膜厚的檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請(qǐng)涉及薄膜厚度檢測(cè)的技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種膜厚的檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]薄片狀物品，如紙張、票據(jù)、塑料薄膜、紡織物品等的在線連續(xù)厚度測(cè)量，在其產(chǎn)品的生產(chǎn)、檢測(cè)、處理、回收等過(guò)程中處于越來(lái)越重要的地位。當(dāng)前，薄膜厚度的檢測(cè)技術(shù)要包括霍爾、反射型超聲波、透射型超聲、電磁感應(yīng)式、渦流式等技術(shù)。但這些技術(shù)對(duì)應(yīng)的檢測(cè)裝置體積較大，成本較高，不利于這些技術(shù)的應(yīng)用。
[0003]近年來(lái)，通過(guò)電極間的靜電感應(yīng)進(jìn)行薄膜厚度的檢測(cè)技術(shù)在不斷研究探索之中，例如公開(kāi)號(hào)CN210302446Y的專利公開(kāi)的了一種電容式紙厚傳感器，其主要是將電容器的容量變化轉(zhuǎn)化成振蕩頻率的變化，再通過(guò)頻壓轉(zhuǎn)換模塊將頻率的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化。公開(kāi)號(hào)為CN103363887A的專利也公開(kāi)了一種材料厚度的檢測(cè)方法，利用平板電容的極板作為厚度檢測(cè)的敏感器件，實(shí)測(cè)對(duì)象的厚度變化引起的電容活動(dòng)極板產(chǎn)生位移，導(dǎo)致平板電容器的容量發(fā)生變化。
[0004]上述這些通過(guò)電極間的靜電感應(yīng)的檢測(cè)薄膜厚度的技術(shù)在一定程度上減小了檢測(cè)裝置的體積，但仍需要傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，因此與檢測(cè)設(shè)備的小型化發(fā)展還不相符。
[0005]另外，現(xiàn)有技術(shù)中的檢測(cè)裝置不能精確測(cè)量薄膜的厚度，不利于薄膜產(chǎn)品厚度的精確監(jiān)控，進(jìn)而不利于薄膜產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)控。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本申請(qǐng)旨在提供一種膜厚的檢測(cè)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的檢測(cè)裝置不能準(zhǔn)確地檢測(cè)出薄膜的厚度的問(wèn)題。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請(qǐng)的一個(gè)方面，提供了一種膜厚的檢測(cè)裝置，該裝置包括:公共電極、至少一個(gè)檢測(cè)電極與檢測(cè)電路，其中，各檢測(cè)電極與上述公共電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，且上述公共電極的第一公共表面與各上述檢測(cè)電極的第一檢測(cè)表面相對(duì)，上述第一公共表面與各上述第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道；檢測(cè)電路與各上述檢測(cè)電極電連接，上述檢測(cè)電路包括誤差消除單元，上述誤差消除單元用于消除噪音信號(hào)，上述噪音信號(hào)為上述公共電極未加載電壓時(shí)，上述檢測(cè)電極上的電信號(hào)。
[0008]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)電路還包括復(fù)位單元，上述復(fù)位單元與上述誤差消除單元電連接，其中，上述復(fù)位單元用于存儲(chǔ)上述噪音信號(hào)。
[0009]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)電路還包括:移位控制單元與放大單元，其中，移位控制單元包括輸入端，上述輸入端與各上述檢測(cè)電極電連接，上述移位控制單元用于控制多個(gè)上述檢測(cè)電極的電信號(hào)的輸出順序；放大單元一端與上述移位控制單元的輸出端電連接，另一端分別與上述復(fù)位單元和上述誤差消除單元電連接，上述放大單元用于放大接收到的上述電信號(hào)。
[0010]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)裝置中包括多個(gè)上述檢測(cè)電極，且多個(gè)上述檢測(cè)電極被分為沿第二方向間隔設(shè)置的多個(gè)檢測(cè)電極組，上述第二方向與上述待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，且與上述第一方向垂直，各上述檢測(cè)電極組包括兩個(gè)檢測(cè)電極，上述移位控制單元包括兩個(gè)移位控制模塊，各上述檢測(cè)電極組中的兩個(gè)上述檢測(cè)電極與兩個(gè)上述移位控制模塊的輸入端對(duì)應(yīng)電連接。
[0011]進(jìn)一步地，上述放大單元為差分放大單元。
[0012]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)電路還包括信號(hào)傳輸時(shí)序控制單元，上述信號(hào)傳輸時(shí)序控制單元設(shè)置在上述放大單元與上述復(fù)位單元之間，上述信號(hào)傳輸時(shí)序控制單元用于控制上述放大單元是否向上述復(fù)位單元輸入上述電信號(hào)。
[0013]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)裝置還包括:第一基板與第二基板，其中，上述公共電極設(shè)置在上述第一基板的第一表面上，上述第一基板的第一表面與上述第一方向垂直；第二基板與上述第一基板在上述第一方向上間隔設(shè)置，上述第二基板的第一表面朝向上述第一基板的第一表面，并且與上述第一基板的第一表面平行，各上述檢測(cè)電極設(shè)置在上述第二基板的第一表面上。
[0014]進(jìn)一步地，上述第一基板與上述第二基板均為陶瓷基板。
[0015]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)裝置還包括:第一框體與第二框體，其中，上述第一基板設(shè)置在上述第一框體的第一表面上；第二框體與上述第一框體在上述第一方向上間隔設(shè)置，上述第二基板設(shè)置在上述第二框體的第一表面上。
[0016]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)裝置中還包括:第一保護(hù)層與第二保護(hù)層，其中，第一保護(hù)層設(shè)置在上述第一公共表面上；第二保護(hù)層設(shè)置在所有上述第一檢測(cè)表面上。
[0017]進(jìn)一步地，上述檢測(cè)裝置中還包括:第一導(dǎo)電薄膜與第二導(dǎo)電薄膜，其中，第一導(dǎo)電薄膜設(shè)置在上述公共電極與上述第一保護(hù)層之間；第二導(dǎo)電薄膜設(shè)置在所有上述檢測(cè)電極與上述第二保護(hù)層之間。
[0018]應(yīng)用本申請(qǐng)的技術(shù)方案，當(dāng)公共電極上未加載電壓時(shí)，檢測(cè)電極由于外界的因素已經(jīng)感應(yīng)出一定量的電荷，這樣的電信號(hào)實(shí)際為噪音信號(hào)，如果不消除這樣的噪音信號(hào)直接進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)出的結(jié)果并不準(zhǔn)確。本申請(qǐng)中利用誤差消除單元消除檢測(cè)電極上的噪音信號(hào)，進(jìn)而消除了由于這一部分信號(hào)帶來(lái)的檢測(cè)誤差，使得該檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果更加準(zhǔn)確。
【附圖說(shuō)明】
[0019]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本申請(qǐng)的進(jìn)一步理解，本申請(qǐng)的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本申請(qǐng)，并不構(gòu)成對(duì)本申請(qǐng)的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0020]圖1示出了本申請(qǐng)一種典型實(shí)施方式提出的膜厚的檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2示出了一種優(yōu)選實(shí)施例提供的部分膜厚的檢測(cè)裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖3示出了一種優(yōu)選實(shí)施例提供的部分膜厚的檢測(cè)裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0023]圖4示出了一種優(yōu)選實(shí)施例提供的部分膜厚的檢測(cè)裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記:
[0025]2、檢測(cè)電極組；3、檢測(cè)電路；10、公共電極；20、檢測(cè)電極；30、第一基板；40、第二基板；50、第一框體；60、第二框體；11、第一導(dǎo)電薄膜；12、第一保護(hù)層；21、第二導(dǎo)電薄膜；22、第二保護(hù)層；31、移位控制單元；32、放大單元；33、信號(hào)傳輸時(shí)序控制單元；34、復(fù)位單元；35、誤差消除單元；201、第一檢測(cè)電極；202、第二檢測(cè)電極；311、第一移位控制模塊；312、第二移位控制模塊。
【具體實(shí)施方式】
[0026]應(yīng)該指出，以下詳細(xì)說(shuō)明都是例示性的，旨在對(duì)本申請(qǐng)?zhí)峁┻M(jìn)一步的說(shuō)明。除非另有指明，本文使用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)具有與本申請(qǐng)所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的相同含義。
[0027]需要注意的是，這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅是為了描述【具體實(shí)施方式】，而非意圖限制根據(jù)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說(shuō)明書(shū)中使用術(shù)語(yǔ)“包含”和/或“包括”時(shí)，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。
[0028]正如【背景技術(shù)】所介紹的，現(xiàn)有技術(shù)中的檢測(cè)裝置不能精確測(cè)量薄膜的厚度，為了解決如上的技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N膜厚的檢測(cè)裝置。
[0029]本申請(qǐng)的一種典型的實(shí)施方式中，如圖1所示，提供了一種膜厚的檢測(cè)裝置，該裝置包括公共電極10、至少一個(gè)檢測(cè)電極20與檢測(cè)電路3。其中，各檢測(cè)電極20與上述公共電極10在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，且上述公共電極10的第一公共表面與每個(gè)上述檢測(cè)電極20的第一檢測(cè)表面相對(duì)，上述第一公共表面與各上述第一檢測(cè)表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道，檢測(cè)電路3與各上述檢測(cè)電極20電連接，上述檢測(cè)電路3包括誤差消除單元35，上述誤差消除單元35用于消除噪音信號(hào)，上述噪音信號(hào)為上述公共電極未加載電壓時(shí)，上述檢測(cè)電極20上的電信號(hào)。
[0030]該檢測(cè)裝置中的該檢測(cè)裝置中，公共電極10與各檢測(cè)電極20都是平面電極，公共電極10與檢測(cè)電極20在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共電極10與每個(gè)檢測(cè)電極20形成類似平板電容結(jié)構(gòu)，并且二者之間沒(méi)有固定的介質(zhì)填充而是形成一個(gè)傳輸通道。當(dāng)公共電極10上帶電荷后，各檢測(cè)電極20上就能感應(yīng)出電荷。
[0031]檢測(cè)電極20上感應(yīng)出電荷的多少取決于相對(duì)設(shè)置的