形狀測定裝置、構(gòu)造物制造系統(tǒng)、形狀測定方法、構(gòu)造物制造方法、形狀測定程序、以及記 ...的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種形狀測定裝置、構(gòu)造物制造系統(tǒng)、形狀測定方法、構(gòu)造物制造方法、形狀測定程序、以及記錄介質(zhì)。
【背景技術(shù)】
[0002]關(guān)于形狀測定裝置，眾所周知的是通過接觸傳感器對(duì)例如齒輪或渦輪等具有復(fù)雜的形狀的測定對(duì)象的表面形狀進(jìn)行測定的形狀測定裝置。這種形狀測定裝置將使接觸傳感器與測定對(duì)象的表面接觸的狀態(tài)時(shí)接觸傳感器的位置轉(zhuǎn)換成測定對(duì)象的表面的空間坐標(biāo)，而對(duì)測定對(duì)象的表面形狀進(jìn)行測定(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
[0003]先前技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利特公平08-025092號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006][發(fā)明所欲解決的課題]
[0007]對(duì)于形狀測定裝置，希望縮短測定時(shí)間，但在專利文獻(xiàn)1所記載的形狀測定裝置的情況下，由于重復(fù)進(jìn)行使接觸傳感器與測定對(duì)象的表面接觸的動(dòng)作，所以測定時(shí)間變長，因此無法使測定點(diǎn)的數(shù)量增多。
[0008]此處，作為形狀測定裝置，存在一種使用光切斷法等的形狀測定裝置，S卩，將具有成為指定圖案的光量分布的光束投影在被測定物來對(duì)其形狀進(jìn)行測量而測量出被測定物的形狀。使用光切斷法等的形狀測定裝置能夠以非接觸方式測量出形狀，因此能夠更加高速地測量出形狀。但是，使用光切斷法等的形狀測定裝置必須設(shè)定用來進(jìn)行測定的各種條件，步驟、處理都比較復(fù)雜。
[0009]本發(fā)明是考慮到諸如以上的點(diǎn)而完成的，其目的在于提供一種能夠更加簡單地測量出被測定物的形狀的形狀測定裝置、構(gòu)造物制造系統(tǒng)、形狀測定方法、構(gòu)造物制造方法、形狀測定程序、及記錄介質(zhì)。
[0010][解決課題的技術(shù)手段]
[0011]根據(jù)本發(fā)明的第一方案，提供一種形狀測定裝置，其是對(duì)被測定物的形狀進(jìn)行測定的形狀測定裝置，且具有:探針，包含投影光學(xué)系統(tǒng)及攝像裝置，所述投影光學(xué)系統(tǒng)向所述被測定物的表面投影線狀圖案，或至少在線狀掃描范圍內(nèi)一邊掃描點(diǎn)圖案，一邊投影點(diǎn)圖案;所述攝像裝置對(duì)投影在所述被測定物上的圖案像進(jìn)行檢測;移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述被測定物相對(duì)于所述探針以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的方式使所述被測定物與所述探針相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)，并且使所述探針與所述被測定物中的任一者至少在與所述相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向交叉的方向上相對(duì)性地移動(dòng);測定區(qū)域設(shè)定部，對(duì)所述被測定物的測定區(qū)域進(jìn)行設(shè)定；以及實(shí)際測定區(qū)域設(shè)定部，基于利用所述測定區(qū)域設(shè)定部而設(shè)定的測定區(qū)域，對(duì)包含實(shí)際測定開始位置及實(shí)際測定結(jié)束位置的實(shí)際測定區(qū)域進(jìn)行設(shè)定;且所述實(shí)際測定區(qū)域設(shè)定部以比所述測定區(qū)域更靠近所述旋轉(zhuǎn)軸的方式，設(shè)定所述實(shí)際測定開始位置或所述實(shí)際測定結(jié)束位置中距旋轉(zhuǎn)軸中心較近的一方，或者將所述實(shí)際測定開始位置或所述實(shí)際測定結(jié)束位置中位于徑向外側(cè)的一方設(shè)定在比所述測定范圍更遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)軸的方向上。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的第二方案，提供一種形狀測定裝置，其是對(duì)被測定物的形狀進(jìn)行測定的形狀測定裝置，且具有:探針，包含投影光學(xué)系統(tǒng)及攝像裝置，所述投影光學(xué)系統(tǒng)向所述被測定物的表面投影線狀圖案，或至少在線狀掃描范圍內(nèi)一邊掃描圖案一邊投影圖案，所述攝像裝置對(duì)投影在所述被測定物上的圖案的像進(jìn)行檢測;移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述被測定物相對(duì)于所述探針以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的方式使所述被測定物與所述探針相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)，并且使所述探針與所述被測定物中的至少一者至少在與所述相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向交叉的方向上相對(duì)性地移動(dòng)；以及控制部，根據(jù)投影在所述被測定物上時(shí)的所述圖案或所述線狀掃描范圍的與所述旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)位置關(guān)系，而對(duì)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的第三方案，提供一種構(gòu)造物制造系統(tǒng)，其具備:成形裝置，基于與構(gòu)造物的形狀相關(guān)的設(shè)計(jì)信息而成形所述構(gòu)造物;根據(jù)本發(fā)明的第一或第二態(tài)樣所述的形狀測定裝置，對(duì)通過所述成形裝置而成形的所述構(gòu)造物的形狀進(jìn)行測定;及控制裝置，對(duì)表示通過所述形狀測定裝置而測定出的所述構(gòu)造物的形狀的形狀信息與所述設(shè)計(jì)信息進(jìn)行比較。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的第四方案，提供一種形狀測定方法，其是從探針向被測定物的表面照射線狀圖案或至少在線狀掃描范圍內(nèi)一邊掃描點(diǎn)圖案一邊投影點(diǎn)圖案，使所述探針對(duì)投影在所述被測定物上的圖案像進(jìn)行檢測而測定出所述被測定物的形狀;且該形狀測定方法包括如下步驟:以使所述被測定物相對(duì)于所述探針以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的方式使所述被測定物與所述探針相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)，并且使所述探針與所述被測定物中的任一者至少在與所述相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向交叉的方向上相對(duì)性地移動(dòng);對(duì)所述被測定物的測定區(qū)域進(jìn)行設(shè)定;基于所述測定區(qū)域，對(duì)包含實(shí)際測定開始位置及實(shí)際測定結(jié)束位置的實(shí)際測定區(qū)域進(jìn)行設(shè)定;及以比所述測定區(qū)域更靠近所述旋轉(zhuǎn)軸的方式，設(shè)定實(shí)際測定開始位置或?qū)嶋H測定結(jié)束位置中距旋轉(zhuǎn)軸中心較近的一方，或者將所述實(shí)際測定開始位置或所述實(shí)際測定結(jié)束位置中位于徑向外側(cè)的一方設(shè)定在比所述測定范圍更遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)軸的方向上。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的第五方案，提供一種形狀測定方法，其是從探針向被測定物的表面照射線狀圖案或至少在線狀掃描范圍內(nèi)一邊掃描點(diǎn)圖案一邊投影點(diǎn)圖案，使所述探針對(duì)投影在所述被測定物上的圖案像進(jìn)行檢測而測定出所述被測定物的形狀;且該形狀測定方法包括如下步驟:以使所述被測定物相對(duì)于所述探針以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的方式使所述被測定物與所述探針相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)，并且使所述探針與所述被測定物中的至少一者至少在與所述相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向交叉的方向上相對(duì)移動(dòng);根據(jù)投影在所述被測定物上時(shí)的所述圖案或所述線狀掃描范圍的與所述旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)位置關(guān)系而對(duì)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的第六方案，提供一種構(gòu)造物制造方法，其包括如下步驟:基于與構(gòu)造物的形狀相關(guān)的設(shè)計(jì)信息而成形所述構(gòu)造物;通過根據(jù)本發(fā)明的第四或第五態(tài)樣所述的形狀測定方法而測定出所述已成形的所述構(gòu)造物的形狀;及對(duì)表示所述測定出的所述構(gòu)造物的形狀的形狀信息與所述設(shè)計(jì)信息進(jìn)行比較。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的第七方案，提供一種形狀測定程序，其是從探針向被測定物的表面照射線狀圖案或至少在線狀掃描范圍內(nèi)一邊掃描點(diǎn)圖案一邊投影點(diǎn)圖案，使所述探針對(duì)投影在所述被測定物上的圖案像進(jìn)行檢測而測定出所述被測定物的形狀;且該形狀測定程序使計(jì)算機(jī)執(zhí)行如下動(dòng)作:以使所述被測定物相對(duì)于所述探針以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的方式使所述被測定物與所述探針相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)，并且使所述探針與所述被測定物中的任一者至少在與所述被測定物旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向交叉的方向上相對(duì)性地移動(dòng);對(duì)所述被測定物的測定區(qū)域進(jìn)行設(shè)定;基于所述測定區(qū)域，對(duì)包含實(shí)際測定開始位置及實(shí)際測定結(jié)束位置的實(shí)際測定區(qū)域進(jìn)行設(shè)定;及以比所述測定區(qū)域更靠近所述旋轉(zhuǎn)軸的方式，設(shè)定所述實(shí)際測定開始位置或所述實(shí)際測定結(jié)束位置中距旋轉(zhuǎn)軸中心較近的一方，或者將所述實(shí)際測定開始位置或所述實(shí)際測定結(jié)束位置中位于徑向外側(cè)的一方設(shè)定在比所述測定范圍更遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)軸的方向上。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的第八方案，提供一種形狀測定程序，其是從探針向被測定物的表面照射線狀圖案或至少在線狀掃描范圍內(nèi)一邊掃描點(diǎn)圖案一邊投影點(diǎn)圖案，使所述探針對(duì)投影在所述被測定物上的圖案像進(jìn)行檢測而測定出所述被測定物的形狀;且該形狀測定程序使計(jì)算機(jī)執(zhí)行如下動(dòng)作:以使所述被測定物相對(duì)于所述探針以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的方式使所述被測定物與所述探針相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)，并且使所述探針與所述被測定物中的至少一者至少在與所述相對(duì)性地旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向交叉的方向上相對(duì)性地移動(dòng);及根據(jù)投影在所述被測定物上時(shí)的所述圖案或所述線狀掃描范圍的與所述旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)位置關(guān)系而對(duì)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的第九方案，提供一種記錄介質(zhì)，其記錄根據(jù)本發(fā)明的第七或第八態(tài)樣所述的形狀測定程序，且能夠由計(jì)算機(jī)讀取。
[0020][發(fā)明的效果]
[0021 ]在本發(fā)明中，能夠更加簡單地且在短時(shí)間內(nèi)測量出被測定物的形狀。
【附圖說明】
[0022]圖1是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的立體圖；
[0023]圖2是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的構(gòu)成的示意圖；
[0024]圖3是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的俯視圖；
[0025]圖4是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的側(cè)視圖；
[0026]圖5是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的前視圖；
[0027]圖6A是表示光學(xué)探針利用第一旋轉(zhuǎn)部而實(shí)現(xiàn)的可動(dòng)范圍的俯視圖；
[0028]圖6B是表示光學(xué)探針利用第一旋轉(zhuǎn)部而實(shí)現(xiàn)的可動(dòng)范圍的后視圖；
[0029]圖7是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的控制裝置的概略構(gòu)成的框圖；
[0030]圖8是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0031 ]圖9是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的一例的流程圖；
[0032]圖10是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0033]圖11是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0034]圖12是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的流程圖；
[0035]圖13是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的曲線圖；
[0036]圖14是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0037]圖15A是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0038]圖15B是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0039]圖16是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的流程圖；
[0040]圖17是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的流程圖；
[0041]圖18是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0042]圖19是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；圖20A是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0043]圖20B是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0044]圖20C是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0045]圖21是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0046]圖22是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0047]圖23是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0048]圖24是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0049]圖25是用來說明第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的測定動(dòng)作的說明圖；
[0050]圖26是表示第二實(shí)施方式的形狀測定裝置的構(gòu)成的示意圖；
[0051 ]圖27是表示具有形狀測定裝置的系統(tǒng)的構(gòu)成的示意圖；
[0052]圖28是表示本實(shí)施方式的構(gòu)造物制造系統(tǒng)的構(gòu)成的圖；
[0053]圖29是表示本實(shí)施方式的構(gòu)造物制造方法的流程圖。
[0054][符號(hào)的說明]
[0055]Ula:形狀測定裝置
[0056]2:探針移動(dòng)裝置
[0057]3:光學(xué)探針
[0058]4:控制裝置
[0059]5:顯示裝置
[0060]6:輸入裝置
[0061]7:保持旋轉(zhuǎn)裝置
[0062]8:光源裝置
[0063]9:攝像裝置
[0064]10:驅(qū)動(dòng)部
[0065]11:位置檢測部
[0066]12:光源
[0067]13:照明光學(xué)系統(tǒng)
[0068]20:攝像元件
[0069]20a:受光面
[0070]21:成像光學(xué)系統(tǒng)
[0071]21a:物體面
[0072]32:控制部
[0073]33:初始測定范圍設(shè)定部
[0074]34:實(shí)際測定區(qū)域設(shè)定部
[0075]35:旋轉(zhuǎn)圈數(shù)計(jì)算部
[0076]36:測定路線設(shè)定部
[0077]37:動(dòng)作控制部
[0078]38:運(yùn)算部
[0079]40:存儲(chǔ)部
[0080]40A:初始測定范圍存儲(chǔ)部[0081 ]40B:形狀測定程序
[0082]50X、50Y、50Z:移動(dòng)部
[0083]51Χ、51Υ、51Ζ:導(dǎo)引部
[0084]52:保持體
[0085]53:第一旋轉(zhuǎn)部
[0086]53a:旋轉(zhuǎn)軸線
[0087]54:第二旋轉(zhuǎn)部
[0088]55:保持構(gòu)件
[0089]55A:第一保持部
[0090]55B:第二保持部
[0091]62、63、64、65、66、68:箭頭
[0092]71:平臺(tái)
[0093]72:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部
[0094]73a、73b:基準(zhǔn)球
[0095]80:初始測定范圍
[0096]81:初始測定內(nèi)側(cè)端部
[0097]82:初始測定外側(cè)端部
[0098]84:實(shí)際測定開始位置
[0099]86:實(shí)際測定結(jié)束位置
[0100]88:徑向移動(dòng)路徑
[0101]89:測定路線
[0102]90、90a:圖案
[0103]91、92、93:范圍
[0104]94,94a:點(diǎn)群生成范圍
[0105]95:報(bào)錯(cuò)畫面
[0106]96、96a:窗口
[0107]97a、97b:按鈕
[0108]98:內(nèi)徑
[0109]99:外徑
[0110]200:構(gòu)造物制造系統(tǒng)
[0111]201:形狀測定裝置
[0112]202:設(shè)計(jì)裝置
[0113]203:成形裝置
[0114]204:控制裝置
[0115]205:修理裝置
[0116]210:坐標(biāo)存儲(chǔ)部
[0117]211:檢查部
[0118]300:形狀測定系統(tǒng)
[0119]302:程序制作裝置
[0120]AX:旋轉(zhuǎn)軸中心
[0121]B:基底
[0122]M:被測定物
[0123]L:照明光束
【具體實(shí)施方式】
[0124]以下，一邊參照?qǐng)D式一邊詳細(xì)地對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明。另外，并非是通過用來實(shí)施下述發(fā)明的方式(以下，稱為實(shí)施方式)來限定本發(fā)明。而且，下述實(shí)施方式的構(gòu)成要素中，包括業(yè)者能夠容易地設(shè)想者、實(shí)質(zhì)上相同者、所謂均等的范圍內(nèi)者。進(jìn)而，下述實(shí)施方式中所揭示的構(gòu)成要素能夠適當(dāng)組合。
[0125]在以下的說明中，設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)系，一邊參照該XYZ正交坐標(biāo)系一邊對(duì)各部的位置關(guān)系進(jìn)行說明2軸方向例如設(shè)定為鉛垂方向，X軸方向及Y軸方向例如設(shè)定為與水平方向平行且相互正交的方向。另外，將繞X軸、Y軸、及Z軸的旋轉(zhuǎn)(傾斜)方向分別設(shè)為ΘΧ、ΘΥ、及ΘΖ軸方向。另外，在本實(shí)施方式中，所謂徑向是指橫切被測定物與在被測定物上投影圖案的光學(xué)探針相對(duì)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向的方向。即，徑向是橫切在與旋轉(zhuǎn)軸Αχ交叉的面(例如，如圖10所示的相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸Αχ正交的面、或在旋轉(zhuǎn)軸Αχ上具有頂點(diǎn)的圓錐面等)內(nèi)以旋轉(zhuǎn)軸Αχ為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的軌跡的方向。
[0126]<第一實(shí)施方式>
[0127]圖1是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置1的外觀的圖。圖2是表示本實(shí)施方式的形狀測定裝置1的概略構(gòu)成的示意圖。圖3是形狀測定裝置1的俯視圖。圖4是形狀測定裝置1的左側(cè)視圖。圖5是形狀測定裝置1的前視圖。圖7是表示第一實(shí)施方式的形狀測定裝置的控制裝置的概略構(gòu)成的框圖。
[0128]形狀測定裝置1是利用例如光切斷法對(duì)測定對(duì)象的物體(被測定物)Μ的三維形狀進(jìn)行測定的裝置。形狀測定裝置1具備探針移動(dòng)裝置2、光學(xué)探針3、控制裝置4、顯示裝置5、輸入裝置6、及保持旋轉(zhuǎn)裝置7。形狀測定裝置1是光學(xué)探針3對(duì)被測定物Μ進(jìn)行攝像的裝置，所述被測定物Μ保持在被設(shè)置于基底Β上的保持旋轉(zhuǎn)裝置7上。而且，在本實(shí)施方式中，探針移動(dòng)裝置2與保持旋轉(zhuǎn)裝置7成為使探針與被測定物相對(duì)性地移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0129]探針移動(dòng)裝置2用于以使光學(xué)探針3的攝像范圍(視野)到達(dá)被測定物Μ的測定對(duì)象區(qū)域的方式，對(duì)光學(xué)探針3的三維空間上的位置與從下述的光學(xué)探針3投影的圖案的投影方向、及投影在被測定物Μ的測定對(duì)象區(qū)域的圖案的朝向進(jìn)行定位，且以在被測定物Μ上對(duì)光學(xué)探針3的攝像范圍進(jìn)行掃描的方式，使光學(xué)探針3相對(duì)于被測定物Μ移動(dòng)。如圖2所示，該探針移動(dòng)裝置2具備驅(qū)動(dòng)部10、及位置檢測部11。驅(qū)動(dòng)部10具備X移動(dòng)部50Χ、Υ移動(dòng)部50Υ、Ζ移動(dòng)部50Ζ、第一旋轉(zhuǎn)部53及第二旋轉(zhuǎn)部54。
[0130]X移動(dòng)部50X是沿著導(dǎo)引部51X在箭頭62的方向即X軸方向上自由移動(dòng)地設(shè)置，所述導(dǎo)引部51X在X軸方向上延伸而設(shè)置在基底B的Y軸方向的兩側(cè)緣。Y移動(dòng)部50Y是沿著導(dǎo)引部51Y在箭頭63的方向即Y軸方向上自由移動(dòng)地設(shè)置，所述導(dǎo)引部51Y在Y軸方向上延伸而在X軸方向上隔開間隔地設(shè)置在X移動(dòng)部50X上。在Y移動(dòng)部50Y上，設(shè)置著在Z軸方向上延伸的保持體52 2移動(dòng)部50Z是沿著導(dǎo)引部51Z在箭頭64的方向即Z軸方向上自由移動(dòng)地設(shè)置，所述導(dǎo)引部51Z在Z軸方向上延伸而設(shè)置在保持體52的Y軸方向的兩側(cè)緣。這些X移動(dòng)部50X、Y移動(dòng)部50Υ、Ζ移動(dòng)部50Ζ與第一旋轉(zhuǎn)部53、第二旋轉(zhuǎn)部54—起構(gòu)成能夠使光學(xué)探針3在X軸方向、Υ軸方向及Ζ軸方向上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0131 ]第一旋轉(zhuǎn)部53是如下構(gòu)件，8卩，使由下述保持構(gòu)件(保持部)55所支撐的光學(xué)探針3繞著與X軸平行的旋轉(zhuǎn)軸線(旋轉(zhuǎn)軸)53a，即在箭頭65的方向上旋轉(zhuǎn)，從而改變光學(xué)探針3的姿勢(shì)，尤其能夠改變從光學(xué)探針3投影的圖案的向被測定物Μ的投影方向。而且，第一旋轉(zhuǎn)部53具有馬達(dá)等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)角度(即光學(xué)探針3繞著旋轉(zhuǎn)軸線53a的旋轉(zhuǎn)角度)是通過未圖示的角度讀