利用Excel實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Summary標(biāo)準(zhǔn)化的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在集成電路芯片級(jí)測(cè)試過(guò)程中利用Excel實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Smnmary標(biāo)準(zhǔn)化的方法，應(yīng)用于不同類(lèi)型探針臺(tái)生成的測(cè)試圖形或不同測(cè)試代工廠提供的測(cè)試圖形。
【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)于集成電路芯片級(jí)測(cè)試過(guò)程，晶圓測(cè)試Summary (注:本文提及的Summary都是基于探針臺(tái)測(cè)試圖形生成，因?yàn)樗亲顪?zhǔn)確的)在生產(chǎn)工序可以實(shí)時(shí)反饋測(cè)試狀態(tài)(正常/低良)，對(duì)于同一批次晶圓在不同測(cè)試平臺(tái)測(cè)試可以監(jiān)控不同測(cè)試平臺(tái)之間是否存在測(cè)試差異；對(duì)于終端客戶(hù)，可以得到批次良率，失效分布和歷史數(shù)據(jù)對(duì)比報(bào)告等，綜合各種分析報(bào)告判斷是否需要改變工藝條件、重新設(shè)計(jì)改版或增刪測(cè)試項(xiàng)目以達(dá)到最優(yōu)化的產(chǎn)品設(shè)計(jì)和性?xún)r(jià)比需求。晶圓測(cè)試Sirnimary的提供也經(jīng)歷了一個(gè)逐步完善和技術(shù)革新的過(guò)程。最原始的晶圓測(cè)試Sirnimary僅僅提供合格數(shù)與不合格數(shù)的數(shù)量，主要基于兩個(gè)原因:一是客戶(hù)不重視，只要達(dá)到預(yù)期利潤(rùn)即可；二是探針臺(tái)硬件不支持，多數(shù)探針臺(tái)使用TTL通訊接口，只能提供合格和不合格信號(hào)。隨著測(cè)試技術(shù)的進(jìn)步和成本壓力的增加，客戶(hù)需要對(duì)電路的失效具體原因進(jìn)行定位分析，制定相應(yīng)的對(duì)策，提高產(chǎn)品測(cè)試良率，減少利潤(rùn)損失；同時(shí)探針臺(tái)增加了 GPIB通訊接口，部分探針臺(tái)已可以實(shí)現(xiàn)1024個(gè)失效項(xiàng)目分類(lèi)，可滿(mǎn)足絕大多數(shù)客戶(hù)需求。伴隨著大數(shù)據(jù)時(shí)代的到來(lái)，為了更好的對(duì)產(chǎn)品失效模式進(jìn)行分析，客戶(hù)對(duì)每一家測(cè)試服務(wù)供應(yīng)商提出了一個(gè)更高的要求:標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試Summary，測(cè)試總數(shù)、失效項(xiàng)目設(shè)置必須嚴(yán)格一致，這樣就可以閉環(huán)不同測(cè)試工廠、測(cè)試平臺(tái)或探針臺(tái)可能帶來(lái)的數(shù)據(jù)不一致的問(wèn)題。這就需要對(duì)探針臺(tái)測(cè)試圖形進(jìn)行二次處理:標(biāo)準(zhǔn)化，也有利于服務(wù)商通過(guò)比對(duì)發(fā)現(xiàn)自身的不足。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是在集成電路芯片級(jí)測(cè)試過(guò)程，利用Excel實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Summary標(biāo)準(zhǔn)化，實(shí)現(xiàn)測(cè)試總數(shù)、失效項(xiàng)目等的嚴(yán)格統(tǒng)一，替換傳統(tǒng)的風(fēng)格各異的Summary格式，適用于不同類(lèi)型探針臺(tái)生成的測(cè)試圖形或不同測(cè)試代工廠提供的測(cè)試圖形等。
[0004]按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述利用Excel實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Smnmary標(biāo)準(zhǔn)化的方法為:(1)首先對(duì)每個(gè)產(chǎn)品建立明確的失效項(xiàng)目表格和標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試圖形母版，所述測(cè)試圖形母版包含標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)；(2)然后利用Excel VBA編程將探針臺(tái)原始文件轉(zhuǎn)換成原始測(cè)試圖形，并根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試圖形母版的標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)位置確定每個(gè)產(chǎn)品的原始測(cè)試圖形參考點(diǎn)；(3)再次利用Excel VBA編程，計(jì)算所述原始測(cè)試圖形的參考點(diǎn)和測(cè)試圖形母版的標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)之間的位移差值，將原始測(cè)試圖形和測(cè)試圖形母版中所述參考點(diǎn)和標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)進(jìn)行位置重合，將原始測(cè)試圖形生成和測(cè)試圖形母版一致的圖形；(4)最后，根據(jù)每個(gè)產(chǎn)品的失效項(xiàng)目表格對(duì)標(biāo)準(zhǔn)化后的測(cè)試圖形進(jìn)行Smnmary信息提取統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Smnmary的標(biāo)準(zhǔn)化。
[0005]具體的，步驟(I)制定測(cè)試圖形母版的標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)時(shí)，對(duì)于有明顯光刻直角的晶圓，以直角交匯點(diǎn)為標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)；對(duì)于沒(méi)有顯著特征區(qū)域的晶圓，選擇手工墨點(diǎn)定位作為標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)。步驟(2)確定原始測(cè)試圖形的參考點(diǎn)時(shí)，也相應(yīng)的選擇有明顯光刻直角參考，或有手工墨點(diǎn)定位參考的點(diǎn)。
[0006]所述標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)用一個(gè)設(shè)定字符表示，如“#”或
[0007]步驟(3)中，先對(duì)測(cè)試圖形母版的標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)進(jìn)行搜索定位，確定坐標(biāo)位置(XI，Yl )，再對(duì)原始測(cè)試圖形的參考點(diǎn)進(jìn)行搜索定位，確定坐標(biāo)位置(X2，Y2)，從而得出兩張圖形之間存在的位移差值，X方向:X1-X2 ;Y方向:Υ1-Υ2，根據(jù)位移差值確定原始測(cè)試圖形在X、Y軸上的位移量，利用軟件重新進(jìn)行所有數(shù)據(jù)的位移和計(jì)算實(shí)際的數(shù)據(jù)段在X和Y方向的長(zhǎng)度，將原始測(cè)試圖形的參考點(diǎn)強(qiáng)制和測(cè)試圖形母版的標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)進(jìn)行位置重合。然后，根據(jù)測(cè)試圖形母版的測(cè)試管芯總數(shù)和屬性對(duì)經(jīng)過(guò)處理的原始測(cè)試圖形進(jìn)行數(shù)據(jù)處理:測(cè)試圖形母版區(qū)域外的管芯，一律剔除，管芯屬性重新定義為非測(cè)試；測(cè)試圖形母版內(nèi)的，但是處理后的原始測(cè)試圖形有沒(méi)有體現(xiàn)測(cè)試狀態(tài)的，一律補(bǔ)足，管芯屬性重新定義為測(cè)試不良品；其他常規(guī)狀態(tài)的管芯匹配測(cè)試圖形母版即可。
[0008]步驟(4)中根據(jù)每個(gè)產(chǎn)品的失效項(xiàng)目表格，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)化后的測(cè)試圖形進(jìn)行掃描匹配，得出每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目的失效數(shù)目。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:整個(gè)操作過(guò)程中，通過(guò)技術(shù)轉(zhuǎn)換，將不同類(lèi)型探針臺(tái)生成的測(cè)試圖形或不同測(cè)試代工廠提供的測(cè)試圖形等通過(guò)Excel VBA編程經(jīng)過(guò)原始圖形生成、標(biāo)準(zhǔn)化母版比對(duì)和Smnmary提取等步驟實(shí)現(xiàn)探針臺(tái)Smnmary的標(biāo)準(zhǔn)化，達(dá)到了客戶(hù)的需求。軟件的批處理也大幅簡(jiǎn)化了傳統(tǒng)的手工數(shù)據(jù)錄入、個(gè)別失效項(xiàng)微調(diào)和二次確認(rèn)等繁瑣的流程，有效提升了生產(chǎn)效率。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1本發(fā)明應(yīng)用前原始測(cè)試圖形示意圖。
[0011]圖2本發(fā)明使用到的標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試圖形母版示意圖。
[0012]圖3本發(fā)明生成的標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試圖形示意圖。
[0013]圖4本發(fā)明生成的標(biāo)準(zhǔn)化Summary示意圖。
[0014]注:圖示中的“#”表示參考點(diǎn)。
【具體實(shí)施方式】
[0015]本發(fā)明的總體流程為:首先每個(gè)項(xiàng)目建立明確的失效項(xiàng)目表格和標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試圖形母版(含標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn));然后利用Excel VBA編程將探針臺(tái)原始文件轉(zhuǎn)換成測(cè)試圖形(含確定的參考點(diǎn));再次利用Excel VBA編程，計(jì)算參考點(diǎn)和標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)之間的差值，實(shí)現(xiàn)原始測(cè)試圖形和標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試圖形母版的參考點(diǎn)的重合，同時(shí)進(jìn)行相關(guān)處理，生成和標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試圖形母版一致的圖形；最后對(duì)批量處理后的標(biāo)準(zhǔn)化圖形進(jìn)行Summary信息統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Summary的標(biāo)準(zhǔn)化。
[0016]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0017]首先根據(jù)客戶(hù)需求對(duì)每個(gè)產(chǎn)品建立明確的失效項(xiàng)目表格，同時(shí)制作標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試圖形母版(客戶(hù)提供或根據(jù)客戶(hù)需求服務(wù)商自己制作)，明確測(cè)試芯片總數(shù)，測(cè)試管芯屬性和良率控制線等。測(cè)試圖形母版需要實(shí)施一個(gè)關(guān)鍵步驟:制定標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)，對(duì)于有明顯光刻直角的晶圓，以直角交匯點(diǎn)為標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)；對(duì)于沒(méi)有顯著特征區(qū)域的晶圓，可以選擇手工墨點(diǎn)定位作為標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)，這個(gè)點(diǎn)可以用“#”或等字符表示(如圖2圓圈內(nèi)突出顯示的點(diǎn))。理論上常規(guī)的非數(shù)字和英文字母的ASCII碼均可，由于廣泛認(rèn)可的是和兩個(gè)字符，所以根據(jù)大眾認(rèn)可選擇了這兩個(gè)字符。以上信息的一一完善標(biāo)志著每個(gè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化母版的建立。如圖2所示，空白單元格表示非測(cè)試區(qū)域，“M