本發(fā)明大體上涉及用于使用結(jié)構(gòu)性信息的缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)：

下列描述及實(shí)例并非鑒于其包含在此部分中而被認(rèn)可為現(xiàn)有技術(shù)。

在半導(dǎo)體制造工藝期間在各種步驟使用檢驗(yàn)過(guò)程來(lái)檢測(cè)晶片上的缺陷，以促進(jìn)制造工藝中的較高良率且因此較高利潤(rùn)。檢驗(yàn)始終是制造半導(dǎo)體裝置(例如ic)的重要部分。然而，隨著半導(dǎo)體裝置的尺寸減小，檢驗(yàn)對(duì)于可接受半導(dǎo)體裝置的成功制造來(lái)說(shuō)變得甚至更重要，這是因?yàn)檩^小缺陷可引起裝置出故障。

用于樣本上的陣列區(qū)(arrayarea)的一些當(dāng)前檢驗(yàn)方法包含在覆蓋完整陣列區(qū)域(arrayregion)的矩形關(guān)注區(qū)(carearea)中執(zhí)行缺陷檢測(cè)。針對(duì)陣列區(qū)產(chǎn)生的圖像中的灰階值用來(lái)將圖像分成不同區(qū)(稱為分割)。這些區(qū)意在對(duì)應(yīng)于樣本的不同結(jié)構(gòu)。接著，可使用灰階分割來(lái)引導(dǎo)用于缺陷檢測(cè)的靈敏度設(shè)置。

然而，灰階值與晶片結(jié)構(gòu)之間的對(duì)應(yīng)可能并不是唯一的。舉例來(lái)說(shuō)，n型金屬氧化物半導(dǎo)體(nmos)與p型mos(pmos)結(jié)構(gòu)可具有類似灰階值。歸因于工藝變動(dòng)，關(guān)于相同結(jié)構(gòu)的灰階值可跨樣本或在樣本之間變化。因此，結(jié)果可能不是關(guān)于晶片結(jié)構(gòu)的清晰指示。

因此，開發(fā)不具有上文所描述缺點(diǎn)的中的一或多者的用于檢測(cè)樣本上的缺陷的系統(tǒng)及方法將為有利的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

各種實(shí)施例的下列描述不應(yīng)以任何方式解釋為限制所附權(quán)利要求書的標(biāo)的物。

一個(gè)實(shí)施例涉及一種經(jīng)配置以基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包含檢驗(yàn)子系統(tǒng)，所述檢驗(yàn)子系統(tǒng)包含至少一能源及一檢測(cè)器。能源經(jīng)配置以產(chǎn)生引導(dǎo)到樣本的能量。檢測(cè)器經(jīng)配置以檢測(cè)來(lái)自樣本的能量并響應(yīng)于經(jīng)檢測(cè)能量而產(chǎn)生輸出。系統(tǒng)還包含一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)，所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)經(jīng)配置用于基于樣本上的陣列區(qū)中的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性而將通過(guò)陣列區(qū)中的檢測(cè)器產(chǎn)生的輸出分離成輸出的至少第一片段與第二片段，使得不同片段中的輸出已被產(chǎn)生在陣列區(qū)中的不同位置，其中形成具有一或多個(gè)特性的不同值的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)。此外，一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)經(jīng)配置用于通過(guò)基于輸出是處于第一片段中還是處于第二片段中而將一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法應(yīng)用于輸出以檢測(cè)樣本上的缺陷。

另一實(shí)施例涉及一種用于基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷的計(jì)算機(jī)實(shí)施方法。所述方法包含上文描述的分離及檢測(cè)步驟。分離及檢測(cè)步驟由一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)執(zhí)行。

可如本文描述那樣進(jìn)一步執(zhí)行所述方法的步驟中的每一者。此外，所述方法可包含本文所描述任何其它方法的任何其它步驟。此外，可通過(guò)本文所描述系統(tǒng)的中的任何者執(zhí)行所述方法。

另一實(shí)施例涉及一種非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體，所述媒體存儲(chǔ)可在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上執(zhí)行以用于執(zhí)行計(jì)算機(jī)實(shí)施方法的程序指令，所述方法用于基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷。計(jì)算機(jī)實(shí)施方法包含上文所描述方法的步驟。計(jì)算機(jī)可讀媒體可如本文描述那樣進(jìn)一步經(jīng)配置?？扇绫疚倪M(jìn)一步描述那樣執(zhí)行計(jì)算機(jī)實(shí)施方法的步驟。此外，可針對(duì)其執(zhí)行程序指令的計(jì)算機(jī)實(shí)施方法可包含本文所描述任何其它方法的任何其它步驟。

附圖說(shuō)明

對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，利用優(yōu)選實(shí)施例的以下詳細(xì)描述并參考附圖，本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見，其中：

圖1是說(shuō)明系統(tǒng)的實(shí)施例的側(cè)視圖的示意圖，所述系統(tǒng)經(jīng)配置以基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷；

圖2是樣本上的陣列區(qū)的實(shí)例的圖像及陣列區(qū)內(nèi)的單元(cell)的圖像；

圖3是具有與其相關(guān)的結(jié)構(gòu)性信息的樣本上的陣列區(qū)的部分的實(shí)例的圖像；

圖4是樣本上的陣列區(qū)的部分的實(shí)例的灰階表示；

圖5是說(shuō)明圖4中所展示陣列區(qū)的部分的空間關(guān)系的實(shí)施例的示意圖；

圖6是說(shuō)明圖4中所展示陣列區(qū)的部分的二進(jìn)制掩模表示的實(shí)施例的示意圖；

圖7到9是樣本上的陣列區(qū)的部分的實(shí)例的不同圖像；

圖10是具有其中定義的不同結(jié)構(gòu)的樣本上的陣列區(qū)的部分的實(shí)例的圖像；

圖11是可形成在樣本上的獨(dú)特結(jié)構(gòu)及所述獨(dú)特結(jié)構(gòu)與樣本的陣列區(qū)中的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)之間的空間關(guān)系的實(shí)例的示意圖；

圖12是圖11中所展示獨(dú)特結(jié)構(gòu)與一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的圖像；

圖13是獨(dú)特結(jié)構(gòu)的實(shí)例的示意圖，所述結(jié)構(gòu)可形成在樣本上且用于將一或多個(gè)結(jié)構(gòu)定位在樣本上的陣列區(qū)中；

圖14到16是展示將一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法應(yīng)用于檢驗(yàn)子系統(tǒng)的檢測(cè)器的輸出的不同結(jié)果的實(shí)例的標(biāo)繪圖；及

圖17是說(shuō)明非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體的一個(gè)實(shí)施例的框圖，所述媒體存儲(chǔ)用于致使計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行本文所描述計(jì)算機(jī)實(shí)施方法的程序指令。

雖然本發(fā)明可具有各種修改及替代性形式，但其特定實(shí)施例是通過(guò)實(shí)例展示在圖式中且在本文中詳細(xì)描述。圖式可不按比例調(diào)整。然而，應(yīng)了解，圖式及其詳細(xì)描述并非旨在將本發(fā)明限于揭示的特定形式，而是相反，本發(fā)明將涵蓋落在如通過(guò)所附權(quán)利要求書定義的本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)的所有修改、等效物及替代例。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在轉(zhuǎn)向圖式，應(yīng)注意圖式并不按比例繪制。特定來(lái)說(shuō)，圖式的一些元件的尺度經(jīng)極度夸大以強(qiáng)調(diào)元件的特性。還應(yīng)注意圖式并不按相同比例繪制。在可經(jīng)類似配置的一個(gè)以上圖式中展示的元件已使用相同參考數(shù)字進(jìn)行指示。除非本文另有說(shuō)明，否則描述并展示的元件的中的任何者可包含任何適當(dāng)?shù)氖惺墼?/p>

本文所描述的實(shí)施例大體上提供用以檢測(cè)樣本(例如圖案化的半導(dǎo)體晶片)上的陣列區(qū)中的缺陷的新方法，其包含獲得并表示結(jié)構(gòu)性信息及將所述結(jié)構(gòu)性信息應(yīng)用在樣本檢驗(yàn)中。本文所描述的實(shí)施例可用來(lái)產(chǎn)生針對(duì)此類樣本的更多良率相關(guān)結(jié)果。一個(gè)實(shí)施例涉及經(jīng)配置以基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷的系統(tǒng)。在一些實(shí)施例中，樣本可包含晶片。在其它實(shí)施例中，樣本可包含光罩。晶片及光罩可包含所屬領(lǐng)域中已知的任何晶片及光罩。

系統(tǒng)包含檢驗(yàn)子系統(tǒng)，所述檢驗(yàn)子系統(tǒng)包含至少一能源及一檢測(cè)器。能源經(jīng)配置以產(chǎn)生被引導(dǎo)到樣本的能量。檢測(cè)器經(jīng)配置以檢測(cè)來(lái)自樣本的能量并響應(yīng)于檢測(cè)到的能量而產(chǎn)生輸出。此檢驗(yàn)子系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例是在圖1中展示為系統(tǒng)106的檢驗(yàn)子系統(tǒng)104。在此圖式中所展示實(shí)施例中，檢驗(yàn)子系統(tǒng)是光學(xué)或基于光的檢驗(yàn)子系統(tǒng)。舉例來(lái)說(shuō)，如圖1中所展示，檢驗(yàn)子系統(tǒng)包含光源108，其可包含所屬領(lǐng)域中已知的任何適當(dāng)光源，例如寬帶等離子體光源。

來(lái)自光源的光可被引導(dǎo)到分束器110，其可經(jīng)配置以將光從光源引導(dǎo)到樣本112。光源可被耦合到任何其它適當(dāng)元件(未展示)，例如一或多個(gè)聚光透鏡、準(zhǔn)直透鏡、中繼透鏡、物鏡、光圈、光譜濾光器、偏光組件及類似者。如圖1中所展示，光可以法向入射角被引導(dǎo)到樣本。然而，光可以任何適當(dāng)入射(包含近法向及傾斜入射)角被引導(dǎo)到樣本。此外，光或多個(gè)光束可以一個(gè)以上入射角被循序或同時(shí)引導(dǎo)到樣本。檢驗(yàn)子系統(tǒng)可經(jīng)配置以按任何適當(dāng)方式在樣本上掃描光。

在掃描期間可通過(guò)檢驗(yàn)子系統(tǒng)的一或多個(gè)檢測(cè)器收集并檢測(cè)來(lái)自樣本112的光。舉例來(lái)說(shuō)，以相對(duì)接近法向的角度從樣本112反射的光(即，當(dāng)入射為法向時(shí)的鏡面反射光)可行進(jìn)通過(guò)分束器110到透鏡114。如圖1中所展示，透鏡114可包含折射光學(xué)元件。此外，透鏡114可包含一或多個(gè)折射光學(xué)元件及/或一或多個(gè)反射式光學(xué)元件。由透鏡114收集的光可被聚焦到檢測(cè)器116。檢測(cè)器116可包含所屬領(lǐng)域中已知的任何適當(dāng)檢測(cè)器(例如電荷耦合裝置(ccd))或另一類型的成像檢測(cè)器。檢測(cè)器116經(jīng)配置以產(chǎn)生響應(yīng)于由透鏡114收集的反射光的輸出。因此，透鏡114與檢測(cè)器116形成檢驗(yàn)子系統(tǒng)的一個(gè)通道。檢驗(yàn)子系統(tǒng)的此通道可包含所屬領(lǐng)域中已知的任何其它適當(dāng)光學(xué)組件(未展示)。檢測(cè)器的輸出可包含(例如)圖像、圖像數(shù)據(jù)、信號(hào)、圖像信號(hào)或可由適于用在檢驗(yàn)系統(tǒng)中的檢測(cè)器產(chǎn)生的任何其它輸出。

由于圖1中所展示檢驗(yàn)子系統(tǒng)經(jīng)配置以檢測(cè)從樣本鏡面反射的光，因此所述檢驗(yàn)子系統(tǒng)經(jīng)配置作為明場(chǎng)(bf)檢驗(yàn)系統(tǒng)。然而，此檢驗(yàn)子系統(tǒng)還可經(jīng)配置用于其它類型的檢驗(yàn)。舉例來(lái)說(shuō)，圖1中所展示檢驗(yàn)子系統(tǒng)還可包含一或多個(gè)其它通道(未展示)。其它通道可包含本文所描述光學(xué)組件的中的任何者(例如透鏡及檢測(cè)器)，其經(jīng)配置作為散射光通道。透鏡及檢測(cè)器可如本文描述那樣進(jìn)一步經(jīng)配置。以此方式，檢驗(yàn)子系統(tǒng)還可經(jīng)配置用于暗場(chǎng)(df)檢驗(yàn)。

系統(tǒng)還包含一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)。舉例來(lái)說(shuō)，如圖1中所展示，系統(tǒng)可包含計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)118，其經(jīng)耦合到檢驗(yàn)子系統(tǒng)，使得計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可接收由檢驗(yàn)子系統(tǒng)的檢測(cè)器產(chǎn)生的輸出。舉例來(lái)說(shuō)，計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可經(jīng)耦合到檢測(cè)器116及包含在檢驗(yàn)子系統(tǒng)中的任何其它檢測(cè)器，使得所述計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可接收由檢測(cè)器產(chǎn)生的輸出。計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)經(jīng)配置用于執(zhí)行本文進(jìn)一步描述的步驟。計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)(本文中也稱為“計(jì)算機(jī)系統(tǒng)”)及系統(tǒng)可如本文描述那樣進(jìn)一步經(jīng)配置。

應(yīng)注意，本文提供圖1以大體上說(shuō)明可包含于本文所描述系統(tǒng)實(shí)施例中的檢驗(yàn)子系統(tǒng)的配置。明顯地，本文描述的檢驗(yàn)子系統(tǒng)配置可經(jīng)改變以優(yōu)化檢驗(yàn)子系統(tǒng)的性能，如在設(shè)計(jì)商業(yè)檢驗(yàn)系統(tǒng)時(shí)通常執(zhí)行。此外，本文描述的系統(tǒng)可使用現(xiàn)有檢驗(yàn)子系統(tǒng)(例如在商業(yè)上可購(gòu)自加利福尼亞州米爾皮塔斯市的科磊公司(kla-tencor,milpitas,calif)的29xx/28xx系列工具來(lái)實(shí)施(例如，通過(guò)將本文描述的功能添加到現(xiàn)有檢驗(yàn)系統(tǒng))。對(duì)于一些此類系統(tǒng)，本文描述的方法可經(jīng)提供作為系統(tǒng)的任選功能(例如，除系統(tǒng)的其它功能之外)?；蛘撸疚拿枋龅南到y(tǒng)可“從頭開始”設(shè)計(jì)以提供全新系統(tǒng)。

此外，雖然系統(tǒng)在本文中描述為是光學(xué)或基于光的檢驗(yàn)系統(tǒng)，但檢驗(yàn)子系統(tǒng)可經(jīng)配置作為基于電子束的檢驗(yàn)子系統(tǒng)(未展示)。舉例來(lái)說(shuō)，檢驗(yàn)子系統(tǒng)的能源可經(jīng)配置以產(chǎn)生電子，且檢測(cè)器可經(jīng)配置以檢測(cè)從樣本返回的電子。基于電子束的檢驗(yàn)子系統(tǒng)可為包含在任何適當(dāng)市售電子束檢驗(yàn)系統(tǒng)中的任何適當(dāng)?shù)幕陔娮邮臋z驗(yàn)子系統(tǒng)。

計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)經(jīng)配置用于基于樣本上的陣列區(qū)中的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性來(lái)將由陣列區(qū)中的檢驗(yàn)子系統(tǒng)的檢測(cè)器產(chǎn)生的輸出分離成輸出的至少第一片段與第二片段，使得不同片段中的輸出已被產(chǎn)生于陣列區(qū)中的不同位置，其中形成具有一或多個(gè)特性的不同值的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)。術(shù)語(yǔ)“陣列區(qū)”是指裸片中圖案周期性重復(fù)的區(qū)?；局貜?fù)圖案稱為“單元”。通常按單元對(duì)單元比較而非裸片對(duì)裸片比較來(lái)檢驗(yàn)陣列區(qū)。圖2說(shuō)明陣列區(qū)及包含于其中的單元的一個(gè)實(shí)例。舉例來(lái)說(shuō)，如圖2中所展示，陣列區(qū)的圖像200展示可經(jīng)形成于陣列區(qū)內(nèi)的重復(fù)結(jié)構(gòu)。陣列區(qū)內(nèi)的基本結(jié)構(gòu)稱為單元，所述單元的一個(gè)圖像由圖像202展示，圖像202在陣列區(qū)中空間地重復(fù)。

本文描述的實(shí)施例將結(jié)構(gòu)性信息用于缺陷檢測(cè)。結(jié)構(gòu)性信息對(duì)于將所關(guān)注缺陷(doi)與干擾事件分離來(lái)說(shuō)是更相關(guān)且更穩(wěn)健的。如本文將進(jìn)一步描述，實(shí)施例可經(jīng)配置以獲得結(jié)構(gòu)性信息、表示結(jié)構(gòu)性信息，且將結(jié)構(gòu)性信息應(yīng)用在樣本檢驗(yàn)中。

由于本文描述的結(jié)構(gòu)性信息是基于樣本上的區(qū)中的結(jié)構(gòu)，因此所述結(jié)構(gòu)性信息可依據(jù)樣本類型而變化。換句話說(shuō)，不同結(jié)構(gòu)性信息可用來(lái)表示不同裝置?？蛇\(yùn)用此結(jié)構(gòu)信息來(lái)對(duì)本文描述的實(shí)施例進(jìn)行編程。舉例來(lái)說(shuō)，在樣本的檢驗(yàn)的建立期間，用于樣本的結(jié)構(gòu)性信息可被編碼于軟件中，以在檢驗(yàn)期間使用。當(dāng)獲取輸出時(shí)，可在樣本的檢驗(yàn)期間執(zhí)行分離所述輸出。以此方式，可在檢驗(yàn)期間(即，在運(yùn)行時(shí)間期間)識(shí)別樣本上的結(jié)構(gòu)。

在一個(gè)實(shí)施例中，分離輸出并不基于所述輸出的一或多個(gè)特性。舉例來(lái)說(shuō)，一些當(dāng)前使用的檢驗(yàn)方法基于輸出的灰階而執(zhí)行檢驗(yàn)系統(tǒng)輸出的分割。相比之下，如上文描述的分離輸出可獨(dú)立于所述輸出本身的任何特性而執(zhí)行。舉例來(lái)說(shuō)，即使針對(duì)形成在樣本上的一種類型的結(jié)構(gòu)(其具有不同于樣本上的其它類型的結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)性特性)的不同例子產(chǎn)生的輸出具有不同灰階，所有所述輸出仍可被分離成相同片段。以此方式，即使輸出都針對(duì)形成在樣本上的相同結(jié)構(gòu)的不同例子而產(chǎn)生，分離成片段中的一者的輸出仍可具有輸出的不同特性。

因此，不同于本文描述的實(shí)施例，當(dāng)前分割可基于灰階，其可不指示樣本上的結(jié)構(gòu)。因此，基于灰階的分割不同于針對(duì)本文所描述陣列區(qū)的基于結(jié)構(gòu)性信息的分割。結(jié)構(gòu)指示晶片圖案與噪聲源的功能及過(guò)程。通過(guò)結(jié)構(gòu)引導(dǎo)的檢驗(yàn)將產(chǎn)生更多良率相關(guān)結(jié)果。

在一個(gè)此實(shí)例中，在當(dāng)前執(zhí)行的裸片對(duì)裸片(隨機(jī)區(qū))或單元對(duì)單元(陣列區(qū))檢驗(yàn)中，針對(duì)正被檢驗(yàn)的樣本的區(qū)中的區(qū)域產(chǎn)生的輸出可基于灰階或所述輸出的其它特性而被分離成不同片段。然而，在針對(duì)單元對(duì)單元(陣列)檢驗(yàn)的本文所描述的實(shí)施例中，針對(duì)正被檢驗(yàn)的樣本的區(qū)中的區(qū)域產(chǎn)生的輸出可如本文進(jìn)一步描述那樣分離成產(chǎn)生在樣本上的第一類型的結(jié)構(gòu)的位置處的第一輸出、產(chǎn)生在樣本上的第二類型的結(jié)構(gòu)的位置處的第二輸出等等。接著，經(jīng)確定針對(duì)一種類型的結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的所有輸出可基于可用于本文所描述的實(shí)施例的任何其它信息(例如，灰階)而進(jìn)一步分割。類似分割可針對(duì)檢驗(yàn)子系統(tǒng)輸出中識(shí)別的其它結(jié)構(gòu)類型的中的任何者而單獨(dú)執(zhí)行。

在另一實(shí)施例中，基于樣本或與所述樣本類型相同的另一樣本的一或多個(gè)掃描電子顯微鏡(sem)圖像來(lái)確定結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性。以此方式，可通過(guò)sem圖像獲得用于本文所描述的實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)性信息。因而，本文描述的實(shí)施例可經(jīng)配置用于運(yùn)用sem圖像來(lái)理解結(jié)構(gòu)(例如晶片結(jié)構(gòu))。晶片結(jié)構(gòu)指示多晶硅、接觸空穴、n型金屬氧化物半導(dǎo)體(nmos)、p型mos(pmos)等等的空間布局。用戶可以高分辨率sem圖像描繪特定結(jié)構(gòu)。分析sem圖像以確定結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性可在針對(duì)樣本執(zhí)行的檢驗(yàn)的建立期間執(zhí)行。以此方式，本文描述的實(shí)施例并一定使用或需要設(shè)計(jì)文件中的信息。

在額外實(shí)施例中，分離輸出包含使樣本或與所述樣本類型相同的另一樣本的一或多個(gè)sem圖像與所述輸出相關(guān)，及將一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性從一或多個(gè)sem圖像傳送到與其相關(guān)的輸出。舉例來(lái)說(shuō)，通過(guò)使sem圖像與檢驗(yàn)圖像相關(guān)，結(jié)構(gòu)性信息可從sem圖像傳送到檢驗(yàn)圖像上。在一個(gè)此實(shí)例中，如圖3中所展示，可通過(guò)如本文描述的檢驗(yàn)子系統(tǒng)產(chǎn)生陣列區(qū)的部分的檢驗(yàn)圖像300。接著，可從sem圖像獲得的結(jié)構(gòu)性信息302可與檢驗(yàn)圖像對(duì)準(zhǔn)。接著，結(jié)構(gòu)性信息可被指派到其已對(duì)準(zhǔn)的檢驗(yàn)圖像中的像素。以此方式，如果結(jié)構(gòu)性信息302含有用于不同結(jié)構(gòu)的信息，那么不同結(jié)構(gòu)性信息可被指派到其已對(duì)準(zhǔn)的檢驗(yàn)圖像的部分中的像素?？稍卺槍?duì)樣本執(zhí)行的檢驗(yàn)的建立期間執(zhí)行使sem圖像與檢驗(yàn)圖像相關(guān)及表示檢驗(yàn)圖像中的結(jié)構(gòu)性信息。此外，相同結(jié)構(gòu)在陣列區(qū)中重復(fù)。為在檢驗(yàn)期間發(fā)現(xiàn)圖像中的相同結(jié)構(gòu)，可僅存儲(chǔ)基本結(jié)構(gòu)(例如，特定裸片位置處的陣列的圖塊圖像(patchimage))。圖塊圖像表示結(jié)構(gòu)性信息。

在另一實(shí)施例中，基于樣本的設(shè)計(jì)而確定結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性。以此方式，可通過(guò)設(shè)計(jì)文件獲得用于本文所描述的實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)性信息。舉例來(lái)說(shuō)，本文所描述的實(shí)施例可經(jīng)配置以運(yùn)用半導(dǎo)體設(shè)計(jì)文件(例如圖形數(shù)據(jù)流(gds)文件)來(lái)理解樣本上的結(jié)構(gòu)。類似于sem圖像，用戶可使設(shè)計(jì)圖案與光學(xué)圖像相關(guān)?？稍卺槍?duì)樣本執(zhí)行的檢驗(yàn)的建立期間執(zhí)行分析設(shè)計(jì)以確定結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性。用在本文所描述的實(shí)施例中的設(shè)計(jì)并不包含來(lái)自設(shè)計(jì)的任何經(jīng)渲染、合成或模擬的圖像。

在一些實(shí)施例中，分離輸出包含使樣本的設(shè)計(jì)與輸出相關(guān)及將一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性從設(shè)計(jì)傳送到與其相關(guān)的輸出。舉例來(lái)說(shuō)，通過(guò)使設(shè)計(jì)與檢驗(yàn)圖像相關(guān)，結(jié)構(gòu)性信息可從設(shè)計(jì)傳送到檢驗(yàn)圖像上。此相關(guān)可如本文進(jìn)一步描述那樣相對(duì)于sem圖像執(zhí)行。舉例來(lái)說(shuō)，圖3中展示的結(jié)構(gòu)性信息302可來(lái)自樣本的設(shè)計(jì)圖案。接著，來(lái)自設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)性信息可被指派到其已對(duì)準(zhǔn)的檢驗(yàn)圖像中的像素。以此方式，可通過(guò)從半導(dǎo)體設(shè)計(jì)獲得的檢驗(yàn)圖像與幾何形狀載送結(jié)構(gòu)性信息?？稍卺槍?duì)樣本執(zhí)行的檢驗(yàn)的建立期間執(zhí)行使設(shè)計(jì)與檢驗(yàn)圖像相關(guān)及表示檢驗(yàn)圖像中的結(jié)構(gòu)性信息。此外，相同結(jié)構(gòu)在陣列區(qū)中重復(fù)。為在檢驗(yàn)期間發(fā)現(xiàn)圖像中的相同結(jié)構(gòu)，可僅存儲(chǔ)基本結(jié)構(gòu)(例如，特定裸片位置處的陣列的圖塊圖像)。圖塊圖像表示結(jié)構(gòu)性信息。

在另一實(shí)施例中，分離輸出包含將一或多個(gè)規(guī)則應(yīng)用于所述輸出，且所述一或多個(gè)規(guī)則是基于不同類型的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)之間的一或多個(gè)特性中的差異。舉例來(lái)說(shuō)，可通過(guò)用戶知識(shí)獲得用在本文所描述的實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)性信息。以此方式，本文所描述的實(shí)施例可用來(lái)基于用戶知識(shí)而描述晶片結(jié)構(gòu)性信息。此外，檢驗(yàn)圖像可針對(duì)相同結(jié)構(gòu)而與如本文進(jìn)一步描述的sem圖像相比，接著可建立規(guī)則以識(shí)別檢驗(yàn)圖像中的結(jié)構(gòu)。以此方式，本文所描述的實(shí)施例可分析陣列區(qū)內(nèi)的圖案?？苫趶挠脩糨斎氲慕Y(jié)構(gòu)性信息而應(yīng)用多個(gè)規(guī)則。

在使用基于圖像的方法建立本文所描述的實(shí)施例期間，基于共同結(jié)構(gòu)圖案而識(shí)別陣列結(jié)構(gòu)的一組規(guī)則可被定義并編碼在軟件中。用戶可基于陣列結(jié)構(gòu)的圖像而輸入結(jié)構(gòu)信息。接著，計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可分析圖像強(qiáng)度、投影、變化及對(duì)稱且確定應(yīng)應(yīng)用哪一些規(guī)則以識(shí)別用于晶片上的此類型的陣列區(qū)的陣列結(jié)構(gòu)。這些步驟可針對(duì)一種類型的陣列結(jié)構(gòu)執(zhí)行且接著針對(duì)任何其它類型的陣列結(jié)構(gòu)重復(fù)。接著，計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可將規(guī)則保存到檢驗(yàn)配方中。在缺陷檢測(cè)期間，給定圖像，計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可將預(yù)定規(guī)則應(yīng)用于檢驗(yàn)子系統(tǒng)的輸出。由于陣列結(jié)構(gòu)重復(fù)，因此可計(jì)算多個(gè)重復(fù)的平均化圖像以減少圖像上的噪聲。接著，結(jié)構(gòu)可在輸出中進(jìn)行識(shí)別。

可以許多不同方式表示結(jié)構(gòu)性信息。舉例來(lái)說(shuō)，結(jié)構(gòu)性信息可根據(jù)灰階或灰階的空間關(guān)系或二進(jìn)制掩模來(lái)傳送及表示。此類表示的實(shí)例被展示在圖4到6中。舉例來(lái)說(shuō)，如圖4中所展示，灰階表示400可用來(lái)表示結(jié)構(gòu)性信息。此外，如圖5中所展示，空間關(guān)系500可用來(lái)表示與圖4中所展示相同的結(jié)構(gòu)性信息。舉例來(lái)說(shuō)，圖5的暗部分502可對(duì)應(yīng)于圖4中所展示具有“鋸齒形”或不對(duì)稱形狀的結(jié)構(gòu)，而白部分504可對(duì)應(yīng)于圖4中所展示具有對(duì)稱形狀的結(jié)構(gòu)。此外，如圖6中所展示，二進(jìn)制掩模600可用來(lái)表示與圖4中所展示相同的結(jié)構(gòu)性信息。

以此方式，可以許多不同方式執(zhí)行在運(yùn)行時(shí)間期間識(shí)別在含有不同結(jié)構(gòu)的樣本的不同部分中產(chǎn)生的輸出的不同部分。舉例來(lái)說(shuō)，如果在設(shè)計(jì)文件中識(shí)別結(jié)構(gòu)性信息，那么設(shè)計(jì)圖案可對(duì)準(zhǔn)于檢驗(yàn)圖像中的圖案，接著可識(shí)別檢驗(yàn)圖像中的結(jié)構(gòu)(其對(duì)應(yīng)于設(shè)計(jì)圖案中的結(jié)構(gòu)性信息)。此方法是一種類型的設(shè)計(jì)對(duì)圖像對(duì)準(zhǔn)。此外，在建立期間產(chǎn)生的含有結(jié)構(gòu)性信息的檢驗(yàn)圖像可與在運(yùn)行時(shí)間期間產(chǎn)生的檢驗(yàn)圖像相關(guān)。此方法是一種類型的圖像對(duì)圖像對(duì)準(zhǔn)。還可在軟件中對(duì)結(jié)構(gòu)性信息的規(guī)則進(jìn)行編程。在運(yùn)行時(shí)間，軟件可基于規(guī)則識(shí)別結(jié)構(gòu)性信息。此方法是一種圖像分析。

在一個(gè)實(shí)施例中，一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)經(jīng)配置用于基于針對(duì)形成在樣本上的一或多個(gè)獨(dú)特結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的輸出及獨(dú)特結(jié)構(gòu)與一或多個(gè)結(jié)構(gòu)之間的空間關(guān)系而將一或多個(gè)結(jié)構(gòu)定位在輸出中。因此，本文所描述的實(shí)施例提供一種用于像素對(duì)設(shè)計(jì)對(duì)準(zhǔn)的特定方法。舉例來(lái)說(shuō)，獨(dú)特結(jié)構(gòu)(例如隅角或分頁(yè)(pagebreak))可用于通過(guò)定義空間偏移定位非獨(dú)特(重復(fù))結(jié)構(gòu)。特定來(lái)說(shuō)，由于陣列(例如，sram)區(qū)中的圖案是密集且重復(fù)的，因此所述圖案在此區(qū)中不為獨(dú)特的且不利于對(duì)準(zhǔn)。接近存儲(chǔ)器區(qū)的非重復(fù)圖案接近陣列隅角。為執(zhí)行接近陣列隅角的對(duì)準(zhǔn)，可首先搜索對(duì)準(zhǔn)位置。因此，本文所描述的實(shí)施例不同于其中分析圖像的當(dāng)前使用的方法，這是因?yàn)榇朔椒ú⒉淮_保通過(guò)搜索發(fā)現(xiàn)的所有位置都接近期望區(qū)(例如sram隅角)。而是，本文所描述的實(shí)施例可使用設(shè)計(jì)信息。以此方式，sram隅角及設(shè)計(jì)中的其它獨(dú)特結(jié)構(gòu)可在設(shè)計(jì)文件中輕易識(shí)別。計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可經(jīng)配置以發(fā)現(xiàn)配方建立階段中的獨(dú)特結(jié)構(gòu)?？稍跈z驗(yàn)期間精選這些獨(dú)特結(jié)構(gòu)的位置。所述位置可用來(lái)識(shí)別檢驗(yàn)圖像中的結(jié)構(gòu)。舉例來(lái)說(shuō)，在對(duì)準(zhǔn)位置搜索期間，從設(shè)計(jì)文件產(chǎn)生的sram隅角可被提供到計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)。

以此方式，獨(dú)特結(jié)構(gòu)可用來(lái)幫助將樣本結(jié)構(gòu)的掩模與圖像對(duì)準(zhǔn)。舉例來(lái)說(shuō)，如圖11中所展示，在檢驗(yàn)過(guò)程的建立期間，陣列結(jié)構(gòu)外部的獨(dú)特結(jié)構(gòu)1100可被識(shí)別并與陣列區(qū)中的結(jié)構(gòu)的掩模1102配準(zhǔn)。換句話說(shuō)，可在建立期間確定獨(dú)特結(jié)構(gòu)與掩模之間的空間關(guān)系。以此方式，如圖12中所展示，在檢驗(yàn)期間，獨(dú)特結(jié)構(gòu)的圖像1200可與在建立期間獲得的獨(dú)特結(jié)構(gòu)圖像對(duì)準(zhǔn)且陣列結(jié)構(gòu)的掩模應(yīng)與圖像1204中的陣列結(jié)構(gòu)1202對(duì)準(zhǔn)。圖13說(shuō)明可由本文所描述的實(shí)施例使用的獨(dú)特結(jié)構(gòu)的額外實(shí)例。舉例來(lái)說(shuō)，獨(dú)特結(jié)構(gòu)可包含sram塊1302的sram隅角1300。

在一些實(shí)施例中，一或多個(gè)特性包含一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的重復(fù)間距。舉例來(lái)說(shuō)，陣列結(jié)構(gòu)的重復(fù)間距可為用來(lái)表示結(jié)構(gòu)的信息的部分(即，與本文描述的其它結(jié)構(gòu)性信息(例如對(duì)稱信息)組合)。然而，一般來(lái)說(shuō)，在本文所描述的實(shí)施例中，將不會(huì)單獨(dú)使用結(jié)構(gòu)的重復(fù)間距。

在另一實(shí)施例中，一或多個(gè)特性包含一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)拓?fù)涮匦?。以此方式，結(jié)構(gòu)性信息可包含拓?fù)湫畔?。拓?fù)湫畔?duì)于用在本文所描述的實(shí)施例中來(lái)說(shuō)是有利的，這是因?yàn)榇祟愋畔⒚枋鲈谔囟ㄗ儞Q(例如彎曲或拉伸)下保持不變的幾何形狀的性質(zhì)。因此，即使結(jié)構(gòu)的形狀或尺寸依據(jù)裝置而變化，用在本文所描述的實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)性信息仍可保持相同。

在一些實(shí)施例中，一或多個(gè)特性包含一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的對(duì)稱及不對(duì)稱特性。關(guān)于形成在樣本上的結(jié)構(gòu)的對(duì)稱信息是對(duì)于色彩變動(dòng)更穩(wěn)健的結(jié)構(gòu)性信息的一個(gè)實(shí)例。舉例來(lái)說(shuō)，如圖7中所展示，針對(duì)樣本的檢驗(yàn)圖像可包含對(duì)應(yīng)于第一結(jié)構(gòu)的水平不對(duì)稱強(qiáng)度700及對(duì)應(yīng)于不同于第一結(jié)構(gòu)的第二結(jié)構(gòu)的對(duì)稱強(qiáng)度702。如果圖像灰階用于使用此檢驗(yàn)圖像來(lái)描述第一結(jié)構(gòu)與第二結(jié)構(gòu)，那么亮強(qiáng)度對(duì)應(yīng)于第一結(jié)構(gòu)且暗強(qiáng)度對(duì)應(yīng)于第二結(jié)構(gòu)。強(qiáng)度與結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系的此描述適于圖7中所展示檢驗(yàn)圖像，但不適于圖9中所展示檢驗(yàn)圖像，其為針對(duì)與包含在圖7的檢驗(yàn)圖像中的區(qū)相同的區(qū)而產(chǎn)生。特定來(lái)說(shuō)，在圖9的檢驗(yàn)圖像中，暗強(qiáng)度900是水平不對(duì)稱的且對(duì)應(yīng)于第一結(jié)構(gòu)，而亮強(qiáng)度902是對(duì)稱的且對(duì)應(yīng)于第二結(jié)構(gòu)。對(duì)于圖8中展示的圖像，不對(duì)稱結(jié)構(gòu)800與對(duì)稱結(jié)構(gòu)802的形狀及灰階不同于圖7與9中展示的圖像。然而，對(duì)稱信息仍被保存在此圖像中。因而，無(wú)論灰階如何改變，對(duì)稱是較好、穩(wěn)健的描述符。舉例來(lái)說(shuō)，如果檢驗(yàn)子系統(tǒng)的光學(xué)器件模式被改變，那么結(jié)構(gòu)的灰階可顯著改變，而結(jié)構(gòu)的對(duì)稱特性及其在圖像中的對(duì)應(yīng)強(qiáng)度保持未改變。以此方式，本文所描述的實(shí)施例可經(jīng)配置以使用來(lái)自圖像與設(shè)計(jì)兩者的對(duì)稱信息來(lái)識(shí)別檢驗(yàn)子系統(tǒng)輸出中的不同結(jié)構(gòu)。

在另一實(shí)施例中，分離輸出包含確定用于輸出中的不同區(qū)域及針對(duì)晶片的設(shè)計(jì)的對(duì)稱分?jǐn)?shù)、將用于輸出的對(duì)稱分?jǐn)?shù)對(duì)準(zhǔn)于用于設(shè)計(jì)的對(duì)稱分?jǐn)?shù)，及基于對(duì)準(zhǔn)的結(jié)果及關(guān)于一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的哪一些對(duì)應(yīng)于用于設(shè)計(jì)的對(duì)稱分?jǐn)?shù)的信息來(lái)分離輸出。以此方式，本文所描述的實(shí)施例可經(jīng)配置用于基于對(duì)稱的對(duì)準(zhǔn)。舉例來(lái)說(shuō)，用于基于內(nèi)容背景的檢驗(yàn)(cbi)的關(guān)鍵促成工具(enabler)可為像素對(duì)設(shè)計(jì)對(duì)準(zhǔn)(pda)。在一個(gè)此實(shí)例中，cbi系統(tǒng)可渲染設(shè)計(jì)美工圖案(designclip)的圖像，且將其與對(duì)應(yīng)晶片圖像對(duì)準(zhǔn)。運(yùn)用相對(duì)好的pda，從設(shè)計(jì)產(chǎn)生的關(guān)注區(qū)可大體上精確地對(duì)準(zhǔn)于晶片圖像。

然而，設(shè)計(jì)美工圖案與晶片圖像具有大體上不同的模態(tài)。晶片印刷過(guò)程、晶片圖案與檢驗(yàn)系統(tǒng)之間的交互作用極為復(fù)雜。這些問(wèn)題使圖像渲染成為pda中的最困難的任務(wù)。雖然統(tǒng)計(jì)算法可用來(lái)在相對(duì)大的程度上減輕來(lái)自不合意的圖像渲染的影響，且提供對(duì)單個(gè)pda誤對(duì)準(zhǔn)的相當(dāng)大的緩沖，但對(duì)于用于很難渲染的設(shè)計(jì)美工圖案(例如接近sram區(qū)的區(qū))的處于子像素級(jí)的單個(gè)pda的需求是必然的。

通過(guò)對(duì)稱是許多設(shè)計(jì)美工圖案與檢驗(yàn)圖像中的幾何的基本特性的事實(shí)來(lái)激發(fā)基于對(duì)稱的對(duì)準(zhǔn)。此外，對(duì)稱往往對(duì)大的外觀改變比對(duì)圖像強(qiáng)度或梯度更不變。

基于對(duì)稱的對(duì)準(zhǔn)可包含用于每像素的對(duì)稱分?jǐn)?shù)的計(jì)算及對(duì)稱分?jǐn)?shù)的對(duì)準(zhǔn)。舉例來(lái)說(shuō)，計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可經(jīng)配置以確定來(lái)自設(shè)計(jì)中的圖案的第一對(duì)稱分?jǐn)?shù)及來(lái)自檢驗(yàn)圖像中的圖案的第二對(duì)稱分?jǐn)?shù)?？蓤?zhí)行對(duì)稱的計(jì)算以確定圖像區(qū)域(在繞軸翻轉(zhuǎn)時(shí))類似于另一圖像區(qū)域的程度。接著，計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)可通過(guò)第一對(duì)稱分?jǐn)?shù)與第二對(duì)稱分?jǐn)?shù)的相關(guān)來(lái)計(jì)算偏移。接著，可通過(guò)應(yīng)用偏移而使設(shè)計(jì)與檢驗(yàn)圖像對(duì)準(zhǔn)。對(duì)稱分?jǐn)?shù)的對(duì)準(zhǔn)是用以發(fā)現(xiàn)最佳子像素偏移，所述偏移可最大化設(shè)計(jì)美工圖案的對(duì)稱分?jǐn)?shù)與檢驗(yàn)圖像的對(duì)稱分?jǐn)?shù)之間的相關(guān)。

在一個(gè)實(shí)施例中，第一片段與第二片段被定位在一或多個(gè)關(guān)注區(qū)中。舉例來(lái)說(shuō)，本文所描述的實(shí)施例并不改變針對(duì)陣列檢驗(yàn)而選擇的關(guān)注區(qū)，其界定用于單元對(duì)單元檢驗(yàn)的區(qū)域。而是，掩?？捎迷陉嚵嘘P(guān)注區(qū)內(nèi)且指示不同檢測(cè)靈敏度。舉例來(lái)說(shuō)，對(duì)于裸片對(duì)裸片檢驗(yàn)，由于比較像素與另一裸片中的另一像素，因此裸片對(duì)裸片檢驗(yàn)并不要求指定鄰近信息，舉例來(lái)說(shuō)，用于單元對(duì)單元檢驗(yàn)的區(qū)。然而，對(duì)于陣列區(qū)域中的單元對(duì)單元檢驗(yàn)，比較像素與相同圖像中的另一像素。區(qū)域被明確用來(lái)指示用于單元對(duì)單元檢驗(yàn)的區(qū)。因此，本文所描述的實(shí)施例并不改變其中在陣列區(qū)中執(zhí)行檢驗(yàn)的區(qū)域或關(guān)注區(qū)。在其中執(zhí)行檢驗(yàn)的區(qū)域或關(guān)注區(qū)內(nèi)執(zhí)行本文所描述分割。

計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)還經(jīng)配置用于通過(guò)基于輸出是處于第一片段中還是處于第二片段中而將一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法應(yīng)用于輸出以檢測(cè)樣本上的缺陷。以此方式，本文所描述的實(shí)施例執(zhí)行使用結(jié)構(gòu)性信息的缺陷檢測(cè)。此外，一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法可被個(gè)別且獨(dú)立地應(yīng)用于輸出的不同片段。舉例來(lái)說(shuō)，在片段中的一者中執(zhí)行的缺陷檢測(cè)可不同于在不同片段的另一者中執(zhí)行的缺陷檢測(cè)。此外，缺陷檢測(cè)可不針對(duì)所有不同片段執(zhí)行。舉例來(lái)說(shuō)，取決于其輸出被包含在不同片段中的每一者中的結(jié)構(gòu)，缺陷檢測(cè)可在不同片段中的一者而非不同片段的另一者中執(zhí)行。

在額外實(shí)施例中，應(yīng)用缺陷檢測(cè)方法包含將具有第一組參數(shù)的一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法應(yīng)用于僅包含在第一片段中的輸出，及將具有不同于第一組參數(shù)的第二組參數(shù)的一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法應(yīng)用于僅包含在第二片段中的輸出。舉例來(lái)說(shuō)，可針對(duì)每一不同結(jié)構(gòu)產(chǎn)生不同噪聲統(tǒng)計(jì)值(取決于缺陷檢測(cè)方法，舉例來(lái)說(shuō)，針對(duì)當(dāng)前可購(gòu)自科磊公司的一些檢驗(yàn)系統(tǒng)使用的mdat缺陷檢測(cè)算法的差與中值灰階的2d直方圖)。相比之下，在當(dāng)前使用的方法中，可以區(qū)域?yàn)榛A(chǔ)(即，多結(jié)構(gòu)基礎(chǔ))計(jì)算噪聲統(tǒng)計(jì)值。因此，不同于當(dāng)前使用的方法，本文所描述的實(shí)施例允許缺陷檢測(cè)靈敏度個(gè)別適于針對(duì)不同結(jié)構(gòu)的噪聲。對(duì)于每一結(jié)構(gòu)，分割可用于將圖像進(jìn)一步分成有意義的區(qū)。如果干擾缺陷的數(shù)目在特定結(jié)構(gòu)或片段上是相對(duì)大的，那么用戶可為其結(jié)構(gòu)或片段設(shè)置較低靈敏度以抑制干擾缺陷。

第一組參數(shù)與第二組參數(shù)可包含相同缺陷檢測(cè)方法的一或多個(gè)不同參數(shù)或參數(shù)的值。舉例來(lái)說(shuō)，用于一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法的第一組參數(shù)可包含用于一個(gè)缺陷檢測(cè)算法的第一閾值，且用于一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法的第二組參數(shù)可包含用于相同缺陷檢測(cè)算法的第二閾值。在不同實(shí)例中，第一組參數(shù)可包含用于第一缺陷檢測(cè)算法的參數(shù)，且第二組參數(shù)可包含用于不同于第一缺陷檢測(cè)算法的第二缺陷檢測(cè)算法的參數(shù)。第一組參數(shù)與第二組參數(shù)可在任何其它方面不同，其將在輸出的不同片段中產(chǎn)生不同缺陷檢測(cè)。此外，本文所描述的實(shí)施例并不特定于任一缺陷檢測(cè)方法或任一類型的缺陷檢測(cè)。而是，本文所描述的實(shí)施例可搭配任何缺陷檢測(cè)方法起使用，所述缺陷檢測(cè)方法的參數(shù)可取決于其正被應(yīng)用于的輸出的片段而改變。

在另一實(shí)施例中，應(yīng)用于第一片段中的輸出的一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法具有不同于應(yīng)用于第二片段中的輸出的一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法的檢測(cè)靈敏度。舉例來(lái)說(shuō)，系統(tǒng)可使用結(jié)構(gòu)性信息來(lái)將不同缺陷檢測(cè)靈敏度及/或算法應(yīng)用于對(duì)應(yīng)于不同結(jié)構(gòu)的不同區(qū)。以此方式，不同檢測(cè)靈敏度及/或算法可基于其所關(guān)注程度而應(yīng)用于不同結(jié)構(gòu)。

在一個(gè)實(shí)施例中，應(yīng)用缺陷檢測(cè)方法包含僅基于第一片段中的輸出而確定針對(duì)所述第一片段的噪聲的一或多個(gè)特性，及基于噪聲的經(jīng)確定一或多個(gè)特性而確定一或多個(gè)缺陷檢測(cè)方法的一或多個(gè)參數(shù)。在一個(gè)此實(shí)例中，對(duì)于其中噪聲相對(duì)高的區(qū)，可應(yīng)用較低靈敏度。另一方面，在噪聲相對(duì)低的情況下，可應(yīng)用較高靈敏度。可在針對(duì)樣本的檢驗(yàn)的建立期間進(jìn)行確定用于檢測(cè)具有一或多個(gè)不同特性的不同結(jié)構(gòu)中的缺陷的靈敏度。

不同于其中噪聲統(tǒng)計(jì)值是從不同灰階產(chǎn)生的當(dāng)前使用的方法，在本文所描述的實(shí)施例中，可針對(duì)不同結(jié)構(gòu)產(chǎn)生不同噪聲統(tǒng)計(jì)值。舉例來(lái)說(shuō)，在當(dāng)前使用的方法中，可針對(duì)圖10中展示的整個(gè)檢驗(yàn)圖像產(chǎn)生噪聲統(tǒng)計(jì)值。然而，在本文所描述的實(shí)施例中，可針對(duì)檢驗(yàn)圖像中展示的不同結(jié)構(gòu)確定不同噪聲統(tǒng)計(jì)值。舉例來(lái)說(shuō)，可僅使用圖像的部分1000確定第一噪聲統(tǒng)計(jì)值，且可僅使用圖像的部分1002確定第二噪聲統(tǒng)計(jì)值。以此方式，可針對(duì)包含混合灰階的部分確定第一噪聲統(tǒng)計(jì)值，而可針對(duì)包含多黑灰階的部分確定第二噪聲統(tǒng)計(jì)值。在另一實(shí)例中，一旦結(jié)構(gòu)被識(shí)別，旋即可針對(duì)每一結(jié)構(gòu)建立噪聲統(tǒng)計(jì)值(例如2d直方圖，其通常包含差值與中值灰階)。接著，可基于每一結(jié)構(gòu)上的噪聲而應(yīng)用缺陷檢測(cè)參數(shù)。以此方式，不同于不基于用于樣本的結(jié)構(gòu)性信息而分離輸出使得相同缺陷檢測(cè)參數(shù)應(yīng)用于所有結(jié)構(gòu)的方法，運(yùn)用本文所描述的實(shí)施例，不同缺陷檢測(cè)參數(shù)可用于不同結(jié)構(gòu)。因此，大體上，本文所描述的實(shí)施例將已改進(jìn)缺陷檢測(cè)靈敏度。

以此方式，應(yīng)用如本文描述的缺陷檢測(cè)方法可為基于圖像的方法，其通過(guò)圖像分析使不同靈敏度能夠基于其在不同結(jié)構(gòu)(例如，p單元結(jié)構(gòu)或n單元結(jié)構(gòu))中的位置而應(yīng)用于陣列區(qū)中的像素。如果不同噪聲電平存在于不同結(jié)構(gòu)上，那么此方法將有效地抑制來(lái)自所關(guān)注非結(jié)構(gòu)(非soi)的干擾事件且將增強(qiáng)soi上的檢驗(yàn)靈敏度。

因此，由本文所描述的實(shí)施例應(yīng)用于輸出的缺陷檢測(cè)方法不同于當(dāng)前使用的缺陷檢測(cè)方法。舉例來(lái)說(shuō)，在一些當(dāng)前使用的方法中，可從soi與非soi建立像素統(tǒng)計(jì)值。由于噪聲在非soi上可為相對(duì)高的，因此可能無(wú)法檢測(cè)缺陷像素。舉例來(lái)說(shuō)，如圖14中所展示，當(dāng)前使用的缺陷檢測(cè)方法可產(chǎn)生像素統(tǒng)計(jì)值(例如像素計(jì)數(shù)與灰階差)，且可產(chǎn)生這些像素統(tǒng)計(jì)值的標(biāo)繪圖1400?？苫诖藰?biāo)繪圖中展示的像素統(tǒng)計(jì)值而確定檢測(cè)閾值1402。歸因于像素(例如，非soi像素)中的噪聲，基于這些統(tǒng)計(jì)值確定的檢測(cè)閾值可能過(guò)高，而無(wú)法檢測(cè)一些缺陷像素1404。因此，可能無(wú)法通過(guò)缺陷檢測(cè)方法檢測(cè)一些缺陷像素。

相比之下，本文所描述的實(shí)施例可應(yīng)用僅從非soi像素產(chǎn)生像素統(tǒng)計(jì)值的缺陷檢測(cè)方法，其中噪聲可為相對(duì)高的。缺陷檢測(cè)方法可從這些統(tǒng)計(jì)值產(chǎn)生圖15中展示的標(biāo)繪圖1500?；谶@些統(tǒng)計(jì)值，可確定檢測(cè)閾值1502。針對(duì)這些非soi像素確定的檢測(cè)閾值可為相對(duì)高的(即，相對(duì)低的靈敏度)，以避免將相對(duì)噪聲像素檢測(cè)為缺陷。此外，本文所描述的實(shí)施例可應(yīng)用僅從soi像素產(chǎn)生像素統(tǒng)計(jì)值的缺陷檢測(cè)方法，其中缺陷可被定位且其中噪聲是相對(duì)低的。缺陷檢測(cè)方法可從這些統(tǒng)計(jì)值產(chǎn)生圖16中展示的標(biāo)繪圖1600?；谶@些統(tǒng)計(jì)值，可確定檢測(cè)閾值1602。針對(duì)這些soi像素確定的檢測(cè)閾值可為相對(duì)低的(即，相對(duì)高的靈敏度)，使得缺陷像素1604可被檢測(cè)。以此方式，缺陷檢測(cè)方法可將缺陷像素檢測(cè)為缺陷，這是因?yàn)槿毕菹袼乜梢暂^低閾值檢測(cè)。

在一些實(shí)施例中，一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)經(jīng)配置用于確定其中檢測(cè)到缺陷的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)特性的值，并存儲(chǔ)經(jīng)確定值作為針對(duì)缺陷的缺陷屬性。舉例來(lái)說(shuō)，可針對(duì)每一缺陷計(jì)算結(jié)構(gòu)性信息作為缺陷屬性。以此方式，結(jié)構(gòu)信息可被指派到樣本上檢測(cè)到的缺陷。將結(jié)構(gòu)信息指派到缺陷可在運(yùn)行時(shí)間期間執(zhí)行。這些屬性可用在缺陷后處理中用于缺陷分類、分級(jí)或干擾事件移除。干擾過(guò)濾及/或缺陷分類可在運(yùn)行時(shí)間期間執(zhí)行。

本文所描述的實(shí)施例具有優(yōu)于當(dāng)前使用的用于檢驗(yàn)樣本的方法的許多優(yōu)點(diǎn)。舉例來(lái)說(shuō)，由于可從sem圖像或設(shè)計(jì)文件獲得結(jié)構(gòu)性信息，因此結(jié)構(gòu)性信息具有實(shí)際意義且比灰階信息更加良率相關(guān)。此外，對(duì)于不同裝置，結(jié)構(gòu)性信息可為不同的。可在配方建立期間定制結(jié)構(gòu)性信息的表示。此外，結(jié)構(gòu)性信息含有拓?fù)湫畔ⅲ鋵?duì)色彩變動(dòng)比簡(jiǎn)單灰階值更穩(wěn)健。因此，干擾抑制的效率可高得多。在一個(gè)此實(shí)例中，如果噪聲來(lái)自對(duì)稱結(jié)構(gòu)且目的是抑制此噪聲，那么因?yàn)楸疚乃枋龅膶?shí)施例可識(shí)別樣本上的對(duì)稱結(jié)構(gòu)，因此來(lái)自這些區(qū)的噪聲可被抑制。在另一此實(shí)例中，如果doi被定位在僅一種特定類型的結(jié)構(gòu)(例如，恰巧為對(duì)稱的結(jié)構(gòu))中，那么關(guān)于缺陷被定位在何種類型的結(jié)構(gòu)中的信息可用來(lái)將缺陷分離成doi及干擾。以此方式，使用結(jié)構(gòu)性信息的缺陷檢測(cè)可提供更加良率相關(guān)的檢驗(yàn)結(jié)果。此外，由于本文所描述的實(shí)施例并不使用設(shè)計(jì)的模擬或渲染圖像(例如，當(dāng)其將在形成于樣本上之后由檢驗(yàn)系統(tǒng)成像時(shí)設(shè)計(jì)的圖像)，因此本文所描述的實(shí)施例可用于晶片上的區(qū)，其中此模擬或渲染特別困難，例如接近sram區(qū)的區(qū)。以此方式，本文所描述的實(shí)施例可出于如本文所描述輸出分割的目的而執(zhí)行針對(duì)陣列區(qū)的像素對(duì)設(shè)計(jì)對(duì)準(zhǔn)，而不需要或使用模擬或渲染圖像。

另一實(shí)施例涉及一種用于基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷的計(jì)算機(jī)實(shí)施方法。所述方法包含上文所描述分離及檢測(cè)步驟。這些步驟是由一或多個(gè)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行，所述系統(tǒng)可根據(jù)本文所描述的實(shí)施例的中的任何者進(jìn)行配置。

上文所描述方法的實(shí)施例中的每一者可包含本文所描述任何其它方法的任何其它步驟。此外，上文所描述方法的實(shí)施例中的每一者可由本文所描述系統(tǒng)的中的任何者執(zhí)行。

本文描述的所有方法可包含將方法實(shí)施例的一或多個(gè)步驟的結(jié)果存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)媒體中。結(jié)果可包含本文所描述結(jié)果的中的任何者且可以所屬領(lǐng)域中已知的任何方式存儲(chǔ)。存儲(chǔ)媒體可包含本文描述的任何存儲(chǔ)媒體或所屬領(lǐng)域中已知的任何其它適當(dāng)存儲(chǔ)媒體。在結(jié)果已被存儲(chǔ)之后，所述結(jié)果可在存儲(chǔ)媒體中存取且由本文所描述方法或系統(tǒng)實(shí)施例的中的任何者使用、格式化用于顯示給用戶、由另一軟件模塊、方法或系統(tǒng)使用等等。

另一實(shí)施例涉及一種非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體，其存儲(chǔ)可在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上執(zhí)行的程序指令用于執(zhí)行計(jì)算機(jī)實(shí)施方法，所述方法用于基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷。一個(gè)此實(shí)施例被展示在圖17中。舉例來(lái)說(shuō)，如圖17中所展示，非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體1700存儲(chǔ)可在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1704上執(zhí)行以用于執(zhí)行計(jì)算機(jī)實(shí)施方法的程序指令1702，所述方法用于基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷。計(jì)算機(jī)實(shí)施方法可包含本文所描述任何方法的任何步驟。

實(shí)施方法(例如本文描述的方法)的程序指令1702可被存儲(chǔ)在非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體1700上。計(jì)算機(jī)可讀媒體可為存儲(chǔ)媒體，例如磁盤或光盤、磁帶或所屬領(lǐng)域中已知的任何其它適當(dāng)?shù)姆菚簳r(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體。

程序指令可以各種方式中的任何者實(shí)施，所述方式包含基于程序的技術(shù)、基于組件的技術(shù)及/或面向?qū)ο笫郊夹g(shù)以及其它方式。舉例來(lái)說(shuō)，程序指令可根據(jù)需要使用matlab、visualbasic、activex控件、c、c++對(duì)象、c#、javabeans、microsoft基礎(chǔ)類別(“mfc”)或其它技術(shù)或方法實(shí)施。

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1704可采取各種形式，其包含個(gè)人計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、工作站、系統(tǒng)計(jì)算機(jī)、圖像計(jì)算機(jī)、可編程圖像計(jì)算機(jī)、并行處理器或所屬領(lǐng)域中已知的任何其它裝置。一般來(lái)說(shuō)，術(shù)語(yǔ)“計(jì)算機(jī)系統(tǒng)”可經(jīng)廣泛定義以包含具有一或多個(gè)處理器的任何裝置，其執(zhí)行來(lái)自存儲(chǔ)器媒體的指令。

本發(fā)明的各種方面的更多修改及替代性實(shí)施例鑒于此描述而對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的。舉例來(lái)說(shuō)，提供用于基于結(jié)構(gòu)性信息而檢測(cè)樣本上的缺陷的系統(tǒng)及方法。因此，此描述應(yīng)被解釋為僅為說(shuō)明性且出于教示所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員實(shí)行本發(fā)明的一般方式的目的。應(yīng)了解，本文展示且描述的本發(fā)明的形式應(yīng)被采取作為當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施例。元件及材料可替代本文說(shuō)明及描述的元件及材料，部分及過(guò)程可顛倒，且本發(fā)明的特定特征可被獨(dú)立利用，所有這些對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員在受益于本發(fā)明的描述之后將是顯而易見。在不脫離如所附權(quán)利要求書中所描述的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可對(duì)本文描述的元件做出改變。