專利名稱：利用干涉圖案的移動(dòng)追蹤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開(kāi)涉及移動(dòng)追蹤，更具體地，涉及用于計(jì)算機(jī)導(dǎo)引設(shè)備中的移動(dòng)追蹤。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的計(jì)算機(jī)導(dǎo)引設(shè)備使用內(nèi)部滾球來(lái)追蹤其在表面上的移動(dòng)?？紤]到這種普通滾球鼠標(biāo)的問(wèn)題，開(kāi)發(fā)出了光學(xué)鼠標(biāo)。光學(xué)鼠標(biāo)沒(méi)有移動(dòng)部件，但是包含傳感器陣列，其被排列成可連續(xù)地?cái)z取支撐鼠標(biāo)的表面的圖像。將該表面的每幅圖像與前面的圖像相比較，從比較中系統(tǒng)可確定鼠標(biāo)已移動(dòng)了多遠(yuǎn)。如果成像表面是光滑的，則這種系統(tǒng)可能無(wú)法一直有效地運(yùn)行。
這種設(shè)備利用電磁波的相長(zhǎng)和相消干涉來(lái)形成具有高強(qiáng)度和低強(qiáng)度區(qū)域的圖案，稱為斑紋圖案。根據(jù)電磁波的相干性或非相干性，以及設(shè)備的布置等，這些圖案的對(duì)比度和大小可呈現(xiàn)各種形式。

發(fā)明內(nèi)容
實(shí)施例通過(guò)在一個(gè)表面上反射相干光來(lái)產(chǎn)生干涉圖案，以追蹤在這個(gè)表面上的移動(dòng)。使用至少一個(gè)傳感器來(lái)檢測(cè)干涉圖案，以生成至少一個(gè)對(duì)應(yīng)于對(duì)干涉圖案的某一圖形的至少一個(gè)尺寸的檢測(cè)結(jié)果的信號(hào)。測(cè)量所檢測(cè)的尺寸，并從測(cè)量結(jié)果中確定傳感器行進(jìn)的距離。在一個(gè)實(shí)施例中，通過(guò)與假設(shè)值相關(guān)聯(lián)來(lái)測(cè)量這個(gè)尺寸。


圖1和2是說(shuō)明導(dǎo)引設(shè)備的實(shí)施例的示意圖；圖3a是說(shuō)明傳感器排列的一個(gè)實(shí)施例的示意圖；
圖3b是說(shuō)明干涉圖案的一個(gè)實(shí)施例的示意圖；圖4a和4b是說(shuō)明用于水平移動(dòng)檢測(cè)的傳感器排列的相互作用的示意圖；圖4c是關(guān)于傳感器信號(hào)的曲線圖；圖5a和5b是說(shuō)明用于垂直移動(dòng)檢測(cè)的傳感器排列的相互作用的示意圖；圖5c是關(guān)于傳感器信號(hào)的曲線圖；圖6a和6b是說(shuō)明被排列用于極坐標(biāo)檢測(cè)的傳感器的相互作用的示意圖；和圖7是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。
具體實(shí)施例方式
圖1和2示出了使用電磁波(光)來(lái)探測(cè)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的計(jì)算機(jī)導(dǎo)引設(shè)備的實(shí)施例。所示實(shí)施例使用激光器來(lái)發(fā)射相干光，這種光可在表面被反射。當(dāng)觀察或檢測(cè)時(shí)，所得干涉圖案由具有亮的部分和暗的部分的圖案組成，稱為斑紋圖案。單個(gè)斑紋的尺寸大致是某些設(shè)備參數(shù)的函數(shù)，例如入射光的波長(zhǎng)、激光光束的直徑、以及觀測(cè)器或光傳感器距離反射表面的距離。如果光參數(shù)保持恒定，則實(shí)施例可預(yù)測(cè)到所形成斑紋的尺寸的值將落入固定的高斯分布內(nèi)，其中約95％的斑紋在大小上落入60％以內(nèi)。因而，通過(guò)保持參數(shù)恒定，實(shí)施例可預(yù)測(cè)到所得斑紋的95％將具有某已知范圍的值內(nèi)的尺寸。如果使用大量的斑紋，則這種一致性足夠使得系統(tǒng)在斑紋穿過(guò)時(shí)能夠?qū)ζ溆?jì)數(shù)，并確定在表面上的移動(dòng)距離。
當(dāng)波長(zhǎng)、激光直徑和檢測(cè)器與表面之間的距離的這些參數(shù)保持恒定時(shí)，則各種實(shí)施例可假設(shè)每個(gè)斑紋的寬度(或其他合適的圖案圖形尺寸，例如斑紋長(zhǎng)度、斑紋間的距離、兩個(gè)斑紋的前邊緣之間的距離、或兩個(gè)斑紋的拖尾邊緣之間的距離)，實(shí)際是由系統(tǒng)布置所確定的該尺寸的統(tǒng)計(jì)平均值。對(duì)于平均斑紋大小，有 其中λ是波長(zhǎng)，R是距離反射點(diǎn)的距離，而d是光束的直徑。
如等式(1)示出的，所用激光光束越狹窄，所得圖案中的斑紋將越大。因而，可能產(chǎn)生大小在50-100微米之間的可預(yù)測(cè)高斯平均值的斑紋。通過(guò)使平均值等于每個(gè)斑紋的實(shí)際大小，就可以通過(guò)對(duì)已穿過(guò)的斑紋計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算出移動(dòng)的距離。
在圖1的實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)鼠標(biāo)100包括激光器110和傳感器組120。激光器110發(fā)射出相干光111，其在表面130反射，產(chǎn)生干涉現(xiàn)象，斑紋121。激光器110和傳感器組120彼此相對(duì)固定，但當(dāng)計(jì)算機(jī)鼠標(biāo)100在表面130上移動(dòng)時(shí)，干涉圖案121將相對(duì)于傳感器組120移動(dòng)。
在圖2的實(shí)施例中，觸針200包含激光器210和傳感器組220。在這個(gè)實(shí)施例中，激光器210發(fā)出靠近觸針200的軸向某一角度的相干光211，其使相干光211在表面230反射以產(chǎn)生斑紋221的干涉圖案，接著傳感器組220探測(cè)到該干涉圖案。在這個(gè)示例性實(shí)施例中，觸針200的定向?qū)τ谟?jì)算很重要。因而，設(shè)有凹槽251，以便當(dāng)手250握住觸針200時(shí)，正確地放置其手指。
圖3a是表示有關(guān)干涉現(xiàn)象的一個(gè)實(shí)施例的幾個(gè)圖形的圖，例如由激光反射出表面而產(chǎn)生的斑紋。在圖3a中，根據(jù)一個(gè)實(shí)施例來(lái)排列傳感器組300。5個(gè)傳感器301-305排列成交叉圖案，其中傳感器301位于中心。然后將傳感器302、303、304和305分別排列在指南針的北、東、南和西方位處。
圖3b示出了由斑紋組成的干涉圖案310，所述斑紋例如為斑紋311。在所示實(shí)施例中，斑紋的大小設(shè)計(jì)為約是傳感器301-305大小的兩倍。
通常的光學(xué)鼠標(biāo)可能具有250個(gè)或更多相當(dāng)大的傳感器，以適應(yīng)用戶可使用的表面的變化。當(dāng)前有5微米小的傳感器可供使用，這樣使得整個(gè)傳感器陣列寬小于50微米。如果使用比所形成斑紋更小的傳感器，則對(duì)斑紋的計(jì)數(shù)可能更容易。通過(guò)調(diào)整傳感器與散射表面的距離，斑紋大小可以變化，且1-2厘米的距離足以生成大小在5-10微米的斑紋。實(shí)施例可使用直徑為5微米的傳感器，而平均斑紋大小約為10微米。以這樣的大小，實(shí)施例中每英寸的移動(dòng)可遇到約2500個(gè)斑紋。
在傳感器組中，通過(guò)相繼觸發(fā)相聯(lián)合的傳感器可確定方向。如果斑紋的出現(xiàn)僅觸發(fā)了單個(gè)傳感器，則無(wú)法搜集有關(guān)方向的信息。但是，如果斑紋首先觸發(fā)了相聯(lián)合的一組傳感器中的第一個(gè)傳感器，接著再觸發(fā)第二個(gè)，則由該相聯(lián)合的傳感器的排列可確定方向。圖3a的北側(cè)傳感器302、中間傳感器301和南側(cè)傳感器304排列成一條垂直線。實(shí)施例可使用一種聯(lián)合傳感器的方法來(lái)確定方向。在圖3a中，如果斑紋觸發(fā)了北側(cè)傳感器302，接著觸發(fā)中間傳感器301和南側(cè)傳感器304，則可確定斑紋正從北向南移動(dòng)。比較相聯(lián)合的傳感器，可確定正向、負(fù)向或0方向狀態(tài)。所布置的實(shí)施例，例如圖3a中的，可以沿垂直線聯(lián)合傳感器和沿水平線聯(lián)合傳感器，并比較這些相聯(lián)合的傳感器的信號(hào)來(lái)確定沿著笛卡爾垂直軸和水平軸的方向狀態(tài)是+1、-1還是0。
實(shí)施例可使用如圖7的流程圖所示的一般化方法。在步驟701，傳感器組的傳感器檢測(cè)到斑紋的出現(xiàn)，從而在傳感器的信號(hào)中產(chǎn)生一個(gè)變化(例如上升)。在步驟702，實(shí)施例查詢相聯(lián)合的傳感器的信號(hào)。在步驟703，系統(tǒng)比較相聯(lián)合的傳感器的信號(hào)，并從比較中確定傳感器組的方向狀態(tài)。在步驟704，實(shí)施例可能發(fā)現(xiàn)原傳感器的信號(hào)表明不再檢測(cè)到斑紋(信號(hào)下降)。在步驟705，通過(guò)將信號(hào)的升降與平均斑紋的長(zhǎng)度或干涉圖案的其他合適尺寸相關(guān)聯(lián)，實(shí)施例確定行進(jìn)的距離。實(shí)施例并不限于通過(guò)測(cè)量斑紋寬度來(lái)確定距離。確切地說(shuō)，只要能獲得合適的統(tǒng)計(jì)平均值，就可利用干涉圖案的任意尺寸。
圖4a、4b和4c涉及當(dāng)傳感器組400與斑紋411相互作用時(shí)的實(shí)例。在圖4a中，傳感器組400已移動(dòng)了跨越斑紋411的路程的1/4。圖4b示出了傳感器組400已移動(dòng)了穿越斑紋411的路程的3/4。圖4c是當(dāng)傳感器401、403和405通過(guò)了圖4a和4b中所示移動(dòng)的整個(gè)范圍時(shí)，其信號(hào)401c、403c和405c的曲線表示。當(dāng)傳感器組400沿著方向406移動(dòng)時(shí)，東側(cè)傳感器403將首先檢測(cè)到斑紋411。在圖4c的曲線中，由信號(hào)403c中的信號(hào)上升421來(lái)表示傳感器403檢測(cè)到斑紋411。隨著傳感器組400繼續(xù)沿著406移動(dòng)，中間傳感器401將檢測(cè)到斑紋411。在圖4c中，由信號(hào)401c中的信號(hào)上升422來(lái)表示傳感器401檢測(cè)到斑紋411。繼續(xù)沿著406移動(dòng)，傳感器405檢測(cè)到斑紋411，這將記為圖4c的信號(hào)405c的上升424。當(dāng)斑紋411已移動(dòng)到傳感器403的范圍以外，則信號(hào)403c經(jīng)歷信號(hào)下降425。隨著傳感器組400繼續(xù)前進(jìn)，斑紋411將落在中間傳感器401的范圍之外，導(dǎo)致401c的信號(hào)下降427。當(dāng)傳感器組400已完全穿過(guò)斑紋411，則傳感器405的信號(hào)405c將經(jīng)歷信號(hào)下降428。圖4a所示的方向406上的點(diǎn)對(duì)應(yīng)曲線450的點(diǎn)423。圖4b所示的方向406上的點(diǎn)對(duì)應(yīng)曲線450的點(diǎn)426。
圖5a、5b和5c涉及當(dāng)傳感器組500沿著506穿過(guò)斑紋511時(shí)，傳感器組500與斑紋511的相互作用。圖5a示出了處于穿越斑紋511的路程1/4的傳感器組500。圖5b示出了處于穿越斑紋511的路程的3/4的傳感器組500。圖5c用曲線表示了隨著傳感器501、502和504完全穿過(guò)斑紋511，它們所產(chǎn)生的信號(hào)501c、502c和504c。當(dāng)傳感器組500沿著方向506移動(dòng)時(shí)，南側(cè)傳感器504將首先檢測(cè)到斑紋511，如信號(hào)504c的上升521所示的。如圖5a所示的，在方向506上，傳感器組500已移動(dòng)了穿越斑紋511的路程的1/4，在這一點(diǎn)處，信號(hào)504c和501c分別通過(guò)上升521和上升522記錄了斑紋511的出現(xiàn)。隨著移動(dòng)沿方向506繼續(xù)，傳感器502將檢測(cè)到斑紋511，如信號(hào)上升524所記下的。當(dāng)傳感器組500穿過(guò)斑紋511，傳感器504不再檢測(cè)斑紋511時(shí)，則信號(hào)504c呈現(xiàn)信號(hào)下降525。圖5c的點(diǎn)526處圖示了如圖5b所示的方向506，此處中間傳感器501仍檢測(cè)斑紋511，而北側(cè)傳感器502也檢測(cè)到斑紋511。隨著移動(dòng)沿方向506繼續(xù)，中間傳感器501將不再檢測(cè)斑紋511，導(dǎo)致信號(hào)501c上的信號(hào)下降527。當(dāng)傳感器組500完全穿過(guò)斑紋511時(shí)，傳感器502將不再檢測(cè)斑紋511，導(dǎo)致信號(hào)502c的下降528。
為確定移動(dòng)的方向，實(shí)施例可利用對(duì)某些傳感器的信號(hào)的比較。對(duì)于圖4a和4b中所示的實(shí)施例，通過(guò)比較傳感器401、403和405的信號(hào)，可檢測(cè)沿著水平軸的方向。為檢測(cè)方向，系統(tǒng)可將每個(gè)傳感器與至少一個(gè)其他的傳感器相聯(lián)合，并比較信號(hào)來(lái)確定方向狀態(tài)。例如，當(dāng)東側(cè)傳感器403的信號(hào)403c經(jīng)歷上升，將403c與中間傳感器401的信號(hào)401c正在發(fā)生的情況作比較。如果中間傳感器信號(hào)401c低，則實(shí)施例不會(huì)記錄方向，并推斷出方向狀態(tài)為0。但是，如果中間傳感器401的信號(hào)401c高，則實(shí)施例可確定傳感器組正從東向西移動(dòng)。當(dāng)這種方向狀態(tài)出現(xiàn)時(shí)，接著實(shí)施例記錄下水平方向狀態(tài)為-1。因而，實(shí)施例通常設(shè)計(jì)有大小為平均斑紋的一半的傳感器。使用這個(gè)比例以及傳感器的適當(dāng)間隔，一個(gè)斑紋可以同時(shí)被兩個(gè)相鄰的傳感器所檢測(cè)到。
如果中間傳感器401的信號(hào)401c出現(xiàn)上升，則實(shí)施例可接著將這個(gè)信號(hào)與東側(cè)傳感器403的信號(hào)403c和西側(cè)傳感器405的信號(hào)405c比較。如果中間傳感器401的信號(hào)401c出現(xiàn)上升，東側(cè)傳感器403的信號(hào)403c高而西側(cè)傳感器405的信號(hào)405c低，則系統(tǒng)可確定水平方向上方向狀態(tài)為+1，表示傳感器組400正從西向東移動(dòng)。如果西側(cè)傳感器405的信號(hào)405c出現(xiàn)上升，則實(shí)施例將信號(hào)405c與中間傳感器401的信號(hào)401c比較。如果中間傳感器401的信號(hào)401c低，則這個(gè)方向狀態(tài)記為0。如果中間傳感器401的信號(hào)401c高，則這個(gè)方向狀態(tài)記為+1，表示傳感器組正從西向東移動(dòng)。下面的圖表示出了一個(gè)實(shí)施例的水平移動(dòng)的可能的方向狀態(tài)。
圖表1傳感器E當(dāng)東側(cè)傳感器信號(hào)上升

圖表2 傳感器C當(dāng)中間傳感器信號(hào)上升

圖表3 傳感器W當(dāng)西側(cè)傳感器信號(hào)上升

以類似方式，本發(fā)明通過(guò)比較傳感器501、502和504的信號(hào)501c、502c和504c，還可確定沿著垂直方向的移動(dòng)方向。本方法再次將一個(gè)傳感器的信號(hào)與至少一個(gè)其他的傳感器相聯(lián)合來(lái)確定方向狀態(tài)。例如，如果中間傳感器501的信號(hào)501c經(jīng)歷上升，則一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)可以接著將信號(hào)501c與南側(cè)傳感器504的信號(hào)504c以及北側(cè)傳感器502的信號(hào)502c相比較。如果在中間傳感器501的信號(hào)501c的這個(gè)上升處，南側(cè)傳感器504的504c高，且北側(cè)傳感器502的信號(hào)502c低，則傳感器組500的垂直方向狀態(tài)為-1，表示傳感器組500正從北向南移動(dòng)。如果當(dāng)中間傳感器信號(hào)501c經(jīng)歷上升，北側(cè)傳感器信號(hào)502c高，且南側(cè)傳感器信號(hào)504c低，則垂直方向狀態(tài)為+1，表示傳感器組500正從南向北移動(dòng)。
類似于水平方向上的方向檢測(cè)，外側(cè)傳感器502和504的信號(hào)的上升可觸發(fā)與中間傳感器501的信號(hào)501c的比較。如果在北側(cè)傳感器502的信號(hào)502c上升處，中間傳感器信號(hào)501c低，則傳感器組500的垂直方向狀態(tài)為0，表示沒(méi)有方向。但是，如果在北側(cè)傳感器502的信號(hào)502c上升處，中間傳感器的信號(hào)501c高，則傳感器組500的垂直方向狀態(tài)應(yīng)為-1，表示傳感器組500正從北向南移動(dòng)。當(dāng)南側(cè)傳感器504的信號(hào)504c出現(xiàn)上升時(shí)，本方法又可比較信號(hào)504c和中間傳感器501的信號(hào)501c來(lái)確定方向狀態(tài)。如果在南側(cè)傳感器504的信號(hào)504c上升處，中間傳感器501的信號(hào)501c低，則傳感器組的垂直方向狀態(tài)為0。但是，如果在南側(cè)傳感器504的信號(hào)504c上升處，中間傳感器501的信號(hào)501c高，則這個(gè)方向狀態(tài)記為+1，表示傳感器組500正從南向北移動(dòng)。
前面所討論的實(shí)施例示出了為在笛卡爾坐標(biāo)中確定方向而設(shè)計(jì)的傳感器排列。但是，這并不是唯一可能的排列，并且實(shí)施例并不限于用于在笛卡爾坐標(biāo)中確定方向的排列。例如，傳感器組可被排列以確定極坐標(biāo)中的方向，例如圖6a和6b中所示的。傳感器組600是呈近似環(huán)形排列的8個(gè)傳感器601-608，以及位于所述環(huán)的近似中心處的中心傳感器609。當(dāng)傳感器組600與斑紋610相互作用時(shí)，所示排列能夠以角度確定移動(dòng)的方向。例如，利用如上所述的相聯(lián)合的傳感器的方法，中心傳感器601的信號(hào)的上升可觸發(fā)與其他傳感器的信號(hào)的比較。例如，如果傳感器602高，傳感器603-609的信號(hào)都低，則系統(tǒng)可確定傳感器組600正沿著45°角移動(dòng)，方向狀態(tài)為-1。利用其他傳感器的類似比較可確定不同的方向狀態(tài)，從而記錄下不同的方向角度。圖6a和6b的排列可以使用類似于已描述的方法的用于確定距離的方法，從而追蹤移動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種對(duì)在表面(130、230)上的移動(dòng)進(jìn)行追蹤的方法，所述方法包括利用來(lái)自所述表面(130、230)的反射光產(chǎn)生干涉圖案(310)；作為傳感器(120、220)在所述表面(130、230)上移動(dòng)的結(jié)果，生成至少一個(gè)對(duì)應(yīng)于對(duì)所述干涉圖案(310)的某一圖形(311)的檢測(cè)結(jié)果的信號(hào)圖案(401C、403C、405C、504C、502C)；以及將所述檢測(cè)到的圖形(311)與假設(shè)值相關(guān)聯(lián)來(lái)確定所述傳感器行進(jìn)的距離。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括使用所述干涉圖案(310)的預(yù)期值的統(tǒng)計(jì)平均值作為所述假設(shè)值。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述假設(shè)值是斑紋(411)的平均寬度或長(zhǎng)度。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括聯(lián)合多個(gè)傳感器(300、600)，其中每個(gè)傳感器(301、302、303、304、305、601、602、603、604、605、606、607、608、609)生成對(duì)應(yīng)于對(duì)所述干涉圖案(310)的某一圖形(311)的檢測(cè)結(jié)果的信號(hào)圖案(401C、403C、405C、501C、504C、502C)；以及比較所述相聯(lián)合的傳感器(300)的所述信號(hào)(401C、403C、405C、501C、504C、502C)來(lái)確定計(jì)算機(jī)導(dǎo)引設(shè)備(100)行進(jìn)的方向。
5.一種對(duì)設(shè)備(100、200)相對(duì)于表面(130、230)的移動(dòng)進(jìn)行追蹤的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括在所述設(shè)備(100、200)內(nèi)的傳感器(300、600)，所述傳感器(300、600)檢測(cè)與所述傳感器相對(duì)于干涉圖案(310)的移動(dòng)相關(guān)的信號(hào)圖案(401C、403C、405C、501C、504C、502C) 以及處理器，用來(lái)比較所述檢測(cè)到的信號(hào)圖案(401C、403C、405C、501C、504C、502C)并確定所述設(shè)備(100、200)相對(duì)于所述表面(130、230)所移動(dòng)的距離。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中某些所述傳感(300、600)被聯(lián)合在一起，并且其中所述處理器還可操作用于比較來(lái)自所述傳感器(300、600)中相聯(lián)合的傳感器的信號(hào)(401C、403C、405C、501C、504C、502C)來(lái)確定所述設(shè)備(100、200)的移動(dòng)方向。
7.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，還包括在所述設(shè)備(100、200)內(nèi)的相干光源(110、210)，所述相干光源(110、210)產(chǎn)生所述干涉圖案(310)，其中所述干涉圖案(310)包括斑紋(311)，所述信號(hào)圖案(401C、403C、405C、504C、502C)取決于所述斑紋(311)的至少一個(gè)尺寸，并且其中所述確定包括將所述至少一個(gè)尺寸的假設(shè)值與所述設(shè)備(100、200)移動(dòng)的所述距離相關(guān)聯(lián)。
8.一種將導(dǎo)引信息輸入計(jì)算機(jī)內(nèi)的設(shè)備(100、200)，所述設(shè)備包括產(chǎn)生干涉圖案(310)的電磁輻射源(110、210)；和一組傳感器(300、600)，其中每個(gè)所述傳感器(301、302、303、304、305、601、602、603、604、605、606、607、608、609)生成信號(hào)圖案，所述傳感器(301、302、303、304、305、601、602、603、604、605、606、607、608、609)生成多個(gè)信號(hào)圖案(401C、403C、405C、501C、504C、502C)，使得當(dāng)至少兩個(gè)所述信號(hào)圖案(401C、403C、405C、501C、504C、502C)被聯(lián)合在一起時(shí)，所得信號(hào)可用來(lái)確定所述設(shè)備的移動(dòng)方向。
9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備(100、200)，其中所述源是相干光源(110、210)，所述干涉圖案(310)由斑紋(311)組成；并且其中所述信號(hào)圖案(401C、403C、405C、501C、504C、502C)取決于對(duì)至少一個(gè)所述斑紋(311)的尺寸的檢測(cè)。
10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備(100、200)，其中所述傳感器組(300、600)包括排列成第一線(301、302、304)的至少三個(gè)傳感器(301、302、303、304、305)和排列成第二線(301、303、305)的至少三個(gè)傳感器(301、302、303、304、305)，其中所述第一線(301、302、304)和所述第二線(301、303、305)是正交的。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了通過(guò)利用來(lái)自表面(130、230)的反射光(111、211)產(chǎn)生干涉圖案(310)來(lái)追蹤在所述表面(130、230)上的移動(dòng)的系統(tǒng)、方法和設(shè)備。其中作為傳感器(301、302、303、304、305)在所述表面上移動(dòng)的結(jié)果，生成了至少一個(gè)對(duì)應(yīng)于對(duì)干涉圖案(310)的尺寸的檢測(cè)結(jié)果的信號(hào)圖案(401C、403C、405C、504C、502C)。將這個(gè)檢測(cè)到的尺寸與假設(shè)的尺寸值相關(guān)聯(lián)來(lái)確定傳感器(301、302、303、304、305)行進(jìn)的距離。
文檔編號(hào)G06F3/033GK1607543SQ20041006247
公開(kāi)日2005年4月20日 申請(qǐng)日期2004年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月16日
發(fā)明者戴爾·W·施羅德, 馬歇爾·T·德皮尤, 羅摩克里希納·卡卡羅拉, 謝彤, 格雷戈里·D·范維格瑞恩 申請(qǐng)人:安捷倫科技有限公司