一種加熱燈的監(jiān)控方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種加熱燈的監(jiān)控方法。
【背景技術(shù)】
[0002]物理氣相沉積(Physical Vapor Deposit1n,以下簡(jiǎn)稱(chēng)PVD)技術(shù)是微電子領(lǐng)域常用的加工技術(shù)，其在集成電路制造行業(yè)中，多特指磁控濺射技術(shù)，主要用于鋁、銅等金屬薄膜的沉積，以獲得金屬接觸、金屬互連線等。
[0003]通常，PVD設(shè)備包括去氣腔室、預(yù)清洗腔室和工藝腔室，其中，去氣腔室主要用于對(duì)基片完成去氣工藝，具體地，將基片加熱至300°C至350°C左右，以去除基片表面的水氣和其他易揮發(fā)的雜質(zhì)。在去氣腔室內(nèi)，對(duì)基片進(jìn)行加熱的方式包括采用加熱燈(例如，燈管和燈泡等)加熱的方式和借助承載基片的基座加熱的方式。目前，通常采用加熱燈方式加熱基片，并同時(shí)借助基座進(jìn)行輔助加熱，當(dāng)加熱燈經(jīng)歷多次工藝過(guò)程，即，加熱燈的使用時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，使得加熱燈的輸出功率會(huì)降低，甚至加熱燈會(huì)壞掉，這會(huì)導(dǎo)致加熱燈在工藝設(shè)定的輸出功率百分比的條件下不能輸出工藝實(shí)際所需的輸出功率，例如，假設(shè)加熱燈的最大輸出功率為10KW，工藝設(shè)定的輸出功率百分比為50%，工藝實(shí)際所需的加熱燈的輸出功率為5KW，由于加熱燈使用的時(shí)間較長(zhǎng)，某個(gè)加熱燈的輸出功率降低至9KW，這使得在工藝設(shè)定的輸出功率百分比為50%的前提下，加熱燈實(shí)際的輸出功率為4.5KW，其小于工藝實(shí)際所需的輸出功率5KW，因而導(dǎo)致加熱燈對(duì)基片加熱的溫度不能滿足預(yù)設(shè)值，從而造成去氣效果差，進(jìn)而造成工藝質(zhì)量差。
[0004]為此，由于在加熱燈的輸入電壓一定的前提下，加熱燈的輸出功率與加熱燈的輸出電流成正比，目前，通常采用人為的方式采集加熱燈的輸出電流值，并人為地將采集的輸出電流值和加熱燈最大輸出功率在工藝設(shè)定的輸出功率百分比的條件下的輸出電流值相比較，根據(jù)比較結(jié)果人為分析加熱燈的輸出功率是否發(fā)生變化，并在發(fā)生變化時(shí)對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)。
[0005]然而，采用上述方式在實(shí)際應(yīng)用中不可避免的會(huì)存在以下問(wèn)題:由于采用人為的方式進(jìn)行采集、比較和分析來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱燈進(jìn)行監(jiān)控比較耗時(shí)，因而不能及時(shí)地監(jiān)測(cè)加熱燈的輸出功率降低，從而造成加熱燈對(duì)基片加熱的溫度不能滿足預(yù)設(shè)值，進(jìn)而造成去氣效果差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題，提供了一種加熱燈的監(jiān)控方法，可以及時(shí)地監(jiān)測(cè)加熱燈的輸出功率是否降低，從而可以及時(shí)地對(duì)加熱燈進(jìn)行維護(hù)以保證加熱燈對(duì)基片穩(wěn)定加熱，進(jìn)而可以提聞工藝質(zhì)量。
[0007]本發(fā)明提供一種加熱燈的監(jiān)控方法，包括以下步驟:步驟SI，在所述加熱燈輸出最大輸出功率的條件下，采集所述加熱燈在多個(gè)輸出功率百分比下--對(duì)應(yīng)的輸出電流值，并根據(jù)該輸出電流值設(shè)定與之對(duì)應(yīng)的輸出功率百分比條件下的標(biāo)準(zhǔn)電流值；步驟S2，在執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程中，所述工藝配方包括每個(gè)工藝步驟對(duì)應(yīng)的所述加熱燈的預(yù)設(shè)輸出功率百分比，檢測(cè)所述加熱燈在當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比條件下的當(dāng)前輸出電流值，并查詢(xún)與當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比相對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)電流值，將所述當(dāng)前輸出電流值與所述標(biāo)準(zhǔn)電流值進(jìn)行比較，若二者存在偏差，則進(jìn)入步驟S3 ;若二者不存在偏差，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S2 ;步驟S3，對(duì)所述加熱燈進(jìn)行維護(hù)。
[0008]其中，在所述步驟SI中，還包括根據(jù)該輸出電流值設(shè)定每個(gè)所述輸出功率百分比對(duì)應(yīng)的最大允許所述當(dāng)前輸出電流值偏離所述標(biāo)準(zhǔn)電流值的預(yù)設(shè)范圍；在所述步驟S2中，還包括若二者存在偏差，判斷所述偏差是否位于所述預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若是，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S2;若否，則進(jìn)入所述步驟S3。
[0009]其中，定義idleoutput功能為在工藝腔室內(nèi)不執(zhí)行所述工藝配方時(shí)所述加熱燈在一定輸出功率百分比下對(duì)工藝腔室進(jìn)行加熱保溫的功能，在所述步驟SI中包括以下步驟:步驟Sll,保存idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)，當(dāng)前狀態(tài)包括開(kāi)啟和關(guān)閉狀態(tài)；步驟S12，判斷idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)是否為開(kāi)啟狀態(tài)，若是，則進(jìn)入步驟S13，若否，則進(jìn)入步驟S14 ;步驟S13,關(guān)閉所述idleoutput功能；步驟S14,關(guān)閉所述加熱燈，設(shè)置所述加熱燈的輸出功率百分比為初始值，并清除所述加熱燈的每個(gè)輸出功率百分比條件下的所述標(biāo)準(zhǔn)電流值；步驟S15，打開(kāi)所述加熱燈，在所述加熱燈輸出最大輸出功率的條件下，采集所述加熱燈在多個(gè)輸出功率百分比下一一對(duì)應(yīng)的輸出電流值，并根據(jù)每個(gè)輸出功率百分比對(duì)應(yīng)的輸出電流值設(shè)定該輸出功率百分比條件下的所述標(biāo)準(zhǔn)電流值和所述預(yù)設(shè)范圍；步驟S16,根據(jù)在步驟Sll中保存的idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)來(lái)開(kāi)啟或者關(guān)閉所述idleoutput 功倉(cāng)泛。
[0010]其中，多個(gè)所述輸出功率百分比的范圍在0%?100%，設(shè)置所述加熱燈的輸出功率百分比的初始值為0%，設(shè)置在每個(gè)輸出功率百分比條件下采集所述加熱燈的輸出電流值數(shù)量的初始值為O ;在所述步驟S15中包括以下步驟:步驟S151，打開(kāi)所述加熱燈；步驟S152，判斷所述加熱燈的當(dāng)前輸出功率百分比是否等于100%，若否，則進(jìn)入步驟S153 ;若是，則進(jìn)入步驟S157 ;步驟S153，所述當(dāng)前輸出功率百分比增加1%;步驟S154，判斷在所述當(dāng)前輸出功率百分比條件下采集的所述加熱燈的輸出電流值數(shù)量是否滿足預(yù)設(shè)數(shù)量，若否，則進(jìn)入步驟S155 ;若是，則進(jìn)入步驟S156 ;步驟S155，在所述當(dāng)前輸出功率百分比條件下，對(duì)所述加熱燈的輸出電流值采集一次，并使采集的所述加熱燈的輸出電流值數(shù)量加1，并在間隔預(yù)設(shè)時(shí)間之后，進(jìn)入步驟S154 ;步驟S156，在所述當(dāng)前輸出功率百分比條件下，根據(jù)采集到的預(yù)設(shè)數(shù)量的輸出電流值計(jì)算所述加熱燈的輸出電流值的相關(guān)參數(shù)值，并基于所述相關(guān)參數(shù)值設(shè)定所述標(biāo)準(zhǔn)電流值和所述預(yù)設(shè)范圍；步驟S157，關(guān)閉加熱燈。
[0011]其中，在所述步驟S2中包括以下步驟:步驟S21，采用數(shù)據(jù)訂閱的方式捕獲所述加熱燈的輸出電流是否發(fā)生變化，若是，則進(jìn)入步驟S22，若否，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S21 ;步驟S22，在執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程中，所述工藝配方包括每個(gè)工藝步驟對(duì)應(yīng)的所述加熱燈的預(yù)設(shè)輸出功率百分比，檢測(cè)所述加熱燈在預(yù)設(shè)輸出功率百分比條件下的當(dāng)前輸出電流值，并查詢(xún)與當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比相對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)電流值，將所述當(dāng)前輸出電流值與所述標(biāo)準(zhǔn)電流值進(jìn)行比較，若二者存在偏差，則進(jìn)入步驟S3 ;若二者不存在偏差，則進(jìn)入步驟S21。
[0012]其中，在所述步驟S2中包括以下步驟:步驟S21，采用數(shù)據(jù)訂閱的方式捕獲所述加熱燈的輸出電流是否發(fā)生變化，若是，則進(jìn)入步驟S22，若否，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S21 ;步驟S22，在執(zhí)行工藝配方的工藝過(guò)程中，所述工藝配方包括每個(gè)工藝步驟對(duì)應(yīng)的所述加熱燈的預(yù)設(shè)輸出功率百分比，檢測(cè)所述加熱燈在預(yù)設(shè)輸出功率百分比條件下的當(dāng)前輸出電流值，并查詢(xún)與工藝過(guò)程的當(dāng)前預(yù)設(shè)輸出功率百分比相對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)電流值，將所述當(dāng)前輸出電流值與所述標(biāo)準(zhǔn)電流值進(jìn)行比較，若二者存在偏差，則進(jìn)入步驟S23 ;若二者不存在偏差，則進(jìn)入步驟S21 ;步驟S23，判斷所述偏差是否位于所述預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若否，則進(jìn)入所述步驟S3 ;若是，則繼續(xù)執(zhí)行步驟S21。
[0013]其中，在所述步驟S3中還包括發(fā)出報(bào)警信號(hào)，在發(fā)出所述報(bào)警信號(hào)之后對(duì)所述加熱燈進(jìn)行維護(hù)。
[0014]其中，還包括步驟S4，在已完成維護(hù)的加熱燈輸出最大輸出功率的條件下，采集所述加熱燈在所述多個(gè)輸出功率百分比下一一對(duì)應(yīng)的輸出電流值，設(shè)置所述多個(gè)輸出功率百分比中的至少一個(gè)特定輸出功率百分比，查詢(xún)與每個(gè)所述特定輸出功率百分比相對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)電流值，根據(jù)與每個(gè)所述特定輸出功率百分比對(duì)應(yīng)的所述輸出電流值和所述標(biāo)準(zhǔn)電流值，計(jì)算在該所述特定輸出功率百分比條件下已完成維護(hù)的加熱燈的最大輸出功率相對(duì)未維護(hù)之前的加熱燈的最大輸出功率的增減百分比。
[0015]其中，還包括步驟S5，基于所述增減百分比對(duì)所述預(yù)設(shè)輸出功率百分比進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)對(duì)所述預(yù)設(shè)輸出功率百分比進(jìn)行調(diào)節(jié)之后進(jìn)入所述步驟Si。
[0016]其中，定義idleoutput功能為在工藝腔室內(nèi)不執(zhí)行所述工藝配方時(shí)所述加熱燈在一定輸出功率百分比下對(duì)工藝腔室進(jìn)行加熱保溫的功能，在所述步驟S4中包括以下步驟:步驟S41,保存idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)，當(dāng)前狀態(tài)包括開(kāi)啟和關(guān)閉狀態(tài)；步驟S42,判斷idleoutput功能的當(dāng)前狀態(tài)