專利名稱：一種氣路控制方法和裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及工業(yè)過程控制技術領域，特別是涉及一種針對氣路進行控制的 方法和裝置。
背景技術：
在工業(yè)過程控制中，對于氣體流量的控制是一個重要組成部分。例如，在 半導體行業(yè)中，通過對氣體控制一定的流量，并通過加載射頻功率，從而在反 應室內達到致使氣體起輝的目的。由于通入氣體流量的穩(wěn)定性直接影響到氣體 起輝以及工藝的結果，因此，在現(xiàn)有技術中一般通過質量流量控制器來對氣體 流量進行一定的控制。
質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，閥門能使通過控 制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程。MFC—般釆用PID控制，PID控制就是 根據(jù)系統(tǒng)的誤差，利用比例、積分、微分計算出控制量進行控制的。在調節(jié)系 統(tǒng)中，其過程控制方式就是將被測量參數(shù)，如溫度、壓力、流量、成分、水位 等，由傳感器變換成統(tǒng)一的標準信號送入調節(jié)器，在調節(jié)器中，與給定值進行 比較，然后把比較出的差值進行PID運算。
現(xiàn)有技術一般都是直接進行簡單的指令控制開關閥門、確定流量，等待 氣體流量的穩(wěn)定，然后再進行工藝運行。雖然簡單方便，但是存在以下的缺陷
1、 一般氣路中既包括閥門又包括MFC,而氣動閥從接受控制指令到執(zhí)行 的時間遠遠小于MFC從接受控制指令到執(zhí)行的時間(內部延時)，從而導致受 控器件的動作時間不可控。
2、 由于上述的簡單控制會導致每次進行通氣時，在MFC兩端的氣體存在 較大的壓差，而又由于MFC釆用PID運算，從而導致其反饋誤差較大，致使完 成通氣穩(wěn)定的時間較長，工藝效率低下。首次通氣，在MFC的進氣口形成較大 的氣體壓力，MFC在原有壓力平衡的基礎上進行氣體流量調節(jié)，調節(jié)的過程較 長并且存在較大的調節(jié)幅度波動。
進而，由于通氣的不穩(wěn)定因素，致使力口載射頻電壓進行氣體起輝時比較困 難，且會對工藝過程造成一定的影響，造成刻蝕晶片的效果不好(一般也稱之為首片效應)。
總之，目前需要本領域技術人員迫切解決的一個技術問題就是如何才能 創(chuàng)造性的提出一種能夠克服硬件控制誤差、縮短通氣穩(wěn)定時間以及減弱首片效 應的氣路控制解決方案。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種高效、平穩(wěn)的氣路控制方法和裝 置，能夠克服硬件控制誤差、縮短通氣穩(wěn)定時間以及減弱首片效應。
為了解決上述問題，本發(fā)明公開了一種開啟和關閉氣路的控制方法，包括
當執(zhí)行開啟氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí) 行以下操作通知開啟后閥；設定質量流量控制器的流量；通知開啟前閥；
當執(zhí)行關閉氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí) 行以下操作設定質量流量控制器的流量為0;延時預置的第一時間后通知關 閉后闊，所述第一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延 時時間；延時預置第二時間后通知關閉前閥，所述第二時間與前閥內部延時時 間之和大于質量流量控制器的內部延時時間。
優(yōu)選的，當執(zhí)行開啟氣路操作時，還可以包括判斷主管路控制閥是否已 打開，如果否，則通知開啟主管贈、拴制閥。
優(yōu)選的，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還可以包括記錄各個氣路的開關狀態(tài)； 設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關；判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀 態(tài)，如果是，則通知關閉主管路控制閥。
優(yōu)選的，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還可以包括啟動后閥的關閉線程，所 述后閥關閉線程用于延時預置第一時間后通知關閉后閥；啟動前閥的關閉線 程，所述前閥關閉線程用于延時預置第二時間后通知關閉前閥。
依據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選實施例，還公開了一種氣路控制方法，包括獲取 待控制氣路的上一次流量設定值以及本次流量設定值；比較上一次流量設定值 與本次流量設定值；如果差值的絕對值小于或者等于一定閾值，則不予進行流 量控制操作；如果差值的絕對值大于一定閾值，則選擇執(zhí)行下述一操作
A、如果需要執(zhí)行開啟氣路操作，則針對該氣路的前闊、后閥以及質量流量控制器執(zhí)行以下操作通知開啟后閥；設定質量流量控制器的流量；通知開 啟前閥；
B、 如果需要執(zhí)行關閉氣路操作，則針對該氣路的前閥、后閥以及質量流 量控制器執(zhí)行以下操作設定質量流量控制器的流量為0;延時預置的第一時 間后通知關閉后閥，所述第 一 時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制 器的內部延時時間；延時預置第二時間后通知關閉前閥，所述第二時間與前閥 內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間；
C、 否則，設定質量流量控制器的流量，通知質量流量控制器在上一次流 量設定值的基礎上進行流量調節(jié)。
優(yōu)選的，當執(zhí)行開啟氣路操作時，還可以包括判斷主管路控制閥是否已 打開，如果否，則通知開啟主管鴻、檢制閥。
優(yōu)選的，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還可以包括記錄各個氣路的開關狀態(tài)； 設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關；判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀 態(tài)，如果是，則通知關閉主管路控制閥。
優(yōu)選的，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還可以包括啟動后閥的關閉線程，所 述后閥關閉線程用于延時預置第 一時間后通知關閉后閥；啟動前閥的關閉線 程，所述前閥關閉線程用于延時預置第二時間后通知關閉前閥。
依據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選實施例，還公開了一種開啟和關閉氣路的控制裝 置，包括
氣路開啟控制單元，包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，
用于通知開啟該氣路后閥的模塊；
用于設定該氣路質量流量控制器流量的模塊；
以及用于通知開啟該氣路前閥的對莫塊； 氣路關閉控制單元，包括當執(zhí)行關閉氣路操作時，
用于設定該氣路質量流量控制器的流量為0的模塊；
用于延時預置的第 一時間后通知關閉后閥的模塊，所述第 一時間與 后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時間；
用于延時預置第二時間后通知關閉前閥的才莫塊，所述第二時間與前
8閥內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間。
優(yōu)選的，所述氣路開啟控制單元還可以包括主管路控制閥開啟模塊，用
于判斷主管路控制閥是否已打開，如果否，則通知開啟主管路控制閥。
優(yōu)選的，所述氣路關閉控制單元還包括主管路控制閥關閉模塊，包括 記錄子模塊，用于記錄各個氣路的開關狀態(tài)； 狀態(tài)設定子模塊，用于設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關； 判斷子模塊，用于判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀態(tài)，如果是，則
通知關閉主管路控制閥。
依據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選實施例，還公開了一種氣路控制裝置，包括 信息獲取單元，用于獲取待控制氣路的上一次流量設定值以及本次流量設
定值；
比較判斷單元，用于比較上一次流量設定值與本次流量設定值；如果差值 的絕對值小于或者等于一定闊值，則不予進行流量控制操作；如果差值的絕對 值大于一定閾值，則選擇觸發(fā)執(zhí)行下述一單元
氣路開啟控制單元，包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，用于通知開啟該氣路 后闊的模塊，用于設定該氣路質量流量控制器流量的模塊，用于通知開啟該氣 路前閥的模塊；
氣路關閉控制單元，包括當執(zhí)行關閉氣路操作時，用于設定該氣路質量 流量控制器的流量為0的模塊；用于延時預置的第一時間后通知關閉后閥的模 塊，所述第一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時 間；用于延時預置第二時間后通知關閉前閥的模塊，所述第二時間與前閥內部 延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間；
質量流量控制器控制單元，用于設定質量流量控制器的流量，通知質量流 量控制器在上一次流量設定值的基礎上進行流量調節(jié)。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點
本發(fā)明采用了軟件控制的解決方案，不需要改進現(xiàn)有的硬件設備或者增加 新的特殊硬件，通過對開氣和關氣過程的不同控制，可以實現(xiàn)在半導體設備氣體流量的快速穩(wěn)定氣體輸出和關閉，消除了質量流量控制器的內部延時調整造 成的影響，有效的減弱通氣不穩(wěn)的首片效應，達到了較好的控制效果。
本發(fā)明改進了現(xiàn)有的通氣流程和關氣流程，并且二者相互作用導致的有效 結果就是使在各種情況下，MFC前后氣體壓力一致，有效的避免了存在壓力差
的條件時的MFC (氣體質量流量控制器)的輸出震蕩問題。
進一步，本發(fā)明通過比較本次流量設定值與上次流量設定值，進而確定相 應的流量控制方案，可以減少硬件操作時間，從而減弱氣體流量變化時的調節(jié) 時間，進一步提高工藝效率。


圖1是一種常用的氣路控制系統(tǒng)示意圖2是本發(fā)明一種開啟和關閉氣路的控制方法實施例的步驟流程圖； 圖3是本發(fā)明一種氣路控制方法的實施例的步驟流程圖； 圖4和圖5是本發(fā)明一種氣路控制方法的具體例子的詳細流程圖； 圖6是本發(fā)明一種開啟和關閉氣路的控制裝置實施例的結構框圖； 圖7是本發(fā)明一種氣路控制裝置的實施例的結構框圖。
具體實施例方式
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細的說明。
本發(fā)明可用于眾多通用或專用的計算系統(tǒng)環(huán)境或配置中。例如個人計算 機、服務器計算機、手持設備或便攜式設備、平板型設備、多處理器系統(tǒng)、基 于微處理器的系統(tǒng)、置頂盒、可編程的消費電子設備、網(wǎng)絡PC、小型計算機、 大型計算機、包括以上任何系統(tǒng)或設備的分布式計算環(huán)境等等。
本發(fā)明可以在由計算機執(zhí)行的計算機可執(zhí)行指令的 一般上下文中描述，例 如程序模塊。 一般地，程序模塊包括執(zhí)行特定任務或實現(xiàn)特定抽象數(shù)據(jù)類型的 例程、程序、對象、組件、數(shù)據(jù)結構等等。也可以在分布式計算環(huán)境中實踐本 發(fā)明，在這些分布式計算環(huán)境中，由通過通信網(wǎng)絡而被連接的遠程處理設備來 執(zhí)行任務。在分布式計算環(huán)境中，程序模塊可以位于包括存儲設備在內的本地 和遠程計算機存儲介質中。參照圖1,示出了一種常用的氣路控制系統(tǒng)示意圖，圖中的工業(yè)控制計算
機101控制工業(yè)生產(chǎn)線103，涉及到N條氣路的控制，所述N條氣if各(Gasl、 Gas2，…，GasN)通過一個主管路控制閥Vc與反應腔102相連。每條氣路上 包括依次相連的前閥(VIO、 V20、 VNO)、質量流量控制器MFC、后閥(Vll、 V21、 VN1)，然后連接到主管路控制閥Vc。
其中，質量流量控制器MFC可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、 特種材料學科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科學研究和生產(chǎn)中，其典型應 用有電子工藝設備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和 濺射，以及微反應裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀 以及其它分析儀器。相應的，本發(fā)明也可以應用在上述的各個領域中。
參照圖2,示出了本發(fā)明一種開啟和關閉氣路的控制方法實施例，應用在 圖l所示的控制系統(tǒng)中，該實施例具體可以包括以下步驟
當執(zhí)行開啟氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí) 行以下操作
步驟201、通知開啟后閥VN1;
步驟202、設定質量流量控制器MFC的流量；
步驟203、通知開啟前閥VNO;
當執(zhí)行關閉氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí) 行以下操作
步驟204、延時預置的第一時間后通知關閉后閥VN1，所述第一時間與后 閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時間； 步驟205、設定質量流量控制器MFC的流量為0;
步驟206、延時預置第二時間后通知關閉前閥VNO,所述第二時間與前閥 內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間。
在圖2所示的實施例中，針對開啟氣路和關閉氣路采用了不同的閥門控制 流程，二者的相互配合作用，有效的降低了 MFC前后的壓力差，避免了存在壓 力差的條件時的MFC的輸出震蕩問題。在關閉氣路時，通過預置的第一時間和第二時間的延時，可以保證先關閉
后閥VN1，然后將MFC的流量調整到0,最后關閉前閥VNO;并且基本可以保 證三個動作執(zhí)行的時間比較接近，以方便控制和記錄動作的具體執(zhí)行時間。正 是由于這樣的關閉順序，可以使MFC在本氣路關閉后，其兩側的壓力與管路壓 力(或者說氣源壓力)基本一致。因為MFC在進行流量調整到0的過程中氣體 仍可以通過MFC，在此期間維持了 MFC前后的壓力基本一致。但是當完全關閉 后，氣源的壓力小范圍的變化不能作用在MFC的兩側，所以說是和氣源的壓力 基本一致。
在上述關閉氣路的基礎上，當開啟氣路時，依次完成步驟201、 202、 203, 但是由于MFC存在內部動作執(zhí)行的延時，所以實際動作執(zhí)行的順序應該是后閥 VN1和前閥VNO先開，而MFC是后調整到設定流量的，這樣的開啟順序就可以 保證在MFC進行流量的調整時，后閥VN1 —側的壓力接近于反應腔體的壓力， 而前閥VNO—側的壓力接近于氣源壓力，壓力差較??；并且此時對于MFC的流 量調整是從前述關閉氣路時壓力差較小的基礎上進行的，所以二者配合作用， 可以很好的避免存在壓力差的條件時的MFC的輸出震蕩問題。
上述實施例中的第 一 時間和第二時間是可以依據(jù)實際情況通過用戶界面 等進行調整的，因為實際中各個MFC的內部延時是不同的，本發(fā)明并不需要對 第 時間和第二時間的具體設定加以限制。
圖2所示的控制方法可以通過圖l所示系統(tǒng)架構中的工業(yè)控制計算機來完 成，從而可以實現(xiàn)在不改進現(xiàn)有硬件的前提下，可以快速穩(wěn)定的輸出所需的氣 體流量，消除MFC的內部延時所造成的影響，有效減弱通氣不穩(wěn)的首片效應，
達到:n艮好的控制效果。
進一步，為了兼顧到氣路中涉及的主管路控制閥Vc，在本發(fā)明的另一優(yōu) 選實施例中，當執(zhí)行開啟氣路操作時，還可以判斷主管路控制閥是否已打開， 如果否，則通知開啟主管路控制閥。
具體的，本領域技術人員可以采用各種方式獲知主管路控制閥是否已打 開，下面簡單介紹兩個方案。
方案1
采集當前氣路所涉及的主管路控制閥是否處于開啟狀態(tài)，從而獲知。方案2
查詢之前的控制指令記錄，最近的指令是否為通知開啟主管路控制閥， 如果是，則說明當前主管聘4空制闊處理開啟狀態(tài)。 方案3
記錄各個氣路的開關狀態(tài)；
接收打開一氣路的控制信息，設定該氣路的開關狀態(tài)為開； 判斷當前所有氣路中，是否只有一條氣路狀態(tài)為開啟狀態(tài)，如果是，則通 知開啟主管路控制閥。
上述方案1和2的原理比較簡單，在此不再贅述；方案3的原理，即通過 判定當前開啟的氣路是否是第一條開啟的氣路，如果是第一條，則可以確定之 前的主管鴻、控制閥沒有開啟，故通知開啟即可。并且，本方案可以直接依據(jù)工 業(yè)控制計算機中存儲的信息即可判斷獲知是否需要開啟主管路控制閥，非常簡 單易行。
相應的，當執(zhí)行關閉氣路揭:作時，本發(fā)明的優(yōu)選實施例還可以包括以下步
驟
記錄各個氣路的開關狀態(tài)；
接收關閉一氣路的控制信息，設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關； 判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀態(tài)，如果是，則通知關閉主管路控 制閥。
上述優(yōu)選步驟一般可以設置在關閉前后閥和MFC之前，即可以保證在關閉 最后一^各氣^各時，先關閉主管5^控制閥，再關閉前后閥和MFC,盡量保i正MFC 兩側的壓力盡量接近氣源壓力。
在本發(fā)明的另一優(yōu)選實施例中，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還包括啟動后 閥的關閉線程，所述后閥關閉線程用于延時預置第一時間后通知關閉后閥；啟 動前閥的關閉線程，所述前閥關閉線程用于延時預置第二時間后通知關閉前 閥?？刂啤．斎?，也可以通過其他方式實現(xiàn)，例如，單線程設置兩個觸發(fā)時間點， 到了第一時間觸發(fā)點，則通知關閉后閥，繼續(xù)運行，到了第二時間觸發(fā)點，則 通^口關閉前閥。
參照圖3,示出了一種氣^各控制方法的實施例，具體可以包括以下步驟 步驟301、獲取待控制氣路的上一次流量設定值以及本次流量設定值； 步驟302、比較上一次流量設定值與本次流量設定值；如果差值的絕對值
小于或者等于一定閾值，則不予進行流量控制操作；如果差值的絕對值大于一
定閾值，則選擇執(zhí)行下述步驟303、 304、 305中的一操作
步驟303、如果需要執(zhí)行開啟氣路操作，則針對該氣路的前閥、后閥以及
質量流量控制器執(zhí)行以下操作通知開啟后閥；設定質量流量控制器的流量；
通》口開啟前閥；
步驟304、如果需要執(zhí)行關閉氣路操作，則針對該氣路的前閥、后閥以及 質量流量控制器執(zhí)行以下操:作設定質量流量控制器的流量為0;延時預置的 第 一時間后通知關閉后閥，所述第 一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流 量控制器的內部延時時間；延時預置第二時間后通知關閉前閥，所述第二時間 與前閥內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間；
步驟305、當不需要執(zhí)行開啟和關閉氣路操作時，或者說需要執(zhí)行一般的 流量調節(jié)時，-沒定質量流量控制器的流量，通知質量流量控制器在上一次流量 設定值的基礎上進行流量調節(jié)。例如，如果上次流量設定大于本次流量設定， 則在原來設定的基礎上進行流量的減少；如果上次流量設定小于本次流量設 定，則在原來設定的基礎上進行流量的增加。
本實施例與圖2所示實施例的區(qū)別在于，本發(fā)明進一步增加了當流量設 定值的變化小于一定閾值的時候，通過過濾步驟302避免在這種情況下的硬件 操作，從而可以減少對實際氣體的流量影響不大的無效的硬件操作，提高效率， 減少氣體流量變化的調劑時間。另外，本實施例從整體上構成一個完整的氣路 控制過程，包括了氣路開啟、 一般調節(jié)以及氣路關閉，上述各個改進點協(xié)同作 用，達到了更好的技術效果。
步驟301中，所述的獲取上一次流量設定值的方式多種多樣，本發(fā)明對具體獲取方式并不需要加以限定。例如，記錄每次發(fā)出的流量設定的控制指令， 即可知悉上一次流量設定值(具體存儲方式可以采用直接覆蓋，也可以釆用依
時間順序記錄)；或者，也可以通過采集MFC狀態(tài)信息的方式獲悉當前流量值 (即上一次流量設定值)。
步驟302中，可以依據(jù)本次流量設定值選擇執(zhí)行步驟303、 304、 305中的 任一操作。例如，當本次流量設定值小于一設定值(0. 01)時，則說明需要執(zhí) 行氣路關閉操作步驟304;當本次流量設定值大于一設定值(0. 01)時，同時 進一步判斷待控制氣路的當前狀態(tài)，如果已經(jīng)為開啟狀態(tài)，則執(zhí)行一般調節(jié)步 驟305，如果為關閉狀態(tài)，則執(zhí)行開啟步驟303;而步驟305則適用于除了執(zhí) 行步驟303和304之前的其他情況。
當然，本發(fā)明并不需要限定執(zhí)行步驟303、 304、 305的具體選擇方式，本 領域技術人員根據(jù)實際情況可以自行設定。例如，對于執(zhí)行步驟303,還可以 通過以下兩個方式完成
方式l
比較上一次流量設定值和本次流量設定值，如果上一次流量設定值小于一 設定值，而本次流量設定值大于一設定值，并且二者的差值符合步驟302的要 求，則#1行步驟303。
方式2
查詢針對該條氣路的控制指令記錄信息，如果距離當前時間最近的控制指 令就是關閉氣路，而本次流量設定值大于一設定值，則執(zhí)行步驟303。
與圖2所示的實施例相似，為了兼顧到氣路中涉及的主管路控制閥Vc, 本實施例優(yōu)選的，當^^丸行開啟氣游4喿作時，也還可以包括以下步驟判斷主管 路控制閥是否已打開，如果否，則通知開啟主管路控制閥。
相應的，當執(zhí)行關閉氣路操作時，本實施例優(yōu)選的，還包括記錄各個氣 路的開關狀態(tài)；設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關；判斷當前的所有氣路是否 全部為關閉狀態(tài)，如果是，則通知關閉主管路控制閥。
當執(zhí)行關閉氣路操作時，可以通過并行運行后閥的關閉線程和前閥的關閉 線程的方式實現(xiàn)延時的控制。所述后閥關閉線程用于延時預置第 一時間后通知 關閉后閥；所述前閥關閉線程用于延時預置第二時間后通知關閉前閥。
15參見圖4和圖5，示出了一個更具體的例子，圖5所示的步驟是圖4所示 的步驟4 04的細化步驟，詳細描述如下
步驟401、獲得gasl上次的氣體設定流量FSplGasl;
步驟402、獲得gasl本次的氣體設定流量FSp2Gasl;
步驟403、比較FSplGasl和FSp2Gasl的大小。如果FSplGasl和FSp2Gasl 差值的絕對值小于等于0. 01:不予進行任何硬件操作，本次通氣過程結束。
步驟404、如果FSplGasl和FSp2Gasl差值的絕對值大于0. 01:在原來設 定的FSplGasl基礎上進行流量進一步的調整控制。
步驟404、又可以進一步細化為
步驟501、將FSp2Gasl賦值給臨時變量Flow。
步驟502、判斷Flow值的數(shù)據(jù)范圍是否小于0. 01。選擇執(zhí)行步驟503和 步驟504;
步驟503:小于等于O. 01,進行關氣操作； 步驟504:大于Q. 01，進行通氣操作。
其中，步驟503進一步包括
(1) 、判斷上次氣路的開關狀態(tài)Flag上次氣體為開狀態(tài)True,則計數(shù)器 numberFlag減1;
(2) 、開關狀態(tài)Flag設定為關False;
(3) 、判斷所有的氣路是否全部關閉(numberFlag = =0),如果全部關 閉則關閉闊Vc(主管路控制閥)，此時Vc閥前面的氣體壓力盡可能和氣源壓 力平衡一致。如果不是全部關閉，則不予進行任何Vc閥的動作，此時其他通 路氣體壓力不受本路氣體關閉的影響，氣體壓力維持穩(wěn)定狀態(tài)；
(4) 、啟動Vnl閥門的關閉線程；并行進行延時操作，等待Tvnl時間后， 關閉Vnl;
(5) 、設定MFC的氣體流量為0; MFC內部開始延時等待命令處理直至設 置O命令執(zhí)行(注意不是進行MFC的關閉命令，否則MFC下次設定流量時會 有較大的氣體流量波動)；(6) 、啟動VnO閥門的關閉線程；并行進行延時操作，等待TvnO時間后， 關閉VnO;所述的Tvnl和TvnO時間參數(shù)可以通過界面設定；
(7) 、結束。
其中，步驟504進一步包括
(1) 、判斷上次氣路的開關狀態(tài)Flag上次氣體為關狀態(tài)False,則計數(shù) 器numberFlag力口 1;
(2) 、開關狀態(tài)Flag設定為開True;
(3) 、判斷其他氣^^的當前狀態(tài)是否全部為關閉狀態(tài)(注即判斷所有氣 路中首次有一路氣體要打開)(numberFlag ==1),如果是，則進行Vc閥的 打開動作，否則不予進行Vc閥動作。(保持其他氣路的通氣穩(wěn)定性)；
(4) 、打開Vnl閥；
(5) 、設定MFC的氣體流量；
(6) 、打開VnO閥；
(7) 、結束。
參照圖6,示出了一種開啟和關閉氣路的控制裝置實施例，本實施例可以 位于圖1所示的工業(yè)控制計算機中，或者屬于工業(yè)控制系統(tǒng)的一部分，該裝置 實施例600可以包括以下才莫塊
氣路開啟控制單元601,包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，用于通知開啟該 氣路后闊的后閥開啟模塊6011，用于設定該氣路質量流量控制器流量的MFC 開啟模塊6012,用于通知開啟該氣路前閥的前閥開啟模塊6013;
氣路關閉控制單元602，包括當執(zhí)行關閉氣路操作時，用于延時預置的 第一時間后通知關閉后閥的后閥關閉模塊6021,所述第一時間與后閥內部延 時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時間；用于設定該氣路質量流量控 制器的流量為0的MFC關閉模塊6022;用于延時預置第二時間后通知關閉前 閥的前閥關閉模塊6023,所述第二時間與前閥內部延時時間之和大于質量流 量控制器的內部延時時間。
優(yōu)選的，所述氣路開啟控制單元601還可以包括主管路控制閥開啟模塊6014,用于判斷主管路控制閥是否已打開，如果否，則通知開啟主管路控制閥。
優(yōu)選的，所述氣路關閉控制單元602還可以包括主管路控制閥關閉才莫塊
6024,包括
記錄子模塊，用于記錄各個氣路的開關狀態(tài)；
狀態(tài)設定子模塊，用于設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關；
判斷子模塊，用于判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀態(tài)，如果是，則
通知關閉主管路控制閥。
本實施例基本按照與前述的數(shù)據(jù)處理流程相一致的方式描述的，所以本實
施例中的各個組成部分可以理解為實現(xiàn)前述氣路控制流程的相應的功能模塊。
參見圖7，示出了一種氣贈、控制裝置的實施例，具體可以包括以下部件 信息獲取單元701,用于獲取待控制氣路的上一次流量設定值以及本次流 量設定值；
比較判斷單元702，用于比較上一次流量設定值與本次流量設定值；如果 差值的絕對值小于或者等于一定閾值，則不予進行流量控制操作；如果差值的 絕對值大于一定閾值，則依據(jù)本次流量設定值選擇觸發(fā)執(zhí)行下述一單元
氣路開啟控制單元703,包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，用于通知開啟該 氣路后閥的模塊，用于設定該氣路質量流量控制器流量的模塊，用于通知開啟 該氣路前閥的模塊；
氣路關閉控制單元704,包括當執(zhí)行關閉氣路操作時，用于設定該氣路 質量流量控制器的流量為0的模塊；用于延時預置的第一時間后通知關閉后閥 的模塊，所述第一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延 時時間；用于延時預置第二時間后通知關閉前閥的模塊，所述第二時間與前闊 內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間；
質量流量控制器控制單元7Q5，用于設定質量流量控制器的流量，通知質 量流量控制器在上一次流量設定值的基礎上進行流量調節(jié)。
本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的 都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即
18可。對于裝置實施例而言，由于其與方法實施例的技術方案基本相似，所以描 述的比較簡單，相關之處參見方法實施例的部分說明即可。
以上對本發(fā)明所提供的一種開啟和關閉氣路的控制方法和裝置，以及一種 氣路控制方法和裝置，進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本發(fā)明的原 理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法
及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具 體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解 為對本發(fā)明的限制。
權利要求
1、一種開啟和關閉氣路的控制方法，其特征在于，包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí)行以下操作通知開啟后閥；設定質量流量控制器的流量；通知開啟前閥；當執(zhí)行關閉氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí)行以下操作設定質量流量控制器的流量為0；延時預置的第一時間后通知關閉后閥，所述第一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時間；延時預置第二時間后通知關閉前閥，所述第二時間與前閥內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間。
2、 如權利要求1所述的方法，其特征在于，當執(zhí)行開啟氣路操作時，還 包括判斷主管路控制閥是否已打開，如果否，則通知開啟主管路控制閥。
3、 如權利要求1所述的方法，其特征在于，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還 包括記錄各個氣路的開關狀態(tài)； 設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關；判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀態(tài)，如果是，則通知關閉主管路控 制閥。
4、 如權利要求l所述的方法，其特征在于，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還 包括啟動后閥的關閉線程，所述后閥關閉線程用于延時預置第 一時間后通知關 閉后閥；啟動前閥的關閉線程，所述前閥關閉線程用于延時預置第二時間后通知關 閉前閥。
5、 一種氣路控制方法，其特征在于，包括 獲取待控制氣路的上一次流量設定值以及本次流量設定值； 比較上一次流量設定值與本次流量設定值；如果差值的絕對值小于或者等于一定閾值，則不予進行流量控制操作；如果差值的絕對值大于一定閾值，則選擇執(zhí)行下述一操作A、 如果需要執(zhí)行開啟氣路操作，則針對該氣路的前閥、后閥以及質量流 量控制器執(zhí)行以下操作通知開啟后閥；設定質量流量控制器的流量；通知開 啟前閥；B、 如果需要執(zhí)行關閉氣路操作，則針對該氣路的前閥、后閥以及質量流 量控制器執(zhí)行以下操作設定質量流量控制器的流量為0;延時預置的第一時 間后通知關閉后閥，所述第一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制 器的內部延時時間；延時預置第二時間后通知關閉前閥，所述第二時間與前閥 內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間；C、 否則，設定質量流量控制器的流量，通知質量流量控制器在上一次流 量設定值的基礎上進行流量調節(jié)。
6、 如權利要求5所述的方法，其特征在于，當執(zhí)行開啟氣路操作時，還 包括判斷主管路控制閥是否已打開，如果否，則通知開啟主管路控制閥。
7、 如權利要求5所述的方法，其特征在于，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還 包括記錄各個氣路的開關狀態(tài)； 設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關；判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀態(tài)，如果是，則通知關閉主管路控 制閥。
8、 如權利要求5所述的方法，其特征在于，當執(zhí)行關閉氣路操作時，還 包括啟動后閥的關閉線程，所述后閥關閉線程用于延時預置第 一時間后通知關 閉后閥；啟動前閥的關閉線程，所述前閥關閉線程用于延時預置第二時間后通知關 閉前閥。
9、 一種開啟和關閉氣路的控制裝置，其特征在于，包括 氣路開啟控制單元，包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，用于通知開啟該氣路后閥的模塊；用于設定該氣路質量流量控制器流量的模塊；以及用于通知開啟該氣^各前閥的才莫塊； 氣路關閉控制單元，包括當執(zhí)行關閉氣路操作時，用于設定該氣路質量流量控制器的流量為0的模塊；用于延時預置的第 一時間后通知關閉后閥的模塊，所述第 一時間與 后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時間；用于延時預置第二時間后通知關閉前閥的模塊，所述第二時間與前 閥內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間。
10、 如權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述氣路開啟控制單元還包括主管路控制閥開啟才莫塊，用于判斷主管路控制閥是否已打開，如果否，則 通知開啟主管踏、控制閥。
11、 如權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述氣路關閉控制單元還包 括主管路控制閥關閉模塊，包括記錄子模塊，用于記錄各個氣路的開關狀態(tài)； 狀態(tài)設定子模塊，用于設定該待關閉氣路的開關狀態(tài)為關；判斷子模塊，用于判斷當前的所有氣路是否全部為關閉狀態(tài)，如果是，則 通知關閉主管路控制閥。
12、 一種氣路控制裝置，其特征在于，包括信息獲取單元，用于獲取待控制氣路的上一次流量設定值以及本次流量設 定值；比較判斷單元，用于比較上一次流量設定值與本次流量設定值；如果差值 的絕對值小于或者等于一定闊值，則不予進行流量控制纟喿作；如果差值的絕對 值大于一定閾值，則選擇觸發(fā)執(zhí)行下述一單元氣路開啟控制單元，包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，用于通知開啟該氣路 后閥的模塊，用于設定該氣路質量流量控制器流量的模塊，用于通知開啟該氣 3各前閥的模塊；氣路關閉控制單元，包括當執(zhí)行關閉氣路操作時，用于設定該氣路質量 流量控制器的流量為0的模塊；用于延時預置的第一時間后通知關閉后閥的模 塊，所述第 一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時 間；用于延時預置第二時間后通知關閉前閥的^f莫塊，所述第二時間與前閥內部 延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間；質量流量控制器控制單元，用于:&定質量流量控制器的流量，通知質量流 量控制器在上一次流量設定值的基礎上進行流量調節(jié)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種氣路控制方法和裝置，所述方法包括當執(zhí)行開啟氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí)行以下操作通知開啟后閥；設定質量流量控制器的流量；通知開啟前閥；當執(zhí)行關閉氣路操作時，針對該氣路的前閥、后閥以及質量流量控制器執(zhí)行以下操作設定質量流量控制器的流量為0；延時預置的第一時間后通知關閉后閥，所述第一時間與后閥內部延時時間之和小于質量流量控制器的內部延時時間；延時預置第二時間后通知關閉前閥，所述第二時間與前閥內部延時時間之和大于質量流量控制器的內部延時時間。本發(fā)明可以有效避免存在壓力差的條件時的MFC的輸出震蕩問題，減弱通氣不穩(wěn)的首片效應，達到較好的控制效果。
文檔編號G05D7/06GK101424947SQ20071017655
公開日2009年5月6日 申請日期2007年10月30日 優(yōu)先權日2007年10月30日
發(fā)明者付金生 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司