專利名稱：協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于數(shù)據(jù)管理方法，且特別有關(guān)于藉由控制圖協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法。
背景技術(shù)：
統(tǒng)計(jì)制程管制(Statistical Process Control；SPC)是指依據(jù)不同的作業(yè)環(huán)境有計(jì)劃地收集生產(chǎn)線數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)，根據(jù)收集的數(shù)據(jù)資料分析制程問(wèn)題及管理制程變異。工廠利用統(tǒng)計(jì)制程管制方法控管一些復(fù)雜的流程，其會(huì)根據(jù)不同的作業(yè)環(huán)境產(chǎn)生大量且不同的控制圖(control chart)以供操作員參考，例如，在晶片代工廠(foundry fab)中利用統(tǒng)計(jì)制程管制，通常會(huì)產(chǎn)生超過(guò)20000張控制圖，并且根據(jù)這些控制圖決定管制界限(control limit)的統(tǒng)計(jì)值及復(fù)檢周期。在這樣的情況下，管理控制圖的管制界限變得很麻煩。在實(shí)際運(yùn)作上，工程師可能在沒(méi)有參考任何統(tǒng)計(jì)數(shù)值的情況下任意指定管制界限，使得管制標(biāo)準(zhǔn)無(wú)法與機(jī)臺(tái)效能相符，如此使得錯(cuò)誤警告(false alarm)及錯(cuò)誤延遲偵測(cè)(late fault detection)的狀況增加而浪費(fèi)工廠資源及生產(chǎn)成本。
圖1是顯示現(xiàn)有技術(shù)的管制界限與機(jī)臺(tái)效能間關(guān)系的示意圖。舉例來(lái)說(shuō)，機(jī)臺(tái)110及機(jī)臺(tái)120原本可能分別使用于不同制程，因此其根據(jù)系統(tǒng)所產(chǎn)生的控制圖而訂定的管制界限也有所不同。假設(shè)機(jī)臺(tái)110使用于.13制程，機(jī)臺(tái)120使用于.18，因?yàn)?13制程技術(shù)較.18制程先進(jìn)，其訂定的標(biāo)準(zhǔn)也相對(duì)較嚴(yán)格。錯(cuò)誤警報(bào)點(diǎn)130是指當(dāng)管制界限訂定的標(biāo)準(zhǔn)高于錯(cuò)誤警報(bào)點(diǎn)130訂定的標(biāo)準(zhǔn)，則機(jī)臺(tái)110會(huì)發(fā)出錯(cuò)誤訊息警告并且停止該制程的程序。相反的，當(dāng)管制界限訂定的標(biāo)準(zhǔn)低于錯(cuò)誤警報(bào)點(diǎn)130訂定的標(biāo)準(zhǔn)，則機(jī)臺(tái)120不會(huì)察覺(jué)任何錯(cuò)誤而繼續(xù)執(zhí)行該制程的程序。
因此，若將機(jī)臺(tái)110及機(jī)臺(tái)120使用于同一制程，以機(jī)臺(tái)110來(lái)說(shuō)(如圖1所示)，因其先前訂定的管制界限標(biāo)較高，所以當(dāng)出現(xiàn)錯(cuò)誤警報(bào)點(diǎn)130時(shí)，機(jī)臺(tái)110即發(fā)出錯(cuò)誤訊息警告并且停止制程動(dòng)作。而以機(jī)臺(tái)120來(lái)說(shuō)，因其先前訂定的管制界限標(biāo)較低，所以當(dāng)出現(xiàn)錯(cuò)誤警報(bào)點(diǎn)130時(shí)，機(jī)臺(tái)120不會(huì)察覺(jué)任何錯(cuò)誤，所以不會(huì)發(fā)出錯(cuò)誤訊息警告。
由Li Hung-Yeh于1997年2月20日申請(qǐng)的美國(guó)專利案號(hào)5862054，專利名稱「Process monitoring system for real time statistical processcontrol」，其揭露一種監(jiān)控多個(gè)制程機(jī)器的制程參數(shù)的方法，以提供實(shí)時(shí)的統(tǒng)計(jì)制程控制。其是透過(guò)網(wǎng)絡(luò)收集制程相關(guān)參數(shù)，將參數(shù)儲(chǔ)存于一數(shù)據(jù)庫(kù)中，計(jì)算參數(shù)的平均值并且儲(chǔ)存為一歷史資料文件，再根據(jù)歷史資料文件決定制程管制界限。
由Hamilton及Jeffrey L.于1993年6月17日申請(qǐng)的美國(guó)專利案號(hào)5392226，專利名稱「Computer-implemented method and apparatus formonitoring statistical process control data」，其揭露一種于統(tǒng)計(jì)制程控制中監(jiān)控制程操作的方法，收集操作過(guò)程中表現(xiàn)制程特色的測(cè)量數(shù)據(jù)值，將測(cè)量數(shù)據(jù)值儲(chǔ)存于存儲(chǔ)器中，并且將一目標(biāo)控制圖顯示于顯裝置上。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的在提供一種協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，藉由定義統(tǒng)計(jì)制程管制系統(tǒng)中所產(chǎn)生的控制圖屬性，決定使用于該制程機(jī)臺(tái)其管制界限的統(tǒng)計(jì)值及復(fù)檢周期。
基于上述目的，本發(fā)明提供一種協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法。首先，為了實(shí)現(xiàn)本方法，替控制圖定義相關(guān)的圖片屬性，其包括節(jié)點(diǎn)類型(NodeType)、管制方法(Control Method)以及制程類別(Process Catalog)，然后將圖片屬性與所有產(chǎn)生的控制圖產(chǎn)生關(guān)聯(lián)。接著，根據(jù)圖片屬性可決定其相應(yīng)控制圖的管制界限。最后，根據(jù)所取得的管制界限，對(duì)原先設(shè)定的管制界限進(jìn)行修正。
此外，根據(jù)控制圖決定管制界限的過(guò)程中，對(duì)控制圖進(jìn)行分組。統(tǒng)計(jì)制程管制系統(tǒng)針對(duì)不同的制程產(chǎn)生不同的控制圖，因此在訂定管制界限時(shí)亦需針對(duì)不同機(jī)臺(tái)訂定不同的圖片屬性，將使用于同一制程或同一機(jī)臺(tái)的控制圖組成群組，因此可獲得許多不同的圖表群組。然后根據(jù)控制圖的管制界限定義圖表群組的百分值，即可根據(jù)定義的百分值取得圖表群組的管制界限。
本發(fā)明另外提供一種協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其包括一管制界限管理單。該管制界限管理單元替控制圖定義相關(guān)的圖片屬性，圖片屬性如上所述。然后將圖片屬性與所有產(chǎn)生的控制圖產(chǎn)生關(guān)聯(lián)。接著，根據(jù)圖片屬性可決定其相應(yīng)控制圖的管制界限。最后，根據(jù)所取得的管制界限，對(duì)原先設(shè)定的管制界限進(jìn)行修正。
同樣的，在決定管制界限的過(guò)程中，對(duì)控制圖進(jìn)行分組，即針對(duì)不同機(jī)臺(tái)訂定不同的圖片屬性，將使用于同一制程或同一機(jī)臺(tái)的控制圖組成群組，從而獲得許多不同的圖表群組。然后根據(jù)控制圖的管制界限定義圖表群組的百分值，并且根據(jù)定義的百分值取得圖表群組的管制界限。


圖1是顯示現(xiàn)有技術(shù)的管制界限與機(jī)臺(tái)效能間關(guān)系的示意圖。
圖2是顯示本發(fā)明的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)架構(gòu)圖。
圖3是顯示本發(fā)明的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法的步驟流程圖。
圖4是顯示本發(fā)明的控制圖與圖片屬性間的關(guān)聯(lián)性的示意圖。
符號(hào)說(shuō)明110、120、201～機(jī)臺(tái)130～錯(cuò)誤警報(bào)點(diǎn)203～資料205～控制圖207～圖片屬性210～管制界限管理單元215～圖點(diǎn)220～管制界限產(chǎn)生單元具體實(shí)施方式
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉出較佳實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下。
本發(fā)明是提供一種協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，藉由統(tǒng)計(jì)制程管制系統(tǒng)中所產(chǎn)生的控制圖，決定使用于該制程機(jī)臺(tái)其管制界限的統(tǒng)計(jì)值及復(fù)檢周期。
圖2是顯示本發(fā)明的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)架構(gòu)圖。本發(fā)明系統(tǒng)包括一管制界限管理單元210及一管制界限產(chǎn)生單元220。一般在制造系統(tǒng)中，機(jī)臺(tái)201會(huì)產(chǎn)生大量且不同的控制圖205，這些控制圖用來(lái)控制不同的圖表類別(chart type)及制程(process)，為了解決現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，替管制界限復(fù)檢(control limit review)定義相關(guān)屬性以決定統(tǒng)計(jì)值及周期。
首先，定義圖片屬性207，包括下述三種屬性(1)節(jié)點(diǎn)類型(Node Type)其說(shuō)明管制界限復(fù)檢的周期。例如每三個(gè)月一次。
(2)管制方法(Control Method)其指定管制界限計(jì)算結(jié)果之統(tǒng)計(jì)值。
(3)制程類別(Process Catalog)其對(duì)控制圖進(jìn)行分類以控制同樣的制程。具有相同制程類別的控制圖會(huì)形成一圖表群組，并且使用同樣的管制界限，圖表群組之管制界限系由本群組的控制圖產(chǎn)生的特定管制界限的百分值(percentile)所決定。
接著，將前述圖片屬性207與控制圖205產(chǎn)生關(guān)聯(lián)。本發(fā)明系統(tǒng)提供使用者接口給使用者，為管制界限指定適合的屬性?？刂茍D205的關(guān)聯(lián)性及其屬性是儲(chǔ)存于數(shù)據(jù)庫(kù)中，以做為管制界限計(jì)算結(jié)果。
接著，替圖表群組定義百分值。使用者透過(guò)系統(tǒng)提供的使用者接口指定百分值，用以決定圖表群組的管制界限，百分值亦儲(chǔ)存于數(shù)據(jù)庫(kù)中。
然后，利用管制界限產(chǎn)生單元220，根據(jù)控制圖205的圖片屬性207產(chǎn)生合適的管制界限。管制界限管理單元210自機(jī)臺(tái)接收制程相關(guān)數(shù)據(jù)203，并據(jù)以產(chǎn)生圖點(diǎn)(chart point)數(shù)據(jù)215。當(dāng)節(jié)點(diǎn)類型屬性載明的復(fù)檢間隔到期時(shí)，管制界限產(chǎn)生單元220自管制界限管理單元210擷取圖點(diǎn)數(shù)據(jù)215，并且計(jì)算管制方法屬性中指定的統(tǒng)計(jì)值。在取得每一控制圖的統(tǒng)計(jì)值后，系統(tǒng)指定統(tǒng)計(jì)值的數(shù)值為控制圖的管制界限，該數(shù)值不屬于任何圖表群組。對(duì)于一圖表群組而言，系統(tǒng)指定管制界限的特定百分值的數(shù)值為該群中每一圖表的管制界限。
最后，修正統(tǒng)計(jì)制程管制系統(tǒng)的管制界限。管制界限管理單元210自管制界限產(chǎn)生單元220取得修正后的管制標(biāo)準(zhǔn)，并且據(jù)以更新控制圖的管制界限。
根據(jù)上述本發(fā)明的系統(tǒng)架構(gòu)圖，下文將說(shuō)明本發(fā)明的步驟流程圖。圖3是顯示本發(fā)明的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法的步驟流程圖。
在步驟S1中，定義控制圖的圖片屬性。圖片屬性描述控制圖的控制行為的特性，根據(jù)圖片屬性可以清楚知道該控制圖的復(fù)檢頻率、使用何種統(tǒng)計(jì)值以及歸類于何種制程。圖片屬性包括(1)節(jié)點(diǎn)類型(Node Type)其說(shuō)明管制界限復(fù)檢的頻率。例如每三個(gè)月一次。(2)管制方法(Control Method)其指定管制界限計(jì)算結(jié)果的統(tǒng)計(jì)值。(3)制程類別(Process Catalog)其對(duì)控制圖進(jìn)行分類以控制同樣的制程。具有相同制程類別的控制圖會(huì)形成一圖表群組，并且使用同樣的管制界限，圖表群組的管制界限是由本群組的控制圖產(chǎn)生的特定管制界限的百分值(percentile)所決定。
在步驟S2中，將控制圖與圖片屬性產(chǎn)生關(guān)聯(lián)性。定義每一張控制圖的圖屬性，即透過(guò)系統(tǒng)提供的使用者接口設(shè)定控制圖的圖片屬性，如圖4所示?？刂茍D1～8分別定義有不同的圖片屬性。節(jié)點(diǎn)類型屬性的類型1表示每隔2個(gè)禮拜做一次管制界限復(fù)檢，類型2表示每隔1個(gè)月做一次管制界限復(fù)檢，類型3表示每隔3個(gè)月做一次管制界限復(fù)檢。管制方法的方法1表示用第1類統(tǒng)計(jì)值，方法2表示用第2類統(tǒng)計(jì)值，方法3表示用第3類統(tǒng)計(jì)值，其中統(tǒng)計(jì)值由工程師自行定義。制程類別的類別1表示該控制圖使用于第一制程，類別2表示該控制圖使用于第二制程，類別3表示該控制圖使用于第三制程。
在完成設(shè)定后，控制圖1使用于控制第二制程的機(jī)臺(tái)，其使用第3類統(tǒng)計(jì)值，且每隔1個(gè)月做一次管制界限復(fù)檢。控制圖3使用于控制第一制程之機(jī)臺(tái)，其使用第1類統(tǒng)計(jì)值，且每隔2個(gè)禮拜做一次管制界限復(fù)檢。其余控制圖屬性說(shuō)明以此類推。
在步驟S3中，根據(jù)圖片屬性決定管制界限。當(dāng)節(jié)點(diǎn)類型屬性載明的復(fù)檢間隔到期時(shí)，擷取圖點(diǎn)資料，并且計(jì)算管制方法屬性中指定的統(tǒng)計(jì)值。在取得每一控制圖的統(tǒng)計(jì)值后，系統(tǒng)指定統(tǒng)計(jì)值的數(shù)值為控制圖的管制界限，該數(shù)值不屬于任何圖表群組。此外，對(duì)于一圖表群組而言，系統(tǒng)指定管制界限的特定百分值的數(shù)值為該群中每一圖表的管制界限。
在步驟S4中，修正管制界限。根據(jù)所新產(chǎn)生的管制界限更新控制圖原本的管制界限。
本發(fā)明藉由定義統(tǒng)計(jì)制程管制系統(tǒng)中所產(chǎn)生的控制圖屬性，決定使用于該制程機(jī)臺(tái)其管制界限的統(tǒng)計(jì)值及復(fù)檢周期，并且藉由不斷更新管制界限標(biāo)準(zhǔn)，協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，用以根據(jù)多個(gè)控制圖決定統(tǒng)計(jì)制程管制系統(tǒng)中的一第一管制界限，包括下列步驟定義至少一圖片屬性；將上述圖片屬性與上述多個(gè)控制圖產(chǎn)生關(guān)聯(lián)；根據(jù)上述圖片屬性決定一第二管制界限；以及根據(jù)上述第二管制界限修正上述第一管制界制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，其更包括下列步驟對(duì)上述多個(gè)控制圖分組，從而取得至少一圖表群組；根據(jù)上述多個(gè)控制圖的管制界限定義上述圖表群組的百分值；以及根據(jù)上述百分值決定上述圖表群組的管制界限。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，其中，上述圖片屬性包括一節(jié)點(diǎn)類型，其用以說(shuō)明上述多個(gè)控制圖的管制界限的復(fù)檢頻率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，其中，上述圖片屬性包括一管制方法，其用以指定上述多個(gè)控制圖的管制界限計(jì)算結(jié)果的統(tǒng)計(jì)值。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，其中，上述圖片屬性包括一制程類別，其用以對(duì)上述多個(gè)控制圖進(jìn)行分類以控制使用于相同制程的上述多個(gè)控制圖。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，其中，產(chǎn)生上述第二管制界限的步驟中，當(dāng)上述圖片屬性載明的復(fù)檢間隔到期時(shí)，擷取上述多個(gè)控制圖的圖點(diǎn)數(shù)據(jù)，并且計(jì)算上述圖片屬性中指定的統(tǒng)計(jì)值。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，其中，產(chǎn)生上述第二管制界限的步驟中，在取得每一上述復(fù)控制圖的上述統(tǒng)計(jì)值后，指定上述統(tǒng)計(jì)值為上述控制圖的管制界限。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，其中，產(chǎn)生關(guān)聯(lián)的步驟中，上述多個(gè)控制圖的關(guān)聯(lián)性儲(chǔ)存于一數(shù)據(jù)庫(kù)中，其用以做為上述管制界限的計(jì)算結(jié)果。
9.一種協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，用以根據(jù)多個(gè)控制圖決定統(tǒng)計(jì)制程管制系統(tǒng)中的一第一管制界限，包括一管制界限管理單元，其用以定義至少一圖片屬性，將上述圖片屬性與上述多個(gè)控制圖產(chǎn)生關(guān)聯(lián)，根據(jù)上述圖片屬性決定一第二管制界限，根據(jù)上述第二管制界限修正上述第一管制界制。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其中，上述管制界限管理單元對(duì)上述多個(gè)控制圖分組，從而取得至少一圖表群組，根據(jù)上述多個(gè)控制圖的管制界限定義上述圖表群組的百分值，然后根據(jù)上述百分值決定上述圖表群組的管制界限。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其中，上述圖片屬性包括一節(jié)點(diǎn)類型，其用以說(shuō)明上述多個(gè)控制圖的管制界限的復(fù)檢頻率。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其中，上述圖片屬性包括一管制方法，其用以指定上述多個(gè)控制圖的管制界限計(jì)算結(jié)果的統(tǒng)計(jì)值。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其中，上述圖片屬性包括一制程類別，其用以對(duì)上述多個(gè)控制圖進(jìn)行分類以控制使用于相同制程的上述多個(gè)控制圖。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其中，上述管制界限管理單元于上述圖片屬性載明的復(fù)檢間隔到期時(shí)，擷取上述多個(gè)控制圖的圖點(diǎn)數(shù)據(jù)，并且計(jì)算上述圖片屬性中指定的統(tǒng)計(jì)值。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其中，在取得每一上述復(fù)控制圖的上述統(tǒng)計(jì)值后，指定上述統(tǒng)計(jì)值為上述控制圖的管制界限。
16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的系統(tǒng)，其中，上述多個(gè)控制圖的關(guān)聯(lián)性儲(chǔ)存于一數(shù)據(jù)庫(kù)中，其用以做為上述管制界限的計(jì)算結(jié)果。
17.一種儲(chǔ)存媒體，用以儲(chǔ)存一計(jì)算機(jī)程序，上述計(jì)算機(jī)程序包括多個(gè)程序代碼，其用以執(zhí)行一種微影制程重迭控制方法，上述方法包括下列步驟定義至少一圖片屬性；將上述圖片屬性與上述多個(gè)控制圖產(chǎn)生關(guān)聯(lián)；根據(jù)上述圖片屬性決定一第二管制界限；以及根據(jù)上述第二管制界限修正上述第一管制界制。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的儲(chǔ)存媒體，其更包括下列步驟對(duì)上述多個(gè)控制圖分組，從而取得至少一圖表群組；根據(jù)上述多個(gè)控制圖的管制界限定義上述圖表群組的百分值；以及根據(jù)上述百分值決定上述圖表群組的管制界限。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的儲(chǔ)存媒體，其中，上述圖片屬性包括一節(jié)點(diǎn)類型，其用以說(shuō)明上述多個(gè)控制圖的管制界限的復(fù)檢頻率。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的儲(chǔ)存媒體，其中，上述圖片屬性包括一管制方法，其用以指定上述多個(gè)控制圖的管制界限計(jì)算結(jié)果的統(tǒng)計(jì)值。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的儲(chǔ)存媒體，其中，上述圖片屬性包括一制程類別，其用以對(duì)上述多個(gè)控制圖進(jìn)行分類以控制使用于相同制程的上述多個(gè)控制圖。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的儲(chǔ)存媒體，其中，當(dāng)上述圖片屬性載明的復(fù)檢間隔到期時(shí)，擷取上述多個(gè)控制圖的圖點(diǎn)數(shù)據(jù)，并且計(jì)算上述圖片屬性中指定的統(tǒng)計(jì)值。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的儲(chǔ)存媒體，其中，在取得每一上述復(fù)控制圖的上述統(tǒng)計(jì)值后，指定上述統(tǒng)計(jì)值為上述控制圖的管制界限。
24.根據(jù)權(quán)利要求17所述的儲(chǔ)存媒體，其中，上述多個(gè)控制圖的關(guān)聯(lián)性儲(chǔ)存于一數(shù)據(jù)庫(kù)中，其用以做為上述管制界限的計(jì)算結(jié)果。
全文摘要
一種協(xié)調(diào)管制界限與機(jī)臺(tái)效能的方法，替控制圖定義相關(guān)的圖片屬性，其包括節(jié)點(diǎn)類型(Node Type)、管制方法(Control Method)以及制程類別(Process Catalog)，然后將圖片屬性與所有產(chǎn)生的控制圖產(chǎn)生關(guān)聯(lián)。接著，根據(jù)圖片屬性決定其相應(yīng)控制圖的管制界限，并且根據(jù)所取得的管制界限，對(duì)原先設(shè)定的管制界限進(jìn)行修正。
文檔編號(hào)G05B17/00GK1591247SQ200410058348
公開(kāi)日2005年3月9日 申請(qǐng)日期2004年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月13日
發(fā)明者林水典, 朱惠珍, 楊惠雯, 楊富菁 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司