微光iccd分辨力測(cè)量裝置及測(cè)量方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置及測(cè)量方法，屬于光學(xué)測(cè)量與計(jì)量領(lǐng)域。其特點(diǎn)是，用光源系統(tǒng)、分辨力靶、共軛透鏡組、測(cè)量暗箱、視頻圖像采集系統(tǒng)、和計(jì)算機(jī)構(gòu)建了分辨力測(cè)量裝置，共軛透鏡組對(duì)經(jīng)光源系統(tǒng)照射的分辨力靶成像，并投射到被測(cè)微光ICCD上，被測(cè)微光ICCD視頻輸出線連接至視頻圖像采集系統(tǒng)，視頻圖像采集系統(tǒng)采集被測(cè)微光ICCD輸出的分辨力靶圖像并送入計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)用于顯示視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪Π袌D像。本發(fā)明解決了微光ICCD分辨力測(cè)量問題，可推廣至EMCCD分辨力測(cè)量等其它需要建立分辨力測(cè)量裝置及研究分辨力測(cè)量方法的領(lǐng)域，具有廣闊的應(yīng)用前景。
【專利說明】
微光I CCD分辨力測(cè)量裝置及測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明屬于光學(xué)測(cè)量與計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置及測(cè) 量方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 微光ICXD是將微光像增強(qiáng)器與CCD器件通過光錐或中繼透鏡耦合后形成的光電成 像系統(tǒng)，具有靈敏度高和低光照成像質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)，是將傳統(tǒng)直視微光器件轉(zhuǎn)變成電子信 息輸出的重要器件，代表著微光夜視裝備信息化及信息共享的發(fā)展趨勢(shì)，是新一代微光夜 視裝備的核心器件。微光ICCD參數(shù)的準(zhǔn)確測(cè)量，對(duì)微光夜視技術(shù)研究水平的進(jìn)一步提高具 有重要的推動(dòng)作用。分辨力是微光ICCD最重要的參數(shù)之一，反映了微光ICCD對(duì)細(xì)節(jié)的分辨 能力。微光ICCD分辨力的測(cè)量對(duì)微光ICCD研制、生產(chǎn)和使用部門具有重大的現(xiàn)實(shí)意義。
[0003] 在微光ICCD分辨力測(cè)量中，大多數(shù)微光ICCD生產(chǎn)廠商提供的分辨力是將微光像增 強(qiáng)器和CCD器件的像素分別提供的。但是，對(duì)微光ICCD分辨力的評(píng)價(jià)既不同于評(píng)價(jià)微光像增 強(qiáng)器的分辨力，也不同于評(píng)價(jià)CCD器件的像素。微光像增強(qiáng)器的光電陰極和MCP的工作特性 影響了微光ICCD的成像均勻性，而CCD器件的像素限制了微光ICCD的分辨力，因此微光像增 強(qiáng)器的分辨力和CCD器件的像素都不能完全反映微光ICCD的分辨力，必須開展微光ICCD分 辨力的綜合評(píng)價(jià)。在眾多生產(chǎn)微光ICCD的公司中，只有法國Photonis公司給出了 ICU型號(hào)的 微光ICCD的分辨力，但是尚未看到法國Photonis公司微光ICCD分辨力測(cè)量裝置和測(cè)量方法 的公開報(bào)道。
[0004] 在《光子學(xué)報(bào)》2010年12月第39卷，P96-100中，陰浩等人采用物鏡、微光像增強(qiáng)器、 中繼透鏡和CCD器件制作了微光ICCD，并根據(jù)物鏡分辨力、微光像增強(qiáng)器分辨力、中繼透鏡 分辨力和CCD器件像元尺寸計(jì)算出了微光ICXD分辨力。而微光ICXD分辨力與微光像增強(qiáng)器 和CCD器件的耦合效果有關(guān)，這種方法并沒有真實(shí)準(zhǔn)確地反映出微光像增強(qiáng)器和CCD器件的 耦合效果對(duì)微光ICCD分辨力的影響，不能實(shí)現(xiàn)微光ICCD分辨力的完整評(píng)價(jià)。
[0005] 目前對(duì)微光ICCD分辨力進(jìn)行綜合評(píng)價(jià)的測(cè)量裝置和測(cè)量方法還未見到相關(guān)報(bào)道。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 針對(duì)目前微光ICCD分辨力測(cè)量的難題，本發(fā)明提出了一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝 置及測(cè)量方法。
[0007] 本發(fā)明的技術(shù)方案為：
[0008] 所述一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:包括光源系統(tǒng)、分辨力靶、共輒 透鏡組、帶有輸入窗口和過線孔的測(cè)量暗箱、光學(xué)平臺(tái)、視頻圖像采集系統(tǒng)和分析系統(tǒng)；
[0009] 光源系統(tǒng)、共輒透鏡組和測(cè)量暗箱均固定在所述光學(xué)平臺(tái)上;光源系統(tǒng)能夠產(chǎn)生 不均勻性小于1 %的均勻光，且光源系統(tǒng)出口處有光電檢流計(jì)實(shí)時(shí)顯示光源系統(tǒng)的光電流 值;分辨力靶處于光源系統(tǒng)和共輒透鏡組之間；光源系統(tǒng)出口中心、分辨力靶靶面中心、共 輒透鏡組光軸和處于測(cè)量暗箱內(nèi)的待測(cè)微光ICCD光陰極面中心位于同一光軸上;分辨力靶 位于共輒透鏡組入射透鏡的物方焦平面處，待測(cè)微光ICCD光陰極面位于共輒透鏡組出射透 鏡像方焦平面處;待測(cè)微光ICCD輸出的圖像輸出給視頻圖像采集系統(tǒng);視頻圖像采集系統(tǒng) 將采集的圖像傳輸給分析系統(tǒng)；分析系統(tǒng)對(duì)待測(cè)微光ICCD的分辨力測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析計(jì) 算。
[0010]進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:所述光源系 統(tǒng)包含色溫標(biāo)稱值在2800K~3000K范圍內(nèi)的可調(diào)光源、第一積分球、第二積分球、電控可變 衰減器和孔徑光闌轉(zhuǎn)輪;可調(diào)光源發(fā)出的光經(jīng)過電控可變衰減器衰減照度后入射到第一積 分球，孔徑光闌轉(zhuǎn)輪對(duì)第一積分球的出射光照度進(jìn)行衰減，衰減后的光入射到第二積分球， 第二積分球出射不均勻性小于1 %的均勻光照射到分辨力靶上。
[0011]進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:孔徑光闌轉(zhuǎn) 輪控制若干階梯量級(jí)照度值，每個(gè)階梯量級(jí)照度通過電控可變衰減器精密調(diào)節(jié)。
[0012] 進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述一種微光ICQ)分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:測(cè)量暗箱內(nèi) 裝有裝夾機(jī)構(gòu)，待測(cè)微光ICCD固定在裝夾機(jī)構(gòu)上;裝夾機(jī)構(gòu)帶有三維可調(diào)旋鈕，能夠調(diào)節(jié)待 測(cè)微光ICCD的空間位置和方位角度。
[0013] 所述利用上述裝置進(jìn)行微光ICCD分辨力測(cè)量的方法，其特征在于:包括以下步驟： [0014] 步驟1:測(cè)量環(huán)境照度E。，若滿足E。彡IX 10-51χ，則進(jìn)入步驟2,否則更換測(cè)量環(huán)境 直至環(huán)境照度滿足Ec< 1 X 10-51χ;
[0015] 步驟2:打開光源系統(tǒng)，調(diào)節(jié)可調(diào)光源電流達(dá)到可調(diào)光源額定電流，測(cè)量光源系統(tǒng) 出口處色溫值CT:
[0016] 步驟2.1:將色度計(jì)放置于光路中，使色度計(jì)探測(cè)器中心與光源系統(tǒng)出口中心位于 同一光軸上，根據(jù)光源系統(tǒng)出口尺寸選擇色度計(jì)探測(cè)器的視場(chǎng)角，并調(diào)節(jié)色度計(jì)與光源系 統(tǒng)出口的距離使色度計(jì)探測(cè)器視場(chǎng)角完全覆蓋光源系統(tǒng)出口，調(diào)節(jié)色度計(jì)探測(cè)器焦距并聚 焦于光源系統(tǒng)出口處；
[0017] 步驟2.2:控制色度計(jì)多次測(cè)量光源系統(tǒng)出口處色溫值，得到一組光源系統(tǒng)出口處 色溫值Ch、CT 2、……、CTN，對(duì)Ch、CT2、……、CTN求平均值后得到光源系統(tǒng)出口處色溫值CT;
[0018] 步驟2.3:判斷光源系統(tǒng)出口處色溫值CT是否滿足CTe (2856K± 50K)的條件，如滿 足，則進(jìn)入步驟2.4;如不滿足，則改變可調(diào)光源電流值后，返回步驟2.2;
[0019] 步驟2.4:實(shí)時(shí)記錄光源系統(tǒng)出口處色溫值CT滿足CTe (2856Κ±50Κ)條件時(shí)，光電 檢流計(jì)的光電流值I，并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)光電檢流計(jì)的光電流值變化A I，若△ KlOnA，則進(jìn)入步驟 3,否則返回步驟2.2;
[0020] 步驟3:測(cè)量光源系統(tǒng)出口處亮度不均勻性E:
[0021 ]步驟3.1:將亮度計(jì)放置于光路中，使亮度計(jì)探測(cè)器中心與光源系統(tǒng)出口中心位于 同一光軸上，調(diào)節(jié)亮度計(jì)探測(cè)器焦距并聚焦于光源系統(tǒng)出口處；
[0022]步驟3.2:以光源系統(tǒng)出口處中為測(cè)量原點(diǎn)；在光源系統(tǒng)出口面內(nèi)，以測(cè)量原點(diǎn)為 中心，在測(cè)量原點(diǎn)周圍均勻取若干測(cè)量點(diǎn)；
[0023] 步驟3.3:采用亮度計(jì)對(duì)測(cè)量原點(diǎn)處的亮度值進(jìn)行測(cè)量，通過多次測(cè)量并取平均值 的方法得到測(cè)量原點(diǎn)處的亮度值Lo;
[0024] 步驟3.4:采用亮度計(jì)對(duì)每個(gè)測(cè)量點(diǎn)處的亮度值進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量時(shí)，移動(dòng)亮度計(jì)使 亮度計(jì)探測(cè)器中心與測(cè)量點(diǎn)連線平行于光軸，對(duì)于第i個(gè)測(cè)量點(diǎn)，通過多次測(cè)量并取平均值 的方法得到測(cè)量點(diǎn)i處的亮度值Li;
[0025] 步驟3.5:計(jì)算所有測(cè)量點(diǎn)亮度值與測(cè)量原點(diǎn)亮度值的比值
[0026] 步驟3.6:計(jì)算光源系統(tǒng)出口處亮度不均勾性E=max(Ci)-min(Ci)，判斷E是否滿足 E〈1 %，若滿足，則進(jìn)入步驟4,若不滿足，則調(diào)整光源系統(tǒng)后返回步驟以及min (C〇分別表示所有測(cè)量點(diǎn)亮度值與測(cè)量原點(diǎn)亮度值的比值中的最大值和最小值；
[0027]步驟4:將分辨力靶置于光源系統(tǒng)出口與共輒透鏡組之間，并使分辨力靶靶面中心 與光源系統(tǒng)出口中心位于共輒透鏡組光軸上，沿光軸方向調(diào)節(jié)共輒透鏡組位置，使共輒透 鏡組出射透鏡后觀察到與分辨力靶同等大小的分辨力靶像，實(shí)現(xiàn)將分辨力靶位于共輒透鏡 組入射透鏡的物方焦平面處；
[0028]步驟5:將被測(cè)微光1C⑶放置于測(cè)量暗箱中，被測(cè)微光ICXD光陰極面中心位于共輒 透鏡組光軸上；
[0029] 步驟6:被測(cè)微光ICCD將接收到的分辨力靶圖像通過視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸至分 析系統(tǒng)；
[0030] 步驟7:分析系統(tǒng)實(shí)時(shí)顯示視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪Π袌D像;調(diào)節(jié)光源系統(tǒng) 照度，使分辨力靶圖像對(duì)比度達(dá)到最佳;沿共輒透鏡組光軸調(diào)節(jié)被測(cè)微光ICXD位置，使分辨 力靶圖像清晰度達(dá)到最佳，實(shí)現(xiàn)被測(cè)微光ICXD光陰極面位于共輒透鏡組出射透鏡像方焦平 面處；
[0031] 步驟8:分析系統(tǒng)根據(jù)分辨力靶圖像進(jìn)行微光ICCD分辨力計(jì)算：
[0032] 步驟8.1:當(dāng)被測(cè)微光ICCD光陰極面中心處于光源系統(tǒng)出口中心、分辨力靶靶面中 心、共輒透鏡組光軸構(gòu)成的光軸上時(shí)，測(cè)量結(jié)果是被測(cè)微光ICCD的中心分辨力:分析系統(tǒng)分 析當(dāng)前視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪Π袌D像，對(duì)當(dāng)前圖像信息進(jìn)行計(jì)算得到第一次中心 分辨力計(jì)算結(jié)果R。:，重復(fù)測(cè)量微光1C⑶中心分辨力得到一組計(jì)算結(jié)果R〇 2、……、R〇s，對(duì)Rcl、 尺。2、……RaS求平均值后得到被測(cè)微光ICXD中心分辨力計(jì)算結(jié)果R。：
[0033]
[0034] s為被測(cè)微光1C⑶中心分辨力測(cè)量次數(shù)；
[0035] 步驟8.2:以被測(cè)微光ICXD光陰極面中心點(diǎn)為圓心，取被測(cè)微光ICXD光陰極面上有 效半徑為80%的圓周，在圓周上每隔90°取四個(gè)點(diǎn)Pi，i = l、2、3、4,通過調(diào)整被測(cè)微光ICXD 位置，使被測(cè)微光ICCD光陰極面選取的四個(gè)點(diǎn)Pi依次位于光源系統(tǒng)出口中心、分辨力靶靶 面中心、共輒透鏡組光軸構(gòu)成的光軸上，得到被測(cè)微光ICCD的邊緣分辨力:對(duì)于第i個(gè)點(diǎn)，分 析系統(tǒng)分析當(dāng)前視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪Π袌D像，對(duì)當(dāng)前圖像信息進(jìn)行計(jì)算得到第 一次邊緣分辨力計(jì)算結(jié)果At,，重復(fù)測(cè)量微光ICCD邊緣分辨力得到一組計(jì)算結(jié)果 及p 2、……、，計(jì)算機(jī)對(duì)七,、及匕、求平均值后得到被測(cè)微光ICCD邊緣分 辨力計(jì)算結(jié)果Ip,=
[0036]
[0037] j為被測(cè)微光1C⑶邊緣分辨力測(cè)量次數(shù)。
[0038]進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述利用上述裝置進(jìn)行微光ICCD分辨力測(cè)量的方法，其特征 在于:步驟3.2中，測(cè)量原點(diǎn)周圍的測(cè)量點(diǎn)選擇方式為:過測(cè)量原點(diǎn)在光源系統(tǒng)出口面上做 十字線，從測(cè)量原點(diǎn)起向十字線四個(gè)方向各自選擇若干等距測(cè)量點(diǎn)。
[0039]有益效果
[0040]本發(fā)明的有益效果為：
[0041](一）目前國內(nèi)外尚未見到有對(duì)微光ICCD分辨力進(jìn)行完整評(píng)價(jià)的測(cè)量裝置和測(cè)量 方法的公開報(bào)道，本發(fā)明通過光源系統(tǒng)、分辨力靶、共輒透鏡組、測(cè)量暗箱、光學(xué)平臺(tái)、視頻 圖像采集系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)組成了一套微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，基于微光ICCD分辨力測(cè)量裝 置設(shè)計(jì)了測(cè)量方法，解決了微光ICCD分辨力的測(cè)量難題，填補(bǔ)了國內(nèi)外微光ICCD分辨力測(cè) 量裝置和測(cè)量方法的空白。
[0042](二)本發(fā)明對(duì)微光ICCD作為一個(gè)整體進(jìn)行分辨力評(píng)價(jià)，其優(yōu)點(diǎn)在于全面評(píng)價(jià)了微 光ICXD的分辨力，將微光像增強(qiáng)器分辨力、(XD器件像素及微光像增強(qiáng)器和CCD器件耦合效 果對(duì)微光ICCD分辨力的影響進(jìn)行了綜合考慮，因此，本發(fā)明提供了綜合評(píng)價(jià)微光ICCD分辨 力的測(cè)量裝置和測(cè)量方法，提高了微光ICCD分辨力測(cè)量的準(zhǔn)確性。
【附圖說明】
[0043]圖1是本發(fā)明微光ICCD分辨力測(cè)量裝置的構(gòu)成示意圖。
[0044]圖2是微光ICCD分辨力測(cè)量裝置的測(cè)量光路圖。
[0045]圖3是微光ICXD分辨力測(cè)量方法實(shí)施步驟。
【具體實(shí)施方式】
[0046]下面結(jié)合附圖及優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳述。
[0047]如圖1所示，微光ICCD分辨力測(cè)量裝置的優(yōu)選實(shí)例主要包括光源系統(tǒng)1、分辨力靶 2、共輒透鏡組3、測(cè)量暗箱4、光學(xué)平臺(tái)5、視頻圖像采集系統(tǒng)6和計(jì)算機(jī)7。
[0048] 光源系統(tǒng)1由可調(diào)光源1-1、電控可變衰減器1-2、第一積分球1-3、孔徑光闌轉(zhuǎn)輪1-4、第二積分球1-5、光電檢流計(jì)1-6組成?？烧{(diào)光源1-1色溫在(2800K~3000K)范圍內(nèi)可調(diào)， 電控可變衰減器1-2及孔徑光闌轉(zhuǎn)輪1-4實(shí)現(xiàn)色溫恒定下光源輸出照度的連續(xù)調(diào)節(jié)，孔徑光 闌轉(zhuǎn)輪1-4控制10個(gè)階梯量級(jí)照度值，每個(gè)量級(jí)又可通過電控可變衰減器1 -2精密調(diào)節(jié)。第 一積分球1-3和第二積分球1_5的直徑均為200mm、出口直徑均為50mm。第一積分球卜3包含 直徑25mm的入光孔一個(gè)，直徑50mm的出光孔一個(gè);第二積分球1-5包含入光孔一個(gè)，出光孔 一個(gè)，探測(cè)孔二個(gè)，燈安裝孔一個(gè)且與入光孔對(duì)稱分布，出光孔處為不均勻性小于1%均勻 光;光電檢流計(jì)1-6在第二積分球出口實(shí)時(shí)顯示光源系統(tǒng)1的光電流值。可調(diào)光源1-1發(fā)出的 色溫恒定的光經(jīng)過電控可變衰減器1-2衰減照度后入射到第一積分球1-3,孔徑光闌轉(zhuǎn)輪ΙΑ 對(duì)第一積分球 1 -3 的 出射光 照度進(jìn)行衰減 ，衰減后的 光入射到第二積分球 1 -5 ， 第二積分球 1-5出射不均勻性小于1%的均勻光照射到分辨力靶2上。測(cè)量中通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)光電檢流計(jì) 1-6光電流示值變化判斷光源系統(tǒng)色溫值是否發(fā)生變化。
[0049] 分辨力靶2采用USAF1951分辨力測(cè)量靶，尺寸為76.2111111\76.2111111，包含-2到7十個(gè) 組，每組有六個(gè)單元，每一單元均由水平和垂直的三條靶線組成，靶線寬度等于間隔寬度， 靶線長(zhǎng)度是靶線寬度的五倍，水平靶線和垂直靶線之間的間隔為靶線寬度的二倍，相鄰單 元的距離等于靶線較寬單元的靶線寬度的二倍，相鄰兩單元靶線寬度公比均為返，即每隔 六個(gè)單元，靶線寬度減小一半，-2組第1單元靶線寬度為2mm，其余靶線寬度按照公比計(jì)算， 分辨力靶2放置于第二積分球1-5出口處。
[0050] 共輒透鏡組3采用兩個(gè)完全相同的成像鏡頭，通光直徑58mm，焦距為50mm，最大光 圈F1.4,分辨力靶2位于入射透鏡3-1的物方焦平面處，出射透鏡3-2與入射透鏡3-1保持共 輒關(guān)系，入射透鏡3-1對(duì)分辨力靶成像并將分辨力靶圖像傳遞至出射透鏡3-2,出射透鏡3-2 將接收到的分辨力靶圖像投射到被測(cè)微光ICCD4-1的光陰極面上。第二積分球1 -5出口中 心、分辨力靶2靶面中心和共輒透鏡組3光軸位于同一光軸上。
[0051 ]被測(cè)微光ICCD4-1固定在測(cè)量暗箱4內(nèi)的裝夾機(jī)構(gòu)上，裝夾機(jī)構(gòu)帶有三維可調(diào)旋 鈕，通過三維可調(diào)旋鈕調(diào)節(jié)被測(cè)微光ICXD4-1位置，使測(cè)微光ICXD4-1光陰極面中心位于第 二積分球1-5出口中心、分辨力靶2靶面中心和共輒透鏡組3光軸構(gòu)成的同一光軸上，且被測(cè) 微光ICCD4-1光陰極面位于出射透鏡3-2像方焦平面處，測(cè)量暗箱4前壁帶有輸入窗口，共輒 透鏡組3對(duì)分辨力靶所成的像經(jīng)過輸入窗口達(dá)到被測(cè)微光ICCD4-1陰極面上;測(cè)量暗箱4后 壁帶有過線孔，被測(cè)微光ICCD4-1的視頻輸出線和電源線由過線孔穿過，視頻輸出線連至視 頻圖像采集系統(tǒng)6。
[0052]光源系統(tǒng)1、共輒透鏡組3和測(cè)量暗箱4通過相應(yīng)的結(jié)構(gòu)支撐架5-1、5_2和5-3固定 在光學(xué)平臺(tái)5上。第二積分球1-5出口中心、分辨力靶2的靶面中心、共輒透鏡組3的光軸和待 測(cè)微光ICXD4-1中心均位于同一光軸上。
[0053]視頻圖像采集系統(tǒng)6可采集各種視頻格式的微光ICCD輸出的測(cè)量信號(hào)，視頻圖像 采集系統(tǒng)6采集被測(cè)微光ICCD4-1接收到的分辨力靶圖像，并將采集到的分辨力靶圖像送入 計(jì)算機(jī)。視頻圖像采集系統(tǒng) 6 包括 PXIe-lO82、PXIe-5122、PXIe-1435、PXIe-1490PPCIe8375 通信卡，PXIe-5122用于模擬視頻采集，PXle-1435用于Camera Link接口的數(shù)字視頻采集， PXIe-1491主要用于HDMI接口的數(shù)字視頻采集，在計(jì)算機(jī)和PXIe-1082間采用PCIe8375作為 通信卡。
[0054]計(jì)算機(jī)7用于顯示視頻圖像采集系統(tǒng)6傳輸?shù)姆直媪Π袌D像和調(diào)用微光ICCD分辨 力測(cè)量軟件實(shí)現(xiàn)測(cè)量結(jié)果分析計(jì)算，調(diào)節(jié)電控可變衰減器1-2和孔徑光闌轉(zhuǎn)輪1-4得到對(duì)比 度最佳的分辨力靶圖像；調(diào)節(jié)測(cè)量暗箱4內(nèi)的裝夾機(jī)構(gòu)帶有的三維可調(diào)旋鈕使被測(cè)微光 ICCD4-1光陰極面位于共輒透鏡組出射透鏡的像方焦平面處，得到清晰度最佳的分辨力靶 圖像。
[0055]采用本發(fā)明微光ICCD分辨力測(cè)量裝置實(shí)現(xiàn)的分辨力測(cè)量方法包括以下步驟：
[0056]步驟1:為減小環(huán)境雜散光對(duì)微光ICCD分辨力測(cè)量結(jié)果的影響，測(cè)量環(huán)境應(yīng)為暗 室，使用Photo Research公司型號(hào)為PR-810L的光度計(jì)配合CR-800型號(hào)的照度探測(cè)器作為 照度計(jì)，可實(shí)現(xiàn)的照度測(cè)量范圍為（1 X 1〇_6~1 X 1〇3)1χ，照度計(jì)測(cè)量微光ICXD分辨力測(cè)量 環(huán)境照度E。，判斷環(huán)境照度E。是否滿足1 X 10-51χ的條件，若滿足，進(jìn)入步驟2;若不滿足， 更換測(cè)量環(huán)境直至環(huán)境照度滿足Ε。彡IX 10-51χ的條件。
[0057] 步驟2:打開光源系統(tǒng)，可調(diào)光源采用歐司朗公司型號(hào)為HALOSTAR 50W 12V GY6.35的鹵素?zé)簦珳貥?biāo)稱值為3000Κ，調(diào)節(jié)可調(diào)光源使電流值達(dá)到額定電流，使用Photo Research公司型號(hào)為PR-880的色度計(jì)測(cè)量光源系統(tǒng)第二積分球出口處色溫值CT:
[0058] 步驟2.1:將PR-880色度計(jì)放置于光路中，使色度計(jì)探測(cè)器中心與光源系統(tǒng)第二積 分球出口中心位于同一光軸上，第二積分球出口直徑為50mm，計(jì)算機(jī)為選擇PR-880色度計(jì) 選擇3°視場(chǎng)角，調(diào)節(jié)色度計(jì)與第二積分球出口距離使色度計(jì)視場(chǎng)角幾乎完全覆蓋第二積分 球出口，調(diào)節(jié)色度計(jì)探測(cè)器焦距并聚焦于第二積分球出口處；
[0059]步驟2.2:計(jì)算機(jī)控制PR-880色度計(jì)測(cè)量光源系統(tǒng)第二積分球出口處色溫值，并得 到第一次色溫實(shí)測(cè)值CTi，重復(fù)測(cè)量第二積分球出口處色溫值，最終獲得一組第二積分球出 口處色溫值CT2、……、CT N，計(jì)算機(jī)對(duì)CTi、CT2、……、CTN求平均值后得到光源系統(tǒng)積分球出口 處色溫值CT:
[0060]
[0061 ]其中η為色溫值測(cè)量次數(shù)；
[0062] 步驟2.3:判斷光源系統(tǒng)第二積分球出口處色溫值(：1'是否滿足(：1^(28561(±501〇 的條件，如滿足，則表明光源系統(tǒng)色溫符合要求，然后進(jìn)入步驟2.4;如不滿足，則在改變可 調(diào)光源電流值后，返回步驟2.2;
[0063] 步驟2.4:選用南京理工大學(xué)研制的ΡΗ-5型光電檢流計(jì)監(jiān)測(cè)光源系統(tǒng)色溫值變化， ΡΗ-5型光電檢流計(jì)最小分辨率為InA;記錄光源系統(tǒng)第二積分球出口處色溫值CT滿足CTe (2856K± 50K)條件時(shí)的光電流值I，測(cè)量過程中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)光電檢流計(jì)的光電流示值變化△ I，若Δ I〈 1 OnA，則表示光源系統(tǒng)色溫穩(wěn)定，然后進(jìn)入步驟3;若Δ I> 1 OnA，則返回步驟2.2;
[0064] 步驟3:測(cè)量光源系統(tǒng)第二積分球出口處亮度不均勻性E:
[0065] 步驟3.1:使用Photo Research公司型號(hào)為PR-810L的光度計(jì)配合MS-75型號(hào)的亮 度探測(cè)器作為亮度計(jì)，亮度計(jì)包括3°、1°、（1/4)°和（1/8)°四個(gè)視場(chǎng)角，可實(shí)現(xiàn)的亮度測(cè)量 范圍為（1 X 1〇_6~1 X l〇5)cd/m2,將亮度計(jì)放置于光路中，使亮度計(jì)探測(cè)器中心與光源系統(tǒng) 積分球出口中心位于同一光軸上，調(diào)節(jié)亮度計(jì)探測(cè)器焦距并聚焦于積分球出口處，為提高 亮度均勻性測(cè)量精度，亮度計(jì)選擇(1/8)°的視場(chǎng)角，計(jì)算機(jī)控制亮度計(jì)視場(chǎng)角選擇；
[0066]步驟3.2:在第二積分球出口面上選取兩條互相垂直的直徑形成一個(gè)十字線作為 測(cè)量區(qū)域，十字線縱向和橫向尺寸均等于第二積分球出口直徑50mm，十字線交叉點(diǎn)作為測(cè) 量區(qū)域原點(diǎn)，在測(cè)量區(qū)域中根據(jù)十字線縱向和橫向與原點(diǎn)的相對(duì)位置分為上、下、左、右四 個(gè)方向，在四個(gè)方向上取相同數(shù)量的測(cè)量點(diǎn)，所有測(cè)量點(diǎn)記為d(m)，其中，d代表上、下、左、 右，四個(gè)方向，四個(gè)方向選取的測(cè)量點(diǎn)數(shù)均為m個(gè)，且m=l、2、……1。(1(1)與原點(diǎn)距離相等， d(l)與d(2)、d(2)與d(3)、……、d(M-l)與d(M)距離均相等且等于d(l)與原點(diǎn)的距離，對(duì)測(cè) 量區(qū)域原點(diǎn)和4*M個(gè)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行相等次數(shù)的測(cè)量，測(cè)量次數(shù)記為t，且t = 1、2、......、T;
[0067] 步驟3.3:計(jì)算機(jī)控制亮度計(jì)對(duì)測(cè)量區(qū)域原點(diǎn)亮度值進(jìn)行測(cè)量，并得到第一次亮度 實(shí)測(cè)值LQ1，對(duì)測(cè)量區(qū)域原點(diǎn)亮度值進(jìn)行重復(fù)測(cè)量，最終獲得一組測(cè)量區(qū)域原點(diǎn)亮度值 L〇2、……、Lot，計(jì)算機(jī)對(duì)LQ1、LQ2、……、Lot求平均值后得到測(cè)量區(qū)域原點(diǎn)亮度平均值Lo:
[0068]
[0069] 步驟3.4:計(jì)算機(jī)控制亮度計(jì)逐次移動(dòng)至測(cè)量區(qū)域測(cè)量點(diǎn)并控制亮度計(jì)對(duì)測(cè)量區(qū) 域測(cè)量點(diǎn)亮度值進(jìn)行測(cè)量，并得到第一次亮度實(shí)測(cè)值LdUU，對(duì)測(cè)量區(qū)域測(cè)量點(diǎn)亮度值進(jìn)行 重復(fù)測(cè)量，最終獲得一組測(cè)量區(qū)域測(cè)量點(diǎn)亮度值2、......、Ld(m)t，計(jì)算機(jī)對(duì)Ld(mU、 LdW2、……、LdWt求平均值后得到測(cè)量區(qū)域測(cè)量點(diǎn)亮度值LdW:
[0070]
[0071 ]步驟3.5:分別計(jì)算測(cè)量區(qū)域原點(diǎn)亮度值Lo、測(cè)量點(diǎn)亮度值LdW與測(cè)量區(qū)域原點(diǎn)亮 度值Lo的比值，記為Co和CdW :
[0072]
[0073]
[0074]步驟3.6:在所有0(1?值中找到最大值111&1(0 (1?)和最小值1^11(0(1?)，判斷光源系 統(tǒng)第二積分球出口處亮度不均勻性E是否滿足以下條件：
[0075] E=max(Cd(m))-rnin(Cd(m))<l%
[0076] 若滿足，則表明該光源系統(tǒng)滿足不均勻性E小于1 %的要求，然后進(jìn)入步驟4;若不 滿足，則需要在改進(jìn)光源系統(tǒng)以減小光源不均勻?qū)Τ上褓|(zhì)量的影響后，返回步驟3.3;
[0077] 步驟4:分辨力靶位于第二積分球出口處，分辨力靶靶面中心與第二積分球出口中 心位于同一光軸上。沿第二積分球出口中心和分辨力革E1革E1面中心構(gòu)成的同一光軸方向調(diào)節(jié) 共輒透鏡組位置，直至在共輒透鏡組出射透鏡后觀察到與分辨力靶同等大小的分辨力靶 像，此時(shí)分辨力靶位于共輒透鏡組入射透鏡的物方焦平面處；
[0078] 步驟5:將被測(cè)微光ICCD放置于測(cè)量暗箱中，使用裝夾機(jī)構(gòu)固定使被測(cè)微光ICCD不 會(huì)發(fā)生擺動(dòng)；
[0079] 步驟6:被測(cè)微光ICCD將接收到的分辨力靶圖像通過視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸至計(jì) 算機(jī)；
[0080] 步驟7:計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯示視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪Π袌D像，計(jì)算機(jī)控制調(diào)節(jié) 光源系統(tǒng)的孔徑光闌轉(zhuǎn)輪和電控可變衰減器改變光源系統(tǒng)照度使計(jì)算機(jī)顯示的分辨力靶 圖像對(duì)比度達(dá)到最佳;沿共輒透鏡組所在的光軸方向調(diào)節(jié)被測(cè)微光ICCD位置，使被測(cè)微光 ICCD光陰極面位于出射透鏡像方焦平面處，此時(shí)計(jì)算機(jī)顯示的分辨力靶圖像清晰度達(dá)到最 佳。同時(shí)滿足對(duì)比度和清晰度最佳的分辨力靶圖像用于微光ICCD分辨力測(cè)量軟件進(jìn)行分析 計(jì)算；
[0081 ]步驟8:調(diào)用計(jì)算機(jī)中的微光ICCD分辨力測(cè)量軟件，實(shí)現(xiàn)對(duì)微光ICCD分辨力的測(cè)量 計(jì)算和保存：
[0082] 步驟8.1:當(dāng)被測(cè)微光ICXD光陰極面中心調(diào)整至第二積分球出口中心、分辨力靶靶 面中心、共輒透鏡組光軸構(gòu)成的同一光軸上時(shí)，測(cè)量結(jié)果是被測(cè)微光ICCD的中心分辨力。微 光ICCD分辨力測(cè)量軟件分析當(dāng)前視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪Π袌D像，對(duì)當(dāng)前圖像信息 進(jìn)行計(jì)算得到第一次中心分辨力計(jì)算結(jié)果R cl，重復(fù)測(cè)量微光ICCD中心分辨力得到一組計(jì)算 結(jié)果1?。2、……、RaS，計(jì)算機(jī)對(duì)Ral、心2、……RaS求平均值后得到被測(cè)微光ICXD中心分辨力計(jì)算 結(jié)果R。：
[0083]
[0084] s為被測(cè)微光1C⑶中心分辨力測(cè)量次數(shù)；
[0085] 步驟8.2:以被測(cè)微光ICXD光陰極面中心點(diǎn)為圓心，取被測(cè)微光ICXD光陰極面上有 效半徑為80%的圓周，在圓周上每隔90°取四個(gè)點(diǎn)并記為Pi，i = 1、2、3、4，通過裝夾機(jī)構(gòu)的 三維調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)整被測(cè)微光ICCD位置，使被測(cè)微光ICCD光陰極面選取的四個(gè)點(diǎn)？1依次位于 第二積分球出口中心、分辨力靶靶面中心、共輒透鏡組光軸構(gòu)成的同一光軸上，實(shí)現(xiàn)被測(cè)微 光ICCD邊緣分辨力的測(cè)量。對(duì)四個(gè)點(diǎn)Pi進(jìn)行相同次數(shù)的測(cè)量，測(cè)量次數(shù)記為j，且j = 1、 2、……J，微光ICCD分辨力測(cè)量軟件分析當(dāng)前視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪Π袌D像，對(duì)當(dāng) 前圖像信息進(jìn)行計(jì)算得到第一次邊緣分辨力計(jì)算結(jié)果心:,，重復(fù)測(cè)量微光ICCD邊緣分辨力 得到一組計(jì)算結(jié)果化廣及仏、，..，，.:、及盡，計(jì)算機(jī)對(duì)/? /:|、心j"求平均值后 得到被測(cè)微光ICCD邊緣分辨力計(jì)算結(jié)果:
[0086]
[0087] j為被測(cè)微光1C⑶邊緣分辨力測(cè)量次數(shù)。
[0088] Rc和馬》，為被測(cè)微光ICXD分辨力的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算機(jī)將這組微光ICXD分辨力測(cè)量以 表格的形式保存，同時(shí)計(jì)算機(jī)將用于分析計(jì)算微光ICCD分辨力測(cè)量結(jié)果的分辨力靶圖像保 存。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:包括光源系統(tǒng)、分辨力祀、共輛透鏡組、 帶有輸入窗口和過線孔的測(cè)量暗箱、光學(xué)平臺(tái)、視頻圖像采集系統(tǒng)和分析系統(tǒng)； 光源系統(tǒng)、共輛透鏡組和測(cè)量暗箱均固定在所述光學(xué)平臺(tái)上;光源系統(tǒng)能夠產(chǎn)生不均 勻性小于1%的均勻光，且光源系統(tǒng)出口處有光電檢流計(jì)實(shí)時(shí)顯示光源系統(tǒng)的光電流值;分 辨力祀處于光源系統(tǒng)和共輛透鏡組之間;光源系統(tǒng)出口中屯、、分辨力祀祀面中屯、、共輛透鏡 組光軸和處于測(cè)量暗箱內(nèi)的待測(cè)微光ICCD光陰極面中屯、位于同一光軸上;分辨力祀位于共 輛透鏡組入射透鏡的物方焦平面處，待測(cè)微光ICCD光陰極面位于共輛透鏡組出射透鏡像方 焦平面處;待測(cè)微光ICCD輸出的圖像輸出給視頻圖像采集系統(tǒng);視頻圖像采集系統(tǒng)將采集 的圖像傳輸給分析系統(tǒng);分析系統(tǒng)對(duì)待測(cè)微光ICCD的分辨力測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析計(jì)算。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:所述光源系統(tǒng)包含 色溫標(biāo)稱值在2800K~3000K范圍內(nèi)的可調(diào)光源、第一積分球、第二積分球、電控可變衰減器 和孔徑光闊轉(zhuǎn)輪;可調(diào)光源發(fā)出的光經(jīng)過電控可變衰減器衰減照度后入射到第一積分球， 孔徑光闊轉(zhuǎn)輪對(duì)第一積分球的出射光照度進(jìn)行衰減，衰減后的光入射到第二積分球，第二 積分球出射不均勻性小于1 %的均勻光照射到分辨力祀上。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:孔徑光闊轉(zhuǎn)輪控制 若干階梯量級(jí)照度值，每個(gè)階梯量級(jí)照度通過電控可變衰減器精密調(diào)節(jié)。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種微光ICCD分辨力測(cè)量裝置，其特征在于:測(cè)量暗箱內(nèi)裝有裝 夾機(jī)構(gòu)，待測(cè)微光ICCD固定在裝夾機(jī)構(gòu)上;裝夾機(jī)構(gòu)帶有Ξ維可調(diào)旋鈕，能夠調(diào)節(jié)待測(cè)微光 ICCD的空間位置和方位角度。5. 利用權(quán)利要求1所述測(cè)量裝置進(jìn)行微光ICCD分辨力測(cè)量的方法，其特征在于:包括W 下步驟： 步驟1:測(cè)量環(huán)境照度E。，若滿足1 X 10-51χ，則進(jìn)入步驟2，否則更換測(cè)量環(huán)境直至環(huán) 境照度滿足Ec《1X1〇-51x; 步驟2:打開光源系統(tǒng)，調(diào)節(jié)可調(diào)光源電流達(dá)到可調(diào)光源額定電流，測(cè)量光源系統(tǒng)出口 處色溫值CT: 步驟2.1:將色度計(jì)放置于光路中，使色度計(jì)探測(cè)器中屯、與光源系統(tǒng)出口中屯、位于同一 光軸上，根據(jù)光源系統(tǒng)出口尺寸選擇色度計(jì)探測(cè)器的視場(chǎng)角，并調(diào)節(jié)色度計(jì)與光源系統(tǒng)出 口的距離使色度計(jì)探測(cè)器視場(chǎng)角完全覆蓋光源系統(tǒng)出口，調(diào)節(jié)色度計(jì)探測(cè)器焦距并聚焦于 光源系統(tǒng)出口處； 步驟2.2:控制色度計(jì)多次測(cè)量光源系統(tǒng)出口處色溫值，得到一組光源系統(tǒng)出口處色溫 值CTi、CT2、……、CTn，對(duì)CTi、CT2、……、CTn求平均值后得到光源系統(tǒng)出口處色溫值CT; 步驟2.3:判斷光源系統(tǒng)出口處色溫值CT是否滿足CTe (285服±50K)的條件，如滿足， 則進(jìn)入步驟2.4;如不滿足，則改變可調(diào)光源電流值后，返回步驟2.2; 步驟2.4:實(shí)時(shí)記錄光源系統(tǒng)出口處色溫值CT滿足CT e (285服± 50K)條件時(shí)，光電檢流 計(jì)的光電流值I，并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)光電檢流計(jì)的光電流值變化A I，若ΔΚΙΟηΑ，則進(jìn)入步驟3,否 則返回步驟2.2; 步驟3:測(cè)量光源系統(tǒng)出口處亮度不均勻性Ε: 步驟3.1:將亮度計(jì)放置于光路中，使亮度計(jì)探測(cè)器中屯、與光源系統(tǒng)出口中屯、位于同一 光軸上，調(diào)節(jié)亮度計(jì)探測(cè)器焦距并聚焦于光源系統(tǒng)出口處； 步驟3.2: W光源系統(tǒng)出口處中為測(cè)量原點(diǎn)；在光源系統(tǒng)出口面內(nèi)，W測(cè)量原點(diǎn)為中屯、， 在測(cè)量原點(diǎn)周圍均勻取若干測(cè)量點(diǎn)； 步驟3.3:采用亮度計(jì)對(duì)測(cè)量原點(diǎn)處的亮度值進(jìn)行測(cè)量，通過多次測(cè)量并取平均值的方 法得到測(cè)量原點(diǎn)處的亮度值Lo; 步驟3.4:采用亮度計(jì)對(duì)每個(gè)測(cè)量點(diǎn)處的亮度值進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量時(shí)，移動(dòng)亮度計(jì)使亮度 計(jì)探測(cè)器中屯、與測(cè)量點(diǎn)連線平行于光軸，對(duì)于第i個(gè)測(cè)量點(diǎn)，通過多次測(cè)量并取平均值的方 法得到測(cè)量點(diǎn)i處的亮度值 步驟3.5:計(jì)算所有測(cè)量點(diǎn)亮度值與測(cè)量原點(diǎn)亮度值的比值步驟3.6:計(jì)算光源系統(tǒng)出口處亮度不均勻性E = max(Ci)-min(Ci)，判斷E是否滿足E< 1 %，若滿足，則進(jìn)入步驟4，若不滿足，則調(diào)整光源系統(tǒng)后返回步驟3.3; max(Ci) W及min(Ci) 分別表示所有測(cè)量點(diǎn)亮度值與測(cè)量原點(diǎn)亮度值的比值中的最大值和最小值； 步驟4:將分辨力祀置于光源系統(tǒng)出口與共輛透鏡組之間，并使分辨力祀祀面中屯、與光 源系統(tǒng)出口中屯、位于共輛透鏡組光軸上，沿光軸方向調(diào)節(jié)共輛透鏡組位置，使共輛透鏡組 出射透鏡后觀察到與分辨力祀同等大小的分辨力祀像，實(shí)現(xiàn)將分辨力祀位于共輛透鏡組入 射透鏡的物方焦平面處； 步驟5:將被測(cè)微光ICCD放置于測(cè)量暗箱中，被測(cè)微光ICCD光陰極面中屯、位于共輛透鏡 組光軸上； 步驟6:被測(cè)微光ICCD將接收到的分辨力祀圖像通過視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸至分析系 統(tǒng)； 步驟7:分析系統(tǒng)實(shí)時(shí)顯示視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪雸D像；調(diào)節(jié)光源系統(tǒng)照 度，使分辨力祀圖像對(duì)比度達(dá)到最佳;沿共輛透鏡組光軸調(diào)節(jié)被測(cè)微光ICCD位置，使分辨力 祀圖像清晰度達(dá)到最佳，實(shí)現(xiàn)被測(cè)微光ICCD光陰極面位于共輛透鏡組出射透鏡像方焦平面 處； 步驟8:分析系統(tǒng)根據(jù)分辨力祀圖像進(jìn)行微光ICCD分辨力計(jì)算： 步驟8.1:當(dāng)被測(cè)微光ICCD光陰極面中屯、處于光源系統(tǒng)出口中屯、、分辨力祀祀面中屯、、 共輛透鏡組光軸構(gòu)成的光軸上時(shí)，測(cè)量結(jié)果是被測(cè)微光ICCD的中屯、分辨力：分析系統(tǒng)分析 當(dāng)前視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪雸D像，對(duì)當(dāng)前圖像信息進(jìn)行計(jì)算得到第一次中屯、分 辨力計(jì)算結(jié)果Rel，重復(fù)測(cè)量微光ICCD中屯、分辨力得到一組計(jì)算結(jié)果Re2、……、ReS，對(duì)Rcl、 Rc2、……Rcs求平均值后得到被測(cè)微光ICCD中屯、分辨力計(jì)算結(jié)果Rc:S為被測(cè)微光ICCD中屯、分辨力測(cè)量次數(shù)； 步驟8.2: W被測(cè)微光ICCD光陰極面中屯、點(diǎn)為圓屯、，取被測(cè)微光ICCD光陰極面上有效半 徑為80%的圓周，在圓周上每隔90°取四個(gè)點(diǎn)Pi，i = 1、2、3、4，通過調(diào)整被測(cè)微光ICCD位置， 使被測(cè)微光ICCD光陰極面選取的四個(gè)點(diǎn)Pi依次位于光源系統(tǒng)出口中屯、、分辨力祀祀面中 屯、、共輛透鏡組光軸構(gòu)成的光軸上，得到被測(cè)微光ICCD的邊緣分辨力:對(duì)于第i個(gè)點(diǎn)，分析系 統(tǒng)分析當(dāng)前視頻圖像采集系統(tǒng)傳輸?shù)姆直媪雸D像，對(duì)當(dāng)前圖像信息進(jìn)行計(jì)算得到第一次 邊緣分辨力計(jì)算結(jié)果馬:,，重復(fù)測(cè)量微光ICCD邊緣分辨力得到一組計(jì)算結(jié)果 W,,、巧&，計(jì)算機(jī)對(duì)及巧，、巧巧&求平均值后得到被測(cè)微光ICCD邊緣分辨 力計(jì)算結(jié)果j為被測(cè)微光ICCD邊緣分辨力測(cè)量次數(shù)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述微光ICCD分辨力測(cè)量的方法，其特征在于:步驟3.2中，測(cè)量原點(diǎn) 周圍的測(cè)量點(diǎn)選擇方式為:過測(cè)量原點(diǎn)在光源系統(tǒng)出口面上做十字線，從測(cè)量原點(diǎn)起向十 字線四個(gè)方向各自選擇若干等距測(cè)量點(diǎn)。
【文檔編號(hào)】G01M11/02GK105973570SQ201610268331
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年4月27日
【發(fā)明人】史繼芳, 解琪, 王生云, 孫宇楠, 李琪, 李宏光, 曹鋒, 王樂, 張博妮
【申請(qǐng)人】西安應(yīng)用光學(xué)研究所