空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法及裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及計算機視覺的交叉技術領域，特別涉及一種空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法及裝置。
【背景技術】
[0002]空間光調(diào)制器是一種利用信號在時間或空間上控制光源的振幅、相位或偏振狀態(tài)等傳播狀態(tài)，以便有效地利用光的固有速度、并行性和互連能力的器件。它是現(xiàn)代光信息處理系統(tǒng)中一個非常關鍵的器件，其性能的好壞直接決定了系統(tǒng)的處理能力?？臻g光調(diào)制器以其分辨率高、信息存儲量大被廣泛地應用于軍事、醫(yī)療、工業(yè)生產(chǎn)等領域。在人們的日常生活中，最常見的空間光調(diào)制器就是液晶屏。
[0003]在工業(yè)生產(chǎn)中，廠商往往需要對具有子像素結(jié)構的空間光調(diào)制器進行顯微缺陷檢測以確保空間光調(diào)制器能夠?qū)崿F(xiàn)其功能。有的廠商是通過人工肉眼來進行缺陷的檢測，顯然費時且不精確，同時人力成本很高。如果要使用機器自動拍照進行識別的方法，就必然涉及到針對拍得的具有子像素結(jié)構的空間光調(diào)制器的顯微圖像中缺陷的自動檢測和缺陷提取。在缺陷提取時需要根據(jù)圖像準確找到缺陷所在位置，缺陷提取的好壞決定了在這之后的空間光調(diào)制器缺陷檢測步驟，但目前在這方面沒有完善的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的旨在至少解決上述的技術缺陷之一。
[0005]為此，本發(fā)明的一個目的在于提出一種空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法。該方法通過對顯微所成像進行二值化和膨脹腐蝕后得到缺陷的大致區(qū)域，有效地提高了具有子像素結(jié)構的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的正確率和速度。
[0006]本發(fā)明的另一個目的在于提出一種空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取裝置。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第一方面的實施例公開了一種空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法，包括以下步驟:獲取空間光調(diào)制器的顯微圖像；將所述顯微圖像轉(zhuǎn)換為灰度圖，并對所述灰度圖進行二值化處理；將二值化處理后的所述灰度圖進行膨脹處理，以去掉所述二值化處理后的所述灰度圖中的Gap區(qū)域；將膨脹處理后的圖像進行腐蝕并保留黑色區(qū)域，其中，所述黑色區(qū)域為缺陷的目標位置。
[0008]根據(jù)本發(fā)明實施例的方法，通過對顯微所成像進行二值化和膨脹腐蝕后得到缺陷的大致區(qū)域，有效地提高了具有子像素結(jié)構的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的正確率和速度。
[0009]另外，根據(jù)本發(fā)明上述實施例的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法還可以具有如下附加的技術特征:
[0010]在一些示例中，通過成像設備采集所述空間光調(diào)制器的顯微圖像。
[0011]在一些示例中，所述成像設備包括CXD相機。
[0012]在一些示例中，根據(jù)最小方差的方法對所述灰度圖進行二值化處理。
[0013]本發(fā)明第二方面的實施例公開了一種空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取裝置，包括:獲取模塊，用于獲取空間光調(diào)制器的顯微圖像；二值化處理模塊，用于將所述顯微圖像轉(zhuǎn)換為灰度圖，并對所述灰度圖進行二值化處理；膨脹處理模塊，用于將二值化處理后的所述灰度圖進行膨脹處理，以去掉所述二值化處理后的所述灰度圖中的Gap區(qū)域?’腐蝕模塊，用于將膨脹處理后的圖像進行腐蝕并保留黑色區(qū)域，其中，所述黑色區(qū)域為缺陷的目標位置。
[0014]根據(jù)本發(fā)明實施例的裝置，通過對顯微所成像進行二值化和膨脹腐蝕后得到缺陷的大致區(qū)域，有效地提高了具有子像素結(jié)構的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的正確率和速度。
[0015]另外，根據(jù)本發(fā)明上述實施例的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取裝置還可以具有如下附加的技術特征:
[0016]在一些示例中，所述獲取模塊包括成像設備。
[0017]在一些示例中，所述成像設備包括CXD相機。
[0018]在一些示例中，所述二值化處理模塊用于根據(jù)最小方差的方法對所述灰度圖進行二值化處理。
[0019]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。
【附圖說明】
[0020]本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中，
[0021]圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法的流程圖；
[0022]圖2是根據(jù)本發(fā)明另一個實施例的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法的流程圖；
[0023]圖3是根據(jù)本發(fā)明一個實施例被測物體的結(jié)構示意圖；以及
[0024]圖4是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取裝置的結(jié)構框圖。
【具體實施方式】
[0025]下面詳細描述本發(fā)明的實施例，實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0026]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0027]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發(fā)明中的具體含義。
[0028]以下結(jié)合附圖描述根據(jù)本發(fā)明實施例的空間光調(diào)制器顯微缺陷檢測的目標提取方法及裝置。
[0029]圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的空