本發(fā)明涉及用于制造單獨(dú)編碼的讀結(jié)構(gòu)的裝置、對(duì)應(yīng)方法以及通過該方法制造的讀結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的讀結(jié)構(gòu)尤其用作RFID-芯片的組件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
RFID組件變得越來越有價(jià)值。與還一直廣為流行的條形碼(條碼)相比，RFID組件的優(yōu)點(diǎn)在于，它們可以以電子方式被讀出而無需直接視線接觸(Sichtkontakt)，并且可以以越來越非常節(jié)省成本的方式與越來越復(fù)雜的部件連接。因此例如第一RFID組件是針對(duì)進(jìn)入信號(hào)供應(yīng)應(yīng)答信號(hào)的簡(jiǎn)單發(fā)射機(jī)應(yīng)答器。目前，朝如下RFID構(gòu)件的方向發(fā)展，所述RFID構(gòu)件可以沒有電流供應(yīng)僅通過高頻信號(hào)的電磁輻射的感應(yīng)甚至與其他功能部件一起被操作。這里首先提及可以被編程和讀出的存儲(chǔ)器模塊?，F(xiàn)代RFID組件具有線圈(優(yōu)選平面線圈)、用于將交流電信號(hào)轉(zhuǎn)換為直流電的整流器、以及上面提及的功能部件。在前些年中，RFID技術(shù)已經(jīng)在工業(yè)中使用，以便標(biāo)記生產(chǎn)線上的商品。半成品得到RFID“標(biāo)簽”并且可以在工廠中跟蹤、登記并且控制，直至最終裝配。此外，RFID技術(shù)也引入零售店中，其中借助于RFID保護(hù)商品免于偷竊。通過越來越微型化，這些組件不但配備有更多功能，還變得越來越小并且同時(shí)變得越來越便宜。主要問題之一是所謂的代碼-反射器(共振器)的“編碼”。每個(gè)RFID組件具有可以被讀出的自有“號(hào)碼”(編碼)。在此，該號(hào)碼不是以軟件方式存在于必須被讀出的存儲(chǔ)器中，而是以物理方式在代碼-反射器中編碼。在此，進(jìn)入的電磁“讀取波”在(平面)線圈中感應(yīng)供給RFID電路的電流。作為應(yīng)答信號(hào)，共振器“供應(yīng)”回經(jīng)由天線輻射的經(jīng)編碼模擬和/或數(shù)字信號(hào)。共振器簡(jiǎn)單來說由線結(jié)構(gòu)組成。通過將線結(jié)構(gòu)設(shè)置在特定位置，可以設(shè)定共振頻率。問題在于，在晶片上生產(chǎn)更多RFID-芯片或者共振器，以便可以成本低廉地制造多個(gè)共振器。當(dāng)然，每個(gè)RFID芯片必須具有自有的“標(biāo)志”，即，自有的并且首先是獨(dú)特的(einzigartig)代碼共振器。當(dāng)然，可以產(chǎn)生證明該情況合理的掩膜(Maske)，其方式是在每個(gè)芯片位置上在掩膜中簡(jiǎn)單設(shè)置對(duì)應(yīng)的模式。然而每晶片創(chuàng)建一掩膜的花費(fèi)是不成比例的。因?yàn)槠駷橹股a(chǎn)“動(dòng)態(tài)變化的掩膜"一直沒有可能，所以，共振器的生產(chǎn)過程必須與芯片的其他結(jié)構(gòu)分開進(jìn)行。直到今天將光刻方法應(yīng)用于制造共振器，其中線結(jié)構(gòu)單個(gè)地產(chǎn)生。由于波長(zhǎng)與孔徑的比率而成為限制因素的分辨率給出技術(shù)問題。結(jié)構(gòu)越小，波長(zhǎng)也必須越小，并且光刻設(shè)備越復(fù)雜，這導(dǎo)致對(duì)應(yīng)成本暴漲。因而，本發(fā)明的任務(wù)在于，簡(jiǎn)化單獨(dú)編碼的讀結(jié)構(gòu)的制造并且因此提供成本低廉的RFID-芯片以供使用。這一任務(wù)利用如下所述的方案來解決。本發(fā)明的有利改進(jìn)方案在下文中給出。由在說明書、權(quán)利要求和/或附圖中給出的至少兩個(gè)特征組成的全部組合也落在本發(fā)明的范圍中。對(duì)于給出的值域，位于所提及邊界內(nèi)的值也要作為邊界值公開并且在任意組合中能要求權(quán)利。本發(fā)明的基本思想在于，首先，要簡(jiǎn)單制造的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)、尤其是統(tǒng)一的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)在載體襯底上構(gòu)造并且隨后在該基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上通過對(duì)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)的處理而構(gòu)造單獨(dú)編碼的讀結(jié)構(gòu)。因此，可以動(dòng)用標(biāo)準(zhǔn)方法用于制造基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，使得盡管在制造讀結(jié)構(gòu)之前設(shè)置更多步驟，然而與現(xiàn)有技術(shù)相比更節(jié)約成本的制造仍成為可能。因此，作為獨(dú)立的發(fā)明設(shè)置用于制造單獨(dú)編碼的讀結(jié)構(gòu)、尤其是共振器的裝置，其具有如下特征:－結(jié)構(gòu)化設(shè)備，尤其以光刻設(shè)備的形式，其用于在載體襯底上產(chǎn)生具有至少一組單結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，以及－處理設(shè)備，尤其是由多個(gè)設(shè)備組成的處理設(shè)備，其用于構(gòu)造至少一個(gè)分別單獨(dú)編碼的讀結(jié)構(gòu)，所述單獨(dú)編碼的讀結(jié)構(gòu)具有來自每組單結(jié)構(gòu)的總量中選擇的或可選擇的部分?jǐn)?shù)量單結(jié)構(gòu)的讀元件。根據(jù)本發(fā)明的有利實(shí)施方式規(guī)定，處理設(shè)備具有施加裝置，其用于用液體、尤其是聚合物至少部分地覆蓋每組單結(jié)構(gòu)的總量中的未選擇余量。因此可以通過有目的地操縱施加裝置來防止在被覆蓋的單結(jié)構(gòu)上構(gòu)造讀元件或者讀結(jié)構(gòu)。這導(dǎo)致讀結(jié)構(gòu)的明顯簡(jiǎn)化以及更低成本的制造。只要施加裝置具有至少一個(gè)分配器、尤其具有噴嘴的分配器，尤其是毫微分配器，則精確并且快速配給甚至極小的液體量是可能的。有利地進(jìn)一步規(guī)定，結(jié)構(gòu)化設(shè)備、尤其是作為壓印設(shè)備(Praegeeinrich...