臂13吸附的狀態(tài)下被輸送臂13已相當(dāng)高的速度輸送。上述模制盤片1’的轉(zhuǎn)動(dòng)和輸送產(chǎn)生一個(gè)風(fēng)壓，從而使模制盤片1’翹曲。進(jìn)而，如圖15(C)所示，該模制盤片1’在冷卻臺(tái)14的一個(gè)盤座15上被冷卻。模制盤片1’的自重使在其在盤座15上冷卻的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生翹曲。而且，一些其它的具有不同結(jié)構(gòu)的冷卻臺(tái)也會(huì)使模制盤片1’在冷卻過(guò)程中產(chǎn)生局部翹曲。
上述翹曲圍繞模制盤片的中心孔(未示出)徑向向外產(chǎn)生，從而形成大致中心對(duì)稱的形狀。一些其它的翹曲關(guān)于穿過(guò)中心孔的一至三條線兩側(cè)對(duì)稱(左右對(duì)稱)。當(dāng)盤片1的生產(chǎn)周期縮短時(shí)，上述翹曲變得更加顯著，從而促使形成盤片1的翹曲(更加復(fù)雜和更大)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種用于處理盤片的方法和設(shè)備。
更具體地說(shuō)，本發(fā)明的目的是獲得一種翹曲和變形在可允許的限度(公差)之內(nèi)的盤片，或者獲得一種基本上無(wú)翹曲或變形的盤片。為了獲得上述盤片，模制盤片在該模制盤片的樹脂材料還是軟的(換而言之，在樹脂材料固化之前)的時(shí)候以高速旋轉(zhuǎn)，以便產(chǎn)生一個(gè)離心力。與此同時(shí)，該模制盤片被冷卻。所述離心力有助于減小翹曲和變形。
根據(jù)本發(fā)明的第一個(gè)方案，提供一種處理盤片的方法。該方法包括下述操作通過(guò)注射模塑模制一個(gè)模制盤片；以高速旋轉(zhuǎn)該模制盤片。該旋轉(zhuǎn)操作包括至少下述兩個(gè)分操作之一利用在旋轉(zhuǎn)操作的過(guò)程中產(chǎn)生的離心力減少模制盤片的翹曲，并在旋轉(zhuǎn)操作過(guò)程中降低模制盤片的溫度。
根據(jù)本發(fā)明的第二個(gè)方案，提供一種用于處理盤片的設(shè)備。該設(shè)備包括一個(gè)用于輸送通過(guò)注射模塑獲得的模制盤片的輸送器；一個(gè)用于接收由輸送器輸送的模制盤片的盤座；以及一個(gè)用于當(dāng)模制盤片的溫度高于90℃時(shí)旋轉(zhuǎn)盤座以便旋轉(zhuǎn)模制盤片的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器。
本發(fā)明的其他目的和特征可從下述參考附圖的描述中理解。


圖1表示一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的第一個(gè)(基本的)實(shí)施例的基本方案，其表示一個(gè)模制盤片1放置于被一個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3旋轉(zhuǎn)的盤座2上；
圖2表示模制盤片1的圓周翹曲角與生產(chǎn)周期的關(guān)系；圖3(A)表示模制盤片1的圓周翹曲角與旋轉(zhuǎn)速度的關(guān)系；圖3(B)表示旋轉(zhuǎn)速度低于3,000rpm的模制盤片1’的翹曲；圖3(C)表示旋轉(zhuǎn)速度不低于3,000rpm的模制盤片1’的翹曲角；圖4表示i)圓周翹曲角和ii)模制盤片1’的溫度與時(shí)間的關(guān)系；圖5表示模制盤片1’的徑向翹曲角的變化與溫度的關(guān)系；圖6表示i)徑向翹曲角和ii)當(dāng)模制盤片1’被吸附并保持靜止時(shí)的盤片溫度與盤片吸附時(shí)間的關(guān)系；圖7是一種根據(jù)本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例的冷卻模制盤片1’的方法(強(qiáng)制氣冷)；圖8是一種根據(jù)本發(fā)明的第三個(gè)實(shí)施例的冷卻模制盤片1’的方法(強(qiáng)制氣冷)；圖9是一種根據(jù)本發(fā)明的第四個(gè)實(shí)施例的冷卻模制盤片1’的方法(強(qiáng)制氣冷)；圖10{圖10(A)、圖10(B)、圖10(C)}是根據(jù)本發(fā)明的第五個(gè)實(shí)施例的冷卻模制盤片1’的方法(強(qiáng)制氣冷)；圖11表示根據(jù)本發(fā)明的第六個(gè)實(shí)施例的處理盤片1的方法；圖12是根據(jù)第六個(gè)實(shí)施例的處理盤片1的方法的圖示；圖13表示根據(jù)本發(fā)明的第七個(gè)實(shí)施例的處理盤片1的方法；圖14{圖14(A)、圖14(B)、圖14(C)}表示相關(guān)技術(shù)中模制盤片1’的翹曲的基本方面；圖15表示相關(guān)技術(shù)中產(chǎn)生翹曲的三種情況{圖15(A)、圖15(B)和圖15(C)}。
具體實(shí)施例方式
在本發(fā)明中，模制盤片1’被定義為樹脂材料固化前的盤片，而盤片1被定義為樹脂材料固化后的盤片。
如圖1所示，提供有根據(jù)本發(fā)明的第一個(gè)(基本)實(shí)施例的盤片1和模制盤片1’。該模制盤片1’剛?cè)〕鼋饘倌：鬁囟群芨?，并且非常軟。特別地，當(dāng)生產(chǎn)周期快時(shí)，由于各種因素而使模制盤片1’的圓周翹曲變大，這些因素例如有在輸送過(guò)程中的風(fēng)壓，由于牢固吸附而產(chǎn)生的應(yīng)力，在模制操作過(guò)程中的應(yīng)力，和模制盤片1’的自重。在本發(fā)明中，當(dāng)模制盤片1’處于高溫而且是軟的(換而言之，在模制盤片1’的樹脂材料固化之前)的時(shí)候，該模制盤片1’被放置于一個(gè)用于高速旋轉(zhuǎn)的盤座2上，如圖1所示。從而，在模制盤片1’上施加離心力，以便產(chǎn)生徑向向外的張力。通過(guò)這樣施加張力，減小了模制盤片1’的翹曲。在這里，所述高速不低于3,000rpm，更優(yōu)選地不低于4,000rpm，這將在后面詳細(xì)說(shuō)明。
如圖1所示，模制盤片1’由虛線標(biāo)出。該模制盤片1’處于高溫并且非常軟。一個(gè)普通的輸送機(jī)(未示出)牢固地吸附模制盤片并且輸送模制盤片1’，以便將模制盤片1’放置在盤座2上。該盤座2具有一個(gè)用于在模制盤片1’的內(nèi)周緣附近的多個(gè)點(diǎn)上吸附模制盤片的吸附裝置。該盤座2被連接到一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸4上，或者被結(jié)合到旋轉(zhuǎn)軸4上。該旋轉(zhuǎn)軸4由一個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3旋轉(zhuǎn)。盡管圖1中未示出，該盤座2具有一個(gè)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸4與一個(gè)外部真空泵機(jī)構(gòu)(未示出)連接的吸附部。在一個(gè)相當(dāng)短的時(shí)間內(nèi)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3被加速到一個(gè)預(yù)定的高速(更具體地說(shuō)，例如10,000rpm)。通過(guò)下述三個(gè)操作獲得模制盤片1上各種類型的測(cè)量數(shù)據(jù)操作1.在模制盤片1’處于高溫的狀態(tài)下，從金屬模中取出模制盤片1’。
操作2.緊接在操作1之后，模制盤片1’被大致處于室溫的盤座2牢固地吸附。
操作3.旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3將模制盤片1’旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的速度(加速)，以便獲得各種測(cè)量數(shù)據(jù)。
在此，將說(shuō)明測(cè)量數(shù)據(jù)中的一些。
下面描述通過(guò)測(cè)量獲得的數(shù)據(jù)。
根據(jù)第一個(gè)實(shí)施例，如圖2所示，由于測(cè)量設(shè)備的能力的原因，生產(chǎn)周期被定為不低于3.5秒。更具體地說(shuō)，當(dāng)生產(chǎn)周期從4.0秒減少到3.5秒時(shí)(換而言之，生產(chǎn)速度提高)，輸送速度{用于從一個(gè)成型機(jī)(未示出)向冷卻臺(tái)輸送模制盤片1’}等被提高。從而，模制盤片1’的圓周翹曲迅速變大。當(dāng)模制盤片1’如圖1所示高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，該翹曲被很大程度地減小。即使當(dāng)生產(chǎn)周期為通常會(huì)在測(cè)量范圍內(nèi)產(chǎn)生最大翹曲的3.5秒時(shí)也會(huì)大大地減少翹曲。綜上所述，以高速旋轉(zhuǎn)模制盤片1’對(duì)模制盤片1’施加離心力，從而產(chǎn)生徑向向外的張力。因此，該翹曲的減小一直延續(xù)到樹脂材料固化為止。
下面說(shuō)明(模制盤片1’)的旋轉(zhuǎn)速度對(duì)于減少翹曲是非常有用的。
如圖3(A)、圖3(B)和圖3(C)所示，提供有在下述兩個(gè)條件下通過(guò)測(cè)量模制盤片1’(試樣)(的圓周翹曲角)獲得的測(cè)量數(shù)據(jù)i)室溫，ii)1,000rpm、2,000rpm、3,000rpm、4,000rpm和5,000rpm的旋轉(zhuǎn)速度，其中在每?jī)蓚€(gè)相鄰的旋轉(zhuǎn)速度之間在一個(gè)很短的時(shí)間內(nèi)快速地加速。如圖3(A)所示，縱坐標(biāo)表示在各旋轉(zhuǎn)速度下的圓周翹曲角。當(dāng)模制盤片1’的旋轉(zhuǎn)速度增加到大約4,000rpm時(shí)，模制盤片1’的圓周翹曲角減小。然而，當(dāng)旋轉(zhuǎn)速度不低于4,000rpm時(shí)，模制盤片1’的圓周翹曲角幾乎不減少，換而言之，保持基本恒定。因此，旋轉(zhuǎn)速度大體上不低于4,000rpm對(duì)于減小圓周翹曲角是最有效的。
如圖3(A)所示，當(dāng)模制盤片1’的旋轉(zhuǎn)速度低于4,000rpm時(shí)，模制盤片的翹曲角也減小。這表示即使旋轉(zhuǎn)速度低于4,000rpm，對(duì)于減小翹曲和冷卻模制盤片1’也有效。
然而，如圖3(B)所示，當(dāng)模制盤片1的旋轉(zhuǎn)速度低于3,000rpm時(shí)，模制盤片1’產(chǎn)生上下運(yùn)動(dòng)(波動(dòng))，換而言之，模制盤片1’在水平方向上不穩(wěn)定。即使在這種情況下，整體的翹曲也可被減小。
相反，如圖3(C)所示，當(dāng)模制盤片1’的旋轉(zhuǎn)速度不低于3,000rpm時(shí)，可充分防止所述的上下運(yùn)動(dòng)(無(wú)波動(dòng))，換而言之，模制盤片1’在水平方向上是穩(wěn)定的并且翹曲被顯著減小。對(duì)于由兩個(gè)拼合(粘合)的片構(gòu)成的DVD，翹曲角的允許限度為0.3°。對(duì)于用于DVD的單片盤片1’的翹曲角沒有特別的限制。當(dāng)旋轉(zhuǎn)速度大約為3,000rpm時(shí)，翹曲角不大于0.2(相當(dāng)小)。拼合(粘合)這樣獲得的兩個(gè)模制盤片1’所獲得的DVD的翹曲角小于0.3°(允許限度)。因此，模制盤片1’的旋轉(zhuǎn)速度優(yōu)選不低于3,000rpm，更優(yōu)選不低于4,000rpm。
在此，模制盤片1’的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生對(duì)模制盤片1’的強(qiáng)制氣冷。從而，模制盤片1’的溫度以比自冷卻(保持靜止)更快的速度下降。更具體地說(shuō)，如圖4所示，在室溫和5,000rpm的旋轉(zhuǎn)速度的條件下，樹脂材料降到樹脂材料開始固化的大約90℃需要大約兩秒鐘。當(dāng)模制盤片1’的溫度降低到不高于90℃時(shí)，即使在5,000rpm的條件下翹曲也不減小。這證明，根據(jù)第一個(gè)實(shí)施例，模制盤片1’的樹脂材料的固化溫度大約為90℃。
優(yōu)選地，在模制盤片1’被固化成盤片1之后停止上述高速旋轉(zhuǎn)。在這種方式中，對(duì)模制盤片1’施加離心力直到模制盤片1’被固化，以便有效的減小由于固化過(guò)程中的應(yīng)變而產(chǎn)生的翹曲。
進(jìn)而，如圖5所示，提供了一個(gè)表示徑向翹曲角的變化與最大溫度的關(guān)系的曲線圖。該最大溫度是當(dāng)模制盤片1’被加熱到高溫并隨后自冷卻(保持靜止)時(shí)獲得的。徑向翹曲角的變化在加熱模制盤片1’之前和之后是不同的。當(dāng)模制盤片1’不高于90℃時(shí)，觀察到的徑向翹曲角基本不變。
在圖5中，一個(gè)曲線X表示由幾個(gè)模制盤片1’試樣獲得的最大徑向翹曲角的變化。當(dāng)模制盤片1’在100℃到90℃的范圍內(nèi)時(shí)，最大徑向翹曲角的變化被顯著減小。在不高于90℃時(shí)，曲線X幾乎沒有顯示出最大徑向翹曲角的變化(基本恒定)。另一方面，在圖5中，曲線Y表示從模制盤片1’的一些試樣中獲得的平均徑向翹曲角的變化。當(dāng)模制盤片1’在從100℃到90℃的范圍內(nèi)時(shí)，平均徑向翹曲角的變化減小。在不高于90℃時(shí)，曲線Y顯示平均徑向翹曲角基本恒定。綜上所述，模制盤片1’的樹脂材料在大約90℃時(shí)固化。
進(jìn)而，如圖6所示，提供了一個(gè)表示i)模制盤片1’的徑向翹曲角和ii)模制盤片1’的溫度與盤片吸附時(shí)間的關(guān)系的曲線圖。該模制盤片1’被牢固地吸附到圖1中的盤座2上，并且保持靜止。在早期階段，徑向翹曲角迅速增大。在11或12秒鐘之后，徑向翹曲角逐漸穩(wěn)定(基本恒定)。在該時(shí)刻，模制盤片1’為90℃。所以結(jié)論為，模制盤片1’的樹脂材料在大約90℃固化。
綜上所述，模制盤片1’的溫度是減小翹曲的影響因素。除了通過(guò)旋轉(zhuǎn)模制盤片1’進(jìn)行強(qiáng)制氣冷之外，其它類型的強(qiáng)制氣冷(在旋轉(zhuǎn)之前和旋轉(zhuǎn)過(guò)程中)也對(duì)減小翹曲有影響。
在下述四個(gè)實(shí)施例(第二、第三、第四和第五)中描述了模制盤片1’的強(qiáng)制氣冷。在下述四個(gè)實(shí)施例中，其強(qiáng)制氣冷與僅僅旋轉(zhuǎn)模制盤片1’所獲得的強(qiáng)制氣冷不同。
如圖7所示，提供了一種根據(jù)第二個(gè)實(shí)施例的強(qiáng)制氣冷方法。
盤座具有三個(gè)氣流通道，即，第一氣流通道5(在權(quán)利要求書中稱為“氣流通道”)，第二氣流通道6(在權(quán)利要求書中稱為“氣流通道”)，和第三氣流通道7，這三個(gè)氣流通道也被設(shè)置在與盤座2連接的旋轉(zhuǎn)軸(未示出)中。第一氣流通道5位于最外側(cè)，并且由一個(gè)垂直通道5A和一個(gè)垂直于垂直通道5A的水平通道5B構(gòu)成。當(dāng)模制盤片1’被放置在盤座2上時(shí)，水平通道5B在一個(gè)正好低于模制盤片1’的位置上徑向向外延伸。水平通道5B設(shè)有一個(gè)用于噴出氣流A的噴嘴。從水平通道5B噴出的氣流A沿模制盤片1’的下表面徑向向外流動(dòng)。第二氣流通道6位于盤座2的大致中心位置上，并且由一個(gè)垂直通道6A和一個(gè)水平通道6B構(gòu)成。垂直通道6A延伸向盤座2的一個(gè)中心凸起2A(在權(quán)利要求書中稱“中心區(qū)域”)，而水平通道6B形成于中心凸起2A中。該中心凸起2A穿過(guò)模制盤片1’的中心(孔)，并且凸出，高于模制盤片1’的上表面。當(dāng)模制盤片1’被放置到盤座2上時(shí)，中心凸起2A在一個(gè)正好在模制盤片1’的上表面上的位置上徑向向外延伸。中心凸起2A具有一個(gè)用于噴出氣流B的噴嘴。水平通道6B噴出的氣流B沿模制盤片1’的上表面徑向向外流動(dòng)。下表面上的氣流A和上表面上的氣流B有利于模制盤片1’的冷卻，而對(duì)減小模制盤片1’的翹曲沒有不利影響。進(jìn)而，根據(jù)第二個(gè)實(shí)施例，調(diào)節(jié)在第一氣流通道5和第二氣流通道6中流動(dòng)的空氣{的溫度和強(qiáng)度(速度)}使其對(duì)模制盤片1’的下表面和上表面產(chǎn)生均勻的冷卻效果，以便進(jìn)一步減小翹曲。
第三氣流通道7是一個(gè)普通的吸附通道。更具體地說(shuō)，第三氣流通道7在多個(gè)點(diǎn)上吸附無(wú)信息記錄的區(qū)域，以便不減小讀取信息的可靠性。無(wú)信息記錄區(qū)位于模制盤片1’的內(nèi)周。雖然從圖7中看不到，但第一氣流通道5和第二氣流通道6分別連接到一個(gè)供氣機(jī)構(gòu)上，而第三氣流通道7連接到一個(gè)吸附機(jī)構(gòu)上。為了下述兩個(gè)目的，盤座2支撐模制盤片1’的內(nèi)周上的無(wú)信息記錄區(qū)i)減小模制盤片1’的翹曲(使其盡可能地小)，ii)保持(不減小)讀取信息的能力。盤座2具有不會(huì)到達(dá)信息記錄區(qū)的內(nèi)周的“小直徑”。如果盤座2具有與模制盤片1’一樣大的直徑，并且處于室溫，則模制盤片1’僅在其下表面上迅速冷卻。因此，模制盤片1’在幾乎與其被放置到盤座2上的同時(shí)產(chǎn)生翹曲。在這種情況下，盤座2應(yīng)當(dāng)優(yōu)選地高于90℃(不低于90℃，90℃是模制盤片1’的樹脂材料的固化溫度)。然而，由于冷卻模制盤片1’所花的時(shí)間和加熱及冷卻盤座2所花的時(shí)間，盤座2“高于90℃”實(shí)際上是不能實(shí)現(xiàn)的。所以，盤座2優(yōu)選地具有上述打上雙引號(hào)的“小直徑”。
如圖8所示，提供了一種根據(jù)第三個(gè)實(shí)施例的強(qiáng)制氣冷方法。
其中設(shè)有一個(gè)盤座2和一個(gè)輸送器8，該輸送器8具有吸附功能(吸盤8A)和噴氣功能。該輸送器8將模制盤片1’放置在盤座2上。在輸送器8通過(guò)停止吸附模制盤片1’而釋放模制盤片1’之后，輸送器8抬起到距離模制盤片1’一定距離后停止。然后，輸送器8從吸盤8A噴出氣流B。當(dāng)吸盤8A釋放模制盤片1’時(shí)，噴座2開始以高速旋轉(zhuǎn)，從而以預(yù)定的旋轉(zhuǎn)速度(例如，大約每?jī)擅?,500rpm)旋轉(zhuǎn)模制盤片1’。吸盤8A被連接到一個(gè)吸附機(jī)構(gòu)(未示出)和一個(gè)空氣供應(yīng)機(jī)構(gòu)(未示出)上。當(dāng)輸送器8釋放模制盤片1’并抬起到距離模制盤片1’一定距離后停止時(shí)，吸盤8A被自動(dòng)切換到空氣供應(yīng)機(jī)構(gòu)。這樣，吸盤8A噴出氣流B。這樣的噴出氣流B迅速?gòu)囊愿咚傩D(zhuǎn)的模制盤片1’的大致中心處迅速向外流。該氣流B加速了模制盤片1’的冷卻。
如圖9所示，提供了一種根據(jù)第四個(gè)實(shí)施例的強(qiáng)制氣冷。
其中提供了一個(gè)吸氣機(jī)構(gòu)9，該吸氣機(jī)構(gòu)沿圖9中的水平方向在略微遠(yuǎn)離模制盤片1’的外周的位置上吸空氣。吸氣機(jī)構(gòu)9的直徑某種程度上大于模制盤片1’。更具體地說(shuō)，吸氣機(jī)構(gòu)9具有一個(gè)圓環(huán)9A，該圓環(huán)9A具有比模制盤片1’的外徑大6mm至10mm的內(nèi)徑。進(jìn)而，吸氣機(jī)構(gòu)9具有一個(gè)通常的吸氣器(未示出)，該吸氣器通過(guò)一個(gè)吸氣通道連接到所述的圓環(huán)9A上。與模制盤片1’被放置在盤座2上基本同時(shí)，吸氣機(jī)構(gòu)9開始吸氣。吸氣使得氣流A沿模制盤片1’下表面、氣流B沿模制盤片1’的上表面流動(dòng)，從而加速模制盤片1’的冷卻。
在圖7的第二個(gè)實(shí)施例、圖8的第三個(gè)實(shí)施例和圖9的第四個(gè)實(shí)施例中僅描述了冷卻功能。除了冷卻功能外，氣流A和氣流B減小了模制盤片1’由于其在低于3,000rpm的旋轉(zhuǎn)速度下旋轉(zhuǎn)時(shí)上下運(yùn)動(dòng)(波動(dòng))而不能水平地穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)的問(wèn)題，如圖3(B)所示。進(jìn)而，調(diào)節(jié)氣流A和氣流B的強(qiáng)度(速度)對(duì)于減小模制盤片1’的翹曲起了很大的作用。
實(shí)際上，生產(chǎn)周期“限制”了在旋轉(zhuǎn)速度低于3,000rpm時(shí)所花的時(shí)間。因此，模制盤片1’優(yōu)選地采用下述連續(xù)的步驟i)模制盤片1在以高旋轉(zhuǎn)速度減小翹曲的條件下被盡可能早地冷卻下來(lái)。
ii)模制盤片1’固化成盤片1。 換而言之，模制盤片1’被降低到不高于90℃。
iii)盤片1停止旋轉(zhuǎn)。
另外，當(dāng)模制盤片1’不高于90℃時(shí)，即，模制盤片1’固化成盤片1時(shí)，對(duì)盤片1進(jìn)行下述連續(xù)操作i)盤片1在預(yù)定的時(shí)刻被輸送給傳統(tǒng)的冷卻臺(tái)14(參見圖14和圖15)。
ii)盤片1自冷卻(空氣冷卻)到能夠被輸送給用于形成反射膜的濺射機(jī)(未示出)的程度(充分冷卻)。
iii)對(duì)盤片1進(jìn)行濺射操作。
在模制盤片1’的旋轉(zhuǎn)時(shí)間超過(guò)上述生產(chǎn)周期時(shí)間的限制(帶引號(hào)的“限制”)的情況下，應(yīng)當(dāng)以模制盤片1’被順序分類的方式平行地采用兩個(gè)或更多的旋轉(zhuǎn)機(jī)。在這種情況下，在實(shí)際過(guò)程中，模制盤片1’可被降低到不高于90℃。此外，模制盤片1’可被進(jìn)一步冷卻到可以被輸送到濺射操作(下一操作)，換而言之，不需要強(qiáng)制氣冷。
如圖10(A)、圖10(B)和圖10(C)所示，提供了一種根據(jù)第五個(gè)實(shí)施例的強(qiáng)制氣冷方法。
如上所述，模制盤片1’在剛從成型機(jī)中取出后處于高溫且非常軟。被盤座2吸附的這樣獲得的模制盤片1’易于產(chǎn)生較大的翹曲。因此，優(yōu)選地，僅將模制盤片1’的內(nèi)周冷卻到不高于90℃。更具體地說(shuō)，如圖10(A)所示，對(duì)盤座2吹冷空氣以便將其冷卻到不高于90℃。然后，模制盤片1’被放置在盤座2上，對(duì)模制盤片1’噴吹冷空氣。在這種情況下，模制盤片1’的上表面(被冷空氣)和下表面(被冷卻的盤座2)都被冷卻。從而，調(diào)節(jié)冷氣的溫度和強(qiáng)度(速度)以防止翹曲。然后，模制盤片1’被放置在這樣被冷卻的盤座2上。然后，對(duì)模制盤片1’進(jìn)行下述兩個(gè)操作之一i)保持當(dāng)前條件一秒鐘以便進(jìn)行冷卻，ii)輕輕地吸附模制盤片1’的下表面，并保持該條件一秒鐘以便進(jìn)行冷卻。然后，如圖10(B)所示，用真空加強(qiáng)吸附模制盤片1’。如圖10(C)所示，與用真空吸附基本上同時(shí)，高速旋轉(zhuǎn)模制盤片1’。
如圖11和圖12所示，提供了一種根據(jù)第六個(gè)實(shí)施例的處理盤片1的方法。
根據(jù)第六個(gè)實(shí)施例的方法具有下述四個(gè)操作(A)從成型機(jī)的第一金屬模10和第二金屬模11中取出模制盤片1’。
(B)將模制盤片1’放置在用于高速旋轉(zhuǎn)的盤座2(圖1)上。
(C)在高速旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，通過(guò)另一種方法固化模制盤片1’的樹脂材料，以便獲得盤片1，所述方法例如為對(duì)模制盤片1’噴吹冷空氣或?qū)⒛Ｖ票P片1’放置在一個(gè)冷卻臺(tái)上(接觸冷卻)。
(D)測(cè)量盤片1產(chǎn)生的翹曲。
在盤片1的翹曲在允許的限度內(nèi)的情況下，合適地確定旋轉(zhuǎn)條件并加以保持。然后，在保持這種旋轉(zhuǎn)條件的情況下旋轉(zhuǎn)下一模制盤片1’。
相反，在模制盤片的翹曲超出允許的限度的情況下，對(duì)翹曲進(jìn)行分析。對(duì)翹曲的分析(數(shù)據(jù))被轉(zhuǎn)換成一個(gè)旋轉(zhuǎn)控制數(shù)據(jù)，以便生成一個(gè)用于控制旋轉(zhuǎn)條件的控制信號(hào)。該控制信號(hào)被輸入到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3(圖1)的控制回路(未示出)中。旋轉(zhuǎn)條件主要包括旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間。根據(jù)第六個(gè)實(shí)施例，在操作(B)中用于模制盤片1’的旋轉(zhuǎn)條件是根據(jù)在操作(D)中的盤片1的翹曲進(jìn)行控制的，如圖11所示。通過(guò)各種將模制盤片1’的翹曲與下述三個(gè)因素關(guān)聯(lián)起來(lái)的各種測(cè)試，該旋轉(zhuǎn)條件作為數(shù)據(jù)庫(kù)被存儲(chǔ)起來(lái)，該三個(gè)因素為1.旋轉(zhuǎn)速度，2.旋轉(zhuǎn)時(shí)間，3.旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間。
用于減小盤片1的翹曲的機(jī)器由一個(gè)翹曲測(cè)量裝置和一個(gè)轉(zhuǎn)換控制器構(gòu)成。該翹曲測(cè)量裝置測(cè)量盤片1的翹曲。該轉(zhuǎn)換控制器根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)庫(kù)分析測(cè)量出的翹曲，然后，將翹曲轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)控制信號(hào)。該旋轉(zhuǎn)控制信號(hào)被輸出給旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3(圖1)。翹曲測(cè)量裝置的原理與激光位移計(jì)相同。
下面描述激光位移計(jì)的測(cè)量原理。該激光位移計(jì)采用三角測(cè)量并且由一個(gè)與光接收器相結(jié)合的光發(fā)射器構(gòu)成。所述光發(fā)射器為一個(gè)半導(dǎo)體激光器。從半導(dǎo)體激光器發(fā)出的激光束被一個(gè)聚光透鏡聚焦，并照射目標(biāo)，即盤片1。通過(guò)聚光透鏡，這樣照射的激光束的一部分被聚焦到光接收器的一個(gè)點(diǎn)上。當(dāng)盤片1移動(dòng)時(shí)，盤片1的翹曲改變與反射角相對(duì)應(yīng)的入射角。從而，光接收器上的點(diǎn)也移動(dòng)。對(duì)所述點(diǎn)位置的改變的測(cè)量確定了盤片1的位移(翹曲)。除了用激光位移計(jì)測(cè)量之外，還可以采用利用電荷耦合器件(以下稱“CCD”)的方法測(cè)量盤片1的翹曲，其方式為，從接收反射光的CCD上的預(yù)定位置測(cè)量翹曲角。
根據(jù)(預(yù)先存儲(chǔ)的)表示與翹曲相關(guān)的所述三個(gè)因素的數(shù)據(jù)庫(kù)，分析通過(guò)激光位移計(jì)和/或CCD方法測(cè)出的翹曲，所述三個(gè)因素為旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間。這樣分析的翹曲被作為一個(gè)控制變量。該控制變量被作為一個(gè)控制信號(hào)發(fā)送給旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3(圖1)。根據(jù)翹曲的尺寸，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3控制盤座3的所述三個(gè)因素，即，速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間。這樣調(diào)節(jié)(控制)的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生一個(gè)施加給模制盤片1’的適當(dāng)?shù)碾x心力，以便減小模制盤片1’的翹曲。與此同時(shí)，模制盤片1’被冷卻，然后形成翹曲很小(被減小)的盤片1。
這里，當(dāng)然，旋轉(zhuǎn)速度越高，離心力越大，并且，旋轉(zhuǎn)時(shí)間越長(zhǎng)，離心力作用時(shí)間越大。旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間是根據(jù)施加到吸附面上的應(yīng)力確定的。換而言之，(由于旋轉(zhuǎn)而被冷卻的模制盤片1’的)冷卻和應(yīng)力應(yīng)當(dāng)關(guān)聯(lián)起來(lái)，以減小應(yīng)力的影響。
模制盤片1’剛從成型機(jī)的第一金屬模10和第二金屬模11中取出之后處于高溫且相當(dāng)?shù)能?。因此，有時(shí)，冷氣應(yīng)當(dāng)吹到模制盤片1’上，以便盡早獲得適當(dāng)?shù)娜彳浂?。進(jìn)而，如上所述，當(dāng)模制盤片1’被放置在盤座2上用以吸附模制盤片1’的非信息記錄區(qū)時(shí)，最好冷卻模制盤片1’。這是因?yàn)楫?dāng)非信息記錄區(qū)相當(dāng)硬時(shí)，非信息記錄區(qū)不太可能(或不易于)被刮傷。因此，如圖10所示，盤座2最好在模制盤片1’被放置到盤座2上之前被噴吹的冷氣預(yù)先冷卻。除非用冷氣冷卻，否則盤座2會(huì)被模制盤片1’加熱。這更加強(qiáng)了預(yù)先冷卻盤座2的重要性。為了加速模制盤片1’的冷卻，冷氣的供應(yīng)源(未示出)有時(shí)被加于模制盤片1’的上表面上。所述控制信號(hào)調(diào)節(jié)由冷氣供應(yīng)源供應(yīng)的冷氣的溫度和速度。該冷氣為溫度不高于90℃的氣流。
如圖13所示，提供了一種根據(jù)第七個(gè)實(shí)施例的處理盤片1的方法。
與圖11中的標(biāo)號(hào)相同的部件為等價(jià)的部件。模制盤片1’從成型機(jī)中取出的溫度是根據(jù)成型機(jī)的類型和盤片1的合成樹脂材料來(lái)確定的。有時(shí)，柔軟度也是這樣。因此，包括旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間的旋轉(zhuǎn)條件應(yīng)當(dāng)最好根據(jù)模制盤片1’的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便適當(dāng)?shù)販p少翹曲而不產(chǎn)生任何有害影響，例如吸附軌道印痕(absorption track mark)粘附到其它部件上。
根據(jù)第七個(gè)實(shí)施例的方法具有下述四個(gè)操作(A)從成型機(jī)的第一金屬模10和第二金屬模11中取出模制盤片1’。
(B)用溫度測(cè)量裝置S(例如紅外線溫度傳感器)測(cè)量模制盤片1’的溫度。
(C)高速旋轉(zhuǎn)模制盤片1’以便施加離心力，從而減小翹曲。
(D)冷卻模制盤片1’以便獲得翹曲被減小的盤片1。
在操作(B)和操作(C)之間，設(shè)有一個(gè)根據(jù)從操作(B)中獲得的溫度數(shù)據(jù)控制操作(C)中的旋轉(zhuǎn)條件的副操作。通常，當(dāng)模制盤片1’被放置在盤座2(圖1)上時(shí)，測(cè)量模制盤片1’的溫度。
下面，描述控制旋轉(zhuǎn)條件的{操作(B)和操作(C)之間的}副操作。首先，預(yù)先確定一個(gè)用于根據(jù)各種溫度調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)條件(例如旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間)的方法，以便使模制盤片1’的翹曲最小化。通過(guò)上述方法獲得的溫度和旋轉(zhuǎn)條件被用于產(chǎn)生存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中的數(shù)據(jù)庫(kù)。根據(jù)上述數(shù)據(jù)庫(kù)分析用溫度測(cè)量裝置S測(cè)量(檢測(cè))出的模制盤片1’的溫度，以便確定生成給出適當(dāng)旋轉(zhuǎn)條件的控制信號(hào)所用的受控變量。這樣產(chǎn)生的控制信號(hào)被傳輸給旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器3(圖1)，以便根據(jù)模制盤片1’的溫度控制(盤座2)的旋轉(zhuǎn)條件，即，旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間。
在僅根據(jù)模制盤片1’的溫度調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)條件不足以減小模制盤片1’的翹曲(即，如果由于模制盤片1’的溫度而使模制盤片1’的翹曲沒有被適當(dāng)?shù)販p小)的情況下，上述冷卻方法被證明是有效的。在這種情況下，最好根據(jù)模制盤片1’的測(cè)量溫度調(diào)節(jié)(增大或減小)冷卻功率。
在下述四個(gè)順序操作中盤片1的翹曲被最為適當(dāng)?shù)販p小i)預(yù)先確定模制盤片1’和盤片1的翹曲之間的關(guān)系。
ii)生成并存儲(chǔ)基于溫度和翹曲的數(shù)據(jù)。
iii)根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)分析模制盤片1’的測(cè)量溫度。
iv)控制冷卻功率。
冷卻功率不必一定是可調(diào)節(jié)(增大或減小)的。更具體地說(shuō)，為了簡(jiǎn)化冷卻機(jī)，冷卻功率可以是常量。即使是常量，冷卻功率對(duì)于減小模制盤片1’的翹曲在一定范圍內(nèi)也是有效的。
在第二個(gè)實(shí)施例(圖7)、第三個(gè)實(shí)施例(圖8)、第四個(gè)實(shí)施例(圖9)、第五個(gè)實(shí)施例(圖10)、第六個(gè)實(shí)施例(圖11和圖12)和第七個(gè)實(shí)施例(圖13)中，主要對(duì)冷卻進(jìn)行了說(shuō)明。
剛從成型機(jī)中取出的模制盤片1’的溫度與成型機(jī)的類型有關(guān)。更具體地說(shuō)，由于各(不同類型的)成型機(jī)造成的溫度差在大約20℃的范圍內(nèi)。
進(jìn)而，在模制盤片1’在其溫度比剛從成型機(jī)中取出后的溫度低幾十度的條件下經(jīng)受用于減小翹曲的旋轉(zhuǎn)操作的情況下，在旋轉(zhuǎn)操作過(guò)程中，模制盤片1’的溫度最好保持在高于90℃，直到翹曲被充分減小。為了將溫度保持高于90℃，向模制盤片1’噴吹高溫氣流(高于90℃)，或減小冷卻速度。在這種情況下，氣流供應(yīng)源通過(guò)與電加熱器和風(fēng)扇結(jié)合具有提供熱空氣的功能，或者具有用一個(gè)紅外線加熱器直接照射模制盤片1’的功能。在這種情況下，高于90℃的氣流被加到模制盤片1’上用以進(jìn)行加熱，以代替根據(jù)第二個(gè)實(shí)施例(圖7)、第三個(gè)實(shí)施例(圖8)、第四個(gè)實(shí)施例(圖9)第五個(gè)實(shí)施例(圖10)、第六個(gè)實(shí)施例(圖11和圖12)和第七個(gè)實(shí)施例(圖13)的冷卻方法。
盡管通過(guò)參考七個(gè)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本發(fā)明不限于上述七個(gè)實(shí)施例。對(duì)于本領(lǐng)域人員而言，可根據(jù)上述說(shuō)明對(duì)上述實(shí)施例做各種變形和改變。
作為優(yōu)先權(quán)文本的日本專利申請(qǐng)No.P2001-092451(2001.3.28申請(qǐng))和日本專利申請(qǐng)No.P2001-197738(2001.6.29申請(qǐng))的全部?jī)?nèi)容被包含在本申請(qǐng)中。
本發(fā)明的范圍由下述權(quán)利要求確定。
權(quán)利要求
1.一種用于處理盤片的方法，該方法包括下述操作用注射模塑法模制一個(gè)模制盤片；并且以一個(gè)很高的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)模制盤片，該旋轉(zhuǎn)操作至少包括下述兩個(gè)副操作之一利用在旋轉(zhuǎn)操作過(guò)程中產(chǎn)生的離心力減小模制盤片的翹曲，和在旋轉(zhuǎn)操作過(guò)程中降低模制盤片的溫度。
2.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中在模制盤片被固化之前，對(duì)模制盤片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作；并且在模制盤片固化之后，停止模制盤片的旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中在模制盤片的溫度高于90℃時(shí)，對(duì)模制盤片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作；并且在模制盤片的材料的溫度降到不高于90℃之后，停止模制盤片的旋轉(zhuǎn)。
4.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中，模制盤片的旋轉(zhuǎn)速度不低于3,000rpm。
5.如權(quán)利要求4所述的處理盤片的方法，其中，模制盤片的旋轉(zhuǎn)速度不低于4,000rpm。
6.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中，在下述兩個(gè)時(shí)刻之一對(duì)盤片進(jìn)行冷卻操作或加熱操作在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在旋轉(zhuǎn)模制盤片的過(guò)程中。
7.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中，模制盤片在不高于90℃的溫度形成盤片；該方法進(jìn)一步包括一個(gè)當(dāng)模制盤片的溫度減小到不高于90℃時(shí)測(cè)量盤片翹曲的翹曲測(cè)量操作；并且通過(guò)翹曲測(cè)量操作測(cè)量出的盤片的翹曲被作為用于調(diào)節(jié)模制盤片的下述二者之一的標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間中的一項(xiàng)，和旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間的組合。
8.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中該方法進(jìn)一步包括在下述兩個(gè)時(shí)刻之一測(cè)量模制盤片的溫度的溫度測(cè)量操作在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在旋轉(zhuǎn)模制盤片的過(guò)程中；并且通過(guò)溫度測(cè)量操作測(cè)量的模制盤片的溫度被作為用于調(diào)節(jié)模制盤片的下述二者之一的標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間之一，和旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間的組合。
9.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中，在下述兩個(gè)時(shí)刻之一測(cè)量模制盤片的溫度在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在模制盤片旋轉(zhuǎn)過(guò)程中；并且測(cè)量出的溫度作為用于選擇模制盤片的冷卻操作和加熱操作之一的標(biāo)準(zhǔn)。
10.如權(quán)利要求1所述的處理盤片的方法，其中模制盤片在不高于90℃的溫度形成盤片；該方法進(jìn)一步包括當(dāng)模制盤片的溫度被減小到不高于90℃時(shí)測(cè)量盤片的翹曲的翹曲測(cè)量操作；并且通過(guò)翹曲測(cè)量操作測(cè)得的盤片翹曲在下述兩個(gè)時(shí)刻之一被作為用于調(diào)節(jié)模制盤片的冷卻操作和加熱操作之一的標(biāo)準(zhǔn)在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在旋轉(zhuǎn)模制盤片的過(guò)程中。
11.如權(quán)利要求9所述的處理盤片的方法，其中，在下述兩個(gè)時(shí)刻之一，具有不高于90℃或高于90℃的溫度的氣流，被沿著模制盤片的第一表面和第二表面，從在模制盤片的大致中心位置形成一個(gè)孔的區(qū)域徑向向外吹在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在旋轉(zhuǎn)模制盤片的過(guò)程中。
12.如權(quán)利要求11所述的處理盤片的方法，其中，對(duì)沿模制盤片的第一表面和第二表面流動(dòng)的氣流的速度和溫度中的至少一項(xiàng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
13.如權(quán)利要求9所述的處理盤片的方法，其中在下述兩個(gè)時(shí)刻之一時(shí)，從模制盤片的大致中心區(qū)域上方的上部區(qū)域噴吹具有不高于90℃或高于90℃的溫度的氣流在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在旋轉(zhuǎn)模制盤片的過(guò)程中；并且該氣流沿模制盤片的第一表面徑向向外流動(dòng)。
14.如權(quán)利要求9所述的處理盤片的方法，其中，在下述時(shí)刻之一時(shí)，從模制盤片的一個(gè)外表面吸進(jìn)氣流在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在旋轉(zhuǎn)模制盤片的過(guò)程中。
15.一種處理盤片的設(shè)備，該設(shè)備包括用于輸送通過(guò)注射模塑獲得的模制盤片的輸送機(jī)；一個(gè)用于接納由輸送機(jī)輸送的模制盤片的盤座；和一個(gè)用于當(dāng)模制盤片的溫度高于90℃時(shí)旋轉(zhuǎn)盤座，從而旋轉(zhuǎn)模制盤片的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器。
16.如權(quán)利要求15所述的處理盤片的設(shè)備，其中模制盤片在不高于90℃的溫度形成盤片；并且其中該設(shè)備進(jìn)一步包括用于當(dāng)模制盤片的溫度降低到不高于90℃時(shí)測(cè)量盤片的翹曲的翹曲測(cè)量裝置；和一個(gè)用于轉(zhuǎn)換和控制數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)換控制器，該轉(zhuǎn)換控制器執(zhí)行下述操作分析盤片的翹曲，根據(jù)分析出的盤片的翹曲尺寸確定模制盤片的下述兩項(xiàng)之一旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間之一，和旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間的組合，并且向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器傳輸控制信號(hào)，該控制信號(hào)控制模制盤片的下述兩項(xiàng)之一旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間之一，和旋轉(zhuǎn)速度、和旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間的組合。
17.如權(quán)利要求15所述的處理盤片的設(shè)備，其中該設(shè)備進(jìn)一步包括用于當(dāng)模制盤片在旋轉(zhuǎn)操作中時(shí)測(cè)量模制盤片的溫度的溫度測(cè)量裝置；和用于轉(zhuǎn)換和控制數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)換控制器，該轉(zhuǎn)換控制器向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器傳輸控制信號(hào)，該控制信號(hào)控制模制盤片的下述兩項(xiàng)之一旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間之一，和旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間的組合，并且其中該轉(zhuǎn)換控制器轉(zhuǎn)換并控制來(lái)自模制盤片的下述兩項(xiàng)的數(shù)據(jù)溫度測(cè)量裝置測(cè)得的溫度，和一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)庫(kù)是關(guān)于存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中的溫度和存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中的下述三項(xiàng)之間的預(yù)定關(guān)系的，所述三項(xiàng)為旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和旋轉(zhuǎn)速度上升時(shí)間。
18.如權(quán)利要求15所述的處理盤片的設(shè)備，其中該設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)用于冷卻模制盤片的冷卻器；和一個(gè)用于加熱模制盤片的加熱器。
19.如權(quán)利要求15所述的處理盤片的設(shè)備，其中模制盤片在不高于90℃的溫度形成盤片；其中該設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)用于當(dāng)模制盤片降低到不高于90℃時(shí)測(cè)量模制盤片的翹曲的翹曲測(cè)量裝置，和下述兩項(xiàng)之一用于根據(jù)翹曲測(cè)量裝置測(cè)量出的翹曲冷卻模制盤片的冷卻器，和一個(gè)用于根據(jù)翹曲測(cè)量裝置測(cè)量出的翹曲加熱模制盤片的加熱器；并且其中該設(shè)備通過(guò)冷卻器的冷卻操作或加熱器的加熱操作調(diào)節(jié)模制盤片的溫度。
20.如權(quán)利要求15所述的處理盤片的設(shè)備，其中模制盤片在不高于90℃的溫度形成盤片；其中該設(shè)備進(jìn)一步包括用于當(dāng)模制盤片降低到不高于90℃時(shí)測(cè)量模制盤片的溫度的溫度測(cè)量裝置，和下述兩項(xiàng)之一用于根據(jù)溫度測(cè)量裝置測(cè)量出的溫度冷卻模制盤片的冷卻器，和用于根據(jù)溫度測(cè)量裝置測(cè)量出的溫度加熱模制盤片的加熱器；其中模制盤片的冷卻操作和加熱操作在下述兩個(gè)時(shí)刻之一執(zhí)行在旋轉(zhuǎn)模制盤片之前，和在旋轉(zhuǎn)模制盤片的過(guò)程中；并且其中該設(shè)備通過(guò)冷卻器的冷卻操作或加熱器的加熱操作調(diào)節(jié)模制盤片的溫度。
21.如權(quán)利要求18所述的設(shè)備，其中冷卻器噴吹出不高于90℃的氣流，加熱器噴吹出高于90℃的氣流；并且利用一個(gè)位于盤座的旋轉(zhuǎn)軸部件中的氣流通道，冷卻器的氣流和加熱器的氣流被沿著模制盤片的第一表面和第二表面徑向向外噴吹。
22.如權(quán)利要求21所述的處理盤片的設(shè)備，其中，該設(shè)備調(diào)節(jié)沿模制盤片的第一表面和第二表面流動(dòng)的氣流的速度和溫度中的至少一項(xiàng)。
23.如權(quán)利要求18所述的處理盤片的設(shè)備，其中冷卻器和加熱器各具有一個(gè)吸氣機(jī)構(gòu)，其形成有一個(gè)大致呈圓形的開口，開口的內(nèi)徑大于模制盤片的外徑；圓形開口沿模制盤片的外周設(shè)置；并且吸氣機(jī)構(gòu)通過(guò)該圓形開口從模制盤片的外周吸進(jìn)氣流。
24.如權(quán)利要求18所述的設(shè)備，其中冷卻器噴吹不高于90℃的氣流，加熱器噴吹高于90℃的氣流；并且冷卻器和加熱器各由一個(gè)用于牢固地吸附模制盤片的吸盤構(gòu)成。
全文摘要
一種用于處理盤片的方法,該方法包括下述操作:用注射模塑法模制一個(gè)模制盤片;以一個(gè)很高的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)模制盤片。該旋轉(zhuǎn)操作至少包括下述兩個(gè)副操作之一:利用在旋轉(zhuǎn)操作過(guò)程中產(chǎn)生的離心力減小模制盤片的翹曲,和在旋轉(zhuǎn)操作過(guò)程中降低模制盤片的溫度。進(jìn)而,處理盤片的設(shè)備具有:一個(gè)用于輸送用注射模塑法獲得的模制盤片的輸送機(jī);一個(gè)用于接納由輸送機(jī)輸送的模制盤片的盤座;和一個(gè)用于當(dāng)模制盤片的溫度高于90℃時(shí)旋轉(zhuǎn)盤座,進(jìn)而旋轉(zhuǎn)模制盤片的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器。
文檔編號(hào)G11B7/26GK1377036SQ0113726
公開日2002年10月30日 申請(qǐng)日期2001年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月28日
發(fā)明者鈴木隆之, 中村昌寬, 小林秀雄, 篠原信一 申請(qǐng)人:歐利生電氣株式會(huì)社