一種基于擴(kuò)散爐的進(jìn)出舟裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐領(lǐng)域，具體涉及一種基于擴(kuò)散爐的進(jìn)出舟裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。擴(kuò)散爐由控制系統(tǒng)、進(jìn)出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。
[0003]擴(kuò)散形成P-N結(jié)是太陽(yáng)能電池片的關(guān)鍵工藝，而擴(kuò)散爐是太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的重大設(shè)備之一。在擴(kuò)散工藝中引入對(duì)人體有毒害的氣體及產(chǎn)生有毒害尾氣，會(huì)對(duì)人體造成極大的危害，在保證工藝的條件下，建立太陽(yáng)能電池片自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)，提高設(shè)備的自動(dòng)化程度，減少人工對(duì)設(shè)備的干預(yù)，是設(shè)備生產(chǎn)廠(chǎng)家的主要目標(biāo)。
[0004]特別是進(jìn)出舟系統(tǒng)，是實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散爐到插片機(jī)的過(guò)渡機(jī)構(gòu)，通過(guò)該機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)石英舟在擴(kuò)散爐到插片機(jī)以及插片機(jī)到擴(kuò)散爐的自由對(duì)接，從而形成自動(dòng)一體化，提高生產(chǎn)效率。
[0005]然而現(xiàn)有的進(jìn)出舟系統(tǒng)，設(shè)備存在整機(jī)和配件價(jià)格高昂、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、維修不便等問(wèn)題，故研制生產(chǎn)成本低廉、運(yùn)行可靠、維護(hù)方便的進(jìn)出舟系統(tǒng)是業(yè)內(nèi)亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種基于擴(kuò)散爐的進(jìn)出舟裝置，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)一體化，提高生產(chǎn)效率。
[0007]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:提供一種基于擴(kuò)散爐的進(jìn)出舟裝置，該進(jìn)出舟裝置上安裝有用于放置硅片的石英舟，該石英舟通過(guò)進(jìn)出舟裝置在擴(kuò)散爐與插片機(jī)之間往返，該進(jìn)出舟裝置包括:
[0008]載體，其包括底板和設(shè)置在底板上的定位件，該石英舟與定位件配合安裝，該石英舟通過(guò)定位件固定在底板上；
[0009]運(yùn)輸平臺(tái)，其包括運(yùn)輸軌道和動(dòng)力機(jī)構(gòu)，該動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)置在運(yùn)輸軌道上，該載體放置在運(yùn)輸軌道上，并通過(guò)動(dòng)力機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)在運(yùn)輸軌道上往返；
[0010]感應(yīng)單元，其設(shè)置在運(yùn)輸平臺(tái)上，其包括石英舟感應(yīng)器和硅片感應(yīng)器，該動(dòng)力機(jī)構(gòu)根據(jù)石英舟感應(yīng)器和硅片感應(yīng)器的反饋信息帶動(dòng)在運(yùn)輸軌道上往返。
[0011]其中，較佳方案是:該運(yùn)輸軌道包括左右兩側(cè)的導(dǎo)向條、若干用于將導(dǎo)向條固定連接的間距定位塊。
[0012]其中，較佳方案是:該動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在導(dǎo)向條兩端的轉(zhuǎn)輪、用于連接兩端轉(zhuǎn)輪的運(yùn)輸皮帶和用于帶動(dòng)轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，該運(yùn)輸皮帶覆蓋在導(dǎo)向條上，該載體放置在運(yùn)輸皮帶上，并通過(guò)運(yùn)輸皮帶的帶動(dòng)在運(yùn)輸平臺(tái)上往返。
[0013]其中，較佳方案是:該動(dòng)力機(jī)構(gòu)還包括聯(lián)軸器，該聯(lián)軸器設(shè)置在同端的兩個(gè)轉(zhuǎn)輪之間。
[0014]其中，較佳方案是:該電機(jī)為三相可逆式電機(jī)。
[0015]其中，較佳方案是:還包括一控制單元，該控制單元分別與電機(jī)和感應(yīng)單元連接。
[0016]其中，較佳方案是:該運(yùn)輸軌道還包括設(shè)置在該導(dǎo)向條一端的限位件和設(shè)置在該導(dǎo)向條另一端的緩沖輪。
[0017]其中，較佳方案是:該運(yùn)輸軌道還包括設(shè)置在限位件上的定位開(kāi)關(guān)。
[0018]其中，較佳方案是:該定位件包括設(shè)置在底板兩端的擋板和設(shè)置在擋板上的支撐塊，該石英舟設(shè)置在擋板之間，并與支撐塊配合安裝。
[0019]其中，較佳方案是:該擋板上設(shè)有與石英舟抵觸的第一石英墊，該支撐塊上設(shè)有與石英舟抵觸的第二石英墊。
[0020]本實(shí)用新型的有益效果在于，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)計(jì)一種基于擴(kuò)散爐的進(jìn)出舟裝置，石英舟通過(guò)運(yùn)輸平臺(tái)將載體上，實(shí)現(xiàn)在擴(kuò)散爐與插片機(jī)之間往返，從而形成生產(chǎn)自動(dòng)一體化，提高生產(chǎn)效率；同時(shí)進(jìn)出舟裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，其具有生產(chǎn)成本低廉、運(yùn)行可靠、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0021]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，附圖中:
[0022]圖1是本實(shí)用新型進(jìn)出舟裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是本實(shí)用新型運(yùn)輸平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0024]圖3是本實(shí)用新型運(yùn)輸平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；
[0025]圖4是本實(shí)用新型載體的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]現(xiàn)結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明。
[0027]如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種進(jìn)出舟裝置的優(yōu)選實(shí)施例。
[0028]—種基于擴(kuò)散爐的進(jìn)出舟裝置，進(jìn)出舟裝置上安裝有用于放置硅片50的石英舟40，石英舟40通過(guò)進(jìn)出舟裝置在擴(kuò)散爐與插片機(jī)之間往返，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化。其中，進(jìn)出舟裝置包括載體10、運(yùn)輸平臺(tái)20和感應(yīng)單元30，具體是:
[0029]載體10包括底板11和設(shè)置在底板11上的定位件12，石英舟40與定位件12配合安裝，石英舟40通過(guò)定位件12固定在底板11上；
[0030]運(yùn)輸平臺(tái)20包括運(yùn)輸軌道21和動(dòng)力機(jī)構(gòu)22，動(dòng)力機(jī)構(gòu)22設(shè)置在運(yùn)輸軌道21上，載體10放置在運(yùn)輸軌道21上，并通過(guò)動(dòng)力機(jī)構(gòu)22的帶動(dòng)在運(yùn)輸軌道21上往返；
[0031]感應(yīng)單元30設(shè)置在運(yùn)輸平臺(tái)20上，用于檢測(cè)、反饋石英舟40的位置信息和硅片50的放置情況信息，動(dòng)力機(jī)構(gòu)22根據(jù)感應(yīng)單元30的反饋信息帶動(dòng)在運(yùn)輸軌道21上往返。
[0032]如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型提供一種運(yùn)輸平臺(tái)的較佳實(shí)施例。
[0033]運(yùn)輸平臺(tái)20包括運(yùn)輸軌道21和動(dòng)力機(jī)構(gòu)22。
[0034]對(duì)于運(yùn)輸軌道21，運(yùn)輸軌道21包括左右兩側(cè)的導(dǎo)向條211、若干用于將導(dǎo)向條211固定連接的間距定位塊212、設(shè)置在導(dǎo)向條211 —端的限位件213和設(shè)置在導(dǎo)向條211另一端的緩沖輪214。具體地，運(yùn)輸軌道21包括平行設(shè)置的第一導(dǎo)向條2111和第二導(dǎo)向條2112 ;第一導(dǎo)向條2111和第二導(dǎo)向條2112之間通過(guò)間距定位塊212進(jìn)行固定，確保第一導(dǎo)向條2111和第二導(dǎo)向條2112的穩(wěn)固及間距；限位件213分別設(shè)置在第一導(dǎo)向條2111和第二導(dǎo)向條2112的后端，用于防止載體10滑出；緩沖輪214分別設(shè)置在第一導(dǎo)向條2111和第二導(dǎo)向條2112的前端，防止載體10與運(yùn)輸軌道21的接觸，提高運(yùn)輸穩(wěn)定性。
[0035]其中，運(yùn)輸軌道21還包括設(shè)置在限位件213上的定位開(kāi)關(guān)225，載體10運(yùn)輸?shù)较尬患?13時(shí)，載體10通過(guò)定位開(kāi)關(guān)225進(jìn)行定位，并在完成相關(guān)工藝操作后，定位開(kāi)關(guān)225松開(kāi)載體10，保證載體10在工藝操作過(guò)程中穩(wěn)定。
[0036]其中，導(dǎo)向條211優(yōu)選為50模組的軌道。
[0037]對(duì)于動(dòng)力機(jī)構(gòu)22，動(dòng)力機(jī)構(gòu)22包括設(shè)置在導(dǎo)向條211兩端的轉(zhuǎn)輪221、用于連接兩端轉(zhuǎn)輪221的運(yùn)輸皮帶222和用于帶動(dòng)轉(zhuǎn)輪221轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)223，該載體10放置在運(yùn)輸皮帶222上，并通過(guò)運(yùn)輸皮帶222的帶動(dòng)在運(yùn)輸平臺(tái)20上往返。具體地，轉(zhuǎn)輪221包括設(shè)置在導(dǎo)向條211兩端的前端轉(zhuǎn)輪2211和后端轉(zhuǎn)輪2212 ;運(yùn)輸皮帶222分別連接其中一條導(dǎo)向條211兩端的前端轉(zhuǎn)輪2211和后端轉(zhuǎn)