以高精度計(jì)測(cè)被計(jì)測(cè)氣體30的狀態(tài)，優(yōu)選在熱傳遞面露出部436的附近流動(dòng)的氣體為層流，亂流較少。因此，優(yōu)選熱傳遞面露出部436的流路側(cè)面與引導(dǎo)氣體的計(jì)測(cè)用流路面430的面的階差較小。通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒘髁坑?jì)測(cè)精度保持為高精度，并且抑制不均等的應(yīng)力和變形作用于流量檢測(cè)部602。只要是不會(huì)對(duì)流量計(jì)測(cè)精度產(chǎn)生影響的程度的階差就能夠設(shè)置。
[0120]在具有熱傳遞面露出部436的計(jì)測(cè)用流路面430的背面?zhèn)嚷冻雒?03，如圖10 (C)所示那樣，殘留有在電路封裝件400的樹(shù)脂模塑成形時(shí)支承內(nèi)部基板或板部件的模具按壓的壓痕442。在熱傳遞面露出部436用于與被計(jì)測(cè)氣體30之間進(jìn)行熱交換的情況下，為了正確地計(jì)測(cè)被計(jì)測(cè)氣體30的狀態(tài)，優(yōu)選良好地進(jìn)行流量檢測(cè)部602與被計(jì)測(cè)氣體30之間的熱傳遞。因此，必須避免熱傳遞面露出部436的部分被第一樹(shù)脂模塑工序中的樹(shù)脂覆蓋。將模具抵住熱傳遞面露出部436和作為其背面的背面?zhèn)嚷冻雒?03這兩個(gè)面，利用該模具防止向熱傳遞面露出部436流入樹(shù)脂。在熱傳遞面露出部436的背面?zhèn)嚷冻雒?03形成有凹部形狀的壓痕442。該部分中，構(gòu)成流量檢測(cè)部602等的元件配置得較近，優(yōu)選盡量將這些元件散發(fā)的熱量散發(fā)至外部。所形成的凹部中，樹(shù)脂的影響小，能夠獲得容易散熱的效果O
[0121]在由半導(dǎo)體元件構(gòu)成的流量檢測(cè)部(流量檢測(cè)元件)602，形成有與熱傳遞面露出部436相當(dāng)?shù)陌雽?dǎo)體隔膜，半導(dǎo)體隔膜能夠通過(guò)在流量檢測(cè)部602的背面形成空隙而獲得。當(dāng)將上述空隙密封時(shí)，由于溫度變化引起的上述空隙內(nèi)的壓力的變化，半導(dǎo)體隔膜發(fā)生變形，計(jì)測(cè)精度降低。因此，在本實(shí)施例中，將與半導(dǎo)體隔膜背面的空隙連通的開(kāi)口 438設(shè)置在電路封裝件400的正面，將連接半導(dǎo)體隔膜背面的空隙與開(kāi)口 438的連通路徑設(shè)置在電路封裝件400內(nèi)部。另外，上述開(kāi)口 438設(shè)置在圖10所示的未標(biāo)記斜線的部分、即固定面432以外的部分，使得在第二樹(shù)脂模塑工序中不被樹(shù)脂堵塞。
[0122]需要在第一樹(shù)脂模塑工序中形成上述開(kāi)口 438，使模具抵接開(kāi)口 438的部分及其背面，通過(guò)用模具按壓正面和背面這兩面來(lái)阻止樹(shù)脂向開(kāi)口 438的部分流入，形成開(kāi)口438。對(duì)開(kāi)口 438和連接半導(dǎo)體隔膜的背面的空隙與開(kāi)口 438的連通路徑的形成，在之后說(shuō)明。
[0123]圖11是說(shuō)明電路封裝件400的前端部的結(jié)構(gòu)例的主要部分放大圖，圖11 (A)是前端部的左側(cè)面圖，圖1l(B)是前端部的正面圖，圖1l(C)是圖11⑶的D-D截面圖。
[0124]如圖1l(A)和圖11⑶所示，計(jì)測(cè)用流路面430通過(guò)以從被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向一側(cè)的端部到另一側(cè)的端部延伸設(shè)置的方式，使前端部401的正面?zhèn)嚷冻雒?02的平面404的一部分凹陷而形成。而且，在計(jì)測(cè)用流路面430與平面404之間設(shè)置有一對(duì)傾斜面405,406o S卩，前端部401的正面?zhèn)嚷冻雒?02具有:與電路封裝件400的正面400a形成于一個(gè)面(拉平)的平面404 ;與平面404相比凹陷的計(jì)測(cè)用流路面430 ;將平面404與計(jì)測(cè)用流路面430之間連接的一對(duì)傾斜面405、406。而且，在計(jì)測(cè)用流路面430的被計(jì)測(cè)氣體30流動(dòng)的方向上的中央位置，設(shè)置有具有熱傳遞面露出部436的流量檢測(cè)部602。
[0125]流量檢測(cè)部602以在沿被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向配置的正面?zhèn)嚷冻雒?支承體表面)402的計(jì)測(cè)用流路面430露出的方式設(shè)置。在正面?zhèn)嚷冻雒?02，以包圍流量檢測(cè)部602的周圍的方式形成有臺(tái)階部407。
[0126]臺(tái)階部407以使得正面?zhèn)嚷冻雒?02中被臺(tái)階部407包圍的內(nèi)側(cè)區(qū)域比臺(tái)階部407外側(cè)的外側(cè)區(qū)域更為突出的方式形成。S卩，正面?zhèn)嚷冻雒?02中，臺(tái)階部407的內(nèi)側(cè)區(qū)域比外側(cè)區(qū)域突出。臺(tái)階部407的配置位置和臺(tái)階部高度設(shè)定為對(duì)流量檢測(cè)部602的流量計(jì)測(cè)精度沒(méi)有影響的程度。相對(duì)于計(jì)測(cè)用流路面430的臺(tái)階部407的立起角度為能夠阻擋經(jīng)由計(jì)測(cè)用流路面430流過(guò)來(lái)的污染物的角度即可，優(yōu)選為90度。
[0127]優(yōu)選正面?zhèn)嚷冻雒?02的內(nèi)側(cè)區(qū)域與流量檢測(cè)部602的表面的臺(tái)階差較小，但是只要是對(duì)流量計(jì)測(cè)精度沒(méi)有影響的程度就能夠設(shè)置。如圖11(c)所示，在本實(shí)施方式中，正面?zhèn)嚷冻雒?02的內(nèi)側(cè)區(qū)域與流量檢測(cè)部602的表面相比更為突出。另外，流量檢測(cè)部602的表面也可以比正面?zhèn)嚷冻雒?02的內(nèi)側(cè)區(qū)域突出。
[0128]臺(tái)階部407具有:與流量檢測(cè)部602相比設(shè)置在被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向的上游側(cè)的上游端臺(tái)階部407a ;與流量檢測(cè)部602相比設(shè)置在被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向的下游側(cè)的下游端臺(tái)階部407b ;和中間隔著流量檢測(cè)部602、在與被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向交叉的方向上相互分離地設(shè)置的一對(duì)側(cè)端臺(tái)階部407c、407d。各臺(tái)階部407a?407d的相互連結(jié)的部分被倒角成圓弧狀，以圓滑地連續(xù)的方式連接。
[0129]上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b與正面?zhèn)嚷冻雒?02平行且在與被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向交叉的方向上延伸設(shè)置，以從計(jì)測(cè)用流路面430經(jīng)由傾斜面405、406到達(dá)兩側(cè)的平面404的方式配置。
[0130]一對(duì)側(cè)端臺(tái)階部407c、407d將上游端臺(tái)階部407a的端部與下游端臺(tái)階部407b的端部之間連結(jié)，在本實(shí)施方式中，包括:基端臺(tái)階部407c，其在比流量檢測(cè)部602靠電路封裝件400的基端側(cè)的位置沿流動(dòng)方向設(shè)置，將上游端臺(tái)階部407a與下游端臺(tái)階部407b的基端側(cè)的端部彼此連結(jié)；和前端臺(tái)階部407d，其在比流量檢測(cè)部602靠電路封裝件400的前端側(cè)的位置沿流動(dòng)方向設(shè)置，將上游端臺(tái)階部407a與下游端臺(tái)階部407b的前端側(cè)的端部彼此連結(jié)。
[0131]基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d與正面?zhèn)嚷冻雒?02平行且沿被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向平行地延伸設(shè)置，以在兩側(cè)的平面404分別延伸的方式配置。
[0132]上述的電路封裝件400在前端部401的正面?zhèn)嚷冻雒?02設(shè)置有臺(tái)階部407，該臺(tái)階部407包圍流量檢測(cè)部602的周圍且連接為環(huán)繞狀，因此，在臺(tái)階部407的外側(cè)區(qū)域附著有包含碳的油霧等污染物，它們沿著外側(cè)區(qū)域的表面流過(guò)來(lái)的情況下，能夠利用臺(tái)階部407阻擋污染物、防止污染物流入內(nèi)側(cè)區(qū)域。
[0133]例如，像在圖1l(B)中以虛線表示的污染物的流動(dòng)那樣，臺(tái)階部407，在附著于正面?zhèn)嚷冻雒?02的外側(cè)區(qū)域且位于流量檢測(cè)部602的上游側(cè)的污染物由被計(jì)測(cè)氣體30推動(dòng)、沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02的外側(cè)區(qū)域向位于下游側(cè)的內(nèi)側(cè)區(qū)域的流量檢測(cè)部602移動(dòng)時(shí)，能夠用上游端臺(tái)階部407a阻擋污染物。而且，能夠使污染物沿上游端臺(tái)階部407a移動(dòng)，導(dǎo)向與流量檢測(cè)部602相比位于與被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向正交的方向上外側(cè)的位置的基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d，經(jīng)由基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d順利地引導(dǎo)至與流量檢測(cè)部602相比位于下游的位置。因此，能夠向避開(kāi)流量檢測(cè)部602的方向引導(dǎo)污染物，能夠防止污染物沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02移動(dòng)而附著于流量檢測(cè)部602。
[0134]此外，例如在由于主通路124內(nèi)的波動(dòng)等而在副通路內(nèi)發(fā)生被計(jì)測(cè)氣體30的逆流，附著在臺(tái)階部407的外側(cè)區(qū)域且位于流量檢測(cè)部602的下游側(cè)的污染物由被計(jì)測(cè)氣體30的逆流推動(dòng)而沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02向上游側(cè)的流量檢測(cè)部602移動(dòng)時(shí)，能夠用下游端臺(tái)階部407b阻擋污染物。而且，能夠使污染物沿下游端臺(tái)階部407b移動(dòng)，從下游端臺(tái)階部407b的端部導(dǎo)向基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d，利用基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d順利地引導(dǎo)至與流量檢測(cè)部602相比位于上游的位置。因此，能夠向避開(kāi)流量檢測(cè)部602的方向引導(dǎo)污染物，能夠防止污染物沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02移動(dòng)，從下游側(cè)進(jìn)入內(nèi)側(cè)區(qū)域而附著于流量檢測(cè)部602。
[0135]此外，例如在附著于與內(nèi)側(cè)區(qū)域相比位于上側(cè)(基端側(cè))或下側(cè)(前端側(cè))的位置的外側(cè)區(qū)域的污染物由被計(jì)測(cè)氣體30推動(dòng)，或者由于重力而從外側(cè)區(qū)域向內(nèi)側(cè)區(qū)域移動(dòng)時(shí)，能夠利用基端臺(tái)階部407c或前端臺(tái)階部407d阻擋污染物。而且，能夠使污染物沿基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d移動(dòng)，順利地引導(dǎo)至流量檢測(cè)部602的上游或者下游的位置。因此，能夠向避開(kāi)流量檢測(cè)部602的方向引導(dǎo)污染物，能夠防止污染物沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02移動(dòng)，從電路封裝件400的基端側(cè)或者前端側(cè)進(jìn)入內(nèi)側(cè)區(qū)域而附著于流量檢測(cè)部602。
[0136]這樣，臺(tái)階部407以包圍流量檢測(cè)部602的周圍且連接成環(huán)繞形狀的方式設(shè)置，因此無(wú)論被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向和熱式流量計(jì)的安裝姿勢(shì)狀態(tài)如何，都能夠完全防止沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02移動(dòng)，從臺(tái)階部407的外側(cè)區(qū)域向內(nèi)側(cè)區(qū)域移動(dòng)的污染物。
[0137]因此，能夠有效地防止沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02流過(guò)來(lái)的污染物附著于流量檢測(cè)部602，能夠防止由于污染物的附著引起的熱容量的變化而導(dǎo)致流量檢測(cè)部602的流量檢測(cè)精度變差。
[0138]臺(tái)階部407例如能夠在第一樹(shù)脂模塑工序中對(duì)電路封裝件400進(jìn)行模塑成形時(shí)形成。電路封裝件400為了使熱傳遞面露出部436露出，在第一樹(shù)脂模塑工序中在熱傳遞面露出部436的部分放入與模具不同的另一個(gè)芯件(入扎駒，core piece)(部分模具)進(jìn)行模塑成形。因此，準(zhǔn)備腔體面與臺(tái)階部407的內(nèi)側(cè)區(qū)域相同大小的芯件，使腔體面的一部分與熱傳遞面露出部436抵接，并且使其周圍配置在比模具的腔體面凹陷的位置而進(jìn)行模塑成形，由此能夠在正面?zhèn)嚷冻雒?02形成臺(tái)階部407。
[0139]另外，上述的實(shí)施例中，以上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b在與被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向正交的方向上延伸設(shè)置的結(jié)構(gòu)的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，也可以采用使上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b的至少一方在與被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向傾斜地交叉的方向上延伸設(shè)置的結(jié)構(gòu)。
[0140]圖12?圖15是表示臺(tái)階部407的其它實(shí)施例的圖。
[0141]在圖12所示的實(shí)施例中，臺(tái)階部407在上游端臺(tái)階部407a的中央部分和下游端臺(tái)階部407b的中央部分，分別具有與正面?zhèn)嚷冻雒?02平行且沿被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向圓弧狀地突出的凸部407e、407f。凸部407e、407f的圓弧形狀只要是能夠順利地引導(dǎo)由被計(jì)測(cè)氣體30推動(dòng)的污染物的即可，也可以為半圓弧形狀或?qū)⒍鄠€(gè)圓弧組合而得到的形狀。
[0142]在圖13所示的實(shí)施例中，臺(tái)階部407的上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b與正面?zhèn)嚷冻雒?02平行且具有沿被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向半圓弧狀地突出的形狀。上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b的端部與基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d分別圓滑地連接。
[0143]在圖14所示的實(shí)施例中，臺(tái)階部407中，上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b與正面?zhèn)嚷冻雒?02平行且具有隨著沿被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向行進(jìn)而向相互相反的方向傾斜的一對(duì)傾斜邊構(gòu)成的山形形狀。各傾斜邊的長(zhǎng)度和角度能夠選擇恰當(dāng)?shù)闹怠?br>[0144]而且，在圖15所示的實(shí)施例中，臺(tái)階部407形成為:上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b與正面?zhèn)嚷冻雒?02平行且以隨著在與被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向交叉的方向上行進(jìn)而逐漸向被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向行進(jìn)的方式傾斜地延伸設(shè)置。即，上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b以隨著從電路封裝件400的基端側(cè)向前端側(cè)行進(jìn)而逐漸向被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向行進(jìn)的方式傾斜地形成。
[0145]而且，基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d中，以與正面?zhèn)嚷冻雒?02平行且隨著在被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向上行進(jìn)而逐漸向與被計(jì)測(cè)氣體30的流動(dòng)方向交叉的方向行進(jìn)的方式，傾斜地形成基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d。即，基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d以隨著從電路封裝件400的上游端側(cè)向下游端側(cè)行進(jìn)而逐漸從電路封裝件400的基端側(cè)向前端側(cè)行進(jìn)的方式傾斜地形成。
[0146]根據(jù)上述的圖12?圖15所示的實(shí)施例，能夠通過(guò)基端臺(tái)階部407c和前端臺(tái)階部407d從上游端臺(tái)階部407a和下游端臺(tái)階部407b順利地引導(dǎo)附著在臺(tái)階部407的外側(cè)區(qū)域且由被計(jì)測(cè)氣體30推動(dòng)的污染物。因此，能夠有效地防止沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02流過(guò)來(lái)的污染物附著于流量檢測(cè)部602，能夠防止由于污染部使得熱容量發(fā)生變化，而導(dǎo)致流量檢測(cè)部602的流量檢測(cè)精度變差。
[0147]特別是在圖15所示的實(shí)施例中，例如在電路封裝件400以相對(duì)于地面上下延伸設(shè)置的姿勢(shì)狀態(tài)進(jìn)行安裝的情況下，能夠利用各臺(tái)階部407a?407d的傾斜和污染物的自重，將污染物向從流量檢測(cè)部602離開(kāi)的方向積極地引導(dǎo)而排出，防止污染物殘留在正面?zhèn)嚷冻雒?02。
[0148]另外，在圖12至圖14所示的實(shí)施例中，對(duì)使上游端臺(tái)階部407a與下游端臺(tái)階部407b的形狀對(duì)稱的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明，其實(shí)也可以僅采用至少一個(gè)臺(tái)階部，此外也可以進(jìn)行各種組合。
[0149]圖16是表示電路封裝件400的前端部的其它結(jié)構(gòu)例的主要部分放大圖，圖16(A)是前端部的左側(cè)面圖，圖16(B)是前端部的正面圖，圖16(C)是圖16(B)的E-E截面圖。
[0150]計(jì)測(cè)用流路面430通過(guò)使前端部401的正面?zhèn)嚷冻雒?02的前端側(cè)的厚度較薄而形成。計(jì)測(cè)用流路面430延伸至前端部401的前端，在計(jì)測(cè)用流路面430與平面404之間設(shè)置有傾斜面405。前端部401的正面?zhèn)嚷冻雒?02具有:與電路封裝件400的正面400a形成于一個(gè)面(拉平)的平面404 ;與平面404相比凹陷，延伸至電路封裝件400的前端的計(jì)測(cè)用流路面430 ;和將平面404與計(jì)測(cè)用流路面430之間連接的傾斜面405。而且，在計(jì)測(cè)用流路面430的被計(jì)測(cè)氣體30所流動(dòng)的方向的中央位置，設(shè)置有具有熱傳遞面露出部436的流量檢測(cè)部602。
[0151]根據(jù)上述的電路封裝件400的前端部401的結(jié)構(gòu)例，計(jì)測(cè)用流路面430延伸至電路封裝件400的前端，因此與圖11所示的結(jié)構(gòu)例相比較，傾斜面僅為一個(gè)，能夠減少污染物容易殘留之處。
[0152]因此，能夠有效地防止沿著正面?zhèn)嚷冻雒?02流過(guò)來(lái)的污染物附著于流量檢測(cè)部602，能夠防止由于污染部使得熱容量發(fā)生變化，而導(dǎo)致流量檢測(cè)部602的流量檢測(cè)精度惡化。
[0153]另外，在上述的實(shí)施例中，以臺(tái)階部407為內(nèi)側(cè)區(qū)域比外側(cè)區(qū)域突出的階梯狀的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，其實(shí)只要是在正面?zhèn)嚷冻雒?02形成、包圍流量檢測(cè)部602的周圍且連接成環(huán)繞形狀的臺(tái)階部，能夠?qū)⒀刂鎮(zhèn)嚷冻雒?02流過(guò)來(lái)的污染物阻擋并引導(dǎo)向遠(yuǎn)離流量檢測(cè)部602的方向的結(jié)構(gòu)即可，例如還包括從正面?zhèn)嚷冻雒?02以規(guī)定高度突出的凸條和在正面?zhèn)嚷冻雒?02以規(guī)定深度凹陷設(shè)置的凹槽。
[0154]4.2溫度檢測(cè)部452和突出部424的形成和效果
[0155]設(shè)置在電路封裝件400的溫度檢測(cè)部452也設(shè)置在為了支承溫度檢測(cè)部452而向被計(jì)測(cè)氣體30的上游方向延伸的突出部424的前端，具有檢測(cè)被計(jì)測(cè)氣體30的溫度的功能。為了高精度地檢測(cè)被計(jì)測(cè)氣體30的溫度，優(yōu)選盡量減少與被計(jì)測(cè)氣體30以外部分的熱的傳遞。支承溫度檢測(cè)部452的突出部424形成為與其根部相比前端部分較細(xì)的形狀，在其前端部分設(shè)置有溫度檢測(cè)部452。通過(guò)采用這樣的形狀，降低來(lái)自突出部424的根部的熱對(duì)溫度檢測(cè)部452的影響。
[0156]此外，在利用溫度檢測(cè)部452檢測(cè)被計(jì)測(cè)氣體30的溫度后，被計(jì)測(cè)氣體30沿突出部424流動(dòng)，發(fā)揮使突出部424的溫度接近被計(jì)測(cè)氣體30的溫度的作用。由此抑制突出部424的根部的溫度對(duì)溫度檢測(cè)部452產(chǎn)生的影響。特別是在本實(shí)施例中，設(shè)置有溫度檢測(cè)部452的突出部424的附近部位較細(xì)，隨著向突出部424的根部去而變粗。因此，被計(jì)測(cè)氣體30沿該突出部424的形狀流動(dòng)，有效率地冷卻突出部424。
[0157]在突出部424的根部，斜線部是在第二樹(shù)脂模塑工序中由成形殼體302的樹(shù)脂覆蓋的固定面432。在突出部424的根部的斜線部設(shè)置有凹陷。這表示設(shè)置有沒(méi)有被殼體302的樹(shù)脂覆蓋的凹陷形狀的部分。通過(guò)這樣形成突出部424的根部的沒(méi)有被殼體302的樹(shù)脂覆蓋的凹陷形狀的部分，容易進(jìn)一步利用被計(jì)測(cè)氣體30冷卻突出部424。
[0158]4.3電路封裝件400的端子
[0159]在電路封裝件400中，為了進(jìn)行用于使內(nèi)置的流量