干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀及其檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光學檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀及其檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前市場上，針對非球面鏡片加工精度的偏心檢測技術(shù)，大部分還只停留在接觸式上，有少部分非接觸式的光學測量方法，又都只能檢測面型問題，無法檢測鏡片的加工以及組裝偏心、傾斜問題，給鏡頭的成像質(zhì)量帶來了隱患。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的在于設(shè)計提供干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀及其檢測方法的技術(shù)方案。
[0004]所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于包括激光光學系統(tǒng)A和激光光學系統(tǒng)B，所述的激光光學系統(tǒng)A底部固定設(shè)置多維位移平臺A，所述的多維位移平臺A下方配合設(shè)置多維位移平臺B，所述的多維位移平臺B下方配合設(shè)置激光光學系統(tǒng)B，所述的多維位移平臺B上固定設(shè)置鏡片夾具。
[0005]所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的激光光學系統(tǒng)B設(shè)置在底座上，所述的底座上固定設(shè)置支架B，所述的支架B上設(shè)置多維位移平臺B和支架A，所述的支架A上設(shè)置多維位移平臺A。
[0006]所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的支架A包括立柱A和固定板A，所述的固定板A上設(shè)有供光路通過的通孔A，所述的支架B包括立柱B和固定板B，所述的固定板B上設(shè)有供光路通過的通孔B。
[0007]所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的多維位移平臺A設(shè)置在固定板A上，所述的多維位移平臺B設(shè)置在固定板B上。
[0008]所述的利用干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀進行非球面偏心檢測的方法，其特征在于包括以下步驟:
1)檢測非球面鏡片上下兩個表面的相對水平位移偏心時，將激光光學系統(tǒng)A和激光光學系統(tǒng)B同時打開，激光光學系統(tǒng)A發(fā)射出來的激光束A和激光光學系統(tǒng)B發(fā)射出來的激光束B分別照射在被測非球面鏡片的上下兩個表面上，并且在上表面球心環(huán)和下表面球心環(huán)上形成反射光路，分別得到上/下表面球心環(huán)像，通過分析確定出上下兩個面形成的上/下表面球心環(huán)像的中心點相對位置的數(shù)值，即得出非球面上下兩個表面的相對水平位移偏心數(shù)值；
2)檢測非球面鏡片上表面相對于非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值時，將激光光學系統(tǒng)B打開，關(guān)閉激光光學系統(tǒng)A的光源，但不關(guān)閉激光光學系統(tǒng)A的接收裝置，激光光學系統(tǒng)B的激光束B穿過被測非球面鏡片時，部分光被被測非球面鏡片的形狀遮擋，無法穿透，只有邊緣部分的光束進入激光光學系統(tǒng)A的接收裝置，形成邊緣輪廓影像，之后將上/下表面球心環(huán)像的中心點與邊緣輪廓影像重疊，即得到上表面相對于非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值；
3)檢測非球面鏡片下表面對于非球面鏡片非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值時，將激光光學系統(tǒng)A打開，關(guān)閉激光光學系統(tǒng)B的光源，但不關(guān)閉激光光學系統(tǒng)B的接收裝置，激光光學系統(tǒng)A的激光束A穿過被測非球面鏡片時，部分光被被測非球面鏡片的形狀遮擋，無法穿透，只有邊緣部分的光束進入激光光學系統(tǒng)B的接收裝置，形成邊緣輪廓影像，之后將上/下表面球心環(huán)像的中心點與邊緣輪廓的影像重疊，即可得到上表面相對于非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值；
4)檢測非球面鏡片整體傾斜數(shù)值的時，將激光光學系統(tǒng)A打開，并且觀察平面環(huán)的反射干涉圖形，之后通過計算干涉條紋，得出被測非球面鏡片的整體傾斜情況。
[0009]本發(fā)明能夠在同一臺設(shè)備上，檢測多種類型鏡片的偏心和傾斜問題，不但提高了鏡片的檢測精度，還大大加快了鏡片的檢測速度，不但提升了企業(yè)的產(chǎn)品品質(zhì)，同時也能提高企業(yè)的生產(chǎn)經(jīng)濟效益。
【附圖說明】
[0010]圖1，2為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)圖；
圖3為本發(fā)明中被測非球面鏡片實例圖；
圖4為本發(fā)明中反射偏心環(huán)形圖；
圖5為本發(fā)明中干涉傾斜測量圖；
圖6為本發(fā)明中非球面鏡片的外形輪廓圖。
[0011]圖中:1_激光光學系統(tǒng)A ;2_多維位移平臺A ;3_支架A ;4_激光束A ;5_非球面鏡片；6_鏡片夾具；7_多維位移平臺B ;8_支架B ;9_激光光學系統(tǒng)B ;10_底座板；11_激光束B ；12-上表面球心環(huán)；13_平面環(huán)；14_外圓輪廓；15_下表面球心環(huán)；16_上/下表面球心環(huán)像;301_立柱A ;302_固定板A ;303-通孔A ;801_立柱B ;802_固定板B ;803_通孔
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【具體實施方式】
[0012]以下結(jié)合說明書附圖來進一步說明本發(fā)明。
[0013]如圖1和2所示，干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀包括激光光學系統(tǒng)A1和激光光學系統(tǒng)B9，激光光學系統(tǒng)A1底部固定設(shè)置多維位移平臺A2，多維位移平臺A2下方配合設(shè)置多維位移平臺B7，多維位移平臺B7下方配合設(shè)置激光光學系統(tǒng)B9，多維位移平臺B7上固定設(shè)置鏡片夾具6，鏡片夾具6夾持非球面鏡片5。激光光學系統(tǒng)A1和激光光學系統(tǒng)B9為現(xiàn)有系統(tǒng)，發(fā)射波長632.8nm紅色波段激光。多維位移平臺A2和多維位移平臺B7為現(xiàn)有平臺，能夠進行上下左右以及傾斜移動。具體是:激光光學系統(tǒng)B9設(shè)置在底座10上，底座10上固定設(shè)置支架B8，支架B8上設(shè)置多維位移平臺B7和支架A3，支架A3上設(shè)置多維位移平臺A2。其中，支架A3包括立柱A301和固定板A302，固定板A302上設(shè)有供光路通過的通孔A303。支架B8包括立柱B801和固定板B802，固定板B802上設(shè)有供光路通過的通孔B803。多維位移平臺A2設(shè)置在固定板A302上，多維位移平臺B7設(shè)置在固定板B802上。
[0014]利用上述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀進行非球面偏心檢測的方法，其特征在于包括以下步驟:
1)檢測非球面鏡片5(如圖3為該非球面鏡片5的實例圖)上下兩個表面的相對水平位移偏心時，將激光光學系統(tǒng)A1和激光光學系統(tǒng)B9同時打開，激光光學系統(tǒng)A1發(fā)射出來的激光束A4和激光光學系統(tǒng)B9發(fā)射出來的激光束B11分別照射在被測非球面鏡片5的上下兩個表面上，并且在上表面球心環(huán)12和下表面球心環(huán)15上形成反射光路