專利名稱：制造裝置的控制管理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種制造半導體裝置或者印刷基板等工作產(chǎn)品的制造裝置的管理控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
本發(fā)明的目的在于提供一種，無論進行何種制造均可減少制造裝置的錯誤并使之連續(xù)運轉(zhuǎn)的有效的管理控制系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是一種基于按各個種類進行設(shè)定的種類參數(shù)而制造工作產(chǎn)品的制造裝置的管理控制系統(tǒng)，通過如下系統(tǒng)結(jié)構(gòu)而達成上述目的，該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)包括判斷電路，其從制造裝置的運轉(zhuǎn)信息中提取制造上的錯誤信息，并根據(jù)該錯誤信息判斷是提示操作員進行設(shè)置，還是由制造裝置嘗試自動避免錯誤；錯誤抑制電路，其提取與在判斷電路中所提取的錯誤信息相對應(yīng)，且預先記錄設(shè)定的用以避免錯誤的參數(shù)信息，并可變地控制制造裝置的種類參數(shù)，且使制造裝置繼續(xù)運轉(zhuǎn)。
此處，制造裝置通過可自動化制造半導體裝置、印刷基板等電氣電路產(chǎn)品，或者精密機械產(chǎn)品的制造設(shè)備，從而在每次改變制造產(chǎn)品的種類時改變種類參數(shù)。此種制造裝置基于設(shè)定的種類參數(shù)，在復數(shù)個制造工序中進行連續(xù)性運轉(zhuǎn)，且有時在運轉(zhuǎn)時的某一工序中會產(chǎn)生錯誤。本發(fā)明向制造裝置添加判斷電路，其檢測產(chǎn)生的該錯誤并判定該錯誤為何種錯誤；以及錯誤抑制電路，其進行用以使制造裝置繼續(xù)運轉(zhuǎn)并抑止錯誤的動作。判斷電路包括，逐一讀出來自制造裝置的運轉(zhuǎn)信息并判斷錯誤信息的有無、程度以及種類等的功能。錯誤抑制電路讀出來自判斷電路的錯誤信息，判斷其種類，從存儲器等中提取預先記錄設(shè)定的用以錯誤避免的參數(shù)信息，并僅改變與運轉(zhuǎn)的制造裝置的種類參數(shù)內(nèi)的錯誤信息相對應(yīng)的參數(shù)，從而減低并避免產(chǎn)生錯誤。在進行該錯誤避免的動作中，運轉(zhuǎn)信息將不斷從制造裝置傳輸?shù)脚袛嚯娐?，不久錯誤信息將會從運轉(zhuǎn)信息中消失。此種錯誤抑制可在制造裝置的復數(shù)個制造工中進行，從而可提高良率，并且不會因產(chǎn)生錯誤而導致制造裝置停止運轉(zhuǎn)，因此可提高運轉(zhuǎn)率。
再者，至于本發(fā)明，可將判斷電路和錯誤抑制電路添加到制造裝置中，并且可將產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部和產(chǎn)品檢索引擎部添加到制造裝置中，其中產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部，其存儲包含由制造裝置制造的復數(shù)種工作產(chǎn)品的用戶信息、參數(shù)信息以及制造條件信息的數(shù)據(jù)；產(chǎn)品檢索引擎部，其從該產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部檢索并提取與由制造裝置制造的工作產(chǎn)品相一致或者最近似的數(shù)據(jù)，并將其作為制造裝置的種類參數(shù)設(shè)定的信息。
該時的產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部將全部產(chǎn)品的用戶信息等制法數(shù)據(jù)記錄到一個計算機的存儲器中，并也在數(shù)據(jù)庫化的終端機器中記錄以及存儲來自判斷電路的各個產(chǎn)品的錯誤信息。此外，與全部產(chǎn)品的錯誤信息相對應(yīng)的用以錯誤避免的信息記錄于該產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部的存儲器中，并且該信息將介由產(chǎn)品檢索引擎部等而被讀入到錯誤抑制電路中。產(chǎn)品檢索引擎部獲得作為由制造裝置制造的工作產(chǎn)品的種類、用戶等信息的工作信息，并從產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫中檢索并提取特定數(shù)據(jù)(由此制造的工作產(chǎn)品的存儲數(shù)據(jù)，當不存在該數(shù)據(jù)時為最近似的數(shù)據(jù))，輔助制造裝置的種類參數(shù)設(shè)定，從而可使制造裝置的設(shè)置能正確且順利地進行，并可在短時間內(nèi)進行設(shè)置。
上述制造裝置，可有効地適用于制造半導體裝置的粘晶機等。例如，至于將半導體芯片接合在引線框上的粘晶機，含有從料斗存取半導體晶圓的工序，從晶圓分割芯片的工序，將銀漿涂布在引線框上的工序等多個制造工序，且在各工序中有可能產(chǎn)生不同種類的錯誤，并且通過本發(fā)明的管理控制系統(tǒng)可有效避免、抑止在各工序中產(chǎn)生的各種錯誤。
以下，根據(jù)圖式，對本發(fā)明的實施形態(tài)加以說明。


圖1是表示本發(fā)明管理控制系統(tǒng)的概要的區(qū)塊圖。
圖2是將圖1的區(qū)塊圖具體化的附動作內(nèi)容說明文的區(qū)塊圖。
1工作 3制造裝置5判斷電路 6錯誤抑制電路11產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部12產(chǎn)品檢索引擎部13向?qū)Р? a運轉(zhuǎn)信息b錯誤信息 c指令信號d錯誤避免的參數(shù)具體實施方式
以下，參照圖1和圖2，對本發(fā)明系統(tǒng)的實施形態(tài)加以說明。
由于同圖適用于作為半導體裝置的制造裝置的粘晶機，因此圖1是表示系統(tǒng)整體概要的區(qū)塊圖，圖2是表示已寫上各區(qū)塊動作內(nèi)容的區(qū)塊圖。圖1所示的工作產(chǎn)品1在引線框上，將(半導體)芯片接合到該引線框，從而制造產(chǎn)品。引線框有許多種，其中一種從未圖示的料斗1逐片切割并運送到制造裝置3，從而用于半導體裝置的制造。制造裝置3包括(半導體)晶圓切割裝置，其含有多數(shù)個芯片；使用環(huán)狀物而擴展貼附有晶圓的薄片，從而將其分割為復數(shù)個芯片的裝置；將芯片貼裝用銀漿涂布到引線框的裝置；以及在已涂布的銀漿上貼裝芯片的自動機，并且各自動機分別基于所設(shè)定的種類參數(shù)而進行運轉(zhuǎn)。
如圖2所示，制造裝置3上除設(shè)置有用以使之進行運轉(zhuǎn)的種類參數(shù)之外，還配備有偏移信息或者固定參數(shù)信息、速度信息等各種信息，并且在制造裝置運轉(zhuǎn)前，上述信息被進行設(shè)置。本發(fā)明將一下判斷電路5、錯誤抑制電路6添加到使該制造裝置3運轉(zhuǎn)的系統(tǒng)中，并且適用產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11和產(chǎn)品檢索引擎部12。
判斷電路5，從運轉(zhuǎn)中的制造裝置3的各制造工序中的運轉(zhuǎn)信息a中提取制造上的錯誤信息b。速度信息或者溫度信息、時間信息、參數(shù)信息等混雜于運轉(zhuǎn)信息a中，并且一旦在制造裝置3的任一制造工序中產(chǎn)生不正常狀況，都將導致產(chǎn)生錯誤信息，且通過判斷電路5判斷并提取該等錯誤信息。由判斷電路5提取的錯誤信息b將會被傳輸?shù)藉e誤抑制電路6，且將通過其他路徑傳輸?shù)疆a(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫11和各種向?qū)Р?3。
錯誤抑制電路6進行與所輸入的錯誤信息b相對應(yīng)的動作。所輸入的錯誤信息b的內(nèi)容多種多樣，其包括芯片接合時的吸附遺漏、各制造工序中的引線框運送遺漏、向料斗的收容遺漏等。錯誤抑制電路6，一旦被輸入錯誤信息b，則提取預先記錄設(shè)定在產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11等的用于錯誤避免的參數(shù)信息d，并將改變參數(shù)的指令信號c傳輸?shù)疆a(chǎn)生錯誤信息b的制造裝置3中。該改變參數(shù)的控制，在制造裝置3的運轉(zhuǎn)中進行，從而可抑止并減低在產(chǎn)生錯誤信息的制造工序中產(chǎn)生錯誤。使該錯誤抑制動作進行的同時，使制造裝置3繼續(xù)運轉(zhuǎn)，并將運轉(zhuǎn)信息a傳輸?shù)脚袛嚯娐?。判斷電路5判斷是否正正確地進行錯誤抑制，并將該信息傳輸?shù)疆a(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11。通過判斷電路5對錯誤抑制的監(jiān)視，從而逐步消除在制造裝置3中產(chǎn)生的錯誤。
與上述錯誤信息b對應(yīng)的用以錯誤抑制的參數(shù)信息d，在制造裝置3之前的運轉(zhuǎn)中，已經(jīng)在經(jīng)驗上知道“產(chǎn)生何種錯誤，將改變何種參數(shù)從而可避免錯誤”，且基于該經(jīng)驗上的信息而進行預先設(shè)定。也可將此種錯誤抑制的參數(shù)信息d記錄于專用存儲器中，但較理想的是將其和每個其他產(chǎn)的品數(shù)據(jù)一起記錄到產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11的存儲器中。
各種向?qū)Р?3是軟件部，其基于多種錯誤信息b而進行方法交換等，從而可迅速且順利地進行改變制造裝置3的參數(shù)的動作。
產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11是存儲器部，其將包含由制造裝置3制造的復數(shù)種工作產(chǎn)品的用戶信息、參數(shù)信息以及制造條件信息的多種數(shù)據(jù)加以總結(jié)并存儲。產(chǎn)品檢索引擎部12從產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11檢索并提取與由制造裝置3制造的工作產(chǎn)品相一致的數(shù)據(jù)，或者，當與其不一致時最近似的數(shù)據(jù)，從而進行制造裝置3的種類參數(shù)設(shè)定(設(shè)置)。
在使制造裝置3運轉(zhuǎn)前，設(shè)置特定的工作信息。該工作信息含有，引線框信息或者芯片信息、接合信息、引線框存取時的料斗信息、晶圓分割時的已貼附晶圓的切割信息等。該工作信息和制造裝置3一起被傳輸?shù)疆a(chǎn)品檢索引擎部12，產(chǎn)品檢索引擎部12從產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11中檢索并提取與工作信息相對應(yīng)的數(shù)據(jù)，并基于該數(shù)據(jù)進行制造裝置3參數(shù)的設(shè)定。因此，若從產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11提取與由制造裝置3制造的工作產(chǎn)品相一致的數(shù)據(jù)，則該數(shù)據(jù)將直接成為制造裝置3的參數(shù)數(shù)據(jù)，從而可簡單迅速且正確地進行設(shè)置。此外，若從產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部11提取與由制造裝置3制造的工作產(chǎn)品最近似的數(shù)據(jù)，則將基于該近似數(shù)據(jù)進行制造裝置3種類參數(shù)的設(shè)定，因此，此時也可簡單迅速地進行設(shè)置。
再者，本發(fā)明制造裝置的管理控制系統(tǒng)并非限定于上述實施形態(tài)，毋庸置言，也可在不脫離本發(fā)明要旨的范圍內(nèi)進行各種改變。
權(quán)利要求
1.一種制造裝置的管理控制系統(tǒng)，其特征在于包括判斷電路，其從基于將工作產(chǎn)品按各種類進行設(shè)定的種類參數(shù)而制造的制造裝置的運轉(zhuǎn)信息中提取制造上的錯誤信息，并根據(jù)該錯誤信息判斷是提示操作員進行調(diào)整，還是由制造裝置嘗試自動避免錯誤；以及錯誤抑制電路，其提取與在判斷電路中提取的錯誤信息相對應(yīng)，且預先記錄設(shè)定的用于避免錯誤的參數(shù)信息，并可變地控制上述種類參數(shù)，從而使制造裝置繼續(xù)運轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的制造裝置的管理控制系統(tǒng)，其特征在于包括產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部，其存儲根據(jù)由上述制造裝置所制造的復數(shù)種的參數(shù)信息中的工作條件而產(chǎn)生變化的工序條件的參數(shù)；以及產(chǎn)品檢索引擎部，其從該產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部檢索并提取與由制造裝置制造的工作產(chǎn)品相一致或者最近似的數(shù)據(jù)，并將其作為制造裝置的種類參數(shù)設(shè)定的信息。
3.如權(quán)利要求1或2所述的制造裝置的管理控制系統(tǒng)，其特征在于上述制造裝置為半導體裝置的制造裝置。
全文摘要
本發(fā)明是提供一種基于種類參數(shù)而進行制造的制造裝置(3)的管理控制系統(tǒng)，其包括判斷電路(5)，其從制造裝置(3)的運轉(zhuǎn)信息(a)中提取錯誤信息(b)；錯誤抑制電路(6)，其提取用以與已提取的錯誤信息(b)相對應(yīng)的錯誤避免的參數(shù)(d)，并可變地控制制造裝置(3)的種類參數(shù)，并且從存儲由制造裝置(3)制造的各種工作產(chǎn)品的各種參數(shù)和用于錯誤避免的數(shù)據(jù)的產(chǎn)品制法數(shù)據(jù)庫部(11)，通過產(chǎn)品檢索引擎部(12)檢索與由制造裝置(3)制造的工作產(chǎn)品相對應(yīng)的數(shù)據(jù)，并設(shè)置制造裝置(3)。
文檔編號G05B19/418GK1820351SQ0382678
公開日2006年8月16日 申請日期2003年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月16日
發(fā)明者喜多村章司 申請人:Nec機械股份有限公司