利用測試數(shù)據(jù)恢復(fù)tsk系列探針臺map的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種方法，尤其是一種利用測試數(shù)據(jù)恢復(fù)TSK系列探針臺MAP的方法，屬于晶圓測試的技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]對于集成電路芯片級測試環(huán)節(jié)，國內(nèi)主流測試代工廠基本上都規(guī)模使用TSK系列探針臺，TSK系列探針臺的穩(wěn)定性和軟件代碼開放性等在業(yè)內(nèi)都有不錯的口碑。但再好的設(shè)備在實際生產(chǎn)過程中也會因為種種非預(yù)期因素造成測試MAP丟失，其中，造成測試MAP丟失的非預(yù)期因素為:測試系統(tǒng)與探針臺GPIB通訊故障引發(fā)探針臺重啟、電源系統(tǒng)突然掉電、人為誤操作造成晶圓直接退片或探針臺硬件故障直接重啟等，測試MAP的丟失給正常的生產(chǎn)流程造成了很大的困擾。
[0003]在測試MAP丟失后，可能會導(dǎo)致待測試晶圓的重復(fù)測試。而對于需要進行熔絲精確修調(diào)的模擬類晶圓測試，重復(fù)測試會直接造成部分管芯二次熔絲、參數(shù)失效等，形成低良繼而導(dǎo)致客戶的質(zhì)量索賠。對于CUP (PAD下面有布線或電路)產(chǎn)品，二次針跡會造成布線或電路被扎斷/穿，形成管腳漏電或電路永久失效等；對一些對測試針跡管控異常嚴格的特殊行業(yè)(航空、航天等)的晶圓，允許針痕數(shù)、位置和面積等都有嚴格的定義，一旦超標面臨的就是嚴苛的質(zhì)量歸零和質(zhì)量處罰。
[0004]目前，測試代工廠在應(yīng)對探針臺MAP丟失的常規(guī)做法就是再次測試，盡可能小心的控制針跡，但隨著集成電路設(shè)計、制造等技術(shù)的迅猛發(fā)展和企業(yè)生存成本壓力的增加，大晶圓尺寸(彡12英寸)、小面積(彡0.25mm2)、小PAD(彡45um*45um)等逐漸成為主流，晶圓制造成本和測試風(fēng)險大幅增加，再次測試往往面臨的就是遠遠超出測試利潤的經(jīng)濟賠償。對于競爭日益激烈的測試代工服務(wù)業(yè)，急需尋求一種新的思路來解決這個問題，減少損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種利用測試數(shù)據(jù)恢復(fù)TSK系列探針臺MAP的方法，其操作方便，對需要進行熔絲精確修調(diào)的模擬類晶圓、針壓敏感晶圓和對測試針跡管控異常嚴格的特殊行業(yè)晶圓的測試環(huán)節(jié)，避免了晶圓的重復(fù)測試，大大降低了重復(fù)測試可能帶來的質(zhì)量風(fēng)險，能滿足一些特殊行業(yè)的嚴苛的測試要求，安全可靠。
[0006]按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，一種利用測試數(shù)據(jù)恢復(fù)TSK系列探針臺MAP的方法，所述TSK系列探針臺MAP的恢復(fù)方法包括如下步驟:
步驟1、提供晶圓測試時生成的測試數(shù)據(jù)，所述測試數(shù)據(jù)包括管芯XY坐標，SITE編號、P/F狀態(tài)或BIN信息；確定SITE數(shù)目以及探針排布方向，以根據(jù)所述測試數(shù)據(jù)生成與所述測試數(shù)據(jù)對應(yīng)的恢復(fù)參考圖；
步驟2、提供并打開任意一張與上述測試晶圓屬同一批次晶圓的已完成完整測試的MAP圖，根據(jù)所述已完成完整測試的MAP圖對上述生成的恢復(fù)參考圖進行調(diào)整，恢復(fù)參考圖在調(diào)整后形成調(diào)整恢復(fù)圖，所述調(diào)整恢復(fù)圖內(nèi)的測試信息與已完成完整測試的MAP圖內(nèi)的測試信息相吻合；
步驟3、以已完成完整測試MAP圖為標準參考，對調(diào)整恢復(fù)圖內(nèi)每個管芯的測試屬性進行設(shè)置，并利用設(shè)置管芯測試屬性后的調(diào)整恢復(fù)圖生成恢復(fù)MAP圖；
步驟4、打開上述恢復(fù)MAP圖，并將所述打開的恢復(fù)MAP圖與恢復(fù)參考圖進行對比，當(dāng)恢復(fù)MAP圖的管芯XY坐標與恢復(fù)參考圖內(nèi)的管芯XY坐標一致時，則確定根據(jù)測試數(shù)據(jù)恢復(fù)MAP圖成功，否則，調(diào)整測試數(shù)據(jù)內(nèi)的管芯XY坐標并重復(fù)上述步驟，直至能確定根據(jù)測試數(shù)據(jù)恢復(fù)MAP圖成功。
[0007]利用Excel VBA編程語言對測試數(shù)據(jù)處理以生成恢復(fù)參考圖，探針排布的方向包括橫向排列、豎向排列、菱形排列、矩形排列或間隔排列。
[0008]所述步驟3包括如下步驟:
步驟3.1、任意讀取調(diào)整恢復(fù)圖內(nèi)的一行數(shù)據(jù)并保存至既定數(shù)組I內(nèi)，并在已完成完整測試MAP圖內(nèi)讀取與調(diào)整恢復(fù)圖相對應(yīng)的行數(shù)據(jù)且保存至既定數(shù)組2內(nèi)，以既定數(shù)組2為標準參考，對既定數(shù)組I內(nèi)每個管芯的測試屬性進行設(shè)置；
步驟3.2、重復(fù)讀取調(diào)整恢復(fù)圖內(nèi)的行數(shù)據(jù)以及已完成完整測試MAP圖內(nèi)對應(yīng)的行數(shù)據(jù)，并根據(jù)步驟3.1對讀取調(diào)整恢復(fù)圖內(nèi)行數(shù)據(jù)中每個管芯的測試屬性進行設(shè)置，直至完成對調(diào)整恢復(fù)圖內(nèi)每個管芯的測試屬性均進行設(shè)置。
[0009]以既定數(shù)組2為標準參考，對既定數(shù)組I內(nèi)管芯的測試屬性進行設(shè)置時，在既定數(shù)組2的數(shù)據(jù)范圍外，既定數(shù)組I內(nèi)的測試屬性數(shù)據(jù)統(tǒng)一設(shè)置為非測試屬性，在既定數(shù)組2的數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，既定數(shù)組I內(nèi)的測試屬性數(shù)據(jù)統(tǒng)一設(shè)置為測試屬性，且設(shè)置BIN的數(shù)值為2。
[0010]本發(fā)明的優(yōu)點:整個操作過程中，通過Excel VBA編程利用測試數(shù)據(jù)恢復(fù)TSK系列探針臺MAP，避免了晶圓的重復(fù)測試。大大降低了重復(fù)測試可能帶來的質(zhì)量風(fēng)險，滿足了一些特殊行業(yè)的嚴苛的測試要求。特別是隨著管芯/PAD面積日益微小化，單片晶圓制造成本大幅增加的未來發(fā)展趨勢，本發(fā)明可以很好地避免這一系列的問題。同時因為Excel平臺的使用，MAP恢復(fù)工作變得非常輕松，和日常的Excel操作保持一致，具有很人性化的編程接口。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步說明。
[0012]由于集成電路制造工藝的不斷進步，晶圓直徑達到了 300mm，管芯的線條達90nm或更微細、芯片面積更小，一枚晶圓上可以制作萬個以上管芯；對管芯的測試由測試系統(tǒng)和探針臺(Prober)經(jīng)過精密對接共同完成，通過晶圓測試對所有管芯進行分類:即失效的管芯和合格的管芯、或需要修復(fù)的管芯；為了滿足先進的工藝和自動化的要求，現(xiàn)在很少用墨點來區(qū)分管芯的好與壞，而是采用電子式MAP圖，該MAP圖是探針臺在測試過程中自動生成的。MAP圖不僅記錄著管芯的好與壞還記載著被測管芯的其它測試狀態(tài)信息；把測試過的晶圓和電子式MAP圖同步傳遞到下一道工序，比如:把MAP圖輸入，該工序的設(shè)備就能自動完成操作，真正做到了生產(chǎn)線自動化，因此MAP的生成和應(yīng)用很重要。
[0013]而在MAP丟失時，可能會造成對晶圓的重復(fù)測試。為了能避免了晶圓的重復(fù)測試，大大降低了重復(fù)測試可能帶來的質(zhì)量風(fēng)險，能滿足一些特殊行業(yè)的嚴苛的測試要求，本發(fā)明TSK系列探針臺MAP的恢復(fù)方法包括如下步驟: 步驟1、提供晶圓測試時生成的測試數(shù)據(jù)，所述測試數(shù)據(jù)包括管芯XY坐標，SITE編號、P/F狀態(tài)或BIN信息；確定SITE數(shù)目以及探針排布方向，以根據(jù)所述測試數(shù)據(jù)生成與所述測試數(shù)據(jù)對應(yīng)的恢復(fù)參考圖；
本發(fā)明實施例中，測試數(shù)據(jù)由TSK系列探針臺在對晶圓測試時生成，測試數(shù)據(jù)與MAP圖能通過測試坐標一一對應(yīng)，從而均能體現(xiàn)被測試管芯的狀態(tài)。在具體實施時，利用ExcelVBA編程語言對測試數(shù)據(jù)處理以生成恢復(fù)參考圖，探針排布的方向包括橫向排列、豎向排列、菱形排列、矩形排列或間隔排列。所述Excel的版本可以為Excel 2007，在確定SITE數(shù)目以及探針排布方向后，能在Excel中確定管芯XY坐標在X、Y方向上的遞增/遞減關(guān)系。通過Excel 2007對測試數(shù)據(jù)生成恢復(fù)參考圖時，恢復(fù)參考圖為xlsx格式的文件；其中，管芯XY坐標、SITE編號為Excel 2007生成恢復(fù)參考圖所必須的信息，而P/F狀態(tài)或BIN信息可以由Excel 2007