一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的鈑金形式漏液報(bào)警裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的漏液報(bào)警裝置，確切地說(shuō)是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的鈑金形式漏液報(bào)警裝置，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體設(shè)備在沉積反應(yīng)時(shí)往往需要使反應(yīng)腔體或相關(guān)元件達(dá)到一定的使用溫度，以維持整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的正常運(yùn)行。有時(shí)會(huì)使用溫度較低的冷卻水進(jìn)行相關(guān)器件的降溫，或是使用具有一定溫度的液體來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)相關(guān)器件的升溫或溫度維持。半導(dǎo)體設(shè)備無(wú)論其所生產(chǎn)的產(chǎn)品及設(shè)備本身都包括許多的電子器件，液體輸送管路一旦泄露將會(huì)污染潔凈間環(huán)境，如出現(xiàn)因漏液造成的異常導(dǎo)通現(xiàn)象，嚴(yán)重?fù)p害半導(dǎo)體設(shè)備及產(chǎn)品，更嚴(yán)重的將危害工作人員的安全。雖然液體的泄露有時(shí)是難以避免的，但應(yīng)盡可能的將漏液的危害縮減到最小則是人們所關(guān)注的問(wèn)題。
[0003]現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備往往只是從提高管路的耐壓及強(qiáng)度方面，或是關(guān)鍵元器件的放水等級(jí)方面作為提高設(shè)備整體對(duì)漏液的抵抗能力。但僅僅依靠這些防護(hù)措施是不夠的，還需要在源頭進(jìn)行檢測(cè)及防護(hù)，以便及時(shí)的處理漏液事件，以減小對(duì)設(shè)備及人員的損害。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明以解決上述問(wèn)題為目的，主要解決現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備中普遍存在的僅僅依靠加強(qiáng)管路強(qiáng)度或元器件防水等級(jí)的被動(dòng)的防漏液方式存在的不能快速準(zhǔn)確查找泄露源頭，以便第一時(shí)間解決漏液的現(xiàn)象。事實(shí)上僅僅依靠管路的強(qiáng)度是不可靠的，即便管路的強(qiáng)度是可以保證的，但管路的接頭處往往是整個(gè)液體輸送系統(tǒng)的最薄弱環(huán)節(jié)，因?yàn)榻宇^處經(jīng)常需要拆卸、安裝等操作，或是長(zhǎng)時(shí)間的使用后造成的密封原件失效等原因，大部分的設(shè)備液體泄漏現(xiàn)象都是出現(xiàn)在管路的接頭部分。本發(fā)明提供了一種更直接的漏液檢測(cè)報(bào)警裝置，使用沿液體輸送管路布置的漏液檢知觸感器及與相應(yīng)的管路接頭相配合的分體式傳感器安裝模塊，可以在有微小漏液情況發(fā)生時(shí)第一時(shí)間檢測(cè)漏液現(xiàn)象，并向系統(tǒng)提供反饋信號(hào)以便及時(shí)切斷液體輸送及處理漏液故障。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案:一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的鈑金形式漏液報(bào)警裝置，該裝置是沿液體輸送管路的接頭處安裝一種分體式的漏液報(bào)警結(jié)構(gòu)元件，元件內(nèi)部安裝漏液感知傳感器，即使在只有不易察覺(jué)的微小泄露現(xiàn)象發(fā)生時(shí)，液滴會(huì)最先滴落在傳感器上，使得漏液信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)反饋給設(shè)備主機(jī)，以便第一時(shí)間提供報(bào)警信息，并同時(shí)執(zhí)行切斷液體輸送管路，設(shè)備斷電等預(yù)定義操作，以避免即將發(fā)生的漏液產(chǎn)生更嚴(yán)重的后果。根據(jù)管路上不同位置的接頭定義不同的信號(hào)位置，可以更快速的反饋給維護(hù)人員漏液存在的位置，縮短查找漏點(diǎn)所需時(shí)間，更快速的進(jìn)行設(shè)備的恢復(fù)，以爭(zhēng)取減小因設(shè)備停機(jī)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失及因泄露帶來(lái)的人員危害。
[0006]該報(bào)警裝置包括:安裝殼體、管路接頭、漏液感知傳感器壓塊、硬管管路、漏液感知傳感器壓塊螺釘、漏液感知傳感器、安裝殼體上蓋及接頭安裝殼體螺釘。所述安裝殼體內(nèi)通過(guò)漏液感知傳感器壓塊固定漏液感知傳感器；上述漏液感知傳感器壓塊通過(guò)漏液感知傳感器壓塊螺釘固定在安裝殼體上。所述漏液感知傳感器用于檢測(cè)安裝殼體內(nèi)管路接頭的泄露及提供報(bào)警信息。安裝殼體上蓋與安裝殼體通過(guò)接頭安裝殼體螺釘緊固在管路上，并由螺釘進(jìn)行緊固。
[0007]本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適用性好，縮短查找漏點(diǎn)所需時(shí)間，能快速準(zhǔn)確查找泄露源頭以便快速的進(jìn)行設(shè)備恢復(fù)，最大限度地減小因設(shè)備停機(jī)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失及因泄露帶來(lái)的人員危害。接頭安裝殼體及接頭安裝殼體上蓋采用鈑金結(jié)構(gòu)，體積小，重量輕，外形整體美觀，不會(huì)對(duì)管路帶來(lái)?yè)p傷。并能根據(jù)不同種類的接通形式配合加工多種通用型接頭殼體結(jié)構(gòu)，已適用三通、直通或彎頭形式以及卡套連接、寶塔連接、螺紋連接等不同連接形式的管路接頭?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2是圖1的俯視縱向剖面圖。
[0010]圖3是本發(fā)明的使用狀態(tài)示意圖。
[0011]圖中零件標(biāo)號(hào)分別代表:
[0012]1、直通接頭安裝殼體；2、直通管路接頭；3、漏液感知傳感器壓塊；4、硬管管路；5、漏液感知傳感器壓塊螺釘；6、漏液感知傳感器；7、直通接頭安裝殼體上蓋；8、接頭安裝殼體螺釘；9、螺母；10、卡套/NPT轉(zhuǎn)換彎頭安裝殼體；11、卡套/NPT轉(zhuǎn)換彎頭；12、卡套三通接頭安裝殼體；13、卡套三通接頭；14、卡套彎頭安裝殼體；15、卡套彎頭；16、寶塔接頭安裝殼體；17、寶塔接頭；18、軟管管路；19、卡套/NPT轉(zhuǎn)換直通接頭安裝殼體；20、卡套/NPT轉(zhuǎn)換直通接頭。
[0013]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。
【具體實(shí)施方式】
[0014]實(shí)施例
[0015]如圖1和圖2所示，一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的鈑金形式漏液報(bào)警裝置，該裝置主要包括:直通接頭安裝殼體1、直通管路接頭2、漏液感知傳感器壓塊3、硬管管路4、漏液感知傳感器壓塊螺釘5、漏液感知傳感器6及直通接頭安裝殼體上蓋7。所述直通接頭安裝殼體I內(nèi)通過(guò)漏液感知傳感器壓塊3固定漏液感知傳感器6 ;上述漏液感知傳感器壓塊3通過(guò)漏液感知傳感器壓塊螺釘5固定在直通接頭安裝殼體I上。所述漏液感知傳感器6用于檢測(cè)直通接頭安裝殼體I內(nèi)直通管路接頭2的泄露及提供報(bào)警信息。直通接頭安裝殼體上蓋7與直通接頭安裝殼體I通過(guò)接頭安裝殼體螺釘8緊固在管路4上，并由螺釘9進(jìn)行緊固。
[0016]如圖3所示，工作時(shí)，沿整個(gè)液體輸送管路，根據(jù)不同的接頭形式安裝不同的安裝殼體，如卡套/NPT轉(zhuǎn)換彎頭11上安裝卡套/NPT轉(zhuǎn)換彎頭安裝殼體10 ;卡套三通接頭13上安裝卡套三通接頭安裝殼體12 ;卡套彎頭15上安裝卡套彎頭安裝殼體14 ;寶塔接頭17上安裝寶塔接頭安裝殼體16 ;卡套/NPT轉(zhuǎn)換直通接頭20上安裝卡套/NPT轉(zhuǎn)換直通接頭安裝殼體19，以適用于整個(gè)液體輸送管路中不同管路硬管管路4或軟管管路18及不同的連接頭形式(NPT螺紋連接、卡套連接、寶塔接頭連接等)。并在其內(nèi)部通過(guò)漏液感知傳感器壓塊3固定漏液感知傳感器6，當(dāng)整個(gè)管路上發(fā)生液體泄漏現(xiàn)象時(shí)，漏液感知傳感器6會(huì)第一時(shí)間與泄漏液體相接處，即使在只有不易察覺(jué)的微小泄露現(xiàn)象發(fā)生時(shí)，液滴會(huì)最先低落在傳感器上，使得漏液信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)反饋給設(shè)備主機(jī)，以便第一時(shí)間提供報(bào)警信息，并同時(shí)執(zhí)行切斷液體輸送管路，設(shè)備斷電等預(yù)定義操作，以避免即將發(fā)生的漏液產(chǎn)生更嚴(yán)重的后果。根據(jù)管路上不同位置的接頭定義不同的信號(hào)位置，可以更快速的反饋給維護(hù)人員漏液存在的位置，縮短查找漏點(diǎn)所需時(shí)間，更快速的進(jìn)行設(shè)備的恢復(fù)，以爭(zhēng)取減小因設(shè)備停機(jī)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失及因泄露帶來(lái)的人員危害。
[0017]本發(fā)明可與多種類不同形式的接頭配套使用，上述的安裝殼體可選擇其中的一種或幾種。
[0018]上述卡套/NPT轉(zhuǎn)換，是指接頭的一端為卡套連接方式，另一端為NPT螺紋連接方式，是因?yàn)椴煌脑骷S商制造的接頭形式可能不同，在一個(gè)流體輸送系統(tǒng)中需要轉(zhuǎn)換成統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。
[0019]上述漏液感知傳感器6米用歐姆龍品牌，型號(hào)為F03 —16PE的廣品。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的鈑金形式漏液報(bào)警裝置，其特征在于:它包括安裝殼體、管路接頭、漏液感知傳感器壓塊、硬管管路、漏液感知傳感器壓塊螺釘、漏液感知傳感器、安裝殼體上蓋及安裝殼體螺釘，所述安裝殼體內(nèi)通過(guò)漏液感知傳感器壓塊固定漏液感知傳感器；上述漏液感知傳感器壓塊通過(guò)漏液感知傳感器壓塊螺釘固定在安裝殼體上；所述漏液感知傳感器用于檢測(cè)安裝殼體內(nèi)管路接頭的泄露及提供報(bào)警信息，安裝殼體上蓋與安裝殼體通過(guò)安裝殼體螺釘緊固在管路上，并由螺釘進(jìn)行緊固。
2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的鈑金形式漏液報(bào)警裝置，其特征在于:所述的安裝殼體選擇直通接頭安裝殼體、卡套/NPT轉(zhuǎn)換彎頭安裝殼體、卡套三通接頭安裝殼體、卡套彎頭安裝殼體、寶塔接頭安裝殼體或卡套/NPT轉(zhuǎn)換直通接頭安裝殼體中的一種或幾種。
【專利摘要】一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的鈑金形式漏液報(bào)警裝置，主要解決現(xiàn)有技術(shù)不能快速準(zhǔn)確查找泄露源頭的問(wèn)題。該裝置包括安裝殼體、管路接頭、壓塊、漏液感知傳感器及安裝殼體上蓋等。所述安裝殼體內(nèi)通過(guò)壓塊固定漏液感知傳感器；上述壓塊通過(guò)漏液感知傳感器壓塊螺釘固定在安裝殼體上。所述漏液感知傳感器用于檢測(cè)安裝殼體內(nèi)管路接頭的泄露及提供報(bào)警信息。安裝殼體上蓋與安裝殼體通過(guò)接頭安裝殼體螺釘緊固在管路上，并由螺釘進(jìn)行緊固。本發(fā)明安裝殼體及安裝殼體上蓋采用鈑金結(jié)構(gòu)，體積小，重量輕，適用性好，能快速準(zhǔn)確查找泄露源頭以便快速的進(jìn)行設(shè)備恢復(fù)，最大限度地減小因設(shè)備停機(jī)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失及因泄露帶來(lái)的人員危害?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域。
【IPC分類】G01M3-16
【公開(kāi)號(hào)】CN104833461
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510184874
【發(fā)明人】陳英男, 姜崴, 鄭旭東, 關(guān)帥
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月12日
【申請(qǐng)日】2015年4月20日