是否為開(kāi)啟狀態(tài),若是,則進(jìn)入步驟S43 ;若否,則進(jìn)入步驟S44 ;步驟S43,關(guān)閉所述idleoutput功能；步驟S44,關(guān)閉所述加熱燈,設(shè)置所述加熱燈的輸出功率百分比為初始值；步驟S45，打開(kāi)所述加熱燈，在所述已完成維護(hù)的加熱燈輸出最大輸出功率的條件下，采集該加熱燈在所述多個(gè)輸出功率百分比下--對(duì)應(yīng)的輸出電流值；步驟S46，查詢與每個(gè)所述特定輸出功率百分比相對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)電流值，根據(jù)與每個(gè)所述特定輸出功率百分比對(duì)應(yīng)的所述輸出電流值和所述標(biāo)準(zhǔn)電流值，計(jì)算在該特定輸出功率百分比條件下已完成維護(hù)的加熱燈的最大輸出功率相對(duì)未維護(hù)之前的加熱燈的最大輸出功率的增減百分比；步驟S47,根據(jù)在步驟Sll中保存的idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)來(lái)開(kāi)啟或者關(guān)閉所述idleoutput功能。
[0017]其中，多個(gè)所述輸出功率百分比的范圍在0%?100%，設(shè)置所述加熱燈的輸出功率百分比的初始值為0%，設(shè)置在每個(gè)輸出功率百分比條件下采集所述加熱燈的輸出電流值數(shù)量的初始值為O ;在所述步驟S45中包括以下步驟:步驟S451，打開(kāi)所述加熱燈；步驟S452，判斷所述加熱燈的當(dāng)前輸出功率百分比是否等于100%，若否，則進(jìn)入步驟S453 ;若是，則進(jìn)入步驟S457 ;步驟S453，所述當(dāng)前輸出功率百分比增加1% ;步驟S454，判斷在所述當(dāng)前輸出功率百分比條件下采集的所述加熱燈的輸出電流值數(shù)量是否滿足預(yù)設(shè)數(shù)量，若否，則進(jìn)入步驟S455 ;若是，則進(jìn)入步驟S456 ;步驟S455，在所述當(dāng)前輸出功率百分比條件下，對(duì)所述加熱燈的輸出電流值采集一次，并使采集的所述加熱燈的輸出電流值的數(shù)量加1，并在間隔預(yù)設(shè)時(shí)間之后，進(jìn)入步驟S454;步驟S456，在所述當(dāng)前輸出功率百分比條件下，根據(jù)采集到的預(yù)設(shè)數(shù)量的輸出電流值計(jì)算所述加熱燈的輸出電流值的相關(guān)參數(shù)，并基于所述相關(guān)參數(shù)確定在當(dāng)前輸出功率百分比條件下的所述加熱燈的輸出電流值；步驟S457，關(guān)閉加熱燈。
[0018]本發(fā)明具有下述有益效果:
[0019]本發(fā)明提供的加熱燈的監(jiān)控方法，其借助步驟SI，在加熱燈輸出最大輸出功率的條件下，米集加熱燈在多個(gè)輸出功率百分比下對(duì)應(yīng)的輸出電流值，并根據(jù)該輸出電流值設(shè)定與之對(duì)應(yīng)的輸出功率百分比條件下的標(biāo)準(zhǔn)電流值；步驟S2，在執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程中，工藝配方包括每個(gè)工藝步驟對(duì)應(yīng)的加熱燈的預(yù)設(shè)輸出功率百分比，檢測(cè)加熱燈在當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比條件下的當(dāng)前輸出電流值，并查詢與當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)電流值，將當(dāng)前輸出電流值與標(biāo)準(zhǔn)電流值進(jìn)行比較，若二者存在偏差，則進(jìn)入步驟S3 ;若二者不存在偏差，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S2 ;步驟S3，對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)。由上可知，采用自動(dòng)的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱燈進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，這與現(xiàn)有技術(shù)中采用人為方式相比，可以及時(shí)地監(jiān)測(cè)加熱燈的輸出功率是否降低，從而可以及時(shí)地對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)以保證加熱燈對(duì)基片穩(wěn)定加熱，進(jìn)而可以提聞工藝質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的加熱燈的監(jiān)控方法的流程框圖；
[0021]圖2為圖1所示的步驟SI的流程框圖；
[0022]圖3為圖2所示的步驟S15的流程框圖；
[0023]圖4為圖1所示的步驟S2的流程框圖；
[0024]圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的加熱燈的監(jiān)控方法的流程框圖；
[0025]圖6為圖5所示的步驟S4的流程框圖；以及
[0026]圖7為圖6所示的步驟S45的流程框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供的加熱燈的監(jiān)控方法進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0028]為便于理解，所謂加熱燈輸出最大輸出功率的條件是指在加熱燈的輸出功率并沒(méi)有經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的使用(經(jīng)歷多次工藝過(guò)程)而降低的情況。
[0029]圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的加熱燈的監(jiān)控方法的流程框圖。請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明提供的加熱燈的監(jiān)控方法包括以下步驟:
[0030]步驟SI，在加熱燈輸出最大輸出功率的條件下，采集加熱燈在多個(gè)輸出功率百分比下一一對(duì)應(yīng)的輸出電流值，并根據(jù)該輸出電流值設(shè)定與之對(duì)應(yīng)的輸出功率百分比條件下的標(biāo)準(zhǔn)電流值；
[0031]步驟S2，在執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程中，工藝配方包括每個(gè)工藝步驟對(duì)應(yīng)的加熱燈的預(yù)設(shè)輸出功率百分比，檢測(cè)加熱燈在當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比條件下的當(dāng)前輸出電流值，并查詢與當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)電流值，將當(dāng)前輸出電流值與標(biāo)準(zhǔn)電流值進(jìn)行比較，若二者存在偏差，則進(jìn)入步驟S3 ;若二者不存在偏差，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S2 ；
[0032]步驟S3，對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)(例如，對(duì)加熱燈進(jìn)行維修或者更換等)。
[0033]優(yōu)選地，當(dāng)當(dāng)前輸出電流值與標(biāo)準(zhǔn)電流值存在偏差較小時(shí)，加熱燈的輸出功率的變化也較小，因此，可以不需要對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)。因此，在本實(shí)施例的步驟Si中，還包括根據(jù)該輸出電流值設(shè)定每個(gè)輸出功率百分比對(duì)應(yīng)的最大允許當(dāng)前輸出電流值偏離標(biāo)準(zhǔn)電流值的預(yù)設(shè)范圍；在這種情況下，在步驟S2中，還包括若二者存在偏差，判斷偏差是否位于預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若是，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S2 ;若否，則進(jìn)入步驟S3。借助設(shè)定預(yù)設(shè)范圍，可以在偏差較小時(shí)不需要對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)，僅對(duì)偏差超出預(yù)設(shè)范圍時(shí)對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)，因而在保證對(duì)基片穩(wěn)定加熱的前提下可以在一定程度上減小對(duì)加熱燈維護(hù)耗費(fèi)的時(shí)間，從而可以提高本發(fā)明提供的加熱燈的監(jiān)控方法的實(shí)用性。
[0034]由于在執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程中包含多個(gè)工藝步驟，且每個(gè)工藝步驟在工藝配方內(nèi)設(shè)置有相對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)輸出功率百分比，為此，在步驟Si中的多個(gè)輸出功率百分比條件下應(yīng)該至少包括與每個(gè)工藝步驟相對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)輸出功率百分比。在實(shí)際應(yīng)用中，每個(gè)工藝步驟對(duì)應(yīng)設(shè)置的預(yù)設(shè)輸出功率百分比通常為百分之整數(shù)，因此通常設(shè)置多個(gè)輸出功率百分比的范圍在0%?100%，且在步驟SI中獲得0%?100%范圍內(nèi)的任意一個(gè)百分之整數(shù)的輸出功率百分比對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)電流值和預(yù)設(shè)范圍，這使得本發(fā)明提供的加熱燈的監(jiān)控方法可以適用于多個(gè)預(yù)設(shè)輸出功率百分比為多種不同的情況，從而可以提高本發(fā)明提供的加熱燈的監(jiān)控方法的適用性。
[0035]并且，在本實(shí)施例中，在步驟SI之后且在步驟S2之前，還可以包括步驟S6和步驟7，
[0036]步驟S6，判斷是否需要執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程，若是，則進(jìn)入步驟S7 ;若否，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S6 ；
[0037]步驟S7，開(kāi)始執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程，并進(jìn)入步驟S2。
[0038]具體地,在本實(shí)施例中，定義idleoutput功能為在工藝腔室內(nèi)不執(zhí)行工藝配方時(shí)加熱燈在一定輸出功率百分比下(即，加熱燈以一定的輸出功率)對(duì)工藝腔室進(jìn)行加熱保溫的功能；容易理解，步驟SI應(yīng)該在工藝腔室內(nèi)不執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程時(shí)進(jìn)行，且由于在步驟SI中需要設(shè)定不同輸出功率百分比下的標(biāo)準(zhǔn)電流值和預(yù)設(shè)范圍，idleoutput功能開(kāi)啟是以一定輸出功率百分比下對(duì)工藝腔室進(jìn)行加熱保溫，因此，在步驟SI中需要關(guān)閉idleoutput功能；如圖2所示,步驟SI包括以下步驟:
[0039]步驟SI I，保存idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)，當(dāng)前狀態(tài)包括開(kāi)啟和關(guān)閉狀態(tài)；
[0040]步驟S12,判斷idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)是否為開(kāi)啟狀態(tài),若是，則進(jìn)入步驟S13，若否，則進(jìn)入步驟S14 ；
[0041]步驟S13,關(guān)閉 idleoutput 功能；
[0042]步驟S14，關(guān)閉加熱燈，設(shè)置加熱燈的輸出功率百分比為初始值，并清除加熱燈的每個(gè)輸出功率百分比條件下的標(biāo)準(zhǔn)電流值；
[0043]步驟S15，打開(kāi)加熱燈，在加熱燈輸出最大輸出功率的條件下，采集加熱燈在多個(gè)輸出功率百分比下對(duì)應(yīng)的輸出電流值，并根據(jù)每個(gè)輸出功率百分比對(duì)應(yīng)的輸出電流值設(shè)定該輸出功率百分比條件下的標(biāo)準(zhǔn)電流值和預(yù)設(shè)范圍；
[0044]步驟S16,根據(jù)在步驟Sll中保存的idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)來(lái)開(kāi)啟或者關(guān)閉idleoutput功能；具體地,根據(jù)在步驟Sll中保存的idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)判斷是否開(kāi)啟idleoutput功能,若是,貝U開(kāi)啟idleoutput功能,若否,貝U結(jié)束。
[0045]在本實(shí)施例中，多個(gè)輸出功率百分比的范圍在0%?100%，設(shè)置加熱燈的輸出功率百分比的