X射線分析用試樣保持器及試樣設(shè)置用夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在用X射線分析裝置將試樣(試料)進(jìn)行X射線分析時(shí)、用來(lái)保持試樣而安設(shè)到X射線分析裝置中的X射線分析用試樣保持器及為了對(duì)該保持器安設(shè)試樣而使用的試樣設(shè)置用夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]一般而言，在用熒光X射線分析裝置等X射線分析裝置將試樣進(jìn)行X射線分析時(shí)，使用保持試樣的保持器，將該保持器安設(shè)到X射線分析裝置中而進(jìn)行分析。例如，以往為了分析、測(cè)量微小的試樣，作為保持器而使用帶有薄膜的容器。即，將試樣放置到張?jiān)O(shè)于容器內(nèi)的較薄的薄膜上，實(shí)施測(cè)量。
[0003]在這樣測(cè)量薄膜上的試樣時(shí)，由于試樣是微小而輕量的，所以有下述情況:因裝置的門(mén)的開(kāi)閉或試樣的更換時(shí)的機(jī)械振動(dòng)等，而發(fā)生該試樣上的照射X射線的目標(biāo)位置與實(shí)際的照射位置不一致的試樣的偏移。為了改善該試樣的偏移，還提出了使用緩沖件保持試樣的方法。但是，有緩沖件的材質(zhì)有時(shí)給X射線測(cè)量結(jié)果帶來(lái)影響的不良狀況。
[0004]因此，提出了使用專(zhuān)用的測(cè)量容器的技術(shù)。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，提出了一種X射線分析用試料保持器，其具備:有底筒形狀的主體；1個(gè)以上的棒狀的支承部件，立設(shè)在該主體的底壁上，用前端面支承試料；和薄膜，將主體的開(kāi)口部覆蓋，將試料在與支承部件之間支承。該X射線分析用試料保持器為，在作為專(zhuān)用容器的容器蓋的內(nèi)部上表面上設(shè)有插入口，從該插入口插入試樣或插入在端部帶有試樣的棒而使用。
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:特開(kāi)2000 - 230912號(hào)公報(bào)。
[0006]在上述以往的技術(shù)中，留有以下的課題。
[0007]S卩，X射線強(qiáng)度依存于試樣與X射線管的距離，但在以往的試料保持器中，需要將試樣插入到容器內(nèi)而安設(shè)，有難以將試樣總是保持為最優(yōu)的距離、給測(cè)量結(jié)果帶來(lái)影響的問(wèn)題。此外，對(duì)于插入的試料的大小有限制，必須將試料加工成能夠從插入口插入的大小及形狀，也有在試料的制作中花費(fèi)工夫、較麻煩的不良狀況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明是鑒于上述課題而做出的，目的是提供一種能夠消除試樣的偏移并使試樣與X射線管的距離為一定、進(jìn)而能夠?qū)?yīng)于各種各樣的形狀的試樣的X射線分析用試樣保持器及在將試樣向該保持器安設(shè)時(shí)使用的試樣設(shè)置用夾具。
[0009]本發(fā)明為了解決上述課題而采用以下的結(jié)構(gòu)。即，有關(guān)第I發(fā)明的X射線分析用試樣保持器，其特征在于，具備第I環(huán)狀部件、第2環(huán)狀部件和第3環(huán)狀部件；所述第2環(huán)狀部件在與上述第I環(huán)狀部件之間夾著第I薄膜的狀態(tài)下嵌入插入在上述第I環(huán)狀部件內(nèi)，將下部開(kāi)口部覆蓋而張?jiān)O(shè)上述第I薄膜；所述第3環(huán)狀部件在與上述第2環(huán)狀部件之間夾著第2薄膜的狀態(tài)下嵌入插入在上述第2環(huán)狀部件內(nèi)，將下部開(kāi)口部覆蓋而張?jiān)O(shè)上述第2薄膜；用在上述第2環(huán)狀部件和上述第3環(huán)狀部件各自的下部開(kāi)口部處張?jiān)O(shè)的上述第I薄膜和上述第2薄膜將X射線分析用的試樣夾持。
[0010]在該X射線分析用試樣保持器中，由于用在第2環(huán)狀部件和第3環(huán)狀部件各自的下部開(kāi)口部處張?jiān)O(shè)的第I薄膜和第2薄膜將X射線分析用的試樣夾持，所以試樣被一對(duì)薄膜夾著而不會(huì)偏移，并且由于薄膜較薄，所以不易給X射線測(cè)量帶來(lái)影響，能夠進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。此外，通過(guò)將第I薄膜的位置安設(shè)到試樣與X射線管的距離的最優(yōu)位置，能夠總是使試樣與X射線管的距離成為一定。進(jìn)而，由于將試樣夾在一對(duì)薄膜間，所以對(duì)試樣的大小及形狀限制較少，能夠安設(shè)多種多樣的試樣。
[0011]有關(guān)第2發(fā)明的X射線分析用試樣保持器在第I發(fā)明中，其特征在于，上述第3環(huán)狀部件形成得比上述第2環(huán)狀部件高；在上述第2環(huán)狀部件的上方且上述第3環(huán)狀部件的外周面上，具備彈性體圈，所述彈性體圈以?shī)A著上述第2薄膜的外周緣部分的狀態(tài)安裝，將上述第2薄膜固定。
[0012]即，在該X射線分析用試樣保持器中，由于在第2環(huán)狀部件的上方且第3環(huán)狀部件的外周面上，具備彈性體圈，所述彈性體圈以?shī)A著第2薄膜的外周緣部分的狀態(tài)安裝，將第2薄膜固定，所以能夠用彈性體圈調(diào)節(jié)第2薄膜的張力程度。例如，通過(guò)由彈性體圈使第2薄膜的張力比第I薄膜弱而固定，能夠在將第I薄膜平坦地張?jiān)O(shè)的原狀下在第3環(huán)狀部件內(nèi)以第2薄膜成為凸的方式夾持試樣。由此，能夠不使第I薄膜撓曲而保持試樣，能夠維持作為基準(zhǔn)面的第I薄膜的位置，所述基準(zhǔn)面決定試樣與X射線管的距離。
[0013]有關(guān)第3發(fā)明的X射線分析用試樣保持器在第I或第2發(fā)明中，其特征在于，在上述第I環(huán)狀部件的下部外周上形成有缺口狀的臺(tái)階部。
[0014]S卩，在該X射線分析用試樣保持器中，由于在第I環(huán)狀部件的下部外周上形成有缺口狀的臺(tái)階部，所以通過(guò)在X射線分析裝置的保持器安裝部設(shè)置將臺(tái)階部卡止且第I環(huán)狀部件的下部能夠嵌入的臺(tái)階部狀的凹部，能夠進(jìn)行與X射線照射口的定位，容易使試樣對(duì)準(zhǔn)于目標(biāo)位置，還能夠再次向相同位置配置試樣。
[0015]有關(guān)第4發(fā)明的試樣設(shè)置用夾具，在向第I至第3發(fā)明的任一項(xiàng)的X射線分析用試樣保持器設(shè)置X射線分析用的試樣時(shí)使用，其特征在于，具備夾具主體和透明板部；所述夾具主體為板狀，具有至少上述第I環(huán)狀部件的下部能夠嵌入的設(shè)置孔；所述透明板部將上述設(shè)置孔的下部開(kāi)口部覆蓋而設(shè)置；在上述透明板部上形成有標(biāo)記，所述標(biāo)記表示上述設(shè)置孔的中心。
[0016]S卩，在該試樣設(shè)置用夾具中，由于在透明板部上形成有表示設(shè)置孔的中心的標(biāo)記，所以在將張?jiān)O(shè)有第I薄膜的第I環(huán)狀部件及第2環(huán)狀部件嵌入在設(shè)置孔中的狀態(tài)下，能夠以能夠經(jīng)由第I薄膜目視的透明板部的標(biāo)記為記號(hào)，將試樣載置到第I薄膜上。因而，通過(guò)使用該試樣設(shè)置用夾具，容易在X射線分析裝置的機(jī)外將試樣安設(shè)到與X射線束的中心對(duì)應(yīng)的測(cè)量位置。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，起到以下的效果。
[0018]S卩，根據(jù)有關(guān)本發(fā)明的X射線分析用試樣保持器，由于用在第2環(huán)狀部件和第3環(huán)狀部件各自的下部開(kāi)口部處張?jiān)O(shè)的第I薄膜和第2薄膜將X射線分析用的試樣夾持，所以試樣不會(huì)偏移，并且由于薄膜較薄，所以不易給X射線測(cè)量帶來(lái)影響，能夠進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。此外，能夠總是使試樣與X射線管的距離成為一定，并且對(duì)試樣的大小及形狀限制較少，能夠安設(shè)多種多樣的試樣。
[0019]此外，根據(jù)有關(guān)本發(fā)明的試樣設(shè)置用夾具，由于在透明板部上形成有表示設(shè)置孔的中心的標(biāo)記，所以能夠以透明板部的標(biāo)記為記號(hào)，將試樣載置到第I薄膜上，容易在X射線分析裝置的機(jī)外將試樣安設(shè)到與X射線束的中心對(duì)應(yīng)的測(cè)量位置。
[0020]因而，根據(jù)本發(fā)明，能夠在機(jī)內(nèi)或機(jī)外將多種多樣的形狀的試樣準(zhǔn)確地配置到想要照射X射線的位置，能夠防止被保持的試樣因振動(dòng)等而移動(dòng)。
【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1是在有關(guān)本發(fā)明的X射線分析用試樣保持器的一實(shí)施方式中、表示載置在X射線分析裝置的保持器安裝部上的狀態(tài)的剖面圖。
[0022]圖2是在本實(shí)施方式中、表示剖斷為一半時(shí)的X射線分析用試樣保持器(除了薄膜以外)的立體圖。
[0023]圖3是在本實(shí)施方式中、表示X射線分析用試樣保持器(除了薄膜以外)的主視圖。
[0024]圖4是在本實(shí)施方式中、表示X射線分析用試樣保持器(除了薄膜及彈性體圈以夕卜)的從下方觀察的立體圖。
[0025]圖5是表示有關(guān)本發(fā)明的試樣設(shè)置用夾具的一實(shí)施方式的立體圖。
[0026]圖6是在本實(shí)施方式中、用來(lái)說(shuō)明使用試樣設(shè)置用夾具對(duì)X射線分析用試樣保持器安設(shè)試樣的工序的剖面圖。
[0027]圖7是在本實(shí)施方式中、表示X射線分析裝置的試樣轉(zhuǎn)換器的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]以下，一邊參照?qǐng)D1至圖7 —邊說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的X射線分析用試樣保持器及試樣設(shè)置用夾具的一實(shí)施方式。
[0029]本實(shí)施方式的X射線分析用試樣保持器I是保持熒光X射線分析裝置等X射線分析裝置的試樣的保持器，如圖1至圖4所示，設(shè)置在作為試樣基座的保持器安裝部2上，具備:第I環(huán)狀部件3 ;第2環(huán)狀部件4，在與第I環(huán)狀部件3之間夾著第I薄膜Fl的狀態(tài)下嵌入插入在第I環(huán)狀部件3內(nèi)，將下部開(kāi)口部覆蓋而張?jiān)O(shè)第I薄膜Fl ;和第3環(huán)狀部件5，在與第2環(huán)狀部件4之間夾著第2薄膜F2的狀態(tài)下嵌入插入在第2環(huán)狀部件4內(nèi)，將下部開(kāi)口部覆蓋而張?jiān)O(shè)第2薄膜F2。
[0030]S卩，第I薄膜Fl被夾持在第I環(huán)狀部件3的內(nèi)周面3a與第2環(huán)狀部件4的外周面之間而張?jiān)O(shè)在下部開(kāi)口部，第2薄膜F2被夾持在第2環(huán)狀部件4的內(nèi)周面4a與第3環(huán)狀部件5的外周面之間而張?jiān)O(shè)在下部開(kāi)口部。
[0031]因而，該X射線分析用試樣保持器I用張?jiān)O(shè)在第2環(huán)狀部件4和第3環(huán)狀部件5的各自的下部開(kāi)口部的第I薄膜Fl和第2薄膜F2夾持X射線分析用的試樣S。
[0032]上述第I環(huán)狀部件3、第2環(huán)狀部件4及第3環(huán)狀部件5是分別由樹(shù)脂等形成的高度不同的圓筒狀部件。
[0033]第2環(huán)狀部件4形成得比第I環(huán)狀部件3高，上述第3環(huán)狀部件5形成得比第2環(huán)狀部件4高。
[0034]第I環(huán)狀部件3在下部形成有底部支承部3c，所述底部支承部3c向半徑方向內(nèi)方突出，遍及下部開(kāi)口部整周形成。在該底部支承部3c的上表面上，以中間夾著第I薄膜Fl的狀態(tài)支承著第2環(huán)狀部件4的下端。
[0035]此外，該X射線分析用試樣保持器I在第2環(huán)狀部件4的上方且第3環(huán)狀部件5的外周面上具備彈性體圈6，所述彈性體圈6以