專利名稱：一種電容式觸控面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電容式觸控面板及其制造方法，屬觸控面板制作領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前的電容式觸控面板按照基材可分為玻璃結(jié)構(gòu)和PET膜結(jié)構(gòu)。玻璃結(jié)構(gòu)一般是在一片玻璃的雙面形成電路圖案，例如某些手機(jī)、平板電腦產(chǎn)品采用的就是這種結(jié)構(gòu)。但是玻璃結(jié)構(gòu)存在厚、重、易碎、不能彎曲等缺點(diǎn)。玻璃一般厚300 微米。另外玻璃結(jié)構(gòu)兩面的圖案是分開(kāi)制作的，存在效率低，良率提升不易等問(wèn)題。膜結(jié)構(gòu)一般是采用兩片貼合在一起的辦法。兩片貼合在一起容易造成兩面電路圖案對(duì)位不準(zhǔn)，而且還增加了工序，增加了原材料消耗，還會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品厚度增加，透光率下降。另外膜結(jié)構(gòu)邊框的走線一般是采用絲網(wǎng)印刷導(dǎo)電銀漿的方法實(shí)現(xiàn)，受絲網(wǎng)印刷制程的限制，線寬/線間距都不能太窄。目前絲網(wǎng)印刷導(dǎo)電銀漿工藝可以量產(chǎn)的線寬/線間距大概在100微米/100微米。由于產(chǎn)品邊框需要走多根引線，這樣邊框就會(huì)非常寬。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明通過(guò)在柔性透明基材雙面分別布設(shè)透明導(dǎo)電層、不透明導(dǎo)電層，然后經(jīng)過(guò)上光阻、曝光、顯影、蝕刻的方法形成電路圖形。柔性透明基材可選用聚碳酸樹(shù)脂系列，柔性透明基材兩面形成圖案，節(jié)省了一片透明基材，結(jié)構(gòu)、工藝都簡(jiǎn)化，厚度可以很容易做到50 微米左右，比一片玻璃薄很多；另外采用曝光蝕刻的方法，可以在保證電阻很低的情況下把邊框走線的線寬/線間距做到30微米/30微米以內(nèi)，從而達(dá)到產(chǎn)品窄邊框的目的；柔性透明基材結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程還可以采用卷到卷制程，適合批量化生產(chǎn)，有助于進(jìn)一步降低制造成本。因此本發(fā)明所制作的觸控面板具有厚度薄、重量輕、不易碎、可彎曲、對(duì)位精確、 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、邊框窄等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明提供了一種電容式觸控面板及其制造方法，包括如下步驟步驟一在光學(xué)級(jí)柔性基底雙面分別布設(shè)第一透明導(dǎo)電層與第二透明導(dǎo)電層。該柔性透明基材可以選用光學(xué)級(jí)的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(簡(jiǎn)稱PET)或其他材料。該透明導(dǎo)電材料可以選擇氧化銦錫或者其他透明導(dǎo)電材料。濺射鍍膜的方式可以是單片進(jìn)行，也可以是以卷到卷的方式進(jìn)行。步驟二 在第一導(dǎo)透明電層和第二透明導(dǎo)電層表面再分別布設(shè)第一不透明導(dǎo)電層和第二不透明導(dǎo)電層。該不透明導(dǎo)電層可以是電阻值較低的金、銀、銅、鋁、鉬等金屬，考慮到后續(xù)蝕刻制程方便，優(yōu)選銅。該不透明導(dǎo)電層可以通過(guò)電鍍、磁控真空濺射等方式布設(shè)。步驟三雙面同時(shí)布設(shè)光阻。該光阻可以是市售感光干膜，也可以是液態(tài)的光阻膠?？梢允钦怨庾瑁部梢允秦?fù)性光阻。步驟四雙面同時(shí)附加掩模版。兩張掩模版精密對(duì)位后，雙面同時(shí)曝光，把掩膜版上的圖案轉(zhuǎn)移到光阻上面。該掩模版可以使鉻版、玻璃干版、菲林版等等，考慮到成本及使用效果，優(yōu)選玻璃干版。
步驟五蝕刻掉非導(dǎo)電區(qū)域的不透明金屬和透明導(dǎo)電物質(zhì)。步驟六光阻剝離。步驟七邊框金屬走線區(qū)域重新布設(shè)抗蝕刻層，該抗蝕刻層可以是抗蝕刻油墨或者光阻等。步驟八使用選擇性蝕刻液，蝕刻掉網(wǎng)格區(qū)的不透明金屬，裸露出位于下面的透明導(dǎo)電圖案。步驟九剝掉步驟七布設(shè)的抗蝕刻層。通過(guò)以上步驟，就得到了一種電容式觸控面板。


圖1 為透明基材雙面布設(shè)明導(dǎo)電層和不透明導(dǎo)電層后的剖面圖。圖2 為圖1所示材料雙面布設(shè)光阻后的剖面圖。圖3 為圖2所示材料雙面附加掩膜版后的剖面圖。圖4 為圖2所示材料雙面附加掩模版、雙面曝光后的剖面圖。圖5 為材料顯影后的剖面圖。圖6 為材料蝕刻后的剖面圖。圖7 為材料剝膜后的剖面圖。圖8 為邊框金屬走線區(qū)域重新布設(shè)光阻后的剖面圖。圖9 為材料經(jīng)過(guò)選擇性蝕刻后的剖面圖。圖10 為該觸控面板最終狀態(tài)的剖面圖。
具體實(shí)施例方式下面是本發(fā)明的具體實(shí)施例來(lái)進(jìn)一步描述(1)把柔性透明基材1放在濺射設(shè)備內(nèi)，以真空磁控濺射的方式，在透明基材1的第一表面形成第一透明導(dǎo)電層21，第二表面形成第二透明導(dǎo)電層22。該柔性透明基材選用光學(xué)級(jí)的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(簡(jiǎn)稱PET)，厚度125微米。該透明導(dǎo)電材料選擇氧化銦錫。濺射鍍膜以卷到卷的方式進(jìn)行。(2)把上述已雙面濺射透明導(dǎo)電材料的柔性透明基材重新放在濺射設(shè)備內(nèi)，以真空磁控濺射的方式，在第一透明導(dǎo)電層21的表面形成第一不透明導(dǎo)電層31，第二透明導(dǎo)電層22表面形成第二不透明導(dǎo)電層32。該不透明導(dǎo)電材料采用銅。雙面布設(shè)不透明導(dǎo)電層后的材料剖面結(jié)構(gòu)如圖1所示。(3)把(2)所述材料雙面布設(shè)光阻41和42。該光阻采用負(fù)性液態(tài)光阻膠。涂布光阻后的材料剖面結(jié)構(gòu)如圖2所示。(4)把(3)所述材料雙面同時(shí)附加掩模版51和52，掩模版精密對(duì)位后，雙面同時(shí)曝光，把掩模版上的圖案轉(zhuǎn)移到光阻上面。該掩模版采用玻璃干版。材料剖面結(jié)構(gòu)如圖3、 圖4所示。(5)把(4)所述材料進(jìn)行顯影操作。顯影后材料的剖面結(jié)構(gòu)如圖5所示。(6)把( 所述材料進(jìn)行蝕刻操作。在40攝氏度溫度下使用鹽酸蝕刻，去除非導(dǎo)電區(qū)域的不透明導(dǎo)電層31、32和下層的透明導(dǎo)電層21、22。蝕刻后材料的剖面結(jié)構(gòu)如圖6所示。(7)把(6)所述材料進(jìn)行剝膜操作，去除光阻。剝膜后材料剖面結(jié)構(gòu)如圖7所示。(8)把(7)所述材料的邊框金屬走線區(qū)域B，進(jìn)行絲印抗蝕刻油墨操作。兩面抗蝕刻油墨層分別是61、62。印刷后材料剖面結(jié)構(gòu)如圖8所示。(9)把(8)所述材料進(jìn)行蝕刻操作，這一步操作只把網(wǎng)格區(qū)A的不透明金屬銅蝕刻掉，而不會(huì)損傷下層的氧化銦錫透明導(dǎo)電圖案。蝕刻后的材料剖面結(jié)構(gòu)如圖9所示。(10)把(9)所述材料進(jìn)行剝膜操作，去除步驟⑶在邊框區(qū)域印刷的抗蝕刻保護(hù)油墨61、62。這樣就得到了我們所需要的觸控電路透明基板雙面導(dǎo)電膜。產(chǎn)品剖面結(jié)構(gòu)如圖10所示。本發(fā)明雖由上述實(shí)施例來(lái)描述，但仍可變化其形態(tài)與細(xì)節(jié)，在不脫離本發(fā)明的精神下制作。上述為本發(fā)明最合理的使用方法，僅為本發(fā)明可以具體實(shí)施的方式之一，但并不以此為限。本專業(yè)技術(shù)人員理解，在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對(duì)其進(jìn)行許多改變，修改，甚至等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電容式觸控面板及其制造方法，其特征在于使用的是柔性透明基材，如光學(xué)級(jí)聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等。
2.一種電容式觸控面板及其制造方法，其特征在于柔性透明基材的雙面分別布設(shè)透明導(dǎo)電層。
3.一種電容式觸控面板及其制造方法，其特征在于柔性透明基材雙面布設(shè)透明導(dǎo)電層后，還需要在透明導(dǎo)電層表面分別布設(shè)不透明導(dǎo)電層；該不透明導(dǎo)電層可以采用電阻值低的金、銀、銅、鋁、鉬等金屬；可以通過(guò)電鍍、真空濺射等方式布設(shè)。
4.一種電容式觸控面板及其制造方法，其特征在于電路圖案是用雙面同時(shí)曝光蝕刻的方法實(shí)現(xiàn)的。
5.如權(quán)利要求4所述制法，其特征還在于雙面同時(shí)附加掩模版，兩張掩模版精密對(duì)位后，雙面同時(shí)曝光，把掩膜版上的圖案轉(zhuǎn)移到光阻上面。
6.如權(quán)利要求4所述觸控電路雙面圖形結(jié)構(gòu)，其特征還在于采用了雙面精密對(duì)位曝光系統(tǒng)。
7.一種電容式觸控面板及其制造方法，其特征在于蝕刻是分多步進(jìn)行的步驟一蝕刻掉非導(dǎo)電區(qū)域的不透明金屬；步驟二 蝕刻掉裸露的透明導(dǎo)電層；步驟三邊框金屬走線區(qū)域布設(shè)抗蝕刻層；步驟四蝕刻掉網(wǎng)格區(qū)的不透明金屬，裸露出位于下面的透明導(dǎo)電圖案。
8.如權(quán)利要求7所述觸控電路雙面結(jié)構(gòu)，其特征還在于蝕刻制程是雙面同時(shí)進(jìn)行的。
9.如權(quán)利要求7所述觸控電路雙面結(jié)構(gòu)，其特征還在于步驟四所用的蝕刻液只會(huì)蝕刻不透明金屬，而不會(huì)破壞透明導(dǎo)電層。
10.一種電容式觸控面板及其制造方法，其特征在于生產(chǎn)加工過(guò)程可以以卷到卷的方式進(jìn)行。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種電容式觸控面板及其制造方法。具體過(guò)程為在一柔性透明基材雙面布設(shè)透明導(dǎo)電層、雙面布設(shè)電阻值低的不透明導(dǎo)電層。然后材料經(jīng)過(guò)上光阻、曝光、顯影、蝕刻等過(guò)程，形成電路圖形。此結(jié)構(gòu)觸控面板具有厚度薄、重量輕、不易碎、可彎曲、對(duì)位精確、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、邊框窄等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G06F3/044GK102541368SQ20111006662
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月14日
發(fā)明者丁學(xué)工, 于強(qiáng), 張新玲, 李明武, 王科磊, 陳巖 申請(qǐng)人:煙臺(tái)正海電子網(wǎng)板股份有限公司