一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法
【專(zhuān)利摘要】一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法。獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上加工設(shè)備緩沖區(qū)待加工Lot的特征屬性；通過(guò)采集到的工件特征屬性，利用半導(dǎo)體加工工件排序復(fù)合規(guī)則，對(duì)待加工工件進(jìn)行排序，形成待合并工件族；再次，利用ES\RW2和MDBH相融合的調(diào)度算法對(duì)待合并工件族進(jìn)行排序，確定以拖期最小為優(yōu)化目標(biāo)的工件加工順序；最后，將待合并工件族按照排序的結(jié)果，送入加工設(shè)備進(jìn)行加工，計(jì)算當(dāng)前一輪不同訂單各Lot加權(quán)因子，為下一輪合并決策提供技術(shù)支撐作用。本發(fā)明通過(guò)優(yōu)化半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中不同訂單相同工藝Lot加工流程及合并相同工藝菜單Lot加工時(shí)間，將會(huì)提高整個(gè)系統(tǒng)生產(chǎn)效率，降低半導(dǎo)體生產(chǎn)平均加工周期與訂單拖期率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本本發(fā)明屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)調(diào)度與控制【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工 件合并方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 半導(dǎo)體制造業(yè)是一個(gè)對(duì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有重大戰(zhàn)略?xún)r(jià)值的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)，具有大規(guī)模， 高度不確定性，生產(chǎn)工藝復(fù)雜，約束復(fù)雜，多目標(biāo)等特點(diǎn)，在市場(chǎng)需求快速變化和全球化經(jīng) 濟(jì)競(jìng)爭(zhēng)加劇的情況下，半導(dǎo)體制造企業(yè)運(yùn)作最大化生產(chǎn)效益與效率成為亟待解決的重要問(wèn) 題。特別是針對(duì)大規(guī)模集成電路與特殊應(yīng)用型集成電路類(lèi)型的芯片，因?yàn)槠溆唵瘟看螅a(chǎn)品 種類(lèi)多等特點(diǎn)，更是需要在生產(chǎn)過(guò)程中做好調(diào)度優(yōu)化。
[0003] 目前，國(guó)內(nèi)外有大量針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)調(diào)度與控制方面的研究。先前多數(shù)研究都 著眼于瓶頸設(shè)備的判定與預(yù)測(cè)方面，以及批加工設(shè)備的調(diào)度問(wèn)題，而對(duì)基于工件合并的研 究比較少。其中，Liao在研究調(diào)度問(wèn)題時(shí)考慮了 Lot合并的可能性；Gupta和Sivakumar 利用上游工件到達(dá)時(shí)間和交貨期的信息，提出一種利用先驗(yàn)信息的批規(guī)則，并且注意到 Lot合并也可視為多個(gè)Lot組批成一個(gè)批的相似問(wèn)題JY Bang等提出了一種工廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn) 30%-40%的Lot不滿(mǎn)卡情況下的工件合并方法，并提出了一些同類(lèi)工件合并的規(guī)則。上述 方法或者缺少對(duì)工件合并的系統(tǒng)討論，或者在對(duì)不同訂單多種產(chǎn)品情況下的研究較少。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的目的在于公開(kāi)一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法，重點(diǎn)在于通過(guò)對(duì) 不同訂單，相同工藝菜單的工件的合并，提高了半導(dǎo)體的生產(chǎn)線(xiàn)的加工效率，降低半導(dǎo)體生 產(chǎn)平均加工周期與訂單拖期率。針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)訂單數(shù)量大、產(chǎn)品種類(lèi)多等特點(diǎn)，提出一種 動(dòng)態(tài)優(yōu)化產(chǎn)品加權(quán)因子的思想，在每一輪工件合并之后通過(guò)計(jì)算各訂單對(duì)應(yīng)產(chǎn)品加工進(jìn)度 確定訂單各Lot加權(quán)因子，為下一輪合并決策提供技術(shù)支撐，利用閉環(huán)控制思想優(yōu)化各訂 單的加工進(jìn)度。
[0005] 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案。
[0006] -種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法，該方法包含以下步驟：
[0007] 步驟1 :采集半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上處于緩沖區(qū)待加工Lot信息，獲取半導(dǎo)體待加工Lot 的特征屬性（待合并Lot晶圓數(shù)、交貨期松緊度、工件剩余加工時(shí)間，Lot加權(quán)因子）；
[0008] 步驟2 :利用步驟1中采集的待加工lot信息和半導(dǎo)體加工工件復(fù)合排序規(guī)則，對(duì) 緩沖區(qū)待加工工件進(jìn)行排序，形成待合并工件族；
[0009] 步驟2. 1，按照工件排序規(guī)則對(duì)緩沖區(qū)待加工的不滿(mǎn)卡的Lot進(jìn)行排序；其中排序 規(guī)則有：
[0010] 規(guī)則1，降序首次適應(yīng)規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot中晶圓數(shù)量由大到小進(jìn)行排 序，對(duì)排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止。
[0011] 規(guī)則2,升序首次適應(yīng)規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot中晶圓數(shù)量由小到大進(jìn)行排 序，對(duì)排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止。
[0012] 規(guī)則 3,首次適應(yīng)ES/RW2 (estimated slack time per remaining work2)規(guī)則，對(duì) 不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot的ES/RW2值進(jìn)行排序，其中ES/RW2值是刻畫(huà)某一 Lot緊急程度的 綜合指標(biāo)，ES/RW2值越小，越緊急；對(duì)排序之后Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并， 直到不能繼續(xù)為止。
[0013] 規(guī)則 4,首次適應(yīng) MDBH(modified dynamic batching heuristic)規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡 的Lot按照Lot的MDBH值進(jìn)行排序，其中MDBH值刻畫(huà)了機(jī)器空閑時(shí)待加工工件的平均松 弛時(shí)間，當(dāng)一機(jī)器空閑時(shí)，選擇平均松弛時(shí)間最小的一組lot進(jìn)行合并。對(duì)排序之后的Lot 序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止。
[0014] 規(guī)則5,基于等待時(shí)間的背包問(wèn)題求解規(guī)則。通過(guò)解決以下0-1背包問(wèn)題，來(lái)選擇 哪些Lot進(jìn)行合并。

【權(quán)利要求】
1. 一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法，其特征在于：該方法包含以下步驟， 步驟1 :采集半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上處于緩沖區(qū)待加工Lot信息，獲取半導(dǎo)體待加工Lot的特 征屬性； 步驟2 :利用步驟1中采集的待加工lot信息和半導(dǎo)體加工工件復(fù)合排序規(guī)則，對(duì)緩沖 區(qū)待加工工件進(jìn)行排序，形成待合并工件族； 步驟2. 1，按照工件排序規(guī)則對(duì)緩沖區(qū)待加工的不滿(mǎn)卡的Lot進(jìn)行排序；其中排序規(guī)則 有： 規(guī)則1，降序首次適應(yīng)規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot中晶圓數(shù)量由大到小進(jìn)行排序，對(duì) 排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 規(guī)則2,升序首次適應(yīng)規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot中晶圓數(shù)量由小到大進(jìn)行排序，對(duì) 排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 規(guī)則3,首次適應(yīng)ES/RW2規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot的ES/RW2值進(jìn)行排序，其中ES/RW2值是刻畫(huà)某一Lot緊急程度的綜合指標(biāo)，ES/RW2值越小，越緊急；對(duì)排序之后Lot序 列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 規(guī)則4,首次適應(yīng)MDBH規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot的MDBH值進(jìn)行排序，其中MDBH值刻畫(huà)了機(jī)器空閑時(shí)待加工工件的平均松弛時(shí)間，當(dāng)一機(jī)器空閑時(shí)，選擇平均松弛時(shí)間最 小的一組lot進(jìn)行合并；對(duì)排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不 能繼續(xù)為止； 規(guī)則5,基于等待時(shí)間的背包問(wèn)題求解規(guī)則；通過(guò)解決以下0-1背包問(wèn)題，來(lái)選擇哪些Lot進(jìn)行合并；

其中，η是等待隊(duì)列中Lot的數(shù)量;Wk是第k個(gè)Lot等待時(shí)間，ak是Lotk的大小即晶 圓數(shù)；b是一個(gè)滿(mǎn)卡Lot的容量如25片，xk為布爾量，0表示選擇，1表示不選擇；利用動(dòng)態(tài) 規(guī)劃法解決這個(gè)背包問(wèn)題； 對(duì)排序之后Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 規(guī)則6,基于ES/RW2值的背包問(wèn)題求解規(guī)則，此背包問(wèn)題求解目標(biāo)變?yōu)椋?br> 即使得越緊急的工件越先合并加工；以此為目標(biāo)，求解背包問(wèn)題輸出一個(gè)待合并Lot的排序；對(duì)排序之后Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 步驟2. 2對(duì)緩沖區(qū)待加工的滿(mǎn)卡Lot，將其與已合并的lot組一起移動(dòng)至步驟2. 3 ; 步驟2. 3.對(duì)已合并的lot工件組，計(jì)算每一工件組的平均松弛時(shí)間，將平均松弛時(shí)間 乘以動(dòng)態(tài)優(yōu)化加權(quán)因子，將lot工件組按其值由大到小排列； 步驟2. 4.利用迭代法優(yōu)化步驟2. 3輸出的Lot 在每一次合并決策完成后，通過(guò)lot重要性判定規(guī)則，在剩下的待合并Lot中選出一個(gè)Lot,標(biāo)記為虛擬Lot; LlN丄ΛI(xiàn)八?J> ，J、I^ Z/OJA
以上是lot重要性判定規(guī)則，分別表示lotj的重要程度；其中X(J)是Lotj所屬相同產(chǎn)品家族，并且在相同機(jī)器上的Lot;Y(j)是Lotj所屬相同產(chǎn)品家族，并且在所有 機(jī)器上的Lot;Z(j)是Lotj相同機(jī)器上所有其他產(chǎn)品族的Lot;選出每一組<值最 大的lot為虛擬lot; 步驟2. 5.確定步驟2. 4虛擬Lot的準(zhǔn)備時(shí)間 重置虛擬lot的準(zhǔn)備時(shí)間，并將這些Lot作為待合并的Lot再次加入到前一次合并決 策中；重復(fù)上述過(guò)程直到合并目標(biāo)沒(méi)有改進(jìn)； 步驟3 :確定步驟2輸出工件族加工順序 步驟3. 1在串行機(jī)上，對(duì)已合并的Lot工件族，利用ES/RW2規(guī)則確定Lot優(yōu)先級(jí)，優(yōu)先 級(jí)如下決定：
對(duì)于Lot:^屯是受貨期，t是當(dāng)如時(shí)刻，即調(diào)度決策時(shí)刻；]^是Loti中加工時(shí)間最少 的Lot的序列號(hào)；Wi是剩余加工工作量；h1是Loti和Ii之差； 對(duì)于某一待合并的Lot工件族，其ES\RW2值越小，加工優(yōu)先級(jí)越高； 步驟3. 2對(duì)于批處理機(jī)，利用MDBH規(guī)則確定已合并Lot工件族的加工順序； 選擇同一產(chǎn)品族中松弛時(shí)間最小的進(jìn)行加工；如果緩沖區(qū)中已合并lot數(shù)大于或等 于批處理機(jī)最大加工能力，則將已合并lot組批加工；否則，選擇方案：1.將等待隊(duì)列中的 lot組批加工；2.等待即將到達(dá)的lot再組批加工；優(yōu)先選擇兩者中加權(quán)等待時(shí)間小的方 案； 步驟4動(dòng)態(tài)反饋計(jì)算步驟3輸出不同訂單各Lot權(quán)重因子 步驟4. 1計(jì)算當(dāng)前所有訂單各產(chǎn)品族的完工比率T1 (j) 步驟4. 2取當(dāng)前輪平均完工比率fT= (Hn)YlTlU) 步驟4. 3計(jì)算下一輪訂單各Lot的權(quán)重因子P(j+1) // + l) = ^(./) + ?x(f(./)-7;(./)) 其中α作為不同訂單間的權(quán)重因子，加入到Lot權(quán)重因子計(jì)算中去。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法，其特征在于：所述 獲取半導(dǎo)體待加工Lot的特征屬性即待合并Lot晶圓數(shù)、交貨期松緊度、工件剩余加工時(shí) 間，Lot加權(quán)因子。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法，其特征在于：所述 重置虛擬lot的準(zhǔn)備時(shí)間，并將這些Lot作為待合并的Lot再次加入到前一次合并決策中 即將前一次合并結(jié)果與這幾個(gè)虛擬的Lot視作一個(gè)待合并組，再一次按之前的合并目標(biāo)做 一次合并決策。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)多產(chǎn)品工件合并方法，其特征在于：為了 更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，以下對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式做進(jìn)一步介紹； 以半導(dǎo)體生產(chǎn)調(diào)度標(biāo)準(zhǔn)模型HP24為例具體實(shí)施；該模型由24個(gè)加工中心組成，共有 72臺(tái)設(shè)備，部分設(shè)備詳細(xì)參數(shù)如表1所示； 表1標(biāo)準(zhǔn)模型HP24中的部分設(shè)備參數(shù)
在PlantSimulation仿真平臺(tái)上采用HP24標(biāo)準(zhǔn)模型進(jìn)行仿真，其中派工規(guī)則采用FIFO(，投料策略采用C0NWIP，仿真時(shí)間設(shè)為1445小時(shí)，預(yù)仿真時(shí)間設(shè)為365小時(shí)； 具體包括如下步驟： 步驟1 :采集半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上處于緩沖區(qū)待加工Lot信息，獲取半導(dǎo)體待加工Lot的特 征屬性，待合并Lot晶圓數(shù)、交貨期松緊度、工件剩余加工時(shí)間，Lot加權(quán)因子； 以下給出所用到參數(shù)的的定義： 工件平均加工周期：包含工件平均加工時(shí)間和等待時(shí)間； 設(shè)備利用率：設(shè)定范圍為[〇, 1]; 24臺(tái)設(shè)備各緩沖區(qū)排隊(duì)隊(duì)長(zhǎng)：緩沖區(qū)工件容量設(shè)為無(wú)窮大； 工件種類(lèi)：定義有100種工件； 加工優(yōu)先級(jí)：設(shè)定為只跟工件類(lèi)型有關(guān)； 交貨期松緊程度：設(shè)定為只與工件類(lèi)型相關(guān)； 工件待加工操作的加工時(shí)間：工件還需在生產(chǎn)設(shè)備上加工時(shí)間； 工件總的剩余加工時(shí)間：工件待加工操作的加工時(shí)間與等待時(shí)間之和； 設(shè)備故障時(shí)間、設(shè)備維修時(shí)間：以固定間隔時(shí)間發(fā)生； 工件等待時(shí)間：為工件在每臺(tái)設(shè)備緩沖區(qū)等待時(shí)間之和； 工件的各自完工數(shù)目：以到達(dá)回收站Drain為完成加工； 工件的總加工時(shí)間以及平均加工時(shí)間：工件的總加工時(shí)間分別除以各自完工數(shù)目即為 工件的平均加工時(shí)間； 工件拖期率：截止到訂單交貨期時(shí)，未完工總工件數(shù)/訂單要求總共件數(shù)； 步驟2 :利用步驟1中采集的待加工lot信息和半導(dǎo)體加工工件復(fù)合排序規(guī)則，對(duì)緩沖 區(qū)待加工工件進(jìn)行排序，形成待合并工件族； 步驟2. 1，按照工件排序規(guī)則對(duì)緩沖區(qū)待加工的不滿(mǎn)卡的Lot進(jìn)行排序；其中排序規(guī)則 有： 規(guī)則1，降序首次適應(yīng)規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot中晶圓數(shù)量由大到小進(jìn)行排序，對(duì) 排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 降序首次適應(yīng)規(guī)則示例： 某一緩沖區(qū)待合并Lot中Lot晶圓數(shù)3 14 5 7 15 23 6 4 2 按照降序排列之后 23 15 14 7 6 5 4 3 2 合并組 （23 2) (15 7 3) (14 6 5) (4) 規(guī)則2,升序首次適應(yīng)規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot中晶圓數(shù)量由小到大進(jìn)行排序，對(duì) 排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 升序首次適應(yīng)規(guī)則示例： 某一緩沖區(qū)待合并Lot中Lot晶圓數(shù)3 14 5 7 15 23 6 4 2 按照升序排列之后 2 3 4 5 6 7 14 15 23 合并組 （2 3 4 5 6) (7 14) (15) (23) 規(guī)則3,首次適應(yīng)ES/RW2規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot的ES/RW2值進(jìn)行排序，其中ES/RW2值是刻畫(huà)某一Lot緊急程度的綜合指標(biāo)，ES/RW2值越小，越緊急；對(duì)排序之后Lot序 列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 規(guī)則示例： 方框內(nèi)為ES/RW2屬性值 某一緩沖區(qū)待合并Lot中Lot晶圓數(shù) 3[0. 9] 14[0.3] 5[0.6] 7[0.7] 15[0.8] 23 [0. 4] 6[0. 2] 4[0. 7] 2[0, 3] 按照升序排列之后 6 [0.2] 2 [0.3] 14 [0.3] 23 [0.4] 5 [0.6] 4 [0.7] 7 [0.7] 15 [0.8] 3 [0.9] 合并組 （6 [0· 2] 2 [0· 3] 14 [0· 3]) (23 [0· 4]) (5 [0· 6] 4 [0· 7] 7[0· 7]) (15[0· 8] 3[0· 9]) 規(guī)則4,首次適應(yīng)MDBH規(guī)則，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot按照Lot的MDBH值進(jìn)行排序，其中MDBH值刻畫(huà)了機(jī)器空閑時(shí)待加工工件的平均松弛時(shí)間，當(dāng)一機(jī)器空閑時(shí)，選擇平均松弛時(shí)間最 小的一組lot進(jìn)行合并；對(duì)排序之后的Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不 能繼續(xù)為止； 規(guī)則5,基于等待時(shí)間的背包問(wèn)題求解規(guī)則；其基本思想是，對(duì)不滿(mǎn)卡的Lot的排序相 當(dāng)于求解一個(gè)背包問(wèn)題，通過(guò)合并那些等待時(shí)間最長(zhǎng)的Lot，來(lái)減少總的加工時(shí)間；通過(guò)解 決以下一個(gè)令等待時(shí)間最大的0-1背包問(wèn)題，來(lái)選擇哪些Lot進(jìn)行合并；
(Subject to)^",MkXk <b 其中，n是等待隊(duì)列中Lot的數(shù)量;Wk是第k個(gè)Lot等待時(shí)間，ak是Lotk的大小；b是 一個(gè)Lot的容量，Xk為布爾量，0選擇，1不選擇；利用動(dòng)態(tài)規(guī)劃法可解決這個(gè)背包問(wèn)題； 規(guī)則示例： 對(duì)排序之后Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 某一待合并Lot中Lot晶圓數(shù)：3, 14, 5, 7, 15, 23, 6, 4, 2 待合并Lot對(duì)應(yīng)等待時(shí)間：437, 1412, 691，1735, 1985, 1234, 1735, 962, 450 求解背包問(wèn)題所得到的合并組：（3, 14, 5, 2) (7, 15) (6, 4) (23) 規(guī)則6,基于ES/RW2的背包問(wèn)題求解規(guī)則，此背包問(wèn)題求解目標(biāo)變?yōu)椋?br> 即使得越緊急的工件越先合并進(jìn)行加工；以此為目標(biāo)，求解背包問(wèn)題輸出一個(gè)待合并Lot的排序；對(duì)排序之后Lot序列按放滿(mǎn)25片晶圓的目標(biāo)進(jìn)行合并，直到不能繼續(xù)為止； 步驟2. 2對(duì)緩沖區(qū)待加工的滿(mǎn)卡Lot，將其與已合并的lot組一起移動(dòng)至步驟2. 3 ; 步驟2. 3.對(duì)已合并的lot工件組，計(jì)算每一工件組的平均松弛時(shí)間，將平均松弛時(shí)間 乘以動(dòng)態(tài)優(yōu)化加權(quán)因子，將lot工件組按其值由大到小排列； 步驟2. 4.利用迭代法優(yōu)化步驟2. 3輸出的Lot 在每一次合并決策完成后，通過(guò)lot重要性判定規(guī)則，在剩下的待合并Lot中選出一個(gè)Lot,標(biāo)記為虛擬Lot;
以上是lot重要性判定規(guī)則，巧，分別表示lotj的重要程度；其中X(J)是Lotj所屬相同產(chǎn)品家族，并且在相同機(jī)器上的Lot;Y(j)是Lotj所屬相同產(chǎn)品家族，并且在所有 機(jī)器上的Lot;Z(j)是Lotj相同機(jī)器上所有其他產(chǎn)品族的Lot;選出每一組$值最 大的lot為虛擬lot; 步驟2. 5.確定步驟2. 4虛擬Lot的準(zhǔn)備時(shí)間 重置虛擬lot的準(zhǔn)備時(shí)間，并將這些Lot作為待合并的Lot再次加入到前一次合并決 策中；重復(fù)上述過(guò)程直到合并目標(biāo)沒(méi)有改進(jìn)； 某一待合并Lot中Lot晶圓數(shù) 3 14 5 7 15 23 6 4 2 合并組 （23 2) (15 7 3) (14 6 5) (4) 定義取出虛擬Lot中晶圓數(shù)為8 重新按照降序排列合并 則新的排序組為23 15 14 8 7 6 5 4 3 2 新的合并組變?yōu)楹喜⒔M（23 2) (15 8 7) (14 6 5) (4 3) 步驟3 :確定步驟2輸出工件族加工順序 步驟3. 1在串行機(jī)上，對(duì)已合并的Lot工件族，利用ES/RW2規(guī)則確定Lot優(yōu)先級(jí)，優(yōu)先 級(jí)如下決定： -t+a-h I P：{n：+\)) IWnS-p^\ 對(duì)于Lot:^屯是受貨期，t是當(dāng)如時(shí)刻，即調(diào)度決策時(shí)刻；I1是Loti中加工時(shí)間最少 的Lot的序列號(hào)；Wi是剩余加工工作量；h1是Loti和Ii之差； 對(duì)于某一待合并的Lot工件族，其ES\RW2值越小，加工優(yōu)先級(jí)越高； 步驟3. 2對(duì)于批處理機(jī)，利用MDBH規(guī)則確定已合并Lot工件族的加工順序； 選擇同一產(chǎn)品族中松弛時(shí)間最小的進(jìn)行加工；如果緩沖區(qū)中已合并lot數(shù)大于或等 于批處理機(jī)最大加工能力，則將已合并lot組批加工；否則，選擇方案：1)將等待隊(duì)列中的 lot組批加工；2)等待即將到達(dá)的lot再組批加工；優(yōu)先選擇兩者中加權(quán)等待時(shí)間小的方 案； 步驟4動(dòng)態(tài)反饋計(jì)算步驟3輸出不同訂單各Lot權(quán)重因子 步驟4. 1計(jì)算當(dāng)前所有訂單各產(chǎn)品族的完工比率 定義訂單1，2, 3, 4的α取值分別為〇. 98 0. 99 0. 98 0. 99 T1 (1) = 0. 74T2 (1) = 0. 65T3 (1) = 0. 69T4 (1) = 0. 72 步驟4. 2取當(dāng)前輪平均完工比率
步驟4. 3計(jì)算下一輪訂單各Lot的權(quán)重因子P(j+1) =P!(j) +aX(T(J)-T1(J)) T1 (2) = 0· 74+0. 98X (0· 7-0. 74) = 0· 7008 T2 (2) = 0. 65+0. 99X (0. 7-0. 65) = 0. 6995 T3 (2) = 0· 69+0. 98X (0· 7-0. 69) = 0· 6998 T4 (2) = 0· 72+0. 99X (0· 7-0. 72) = 0· 7002 其中α作為不同訂單間的權(quán)重因子，加入到Lot權(quán)重因子計(jì)算中去。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK104460590SQ201410573275
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月23日
【發(fā)明者】曹政才, 黃哲驍, 郝井華, 劉民 申請(qǐng)人:北京化工大學(xué)