一種晶圓測(cè)試用高精度小角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種晶圓測(cè)試裝置，具體涉及一種晶圓測(cè)試用高精度小角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，其形狀為圓形。晶圓測(cè)試過(guò)程中需要通過(guò)測(cè)試設(shè)備帶動(dòng)承載晶圓的載片臺(tái)完成小角度的精密旋轉(zhuǎn)，保證晶圓焊盤(pán)的角度與探針的角度一致，以完成對(duì)針操作。目前，常見(jiàn)的晶圓測(cè)試旋轉(zhuǎn)裝置有柱式、盤(pán)式等多種形式，用電機(jī)或氣缸來(lái)驅(qū)動(dòng)，其結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜;更重要的是，目前的晶圓測(cè)試旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角度大、旋轉(zhuǎn)精度低，且旋轉(zhuǎn)裝置存在回程間隙，進(jìn)一步降低旋轉(zhuǎn)精度，這導(dǎo)致目前的晶圓測(cè)試旋轉(zhuǎn)裝置不能滿足晶圓精密對(duì)位的要求，影響晶圓測(cè)試精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，所需安裝空間小;而且旋轉(zhuǎn)精度高，無(wú)回程間隙，可有效提高晶圓測(cè)試精度的晶圓測(cè)試用高精度小角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案是:
一種晶圓測(cè)試用高精度小角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括底座及可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在底座上的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，所述底座上設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸支撐座，旋轉(zhuǎn)軸支撐座上設(shè)有滑軌、軸承座及絲桿螺母機(jī)構(gòu)，所述滑軌與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸相垂直，滑軌上設(shè)有的滑塊;所述絲桿螺母機(jī)構(gòu)的絲桿通過(guò)安裝軸承可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在軸承座上，且該絲桿與滑軌相平行，絲桿螺母機(jī)構(gòu)的絲桿螺母固定連接在滑塊上，所述旋轉(zhuǎn)軸支撐座上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu);所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)與滑塊之間設(shè)有拉緊式凸輪導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)，該拉緊式凸輪導(dǎo)向連接機(jī)構(gòu)包括固定設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的旋轉(zhuǎn)固定條，可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)固定條上的導(dǎo)向輪及可使導(dǎo)向輪緊靠在滑塊側(cè)面上的拉簧，所述導(dǎo)向輪的旋轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸相平行，所述拉簧的一端與旋轉(zhuǎn)固定條相連接，另一端與滑塊相連接。
[0005]本方案的晶圓測(cè)試用高精度小角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，所需安裝空間小特點(diǎn);而且旋轉(zhuǎn)精度高，無(wú)回程間隙，可有效提高晶圓測(cè)試精度。
[0006]作為優(yōu)選，軸承座上設(shè)有與絲桿同軸的安裝圓孔，所述絲桿上設(shè)有限位凸臺(tái)及鎖緊螺母，所述安裝軸承位于限位凸臺(tái)與鎖緊螺母之間，所述安裝軸承包括依次套設(shè)在絲桿上的第一推力滾針軸承、第一深溝球軸承、第二深溝球軸承及第二推力滾針軸承，所述第一深溝球軸承及第二深溝球軸承位于安裝圓孔內(nèi)，第一深溝球軸承及第二深溝球軸承的外徑相同，且第一深溝球軸承的外徑大于等于安裝圓孔的內(nèi)徑;所述軸承座位于第一推力滾針軸承與第二推力滾針軸承之間，且第一推力滾針軸承及第二推力滾針軸承的外徑大于安裝圓孔的內(nèi)徑，第一推力滾針軸承的一端抵靠在限位凸臺(tái)上，另一端抵靠在軸承座上;第一推力滾針軸承的一端抵靠在軸承座上，另一端抵靠在鎖緊螺母上。
[0007]本方案結(jié)構(gòu)不僅安裝方便，更重要的是，安裝軸承中的第一深溝球軸承、第二深溝球軸承與安裝圓孔的配合可以防止絲桿的徑向跳動(dòng);限位凸臺(tái)、鎖緊螺母、第一推力滾針軸承、第二推力滾針軸承及軸承座的配合可以防止絲桿的軸向竄動(dòng)，從而保證了絲桿帶動(dòng)滑塊移動(dòng)的精度及穩(wěn)定性，進(jìn)一步提高旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)精度。
[0008]作為優(yōu)選，導(dǎo)向輪由導(dǎo)向軸承構(gòu)成，且導(dǎo)向軸承通過(guò)固定螺栓安裝在旋轉(zhuǎn)固定條上。
[0009]作為優(yōu)選，滑塊上設(shè)有擋塊，所述擋塊上設(shè)有拉簧張緊螺釘，所述拉簧的一端與固定螺栓相連接，另一端與拉簧張緊螺釘相連接;所述導(dǎo)向輪的側(cè)面抵靠在擋塊側(cè)面上。
[0010]作為優(yōu)選，旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸支撐座上的電機(jī)固定座及安裝在電機(jī)固定座上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器與絲桿相連接。
[0011]作為優(yōu)選，驅(qū)動(dòng)電機(jī)為伺服電機(jī)，該伺服電機(jī)具有編碼器，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的側(cè)面固定有光柵尺及光柵尺讀數(shù)頭，且光柵尺讀數(shù)頭與編碼器通過(guò)信號(hào)線相連接。本方案的讀數(shù)頭將讀取的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)位置信號(hào)反饋給伺服電機(jī)，以形成全閉環(huán)反饋控制，提高旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)精度。
[0012]作為優(yōu)選，旋轉(zhuǎn)固定條與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸相垂直。
[0013]作為優(yōu)選，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸豎直設(shè)置。
[0014]本發(fā)明的有益效果是:具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，所需安裝空間小特點(diǎn)；而且旋轉(zhuǎn)精度高，無(wú)回程間隙，可有效提高晶圓測(cè)試精度。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明的晶圓測(cè)試用高精度小角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是本發(fā)明的安裝軸承處的一種局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中:底座1，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2，旋轉(zhuǎn)固定條3，拉簧4，導(dǎo)向輪5，拉簧張緊螺釘6，擋塊7，旋轉(zhuǎn)軸支撐座8，滑軌9，滑塊10，絲桿螺母11，絲桿12，安裝軸承13、第一推力滾針軸承131、第一深溝球軸承132、第二深溝球軸承133及第二推力滾針軸承134，軸承座14，鎖緊螺母15，聯(lián)軸器16，電機(jī)固定座17，驅(qū)動(dòng)電機(jī)18。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖與【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述:
如圖1所示，一種晶圓測(cè)試用高精度小角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括底座1及可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在底座上的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2。旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸豎直設(shè)置。底座上設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸支撐座8。旋轉(zhuǎn)軸支撐座上設(shè)有滑軌9、軸承座14及絲桿螺母機(jī)構(gòu)。滑軌與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸相垂直?；壦皆O(shè)置。滑軌上設(shè)有的滑塊10。絲桿螺母機(jī)構(gòu)的絲桿12通過(guò)安裝軸承13可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在軸承座上，且該絲桿與滑軌相平行。絲桿螺母機(jī)構(gòu)的絲桿螺母11固定連接在滑塊上。
[0019]如圖1、圖2所示，軸承座上設(shè)有與絲桿同軸的安裝圓孔。絲桿上設(shè)有限位凸臺(tái)及鎖緊螺母15。安裝軸承位于限位凸臺(tái)與鎖緊螺母之間。安裝軸承包括依次套設(shè)在絲桿上的第一推力滾針軸承131、第一深溝球軸承132、第二深溝球軸承133及第二推力滾針軸承134。第一深溝球軸承及第二深溝球軸承位于安裝圓孔內(nèi)。第一深溝球軸承及第二深溝球軸承的外徑相同，且第一深溝球軸承的外徑大于等于安裝圓孔的內(nèi)徑。軸承座位于第一推力滾針軸承與第二推力滾針軸承之間，且第一推力滾針軸承及第二推力滾針軸承的外徑大于安裝圓孔的內(nèi)徑。第一推力滾針軸承的一端