本發(fā)明涉及一種lot異常處理優(yōu)化方法及系統(tǒng)，特別是涉及一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前，當(dāng)WAT(Wafer Acceptance，晶圓驗(yàn)收測(cè)試)機(jī)臺(tái)發(fā)生報(bào)警，lot(一個(gè)基本批量的晶圓組)中途停止，工程師晚上無法即時(shí)得知，MFG(Manufacturing，生產(chǎn))會(huì)要求設(shè)備down機(jī)(停機(jī))，設(shè)備維修機(jī)臺(tái)，三個(gè)部門都無法即時(shí)得知當(dāng)前l(fā)ot測(cè)試至哪里，而且此時(shí)lot無法繼續(xù)測(cè)試出貨，必須工程師到場(chǎng)處理，甚至?xí)l(fā)生在后續(xù)出貨過程中，發(fā)現(xiàn)wafer(晶圓)數(shù)據(jù)有缺，工程師需要重新導(dǎo)出數(shù)據(jù)，合并數(shù)據(jù)，并重新上傳，花費(fèi)很多時(shí)間，嚴(yán)重影響出貨進(jìn)程。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明之目的在于提供一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法及系統(tǒng)，其能夠有效解決WAT機(jī)臺(tái)中途報(bào)警停貨引起的lot異常處理，有效地加速lot正常出貨流程，在測(cè)試中途停止后，自動(dòng)將測(cè)試完畢的數(shù)據(jù)存入文件夾，并提示未測(cè)試的wafer(晶圓)數(shù)量，并主動(dòng)告知工程師，當(dāng)全部測(cè)試完畢后，自動(dòng)合并數(shù)據(jù)，上傳系統(tǒng)。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明提出一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法，包括如下步驟：

步驟一，設(shè)置一BAN文件夾，以于該WAT機(jī)臺(tái)測(cè)試中斷，將數(shù)據(jù)保存于該BAN文件夾中；

步驟二，當(dāng)該WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警，lot中途停止時(shí)，判斷已測(cè)試的數(shù)據(jù)是否已發(fā)送，如數(shù)據(jù)已發(fā)送，則進(jìn)入步驟四，否則則進(jìn)入步驟三；

步驟三，將已測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行格式轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換成該BAN文件夾下的文件格式，并將其上傳；

步驟四，對(duì)BAN文件夾進(jìn)行更新，并將該BAN文件夾發(fā)送給預(yù)設(shè)的工程師，通知該預(yù)設(shè)的工程師lot中途停止；

步驟五，選擇剩下未測(cè)試的晶圓開始測(cè)試；

步驟六，重測(cè)完畢后將中斷前后的數(shù)據(jù)合并，并自動(dòng)上傳至服務(wù)器。

進(jìn)一步地，于步驟一中，當(dāng)機(jī)臺(tái)測(cè)試中斷，將數(shù)據(jù)保存在該BAN文件夾下，并存儲(chǔ)中斷日志文件。

進(jìn)一步地，于步驟三中，將數(shù)據(jù).ad5文件轉(zhuǎn)成.lot后上傳至該BAN文件夾。

進(jìn)一步地，于步驟四中，啟動(dòng)郵件通知系統(tǒng)將該BAN文件夾發(fā)送給預(yù)設(shè)的工程師，通知該預(yù)設(shè)的工程師lot中途停止。

進(jìn)一步地，于步驟六中，于重測(cè)完畢將中斷前后的數(shù)據(jù)合并后，清除中斷日志下的相關(guān)內(nèi)容。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化系統(tǒng)，包括：

異常監(jiān)測(cè)模塊，于監(jiān)測(cè)到WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警，lot中途停止時(shí)，啟動(dòng)判斷模塊；

判斷模塊，用于判斷已測(cè)試的數(shù)據(jù)是否已發(fā)送；

分析處理模塊，根據(jù)該判斷模塊的判斷結(jié)果，對(duì)已測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理，并更新用于存儲(chǔ)測(cè)試中斷數(shù)據(jù)的BAN文件夾，同時(shí)通知預(yù)設(shè)工程師lot中途停止，并選擇剩下未測(cè)試的晶圓開始測(cè)試；

合并模塊，于重測(cè)完畢后將中斷前后的數(shù)據(jù)合并，并自動(dòng)上傳至服務(wù)器。

進(jìn)一步地，該系統(tǒng)還包括一設(shè)置模塊，用于設(shè)置該BAN文件夾，以于該WAT機(jī)臺(tái)測(cè)試中斷，將數(shù)據(jù)保存于該BAN文件夾中，并保存中斷日志文件。

進(jìn)一步地，該分析處理模塊于該判斷模塊判斷出已測(cè)試的數(shù)據(jù)未發(fā)送時(shí)，將已測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行格式轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換成該BAN文件夾下的文件格式后將其上傳，并對(duì)該BAN文件夾進(jìn)行更新，將該BAN文件夾發(fā)送給預(yù)設(shè)的工程師，通知該預(yù)設(shè)的工程師lot中途停止。

進(jìn)一步地，該合并模塊于重測(cè)完畢將中斷前后的數(shù)據(jù)合并后，清除中斷日志下的相關(guān)內(nèi)容。

進(jìn)一步地，該分析處理模塊將數(shù)據(jù).ad5文件轉(zhuǎn)成.lot后上傳至該BAN文件夾。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法及系統(tǒng)能夠有效解決WAT機(jī)臺(tái)中途報(bào)警停貨引起的lot異常處理，有效地加速lot正常出貨流程，在測(cè)試中途停止后，自動(dòng)將測(cè)試完畢的數(shù)據(jù)存入ban文件夾，并提示未測(cè)試的wafer數(shù)量，并主動(dòng)發(fā)出郵件告知工程師，當(dāng)全部測(cè)試完畢后，自動(dòng)合并數(shù)據(jù)，上傳系統(tǒng)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法的步驟流程圖；

圖2為本發(fā)明一具體實(shí)施例中之WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法的步驟流程圖；

圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例中啟動(dòng)郵件通知工程師的示意圖；

圖4為本發(fā)明具體實(shí)施例之顯示界面示意圖；

圖5為本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化系統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

以下通過特定的具體實(shí)例并結(jié)合附圖說明本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明亦可通過其它不同的具體實(shí)例加以施行或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在不背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾與變更。

圖1為本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法的步驟流程圖，如圖1所示，本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法，包括如下步驟：

步驟101，設(shè)置一BAN文件夾，以于該WAT機(jī)臺(tái)測(cè)試中斷，將數(shù)據(jù)保存于該BAN文件夾中。在本發(fā)明較佳實(shí)施例中，當(dāng)機(jī)臺(tái)測(cè)試中斷，將數(shù)據(jù)保存在/WATSERV/EDA/RAWDATA/BAN下，并存儲(chǔ)中斷日志文件，中斷LOG(日志)在/WATSERV/LOG/banlog.txt下可以查詢。

步驟102，當(dāng)該WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警，lot中途停止，數(shù)據(jù)中斷時(shí)，判斷已測(cè)試的數(shù)據(jù)是否已發(fā)送，如數(shù)據(jù)已發(fā)送，則進(jìn)入步驟104，如數(shù)據(jù)未發(fā)送，則進(jìn)入步驟103；

步驟103，將已測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行格式轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換成該BAN文件夾下的文件格式，并將其上傳，在本發(fā)明較佳實(shí)施例中，將數(shù)據(jù).ad5文件轉(zhuǎn)成.Lot后上傳/WATSERV/EDA；

步驟104，對(duì)BAN文件夾進(jìn)行更新，并將該BAN文件夾發(fā)送給預(yù)設(shè)的工程師，通知該預(yù)設(shè)的工程師lot中途停止；

步驟105，選擇剩下未測(cè)試的晶圓(wafer)開始測(cè)試；

步驟106，重測(cè)完畢后將中斷前后的數(shù)據(jù)合并，并自動(dòng)上傳至服務(wù)器，同時(shí)，清除中斷日志下的相關(guān)內(nèi)容，即清除banlog.txt下的相關(guān)內(nèi)容。

圖2為本發(fā)明一具體實(shí)施例中之WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法的步驟流程圖。在本發(fā)明具體實(shí)施例中，當(dāng)機(jī)臺(tái)報(bào)警，數(shù)據(jù)中斷后，首先判斷是否有需進(jìn)行格式轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)(即.ad5格式轉(zhuǎn)成.Lot格式)，若有，則將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成.lot格式；將已測(cè)試的數(shù)據(jù)上傳至ban文件下；對(duì)ban文件進(jìn)行更新，并啟動(dòng)郵件自動(dòng)通知工程師lot中途停止；選擇剩下未測(cè)試的wafer進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試完畢后，將中斷前后的數(shù)據(jù)進(jìn)行合并并自動(dòng)上傳服務(wù)器；系統(tǒng)接收數(shù)據(jù)，根據(jù)出貨流程正常出貨。

圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例中啟動(dòng)郵件通知工程師的示意圖，圖4為本發(fā)明具體實(shí)施例之顯示界面示意圖。當(dāng)WAT機(jī)臺(tái)發(fā)生報(bào)警，lot發(fā)生中途停止時(shí)，ban文件會(huì)更新，則系統(tǒng)會(huì)根據(jù)ban文件的更新情況，自動(dòng)發(fā)出郵件通知工程師，當(dāng)merge完畢，ban文件也會(huì)更新，此時(shí)工程師也能收到通知郵件；當(dāng)WAT機(jī)臺(tái)發(fā)生報(bào)警，lot中途停止后，工程師可以打開軟件圖標(biāo)，查看到顯示結(jié)果，直接得知測(cè)試到底幾片，還有幾片未測(cè)試，當(dāng)維修好機(jī)臺(tái)后能夠繼續(xù)往下測(cè)試(圖4)。

可見，本發(fā)明可以通過判斷.lot文件是否測(cè)試完整，不完整則上傳ban文件下，通過判斷ban文件是否更新自動(dòng)通知工程師，從而測(cè)試未測(cè)試的數(shù)據(jù)，最后進(jìn)行合并。

圖5為本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化系統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)圖。如圖5所示，本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化系統(tǒng)，包括：異常監(jiān)測(cè)模塊501、判斷模塊502、分析處理模塊503以及合并模塊504。

其中，異常監(jiān)測(cè)模塊501，于監(jiān)測(cè)到WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警，lot中途停止，數(shù)據(jù)中斷時(shí)，啟動(dòng)判斷模塊502；判斷模塊502，用于判斷已測(cè)試的數(shù)據(jù)是否已發(fā)送；分析處理模塊503根據(jù)判斷模塊502的判斷結(jié)果，對(duì)已測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理，并更新用于存儲(chǔ)測(cè)試中斷數(shù)據(jù)的BAN文件夾，同時(shí)啟動(dòng)郵件通知預(yù)設(shè)工程師lot中途停止，并選擇剩下未測(cè)試的晶圓(wafer)開始測(cè)試；合并模塊502，于重測(cè)完畢后將中斷前后的數(shù)據(jù)合并，并自動(dòng)上傳至服務(wù)器，同時(shí)，清除中斷日志下的相關(guān)內(nèi)容，即清除banlog.txt下的相關(guān)內(nèi)容。

具體地，分析處理模塊503，于判斷模塊判斷出已測(cè)試的數(shù)據(jù)未發(fā)送時(shí)，將已測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行格式轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換成該BAN文件夾下的文件格式，并將其上傳，在本發(fā)明較佳實(shí)施例中，將數(shù)據(jù).ad5文件轉(zhuǎn)成.Lot后上傳/WATSERV/EDA，并對(duì)BAN文件夾進(jìn)行更新，將該BAN文件夾發(fā)送給預(yù)設(shè)的工程師，通過郵件通知該預(yù)設(shè)的工程師lot中途停止。

較佳地，本發(fā)明之WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化系統(tǒng)還包括設(shè)置模塊，該設(shè)置模塊，用于設(shè)置一BAN文件夾，以于該WAT機(jī)臺(tái)測(cè)試中斷，將數(shù)據(jù)保存于該BAN文件夾中。在本發(fā)明較佳實(shí)施例中，當(dāng)機(jī)臺(tái)測(cè)試中斷，將數(shù)據(jù)保存在/WATSERV/EDA/RAWDATA/BAN下，并存儲(chǔ)中斷日志文件，中斷LOG(日志)在/WATSERV/LOG/banlog.txt下可以查詢。

綜上所述，本發(fā)明一種WAT機(jī)臺(tái)報(bào)警引起的lot異常處理優(yōu)化方法及系統(tǒng)能夠有效解決WAT機(jī)臺(tái)中途報(bào)警停貨引起的lot異常處理，有效地加速lot正常出貨流程，在測(cè)試中途停止后，自動(dòng)將測(cè)試完畢的數(shù)據(jù)存入ban文件夾，并提示未測(cè)試的wafer數(shù)量，并主動(dòng)發(fā)出郵件告知工程師，當(dāng)全部測(cè)試完畢后，自動(dòng)合并數(shù)據(jù)，上傳系統(tǒng)。

上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾與改變。因此，本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)如權(quán)利要求書所列。