硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種硅片烘烤的控制方法，包括：獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)；按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間；將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比；當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，則控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警。本發(fā)明的技術(shù)方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制裝置和控制系統(tǒng)中，將不同烘箱的烘烤時(shí)間集中管理，方便工程人員進(jìn)行監(jiān)控和管理。
【專利說明】硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路制造工藝中，常常需要進(jìn)行將硅片放入烘烤的操作。不同工藝和不同產(chǎn)品需要進(jìn)行的烘烤的方式和烘烤時(shí)長(zhǎng)不同，使得現(xiàn)有的烘箱設(shè)備種類不一，操作方式也各不相同，監(jiān)控方式也不同。并且，在實(shí)際的工廠設(shè)置中，由于不同的烘烤所處的工藝階段不同，不同的烘箱很可能位于不同的產(chǎn)房。
[0003]目前傳統(tǒng)的方式中在烘烤過程中針對(duì)每個(gè)烘箱設(shè)定定時(shí)器，每個(gè)定時(shí)器設(shè)定不同烘烤時(shí)間以監(jiān)控對(duì)應(yīng)的烘箱。這樣的方式，不便于對(duì)位于不同位置的不同類型的烘箱的烘烤工藝進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，不利于生產(chǎn)的進(jìn)行。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)傳統(tǒng)方式中，不同烘箱單獨(dú)控制不利于生產(chǎn)進(jìn)行的問題，本發(fā)明提供一種硅片烘烤的控制方法，包括:
[0005]獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)；
[0006]按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間；
[0007]將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比；
[0008]當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，則控制與與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述獲取烘箱的結(jié)束時(shí)間的步驟包括:
[0010]分別獲取用戶輸入的每個(gè)所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)和烘烤開始時(shí)間；
[0011 ] 根據(jù)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)和烘烤開始時(shí)間計(jì)算出對(duì)應(yīng)烘箱的所述烘烤結(jié)束時(shí)間。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述方法還包括:
[0013]當(dāng)不存在所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，則返回至所述按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間的步驟。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述當(dāng)烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警的步驟為:
[0015]當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，生成控制指令，并將所述控制指令發(fā)送至控制電路，所述控制電路通過所述控制指令控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱的報(bào)警器報(bào)警。
[0016]本發(fā)明還提供了一種硅片烘烤控制裝置，所述裝置包括:
[0017]烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊，用于獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)；
[0018]當(dāng)前時(shí)間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間；
[0019]時(shí)間對(duì)比模塊，用于將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比；
[0020]控制指令生成模塊，用于當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，生成控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警的指令。
[0021]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊還包括:
[0022]烘烤時(shí)長(zhǎng)獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)；
[0023]烘烤開始時(shí)間獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱進(jìn)行烘烤的開始時(shí)間；
[0024]計(jì)算模塊，用于根據(jù)每個(gè)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)單元中的烘烤時(shí)長(zhǎng)和當(dāng)前時(shí)間計(jì)算出對(duì)應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時(shí)間。
[0025]本發(fā)明另提供了一種硅片烘烤的控制系統(tǒng)，包括硅片烘烤控制裝置、控制電路和多個(gè)與烘箱對(duì)應(yīng)的報(bào)警器；所述硅片烘烤控制裝置包括:
[0026]烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊，用于獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)；
[0027]當(dāng)前時(shí)間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間；
[0028]時(shí)間對(duì)比模塊，用于將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比；
[0029]控制指令生成模塊，用于當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，生成控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警的指令；
[0030]所述控制電路與所屬硅片烘烤裝置連接，用于接收所述指令，通過所述指令控制與所述烘箱對(duì)應(yīng)的報(bào)警器報(bào)警。
[0031]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊還包括:
[0032]烘烤時(shí)長(zhǎng)獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)；
[0033]烘烤開始時(shí)間獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱進(jìn)行烘烤的開始時(shí)間；
[0034]計(jì)算模塊，用于根據(jù)每個(gè)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)單元中的烘烤時(shí)長(zhǎng)和當(dāng)前時(shí)間計(jì)算出對(duì)應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時(shí)間。
[0035]本發(fā)明的技術(shù)方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制裝置和控制系統(tǒng)中，將不同烘箱的烘烤時(shí)間集中管理，方便工程人員進(jìn)行監(jiān)控和管理。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]圖1為一個(gè)實(shí)施例中提供的硅片烘烤的控制方法的流程圖；
[0037]圖2為一個(gè)實(shí)施例中提供的硅片烘烤的控制方法的實(shí)施原理圖；
[0038]圖3是一個(gè)實(shí)施例中提供的硅片烘烤的控制系統(tǒng)的方框圖。

【具體實(shí)施方式】
[0039]圖1是本實(shí)施例提供的硅片烘烤的控制方法的流程圖。具體的，所述硅片烘烤的控制方法的步驟包括:
[0040]執(zhí)行步驟SllO:獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)；
[0041]執(zhí)行步驟S120:按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間；
[0042]執(zhí)行步驟S130:將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比；
[0043]當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，
[0044]則執(zhí)行步驟S140:控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警。
[0045]圖2所示為本實(shí)施提供的烘烤的控制方法的實(shí)施原理示意圖。如圖2所示，由硅片烘烤的控制系統(tǒng)發(fā)送指令給控制電路，以控制不同的烘箱上的報(bào)警器。其中，每個(gè)烘箱分別對(duì)應(yīng)一個(gè)報(bào)警器，如烘箱I對(duì)應(yīng)報(bào)警器1，烘箱2對(duì)應(yīng)報(bào)警器2，……，(其它依此類推)。所述硅片烘烤的控制方法主要利用主線程控制若干子線程的多線程技術(shù)進(jìn)行。
[0046]以下結(jié)合圖1和圖2，詳細(xì)介紹本實(shí)施提供的所述硅片烘烤的控制方法的具體實(shí)施情況。具體如下:
[0047]執(zhí)行步驟SllO:獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)；
[0048]在本實(shí)施例中，主線程將所獲取的某個(gè)烘箱對(duì)應(yīng)的結(jié)束時(shí)間依次存放入一個(gè)存儲(chǔ)數(shù)組，同時(shí)對(duì)應(yīng)所述結(jié)束時(shí)間在所述存儲(chǔ)數(shù)組中的地址對(duì)應(yīng)建立一個(gè)子線程。相應(yīng)的，每個(gè)子線程即對(duì)應(yīng)一個(gè)進(jìn)行烘烤工藝的烘箱。
[0049]執(zhí)行步驟S120:按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間；
[0050]在本實(shí)施例中，所述當(dāng)前時(shí)間為計(jì)算機(jī)上的時(shí)間，在其它實(shí)施例中，所述當(dāng)前時(shí)間也可以為按固定頻率記錄次數(shù)的計(jì)算線程的當(dāng)前次數(shù)。
[0051]所述獲取當(dāng)前時(shí)間的操作由主線程控制完成。具體的，所述主線程中設(shè)置當(dāng)前時(shí)間單元，并按照一定周期去獲取當(dāng)前時(shí)間，并實(shí)時(shí)更新記錄在當(dāng)前時(shí)間單元。
[0052]所述周期可以設(shè)置為0.0ls?ls，具體可為運(yùn)行主線程的CPU周期的整數(shù)倍。
[0053]具體的，本實(shí)施例中，進(jìn)行步驟SllO的同時(shí)也在進(jìn)行步驟S120。得到所述烘箱的結(jié)束時(shí)間的方式為:操作人員對(duì)應(yīng)烘箱輸入所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)，主線程再根據(jù)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)和當(dāng)前時(shí)間計(jì)算得到所述結(jié)束時(shí)間。
[0054]其中，所述當(dāng)前時(shí)間也處于實(shí)時(shí)變化之中，具體為開始啟動(dòng)所述烘箱的烘烤的當(dāng)前時(shí)間。相應(yīng)的，所述結(jié)束時(shí)間也實(shí)時(shí)變化，具體為開始啟動(dòng)所述烘箱的烘烤時(shí)的當(dāng)前時(shí)間和烘烤時(shí)長(zhǎng)計(jì)算得到的結(jié)束時(shí)間。
[0055]執(zhí)行步驟S130:將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比；
[0056]所述主線程周期性的被觸發(fā)進(jìn)行當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間的對(duì)比，其中，所述主線程每次獲取并更新一次當(dāng)前時(shí)間就進(jìn)行一次對(duì)比。每次對(duì)比為依次比較當(dāng)前時(shí)間和存儲(chǔ)在存儲(chǔ)數(shù)組中的結(jié)束時(shí)間，并判斷當(dāng)前時(shí)間和所述結(jié)束時(shí)間是否相同。
[0057]當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同，則執(zhí)行步驟S140:控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警。
[0058]所述控制烘箱報(bào)警的方式為與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱所對(duì)應(yīng)的子線程的輸出指令傳輸?shù)娇刂齐娐?，使所述控制電路觸發(fā)所述烘箱對(duì)應(yīng)的報(bào)警器發(fā)出提醒音。
[0059]每個(gè)子線程對(duì)應(yīng)一個(gè)烘箱，所述子線程的輸出與子線程對(duì)應(yīng)的烘箱所對(duì)應(yīng)的指令，且通過通訊線程傳輸?shù)娇刂齐娐罚瑫r(shí)，所述子線程結(jié)束運(yùn)行，并且，所述子線程對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間也不再參與與當(dāng)前時(shí)間的對(duì)比。
[0060]所述控制電路根據(jù)從通訊線程接受到的子線程的指令，觸發(fā)所述子線程所對(duì)應(yīng)的烘箱上的報(bào)警器。
[0061]本實(shí)施例提供的硅片烘烤的控制方法中，將不同烘箱的烘烤時(shí)間集中管理，方便工程人員進(jìn)行監(jiān)控和管理。
[0062]在本實(shí)施例中，采用將所述烘箱的結(jié)束時(shí)間放入主線程控制的存儲(chǔ)單元中，然后周期性的依次和當(dāng)前時(shí)間比較的方式，不需要在每個(gè)子線程中設(shè)置變量，節(jié)省硬件資源和減少運(yùn)行時(shí)間。
[0063]另外，本實(shí)施例中，還可以在輸入結(jié)束時(shí)間的時(shí)候，同時(shí)輸入相對(duì)應(yīng)的娃片的相關(guān)信息，同時(shí)傳入服務(wù)器中的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，便于工程人員同一管理和統(tǒng)計(jì)。
[0064]基于上述硅片烘烤的控制方法，本實(shí)施例提供了一種硅片烘烤的控制系統(tǒng)，如圖3所示。
[0065]所述硅片烘烤的控制系統(tǒng)包括烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊901、當(dāng)前時(shí)間獲取模塊902、時(shí)間對(duì)比模塊903、控制指令生成模塊904、控制電路905和報(bào)警器906。
[0066]所述烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊901用于獲取烘箱的結(jié)束時(shí)間，至少為一個(gè)，分別對(duì)應(yīng)不同的烘箱。
[0067]所述當(dāng)前時(shí)間獲取模塊902用于周期性的獲取當(dāng)前時(shí)間。
[0068]所述時(shí)間對(duì)比模塊903用于周期性的比較每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊901中的結(jié)束時(shí)間和當(dāng)前時(shí)間獲取模塊902中的當(dāng)前時(shí)間，并判斷所述結(jié)束時(shí)間和當(dāng)前時(shí)間是否相同；
[0069]所述控制指令生成模塊904用于在判斷所述結(jié)束時(shí)間和當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，發(fā)出指令給控制電路905，使所述控制電路905觸發(fā)所述結(jié)束時(shí)間對(duì)應(yīng)的所述烘箱上的報(bào)警器906
發(fā)出提醒音。
[0070]本實(shí)施例中，所述烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊901包括烘烤時(shí)長(zhǎng)獲取模塊和計(jì)算模塊。其中，所述烘烤時(shí)長(zhǎng)獲取模塊用于分別獲取每個(gè)所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)；所述計(jì)算模塊，用于根據(jù)每個(gè)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)獲取模塊中的烘烤時(shí)長(zhǎng)和當(dāng)前時(shí)間計(jì)算出對(duì)應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時(shí)間。
[0071]所述控制指令生成模塊904在判斷所述結(jié)束時(shí)間和當(dāng)前時(shí)間相同后，還用于繼續(xù)進(jìn)行周期性的比較其它所述結(jié)束時(shí)間和當(dāng)前時(shí)間，并判斷其它所述結(jié)束時(shí)間和當(dāng)前時(shí)間是否相同。其中，所述當(dāng)前時(shí)間獲取模塊902周期性的獲取當(dāng)前時(shí)間的周期與所述比較判斷單元周期性的依次比較當(dāng)前時(shí)間和所述時(shí)間的周期是同步的。
[0072]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片烘烤的控制方法，其特征在于，包括: 獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)； 按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間； 將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比； 當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，則控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警。
2.如權(quán)利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述獲取烘箱的結(jié)束時(shí)間的步驟包括: 分別獲取用戶輸入的每個(gè)所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)和烘烤開始時(shí)間； 根據(jù)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)和烘烤開始時(shí)間計(jì)算出對(duì)應(yīng)烘箱的所述烘烤結(jié)束時(shí)間。
3.如權(quán)利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述方法還包括: 當(dāng)不存在所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，則返回至所述按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間的步驟。
4.如權(quán)利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述當(dāng)烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警的步驟為: 當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，生成控制指令，并將所述控制指令發(fā)送至控制電路，所述控制電路通過所述控制指令控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱的報(bào)警器報(bào)警。
5.一種硅片烘烤的控制裝置，其特征在于，所述裝置包括: 烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊，用于獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)； 當(dāng)前時(shí)間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間； 時(shí)間對(duì)比模塊，用于將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比； 控制指令生成模塊，用于當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，生成控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警的指令。
6.如權(quán)利要求5所述的控制裝置，其特征在于，所述烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊還包括: 烘烤時(shí)長(zhǎng)獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)； 烘烤開始時(shí)間獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱進(jìn)行烘烤的開始時(shí)間； 計(jì)算模塊，用于根據(jù)每個(gè)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)單元中的烘烤時(shí)長(zhǎng)和當(dāng)前時(shí)間計(jì)算出對(duì)應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時(shí)間。
7.一種硅片烘烤的控制系統(tǒng)，其特征在于，包括硅片烘烤控制裝置、控制電路和多個(gè)與烘箱對(duì)應(yīng)的報(bào)警器；所述硅片烘烤控制裝置包括: 烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊，用于獲取至少一個(gè)烘箱的烘烤結(jié)束時(shí)間，每個(gè)所述烘烤結(jié)束時(shí)間分別與每個(gè)所述烘箱對(duì)應(yīng)； 當(dāng)前時(shí)間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時(shí)間間隔獲取當(dāng)前時(shí)間； 時(shí)間對(duì)比模塊，用于將所述當(dāng)前時(shí)間與每個(gè)烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間進(jìn)行對(duì)比； 控制指令生成模塊，用于當(dāng)所述烘箱對(duì)應(yīng)的烘烤結(jié)束時(shí)間與所述當(dāng)前時(shí)間相同時(shí)，生成控制與當(dāng)前時(shí)間相同的所述烘烤結(jié)束時(shí)間所對(duì)應(yīng)的烘箱報(bào)警的指令； 所述控制電路與所屬硅片烘烤裝置連接，用于接收所述指令，通過所述指令控制與所述烘箱對(duì)應(yīng)的報(bào)警器報(bào)警。
8.如權(quán)利要求7所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述烘烤結(jié)束時(shí)間獲取模塊還包括: 烘烤時(shí)長(zhǎng)獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱的烘烤時(shí)長(zhǎng)； 烘烤開始時(shí)間獲取模塊，用于分別獲取每個(gè)所述烘箱進(jìn)行烘烤的開始時(shí)間； 計(jì)算模塊，用于根據(jù)每個(gè)所述烘烤時(shí)長(zhǎng)單元中的烘烤時(shí)長(zhǎng)和當(dāng)前時(shí)間計(jì)算出對(duì)應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時(shí)間。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK104423346SQ201310390935
【公開日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】顧漢玉 申請(qǐng)人:華潤(rùn)賽美科微電子(深圳)有限公司