測試溫箱的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種測試溫箱，包括箱體，所述箱體內(nèi)開設(shè)有至少一個空腔，空腔壁隔開室溫環(huán)境和所述箱體內(nèi)的測試環(huán)境；所述空腔的至少一空腔壁可打開和關(guān)閉，并且該空腔的腔壁能夠隔熱，腔體內(nèi)外之間可以實現(xiàn)直接的電氣連接。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體功能及可靠性測試領(lǐng)域，改進現(xiàn)有溫箱結(jié)構(gòu)，能夠同時在一個溫箱內(nèi)測試多個被測對象，溫箱內(nèi)密閉的測試環(huán)境不受影響。溫箱內(nèi)外的電氣連接通道不再受到側(cè)面連接方式中的尺寸限制，可以直接實現(xiàn)超大通道容量、最短路徑的電氣連接，從而提高試驗密度、實現(xiàn)符合現(xiàn)有高速電子產(chǎn)品的高速要求。
【專利說明】
測試溫箱
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體功能及可靠性測試領(lǐng)域，具體涉及一種測試溫箱，該測試溫箱可用于被測對象在指定溫度環(huán)境下的測試。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，所有電子產(chǎn)品及其部件，如手機或者手機內(nèi)部芯片、器件，或者航天部件等，均需要進行功能及可靠性測試，包括在極限高溫或極限低溫環(huán)境下測試這些對象，通常是將這些被測對象放置在測試溫箱中，設(shè)置溫箱內(nèi)的溫度，并通過施加電信號并引出測試數(shù)據(jù)，從而監(jiān)控被測對象的性能。
[0003]現(xiàn)有的溫箱，通常的結(jié)構(gòu)為一箱體，箱體具有一個可打開關(guān)閉的箱門，箱體內(nèi)部以水平或垂直方式放置一個或多個試驗載板，在試驗載板上放置被測對象，關(guān)閉箱門后形成一相對封閉的測試環(huán)境。由于需要對被測對象進行測試監(jiān)控，一些做法是將控制被測對象運行并對其工作狀態(tài)進行監(jiān)控的控制部件直接放置于箱體內(nèi)，而由于箱體內(nèi)的溫度通常是極限溫度，控制部件在極限溫度下工作是非常容易老化的，因而這種方式下控制部件的壽命很短；另一些做法是通過在箱體上開孔或槽，然后通過信號線或插座引出電氣連接通道到外部的測試設(shè)備中，然而該方式依然存在問題，受開孔大小、導(dǎo)線直徑、插座尺寸以及插座上接觸點密度的限制，溫箱內(nèi)外只能實現(xiàn)較少的電氣連接通道;而現(xiàn)在不少中、大規(guī)模電子產(chǎn)品對電氣通道的需求遠(yuǎn)超出這種方式可以提供的通道數(shù)目，導(dǎo)致無法對受測對象實現(xiàn)全面的功能分析;此外，一根監(jiān)控信號線通常只能連接一被測對象，如果一塊試驗載板原本可以實現(xiàn)更高試驗密度，但因監(jiān)控信號無法全部引出而被迫降低試驗密度，將導(dǎo)致試驗效率受限，試驗成本增加。此外，目前通過信號線或插座接口引出的方式，信號線的傳輸速率低;而現(xiàn)有的電子產(chǎn)業(yè)，數(shù)據(jù)傳輸速率要求越來越高，該信號線引出的方式無法滿足如此高速率的信號傳輸，從而模擬并測試產(chǎn)品在真實工作情況下的功能及可靠性情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種測試溫箱，改進現(xiàn)有溫箱，能夠在一個溫箱內(nèi)突破傳統(tǒng)電氣通道形式對內(nèi)外連接的通道數(shù)量及測試速度的限制，大幅度提高溫箱試驗效率;溫箱內(nèi)密閉的測試環(huán)境不受影響，并且通道的高速傳輸速率可以真正適應(yīng)現(xiàn)有的電子產(chǎn)品的試驗需求。
[0005]為解決上述問題，本發(fā)明提出一種測試溫箱，包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)有至少一個溫區(qū)，每個溫區(qū)內(nèi)開設(shè)至少一個空腔，空腔壁隔開室溫環(huán)境和所述箱體的測試環(huán)境;所述空腔的至少一空腔壁由可拆卸的試驗載板構(gòu)成，通過試驗載板打開和關(guān)閉空腔，該試驗載板插入箱體后形成的空腔壁能夠隔熱，且試驗載板上的分別位于空腔內(nèi)外的兩個表面之間具有電氣連接通道。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述箱體內(nèi)開設(shè)有多個空腔，各空腔在一個方向上或多個方向上并列間隔布置。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，在所述空腔的一個立面上設(shè)置一透明窗口以及相關(guān)控制按鍵，當(dāng)試驗載板插入箱體形成密閉空腔后，通過透明觀察窗口觀察內(nèi)部試驗情況，通過相關(guān)按鍵進行控制電氣連接通道上的被測試對象的測試操作。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，在所述可拆卸試驗載板上、在與箱體相交一個邊緣具有多個插拔式電力接口、電信號或/和光信號通信接口，使得試驗載板插入溫箱后，從溫箱本體獲取電力供應(yīng)，同時通過通信接口將試驗載板接入到外部控制系統(tǒng)。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，每個所述溫區(qū)均還包括至少一個溫度傳感及溫度控制部件，置于所述箱體的測試環(huán)境內(nèi)，用以使測試環(huán)境達到指定的測試溫度。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，每個溫區(qū)均還包括至少一個循環(huán)氣流控制裝置，置于所述溫區(qū)的測試環(huán)境內(nèi)，用以控制在所述溫區(qū)的測試環(huán)境內(nèi)形成循環(huán)氣流。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，在所述空腔上的當(dāng)試驗載板插入后與試驗載板接觸的位置，設(shè)置有用以連接試驗載板的插拔式電力接口、電信號或/和光信號通信接口，使得試驗載板插入溫箱后，從溫箱本體獲取電力供應(yīng)，同時通過通信接口將試驗載板接入到外部控制系統(tǒng)。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述試驗載板構(gòu)造為一可插入或抽出的試驗載板式結(jié)構(gòu)，試驗載板的面向測試環(huán)境的一面安放被測試對象;試驗載板的面向室溫環(huán)境的一面設(shè)有支持被測試對象運行的控制子系統(tǒng)。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述試驗載板上設(shè)置有一定數(shù)量設(shè)置在所述電氣連接通道中連通空腔內(nèi)外的導(dǎo)體部件，以電導(dǎo)通連接置于測試環(huán)境中的被測對象和置于室溫環(huán)境中的控制子系統(tǒng);所述試驗載板上還設(shè)有隔熱部件，所述隔熱部件包圍導(dǎo)體部件并充滿在測試環(huán)境及室溫環(huán)境之間的部件的間隙，以隔開室溫環(huán)境和所述箱體的測試環(huán)境。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述試驗載板中的導(dǎo)體部件為具有一定活動行程的金屬探針，所述隔熱部件同時構(gòu)成為所述金屬探針的探針容器的一部分。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述箱體對應(yīng)所述試驗載板的位置處設(shè)有控制機構(gòu)，用于將試驗載板鎖定或釋放，及控制打開或關(guān)閉氣體流動通道;正常使用中，當(dāng)試驗載板被控鎖定時，控制打開氣體流動通道；當(dāng)氣體流動通道被控關(guān)閉后，控制釋放試驗載板，使其對應(yīng)的空腔被打開時不會影響箱體內(nèi)其它腔體的正常工作。
[0016]采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下有益效果:通過在箱體內(nèi)開設(shè)空腔，將現(xiàn)有的多個試驗載板封閉在一個腔體內(nèi)的箱體構(gòu)造成為了包括一封閉測試環(huán)境的箱體，及位于箱體內(nèi)但又被室溫環(huán)境相隔開的多個獨立的空腔，每個空腔僅設(shè)置一塊試驗載板，這樣就可以避免在試驗過程中需要處置某個試驗載板時，因打開箱門而導(dǎo)致相同腔體內(nèi)其它所有試驗載板受到影響的情況。同時，還完全改變了現(xiàn)有試驗載板必須完全處于試驗箱腔體內(nèi)部的情況，而將試驗載板本身改造成密閉的空腔的一個組成部分，從而使得試驗載板的兩面分別處于試驗溫度環(huán)境內(nèi)和開放的室溫環(huán)境內(nèi)。
[0017]溫箱內(nèi)外的電氣連接通道不再受到側(cè)面連接方式中的尺寸限制，可以直接實現(xiàn)超大通道容量、最短路徑的電氣連接，從而提高試驗密度、實現(xiàn)符合現(xiàn)有高速電子產(chǎn)品的高速要求。
[0018]由于被試驗對象與控制子系統(tǒng)分別位于試驗載板的兩面，中間設(shè)置電氣連接通道，可以通過高密度短距離的金屬探針直接連接，因而可以使得被測對象的測試數(shù)據(jù)通過金屬探針直接傳輸給測試設(shè)備，而無需像現(xiàn)有技術(shù)的信號線一樣通過長引線傳輸，解決了長引線傳輸速率低的問題。并且可以同時在箱體內(nèi)的不同空腔中放置不同被測對象進行測試，實現(xiàn)了一箱體同時測試多被測對象;并且將控制子系統(tǒng)放置在室溫環(huán)境中，不會像一些將支持部件放置在試驗板上的應(yīng)用那樣因高低溫環(huán)境而快速老化，因而壽命可以較久，工作更穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明一實施例的測試溫箱的半剖立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明一實施例的測試溫箱的側(cè)面剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖3為本發(fā)明一實施例的測試溫箱的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本發(fā)明另一實施例的測試溫箱的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為本發(fā)明一實施例的測試溫箱的內(nèi)部氣流示意圖；
[0024]圖6為本發(fā)明一實施例的測試溫箱的電導(dǎo)通連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖7為本發(fā)明一實施例的測試溫箱的多溫區(qū)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0026]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】做詳細(xì)的說明。
[0027]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。
[0028]圖1簡單地示出了本發(fā)明實施例測試溫箱，包括箱體I，在該箱體I內(nèi)至少設(shè)有一個溫區(qū)，每個溫區(qū)內(nèi)開設(shè)有至少一個空腔11，空腔壁隔開室溫環(huán)境和箱體I的測試環(huán)境，而箱體I中相同溫區(qū)內(nèi)的所有空腔處于一個密閉的測試環(huán)境。室溫環(huán)境可以指箱體I當(dāng)下所處的環(huán)境，測試環(huán)境是指測試過程中，被測對象所處的環(huán)境，例如是極限高溫或低溫環(huán)境。
[0029]空腔11的至少一空腔壁可打開和關(guān)閉，由可拆卸的試驗載板構(gòu)成，通過試驗載板打開和關(guān)閉空腔，該試驗載板插入箱體后形成的空腔壁能夠隔熱，且試驗載板上的分別位于空腔內(nèi)外的兩個表面之間具有電氣連接通道?？涨?1的作用一方面是通過隔熱隔開了測試環(huán)境和室溫環(huán)境，另一方面可以作為被測對象和控制子系統(tǒng)的通信媒介。
[0030]在可打開關(guān)閉的空腔壁即試驗載板的面向測試環(huán)境的表面上，可以安置被測對象，被測對象可以是手機、手機芯片、器件、集成電路、航天器件等等，在可打開關(guān)閉的空腔壁的面向室溫環(huán)境的表面上可以安置控制子系統(tǒng)，控制子系統(tǒng)可以是用來支持被測對象工作運行、并接收處理測試數(shù)據(jù)的測試設(shè)備，其余大型設(shè)備可以置于箱體I之外，從而被測對象和測試設(shè)備可以通過空腔壁的電導(dǎo)通部分直接進行通信，傳輸測試數(shù)據(jù)，避免了使用長引線，而該電導(dǎo)通部分可以做成各種傳輸速率的導(dǎo)電部件，因而可以適應(yīng)各種電子產(chǎn)品的高速率，同時由于控制子系統(tǒng)是安置在室溫環(huán)境中，因而測試過程中，不會受到高溫或低溫這些極限溫度的影響，從而可以延長壽命。
[0031]箱體I內(nèi)可以開設(shè)有多個空腔11，各空腔11在一個方向上或多個方向上并列布置。圖3和4示出了不同形狀的空腔11及其排列方式，空腔11形狀及其排列方式并不限于圖中所示，還可以為其他方式。
[0032]各空腔的排布情況也不一定是在箱體的豎直方向上排列，如圖4中，各空腔Ilb依舊在其厚度方向上并列排布，在箱體Ib的橫向方向上進行排布。同樣空腔Ilb的一壁可以設(shè)置為試驗載板111b，并且試驗載板Illb可插入抽出的方式，但不限制于此。
[0033]可以理解，設(shè)置為可打開或關(guān)閉的空腔壁也可以是一空腔的兩個以上空腔壁，只是在最佳情況下，僅將腔體上平行于循環(huán)氣流運行方向、并平行于插拔方向的的一個面、連同面向并靠近操作者的一個面作為可打開關(guān)閉的空腔壁，從而可以方便放置被測對象。
[0034]此外，在圖4中，空腔均以豎向方式設(shè)置箱體內(nèi)，空腔壁從箱體的側(cè)面中插入或取出，在一個實施例中，空腔也可以橫向設(shè)置在箱體內(nèi)，也就是空腔壁可以從箱體的上或下表面插入或取出。當(dāng)然，可打開關(guān)閉的空腔壁也不一定要設(shè)置為試驗載板的方式，也可以是翻開關(guān)合的蓋板形式。
[0035]在圖4中，空腔大體呈現(xiàn)為較扁的長方體腔，各空腔在豎直方向上并排排列，其中一個空腔壁具體做成一可插入或抽出的試驗載板，可以方便被測對象的放置與取出，但空腔壁形式不限制于此，圖中為試驗載板被抽出的狀態(tài)。試驗載板一表面上用于放置或安置被測對象，并且該表面是面向測試環(huán)境的，另一表面上用于安置控制子系統(tǒng)，并且該表面是面向室溫環(huán)境的，當(dāng)試驗載板被抽出時，箱體用來形成測試環(huán)境的部分便不是密閉的，當(dāng)需要進行測試時，在試驗載板相應(yīng)位置上放置或設(shè)置被測對象，再將試驗載板插入，從而形成空腔，以及箱體用來形成測試環(huán)境的部分便是密閉的，該試驗載板也就是空腔的一個壁。
[0036]可選的，在空腔的一個立面上設(shè)置一透明窗口以及相關(guān)控制按鍵，當(dāng)試驗載板插入箱體形成密閉空腔后，通過透明觀察窗口觀察內(nèi)部試驗情況，通過相關(guān)按鍵進行控制電氣連接通道上的被測試對象的測試操作。
[0037]在可拆卸試驗載板上、在與箱體相交一個邊緣具有多個插拔式電力接口、電信號或/和光信號通信接口，使得試驗載板插入溫箱后，從溫箱本體獲取電力供應(yīng)，同時通過通信接口將試驗載板接入到外部控制系統(tǒng)。
[0038]具體的，繼續(xù)參看圖4，在箱體表面上方設(shè)置溫度循環(huán)控制裝置401，溫箱上開設(shè)有4個獨立的空腔，作為試驗腔體，每個空腔上設(shè)有一試驗載板，試驗載板上配有子系統(tǒng)控制面板407，子系統(tǒng)控制面板407上設(shè)有透明觀察窗口，用來觀察測試過程中的情況，但是這些部件的設(shè)置不影響測試過程中的封閉的測試環(huán)境，較佳的子系統(tǒng)控制面板407上還有一門把手。在圖4中，測試溫箱還可包括溫箱控制面板403、溫箱工作狀態(tài)顯示器402、緊急電源開關(guān)404，此外溫箱還設(shè)置有主控制系統(tǒng)405，用來對測試溫箱進行控制操作，此外箱體內(nèi)還設(shè)置有供配電系統(tǒng)，為整個溫箱內(nèi)的電子部件提供電源供應(yīng)。
[0039]在一個實施例中，在空腔上的當(dāng)試驗載板插入后與試驗載板接觸的位置，設(shè)置有用以連接試驗載板的插拔式電力接口、電信號或/和光信號通信接口，使得試驗載板插入溫箱后，從溫箱本體獲取電力供應(yīng)，同時通過通信接口將試驗載板接入到外部控制系統(tǒng)。
[0040]進一步的，參看圖5，每個溫區(qū)均還包括至少一個溫度傳感及溫度控制部件12，置于箱體的測試環(huán)境內(nèi)，用以使測試環(huán)境達到指定的測試溫度。在一個實施例中，溫度傳感及溫度控制部件12例如是加熱部件或制冷部件，若為加熱部件，則可以是加熱絲，通過控制加熱絲加熱到設(shè)定溫度，若為制冷部件，則可以是液氮，控制液氮溫度可以制冷至相應(yīng)溫度，當(dāng)然也可以是其他用來改變溫度的溫控部件。
[0041]繼續(xù)參看圖5，每個溫區(qū)內(nèi)均還可包括至少一個循環(huán)氣流控制裝置13，置于溫區(qū)的測試環(huán)境內(nèi)，用以控制在溫區(qū)的測試環(huán)境內(nèi)形成循環(huán)氣流。循環(huán)氣流f繞各個空腔11表面，循環(huán)氣流控制裝置13加快氣流f流動，可以加速箱體I內(nèi)部測試環(huán)境達到所需測試溫度，使得被測對象受熱或受冷均勻。循環(huán)氣流控制裝置例如可以是一鼓風(fēng)機，設(shè)置在箱體I的測試環(huán)境內(nèi)，通過吹風(fēng)，形成相對的負(fù)壓和正壓，從而氣流f便會循環(huán)流動。
[0042]參看圖7，一個溫箱內(nèi)可以設(shè)置多個溫區(qū)，每個溫區(qū)設(shè)置獨立的溫度傳感、溫度控制部件以及氣流循環(huán)控制裝置。溫箱內(nèi)的不同溫區(qū)的試驗控件完全獨立，可實現(xiàn)在同一個箱體內(nèi)同時設(shè)置多個不同的溫度試驗環(huán)境，從而提高用戶設(shè)備利用率及試驗效率。
[0043]在一個實施例中，可打開和關(guān)閉的空腔壁為一背板，例如像機箱的背板，背板上設(shè)置有用以配置空腔壁的電導(dǎo)通部分和隔熱的轉(zhuǎn)換接口。
[0044]繼續(xù)參看圖2，試驗載板構(gòu)造為一可插入或抽出的試驗載板式結(jié)構(gòu)，試驗載板的面向測試環(huán)境的一面安放被測試對象，試驗載板的面向室溫環(huán)境的一面設(shè)有支持被測試對象運行的控制子系統(tǒng)。作為可打開關(guān)閉的空腔壁，試驗載板111面向測試環(huán)境的表面，用來放置或安置被測試對象，被測試對象的放置或安置位置為設(shè)定的位置，具體是相應(yīng)電氣連接通道位置。在圖2中，為了方便試驗載板111的插入取出，在試驗載板111的側(cè)壁112上設(shè)置一把手113。
[0045]試驗載板上可以設(shè)置有一定數(shù)量設(shè)置在電氣連接通道中連通空腔內(nèi)外的導(dǎo)體部件，以電導(dǎo)通連接置于測試環(huán)境中的被測對象和置于室溫環(huán)境中的控制子系統(tǒng);被測對象和控制子系統(tǒng)通過該導(dǎo)體部件電連接起來。試驗載板上還設(shè)有隔熱部件，隔熱部件包圍導(dǎo)體部件并充滿在測試環(huán)境及室溫環(huán)境之間的部件的間隙，以隔開室溫環(huán)境和箱體的測試環(huán)境。
[0046]優(yōu)選的，試驗載板中的導(dǎo)體部件為具有一定活動行程的金屬探針，隔熱部件同時構(gòu)成為金屬探針的探針容器的一部分。
[0047]參看圖6，導(dǎo)體部件為設(shè)置在試驗載板上的探針301，隔熱部件為探針的探針容器302。探針和探針容器為現(xiàn)有技術(shù)，將其用在本發(fā)明實施例的電氣連接通道上，探針能夠?qū)崿F(xiàn)導(dǎo)電，并且傳輸數(shù)據(jù)速率高，此外探針容器正好可以用來隔熱，因而制造起來十分的方便。
[0048]在一個實施例中，箱體對應(yīng)所述試驗載板的位置處設(shè)有控制機構(gòu)，用于將試驗載板鎖定或釋放，及控制打開或關(guān)閉氣體流動通道;正常使用中，當(dāng)試驗載板被控鎖定時，控制打開氣體流動通道；當(dāng)氣體流動通道被控關(guān)閉后，控制釋放試驗載板，使其對應(yīng)的空腔被打開時不會影響箱體內(nèi)其它腔體的正常工作。
[0049]本發(fā)明雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定權(quán)利要求，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改，因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種測試溫箱，包括箱體，其特征在于，所述箱體內(nèi)設(shè)有至少一個溫區(qū)，每個溫區(qū)內(nèi)開設(shè)至少一個空腔，空腔壁隔開室溫環(huán)境和所述箱體的測試環(huán)境;所述空腔的至少一空腔壁由可拆卸的試驗載板構(gòu)成，通過試驗載板打開和關(guān)閉空腔，該試驗載板插入箱體后形成的空腔壁能夠隔熱，且試驗載板上的分別位于空腔內(nèi)外的兩個表面之間具有電氣連接通道。2.如權(quán)利要求1所述的測試溫箱，其特征在于，所述箱體內(nèi)開設(shè)有多個空腔，各空腔在一個方向上或多個方向上并列間隔布置。3.如權(quán)利要求1所述的測試溫箱，其特征在于，在所述空腔的一個立面上設(shè)置一透明窗口以及相關(guān)控制按鍵，當(dāng)試驗載板插入箱體形成密閉空腔后，通過透明觀察窗口觀察內(nèi)部試驗情況，通過相關(guān)按鍵進行控制電氣連接通道上的被測試對象的測試操作。4.如權(quán)利要求3所述的測試溫箱，其特征在于，在所述可拆卸試驗載板上、在與箱體相交一個邊緣具有多個插拔式電力接口、電信號或/和光信號通信接口，使得試驗載板插入溫箱后，從溫箱本體獲取電力供應(yīng)，同時通過通信接口將試驗載板接入到外部控制系統(tǒng)。5.如權(quán)利要求1-4中任意一項所述的測試溫箱，其特征在于，每個所述溫區(qū)均還包括至少一個溫度傳感及溫度控制部件，置于所述箱體的測試環(huán)境內(nèi)，用以使測試環(huán)境達到指定的測試溫度。6.如權(quán)利要求5所述的測試溫箱，其特征在于，每個溫區(qū)均還包括至少一個循環(huán)氣流控制裝置，置于所述溫區(qū)的測試環(huán)境內(nèi)，用以控制在所述溫區(qū)的測試環(huán)境內(nèi)形成循環(huán)氣流。7.如權(quán)利要求1所述的測試溫箱，其特征在于，在所述空腔上的當(dāng)試驗載板插入后與試驗載板接觸的位置，設(shè)置有用以連接試驗載板的插拔式電力接口、電信號或/和光信號通信接口，使得試驗載板插入溫箱后，從溫箱本體獲取電力供應(yīng)，同時通過通信接口將試驗載板接入到外部控制系統(tǒng)。8.如權(quán)利要求1-4或7所述的測試溫箱，其特征在于，所述試驗載板構(gòu)造為一可插入或抽出的試驗載板式結(jié)構(gòu)，試驗載板的面向測試環(huán)境的一面安放被測試對象;試驗載板的面向室溫環(huán)境的一面設(shè)有支持被測試對象運行的控制子系統(tǒng)。9.如權(quán)利要求8所述的測試溫箱，其特征在于，所述試驗載板上設(shè)置有一定數(shù)量設(shè)置在所述電氣連接通道中連通空腔內(nèi)外的導(dǎo)體部件，以電導(dǎo)通連接置于測試環(huán)境中的被測對象和置于室溫環(huán)境中的控制子系統(tǒng);所述試驗載板上還設(shè)有隔熱部件，所述隔熱部件包圍導(dǎo)體部件并充滿在測試環(huán)境及室溫環(huán)境之間的部件的間隙，以隔開室溫環(huán)境和所述箱體的測試環(huán)境。10.如權(quán)利要求9所述的測試溫箱，其特征在于，所述試驗載板中的導(dǎo)體部件為具有一定活動行程的金屬探針，所述隔熱部件同時構(gòu)成為所述金屬探針的探針容器的一部分。11.如權(quán)利要求1-4或7所述的測試溫箱，其特征在于，所述箱體對應(yīng)所述試驗載板的位置處設(shè)有控制機構(gòu)，用于將試驗載板鎖定或釋放，及控制打開或關(guān)閉氣體流動通道;正常使用中，當(dāng)試驗載板被控鎖定時，控制打開氣體流動通道；當(dāng)氣體流動通道被控關(guān)閉后，控制釋放試驗載板，使其對應(yīng)的空腔被打開時不會影響箱體內(nèi)其它腔體的正常工作。
【文檔編號】G01R31/26GK106019114SQ201610462669
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年6月23日
【發(fā)明人】趙龍
【申請人】上海戰(zhàn)旗電子有限公司