本發(fā)明涉及一種檢測(cè)觸摸操作的觸摸傳感器的制造方法及觸摸傳感器。
背景技術(shù):
1、一直以來(lái),在以平板電腦及智能手機(jī)等移動(dòng)信息設(shè)備為首的各種電子設(shè)備中,使用了用于檢測(cè)手指、觸控筆等與畫面接觸或接近的所謂觸摸操作的觸摸傳感器。這種觸摸傳感器通常具有在基板的檢測(cè)區(qū)域上形成且檢測(cè)觸摸操作的觸摸檢測(cè)電極、在位于檢測(cè)區(qū)域的周邊的基板的周邊區(qū)域上形成且為了將觸摸傳感器與外部設(shè)備電連接而使用的外部連接端子及將觸摸檢測(cè)電極和外部連接端子電連接且形成在周邊區(qū)域上的周邊配線。
2、在此,在制造觸摸傳感器時(shí),通常為了容易制造而在基板上同時(shí)形成觸摸檢測(cè)電極、外部連接端子及周邊配線的情況較多。此時(shí),可以使用例如在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)的所謂的鍍敷法。在該情況下,在基板上形成具有與觸摸檢測(cè)電極、外部連接端子及周邊配線對(duì)應(yīng)的圖案的被鍍層之后將基板浸漬于電鍍液中以在被鍍層上析出金屬,由此能夠形成觸摸檢測(cè)電極、外部連接端子及周邊配線。
3、專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2013-051391號(hào)公報(bào)
4、近年來(lái),為了使周邊區(qū)域變窄,需要使周邊配線的線寬與彼此相鄰的周邊配線的配線之間的距離變窄。然而,若通過(guò)如專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)的鍍敷法想要在基板上同時(shí)形成觸摸檢測(cè)電極及外部連接端子和線寬及配線之間的距離較窄的周邊配線,則鍍覆處理中產(chǎn)生的氣泡或因某種理由混入的雜質(zhì)位于與周邊配線對(duì)應(yīng)的被鍍層上,由此導(dǎo)致最終形成的周邊配線成為斷線的狀態(tài)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明是為了解決這種問(wèn)題而完成的,其目的在于提供一種能夠防止周邊配線的斷線的觸摸傳感器的制造方法及觸摸傳感器。
2、根據(jù)以下結(jié)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)上述目的。
3、〔1〕一種觸摸傳感器的制造方法,其依次包括:
4、準(zhǔn)備包含檢測(cè)區(qū)域及配置于檢測(cè)區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域的基板的工序;
5、在基板的周邊區(qū)域形成金屬層的工序;
6、在金屬層的表面通過(guò)光刻法對(duì)感光性抗蝕劑進(jìn)行圖案形成,對(duì)金屬層實(shí)施濕式蝕刻,由此形成多個(gè)檢測(cè)電極連接端子、多個(gè)外部連接端子及彼此連接多個(gè)檢測(cè)電極連接端子和多個(gè)外部連接端子的多條周邊配線的工序;
7、形成在基板的檢測(cè)區(qū)域形成且以覆蓋多個(gè)檢測(cè)電極連接端子的各自的至少一部分的方式延伸并且包含由多條細(xì)線構(gòu)成的圖案的被鍍層的工序;及
8、在被鍍層上通過(guò)濕式鍍敷法形成與多個(gè)檢測(cè)電極連接端子電連接的多個(gè)觸摸檢測(cè)電極的工序。
9、〔2〕根據(jù)〔1〕所述的觸摸傳感器的制造方法,其中,
10、在形成多個(gè)檢測(cè)電極連接端子、多個(gè)外部連接端子及多條周邊配線的工序與形成被鍍層的工序之間,還包括形成至少覆蓋多條周邊配線的第1保護(hù)層的工序。
11、〔3〕根據(jù)〔2〕所述的觸摸傳感器的制造方法,其還包括形成覆蓋觸摸檢測(cè)電極的第2保護(hù)層的工序。
12、〔4〕根據(jù)〔3〕所述的觸摸傳感器的制造方法,其中,
13、第1保護(hù)層的組成和第2保護(hù)層的組成彼此不同。
14、〔5〕根據(jù)〔1〕至〔4〕中任一項(xiàng)所述的觸摸傳感器的制造方法,其中,
15、被鍍層通過(guò)光刻法形成。
16、〔6〕一種觸摸傳感器,其包含:
17、基板,包含檢測(cè)區(qū)域及配置于檢測(cè)區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域;
18、多個(gè)檢測(cè)電極連接端子,配置于基板的周邊區(qū)域;
19、多個(gè)外部連接端子,配置于基板的周邊區(qū)域;
20、多條周邊配線,配置于基板的周邊區(qū)域且彼此連接多個(gè)檢測(cè)電極連接端子和多個(gè)外部連接端子;
21、被鍍層,在基板的檢測(cè)區(qū)域形成且以覆蓋多個(gè)檢測(cè)電極連接端子的各自的至少一部分的方式延伸并且包含由多條細(xì)線構(gòu)成的圖案;及
22、多個(gè)觸摸檢測(cè)電極,與多個(gè)檢測(cè)電極連接端子的各自的至少一部分配置于被鍍層上且與多個(gè)檢測(cè)電極連接端子電連接。
23、〔7〕根據(jù)〔6〕所述的觸摸傳感器,其中,
24、彼此相鄰的多條周邊配線的配線之間的距離為15.00μm以下。
25、〔8〕根據(jù)〔6〕或〔7〕所述的觸摸傳感器,其中,
26、被鍍層具有有機(jī)物作為主成分且含有鈀催化劑。
27、發(fā)明效果
28、根據(jù)本發(fā)明,觸摸傳感器的制造方法依次包括:準(zhǔn)備包含檢測(cè)區(qū)域及配置于檢測(cè)區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域的基板的工序;在基板的周邊區(qū)域形成金屬層的工序;在金屬層的表面通過(guò)光刻法對(duì)感光性抗蝕劑進(jìn)行圖案形成,對(duì)金屬層實(shí)施濕式蝕刻,由此形成多個(gè)檢測(cè)電極連接端子、多個(gè)外部連接端子及彼此連接多個(gè)檢測(cè)電極連接端子和多個(gè)外部連接端子的多條周邊配線的工序;形成在基板的檢測(cè)區(qū)域形成且以覆蓋多個(gè)檢測(cè)電極連接端子的各自的至少一部分的方式延伸并且包含由多條細(xì)線構(gòu)成的圖案的被鍍層的工序;及在被鍍層上通過(guò)濕式鍍敷法形成與多個(gè)檢測(cè)電極連接端子電連接的多個(gè)觸摸檢測(cè)電極的工序,因此能夠防止周邊配線的斷線。
1.一種觸摸傳感器的制造方法,其依次包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器的制造方法,其中,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的觸摸傳感器的制造方法,其還包括:
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觸摸傳感器的制造方法,其中,
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的觸摸傳感器的制造方法,其中,
6.一種觸摸傳感器,其包含:
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的觸摸傳感器,其中,
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的觸摸傳感器,其中,