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一種石英基板底厚快速測(cè)量方法

文檔序號(hào):9824923閱讀:383來(lái)源:國(guó)知局
一種石英基板底厚快速測(cè)量方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種厚度測(cè)量方法,具體涉及一種石英基板底厚快速測(cè)量方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在使用基板的生產(chǎn)過(guò)程中,需要對(duì)石英基板的底厚進(jìn)行測(cè)量確認(rèn),現(xiàn)有技術(shù)中通常采用測(cè)量石英基本凹槽深度,然后與石英基板直徑相減得到基板厚度。但由于石英基板一般直徑較小,測(cè)量難度大且測(cè)量的數(shù)值會(huì)出現(xiàn)偏差,測(cè)量部不準(zhǔn)確。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種操作方便,測(cè)量快速、準(zhǔn)確的石英基板底厚快速測(cè)量裝置。
[0004]技術(shù)方案:本發(fā)明所述的一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,包括如下步驟:
(1)根據(jù)石英基板的凹槽寬度選擇合適寬度的支撐墊片;
(2)將墊片與底座固定;
(3)首先校正零位,即放下把手時(shí),測(cè)頭與墊片表面接觸,把百分表清零校正;
(4)然后可以開(kāi)始逐個(gè)測(cè)量:抬起把手,將待測(cè)基板倒置放在墊片上,再放下把手,讀出百分表讀數(shù),就是測(cè)得的基板底厚數(shù)值。
[0005]進(jìn)一步的,其測(cè)量裝置包括底座和與所述底座固定連接的固定架,所述固定架通過(guò)支架固定連接有百分表,所述百分表下端通過(guò)伸縮管活動(dòng)連接有測(cè)頭,所述測(cè)頭正下方設(shè)有與底座固定連接的支撐墊片,所述支撐墊片上放置有待測(cè)石英基板。
[0006]進(jìn)一步的,所述伸縮管上固定連接有按壓把手。
[0007]進(jìn)一步的,所述測(cè)頭為不銹鋼測(cè)頭。
[0008]進(jìn)一步的,所述支撐墊片與所述底座通過(guò)兩側(cè)的鎖緊螺絲固定連接。
[0009]進(jìn)一步的,所述待測(cè)石英基板倒置放置。
[0010]進(jìn)一步的,所述待測(cè)石英基板的寬度大于所述支撐片的寬度。
[0011]有益效果:本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能直觀看到測(cè)量結(jié)果,測(cè)量準(zhǔn)確,操作方便的優(yōu)點(diǎn),解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純測(cè)量基板凹槽深度不方便的技術(shù)問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖。
[0013]圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0014]圖3為本發(fā)明的支撐墊片與待測(cè)石英基板結(jié)構(gòu)放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]—種石英基板底厚快速測(cè)量方法,包括如下步驟:
(I)根據(jù)石英基板的凹槽寬度選擇合適寬度的支撐墊片; (2)將墊片與底座固定;
(3)首先校正零位,即放下把手時(shí),測(cè)頭與墊片表面接觸,把百分表清零校正;
(4)然后可以開(kāi)始逐個(gè)測(cè)量:抬起把手,將待測(cè)基板倒置放在墊片上,再放下把手,讀出百分表讀數(shù),就是測(cè)得的基板底厚數(shù)值。
[0016]如圖1-3所示的一種石英基板底厚快速測(cè)量裝置,包括底座I和與所述底座I固定連接的固定架2,固定架2通過(guò)支架7固定連接有百分表3,百分表3下端通過(guò)伸縮管4活動(dòng)連接有測(cè)頭6,測(cè)頭6正下方設(shè)有與底座I固定連接的支撐墊片8,支撐墊片8上放置有待測(cè)石英基板9,其中伸縮管4上固定連接有按壓把手5,測(cè)頭6為不銹鋼測(cè)頭,支撐墊片8與所述底座I通過(guò)兩側(cè)的鎖緊螺絲固定連接,待測(cè)石英基板9倒置放置,待測(cè)石英基板9的寬度大于所述支撐片8的寬度。
[0017]本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能直觀看到測(cè)量結(jié)果,測(cè)量準(zhǔn)確,操作方便的優(yōu)點(diǎn),解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純測(cè)量基板凹槽深度不方便的技術(shù)問(wèn)題。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,其特征在于:包括如下步驟: (1)根據(jù)石英基板的凹槽寬度選擇合適寬度的支撐墊片; (2)將墊片與底座固定; (3)首先校正零位,即放下把手時(shí),測(cè)頭與墊片表面接觸,把百分表清零校正; (4)然后可以開(kāi)始逐個(gè)測(cè)量:抬起把手,將待測(cè)基板倒置放在墊片上,再放下把手,讀出百分表讀數(shù),就是測(cè)得的基板底厚數(shù)值。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,其特征在于:其測(cè)量裝置包括底座(I)和與所述底座(I)固定連接的固定架(2),所述固定架(2)通過(guò)支架(7)固定連接有百分表(3),所述百分表(3)下端通過(guò)伸縮管(4)活動(dòng)連接有測(cè)頭(6),所述測(cè)頭(6)正下方設(shè)有與底座(I)固定連接的支撐墊片(8),所述支撐墊片(8)上放置有待測(cè)石英基板(9)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,其特征在于:所述伸縮管(4)上固定連接有按壓把手(5)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,其特征在于:所述測(cè)頭(6)為不銹鋼測(cè)頭。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,其特征在于:所述支撐墊片(8)與所述底座(I)通過(guò)兩側(cè)的鎖緊螺絲固定連接。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,其特征在于:所述待測(cè)石英基板(9)倒置放置。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,其特征在于:所述待測(cè)石英基板(9)的寬度大于所述支撐片(8)的寬度。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種石英基板底厚快速測(cè)量方法,根據(jù)石英基板的凹槽寬度選擇合適寬度的支撐墊片,將墊片與底座固定,首先校正零位,即放下把手時(shí),測(cè)頭與墊片表面接觸,把百分表清零校正,然后可以開(kāi)始逐個(gè)測(cè)量:抬起把手,將待測(cè)基板倒置放在墊片上,再放下把手,讀出百分表讀數(shù),就是測(cè)得的基板底厚數(shù)值。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能直觀看到測(cè)量結(jié)果,測(cè)量準(zhǔn)確,操作方便的優(yōu)點(diǎn),解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純測(cè)量基板凹槽深度不方便的技術(shù)問(wèn)題。
【IPC分類(lèi)】G01B5/06
【公開(kāi)號(hào)】CN105588489
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610116781
【發(fā)明人】張泳翔, 許建
【申請(qǐng)人】南通永明光纖材料有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2016年3月24日
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