一種雙重版圖的設(shè)計方法及系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路設(shè)計領(lǐng)域，特別涉及一種雙重版圖的設(shè)計方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著集成電路特征尺寸的不斷縮小，傳統(tǒng)的193nm波長光源難以用于22nm以下圖形的光刻，單次曝光光刻達到了幾何基線，光刻問題成為研宄的重點。
[0003]目前，雙重版圖技術(shù)(DPL，Double Pattering Lithography)成為進一步縮小光刻尺寸的首選，雙重版圖技術(shù)是將一套高密度的電路圖形分解成兩套分立的、相對低密度的圖形，并分別進行成像和刻蝕，從而將高密度的圖形轉(zhuǎn)移到目標(biāo)晶圓上。雙重版圖技術(shù)中的關(guān)鍵在于高密度的版圖的分解，分解中圖形的切割以及分解后的兩版圖間圖形數(shù)量的平衡都是需要考慮和解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的旨在至少解決上述技術(shù)缺陷之一，提供一種雙重版圖的設(shè)計方法和系統(tǒng)，基于沖突環(huán)路進行圖形的切割，降低設(shè)計的復(fù)雜度，提高設(shè)計效率。
[0005]為此，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案:
[0006]一種雙重版圖的設(shè)計方法，包括:
[0007]查找原始版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預(yù)設(shè)距離的一對圖形；
[0008]根據(jù)沖突圖形查找沖突環(huán)路，沖突環(huán)路為圖形數(shù)為奇數(shù)的圖形環(huán)路；
[0009]將沖突環(huán)路中的圖形進行分割，以消除沖突環(huán)路。
[0010]可選的，查找版圖中的沖突關(guān)系的步驟包括:
[0011]將版圖中的圖形標(biāo)號；
[0012]查找版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預(yù)設(shè)距離的一對圖形，并將沖突圖形的一對標(biāo)號分別記錄在第一鏈表和第二鏈表的鏈表對中；
[0013]根據(jù)沖突關(guān)系查找沖突環(huán)路的步驟包括:
[0014]進行標(biāo)號對的查找，當(dāng)?shù)诙湵碇械臉?biāo)號與之前標(biāo)號對中第一鏈表的標(biāo)號相同時停止查找，以獲得標(biāo)號序列，每次標(biāo)號對查找的步驟包括:以第一鏈表的標(biāo)號在鏈表對中查找，獲得當(dāng)次查找的標(biāo)號對，并將當(dāng)次標(biāo)號對中第二鏈表的標(biāo)號設(shè)定為下次查找的第一鏈表的標(biāo)號；
[0015]從標(biāo)號序列中選擇出環(huán)路，將圖形數(shù)量為奇數(shù)的環(huán)路確定為沖突環(huán)路。
[0016]可選的，從標(biāo)號序列中選擇出環(huán)路之后，還包括步驟:
[0017]將圖形數(shù)量為偶數(shù)的環(huán)路確定為非沖突環(huán)路；
[0018]刪除末尾標(biāo)號對，刪除末尾標(biāo)號對的步驟包括:將非沖突環(huán)路的標(biāo)號序列中的最后一個標(biāo)號對刪除；
[0019]將最后一個標(biāo)號對中第二鏈表的標(biāo)號設(shè)定為繼續(xù)查找的第一鏈表的標(biāo)號，并返回進行標(biāo)號對查找的步驟；
[0020]若無法查找到下一個標(biāo)號對，則返回末尾標(biāo)號對的刪除步驟；
[0021]若查找到下一個標(biāo)號對，則返回進行標(biāo)號對的查找步驟。
[0022]可選的，在消除沖突環(huán)路之后，還包括:
[0023]進行圖形的分組，將相互間具有沖突關(guān)系的圖形歸為同組，將與其他圖形都不存在沖突關(guān)系的圖形歸為同組；
[0024]將組內(nèi)圖形間隔著色。
[0025]可選的，還包括:
[0026]統(tǒng)計各組與相鄰的組在交界處與相鄰圖形具有相同顏色和不同顏色的數(shù)量之差;
[0027]將差值大于預(yù)定值的組內(nèi)的圖形顏色進行翻轉(zhuǎn)。
[0028]此外，本發(fā)明還提供了一種雙重版圖的設(shè)計系統(tǒng)，包括:
[0029]沖突圖形查找單元，用于查找原始版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預(yù)設(shè)距離的一對圖形；
[0030]沖突環(huán)路查找單元，用于根據(jù)沖突圖形查找沖突環(huán)路，沖突環(huán)路為圖形數(shù)為奇數(shù)的圖形環(huán)路；
[0031]圖形分割單元，用于將沖突環(huán)路中的圖形進行分割，以消除沖突環(huán)路。
[0032]可選的，所述沖突圖形查找單元包括:
[0033]標(biāo)號單元，用于將版圖中的圖形標(biāo)號；
[0034]沖突圖形確定單元，用于沖突圖形為圖形間的距離小于預(yù)設(shè)距離的一對圖形，并將沖突圖形的一對標(biāo)號分別記錄在第一鏈表和第二鏈表的鏈表對中；
[0035]所述沖突環(huán)路查找單元包括:
[0036]查找序號設(shè)定單元，用于將前次標(biāo)號對中第二鏈表的標(biāo)號設(shè)定為本次查找的第一鏈表的標(biāo)號；
[0037]標(biāo)號序列獲取單元，用于以第一鏈表的標(biāo)號在鏈表對中查找，獲得當(dāng)次查找的標(biāo)號對，并將當(dāng)次標(biāo)號對中第二鏈表的標(biāo)號設(shè)定為下次查找的第一鏈表的標(biāo)號，當(dāng)?shù)诙湵碇械臉?biāo)號與之前標(biāo)號對中第一鏈表的標(biāo)號相同時停止查找，以獲得標(biāo)號序列；
[0038]沖突環(huán)路確定單元，用于從標(biāo)號序列中選擇出環(huán)路，將圖形數(shù)量為奇數(shù)的環(huán)路確定為沖突環(huán)路。
[0039]可選的，還包括:
[0040]非沖突環(huán)路確定單元，用于將圖形數(shù)量為偶數(shù)的環(huán)路確定為非沖突環(huán)路；
[0041]末尾標(biāo)號對刪除單元，用于將非沖突環(huán)路的標(biāo)號序列中的最后一個標(biāo)號對刪除；
[0042]繼續(xù)查找序號設(shè)定單元，用于將最后一個標(biāo)號對中第二鏈表的標(biāo)號設(shè)定為繼續(xù)查找的第一鏈表的標(biāo)號。
[0043]可選的，還包括:
[0044]分組單元，用于將進行圖形的分組，將相互間具有沖突關(guān)系的圖形歸為同組，將與其他圖形都不存在沖突關(guān)系的圖形歸為同組；
[0045]著色單元，用于將組內(nèi)圖形間隔著色。
[0046]可選的，還包括:
[0047]邊界統(tǒng)計單元，用于統(tǒng)計各組與相鄰的組在交界處與相鄰圖形具有相同顏色和不同顏色的數(shù)量之差；
[0048]翻轉(zhuǎn)單元，用于將差值大于預(yù)定值的組內(nèi)的圖形顏色進行翻轉(zhuǎn)。
[0049]本發(fā)明實施例提供的雙重版圖的設(shè)計方法及系統(tǒng)，沖突圖形為將圖形間的距離小于預(yù)設(shè)距離的一對圖形，基于沖突圖形確定出沖突環(huán)路，進而將沖突環(huán)路中的圖形進行切割，從而，消除沖突環(huán)路，基于沖突環(huán)路進行圖形的切割，降低設(shè)計的復(fù)雜度，提高設(shè)計效率。
[0050]進一步的，通過將沖突圖形的標(biāo)號對存儲于兩個鏈表中，通過鏈表中存儲的標(biāo)號對進行沖突環(huán)路的查找，可以極大地減少運算量，提高設(shè)計效率，尤其適用于大規(guī)模版圖的處理。
[0051]進一步的，在用于分解的著色過程中，按照交界處相鄰圖形的數(shù)量決定是否進行組內(nèi)圖形顏色的翻轉(zhuǎn)，使得要分解的兩版圖間的數(shù)量上實現(xiàn)平衡，并具有較少的切割數(shù)量。
【附圖說明】
[0052]本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0053]圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例的雙重版圖的設(shè)計方法的流程示意圖；
[0054]圖2為根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)計方法中沖突環(huán)路圖形標(biāo)號的示意圖；
[0055]圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)計方法中圖形環(huán)路的示意圖；
[0056]圖4為根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)計方法中沖突回路消除的圖形和環(huán)路示意圖；
[0057]圖5為根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)計方法中分組的示意圖；
[0058]圖6為根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)計方法中著色的示意圖；
[0059]圖7為根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)計方法中翻轉(zhuǎn)的示意圖；
[0060]圖8為根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)計系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0061]下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。
[0062]在本發(fā)明中，提出一種雙重版圖的設(shè)計方法，參考圖1所示，包括:查找原始版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預(yù)設(shè)距離的一對圖形；根據(jù)沖突圖形查找沖突環(huán)路，沖突環(huán)路為圖形數(shù)為奇數(shù)的圖形環(huán)路；將沖突環(huán)路中的圖形進行切割，以消除沖突環(huán)路。
[0063]進一步