專(zhuān)利名稱(chēng)：改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，屬于高溫振動(dòng)傳感器領(lǐng)域。
振動(dòng)是現(xiàn)代各種工程，如導(dǎo)彈、飛機(jī)、船舶、汽車(chē)、橋梁乃至堤壩和大壩建筑物的各種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的重要參數(shù)。以導(dǎo)彈為例，據(jù)六十年代中美國(guó)統(tǒng)計(jì)表明，在飛行中出現(xiàn)的破壞，其中一半是因?yàn)檎駝?dòng)的原因所造成。因此世界各國(guó)對(duì)振動(dòng)結(jié)構(gòu)參數(shù)十分關(guān)注，設(shè)計(jì)和制造了各種類(lèi)型的測(cè)振傳感器，用以確定動(dòng)態(tài)環(huán)境的等效載荷。
在各種類(lèi)型的測(cè)振傳感器中，壓電加速度計(jì)因其具有尺寸小、重量輕、頻率范圍寬(3～20,000Hz)等優(yōu)點(diǎn)而受到廣泛應(yīng)用。加速度計(jì)總是處于苛刻(光、溫度、噪聲、應(yīng)變)的工作環(huán)境，實(shí)際使用結(jié)構(gòu)均較復(fù)雜，在材料選擇上，除考慮壓電系數(shù)大小與穩(wěn)定性之外還應(yīng)注意材料的熱釋電效應(yīng)，這是因?yàn)樽鳛閴弘娛郊铀俣扔?jì)用的傳感元件-鐵電材料永久極化強(qiáng)度隨溫度而變化。工作方式不同時(shí)，同種材料在相同溫度變化下產(chǎn)生的電荷信號(hào)是不同的。不論是一般壓縮型、單端壓縮型、隔離壓縮及倒裝中心壓縮型以及剪切型加速度計(jì)，均應(yīng)考慮到壓電傳感元件環(huán)境溫度的穩(wěn)定性以保證振動(dòng)的精確度和拓寬壓電加速度計(jì)的使用范圍。在眾所周知的中心壓縮型壓電加速度計(jì)結(jié)構(gòu)中，高溫壓電陶瓷元件直接與傳感器底座和頂緊螺絲接觸，底座的溫度直接傳到高溫敏感元件上，致使高溫壓電陶瓷元件的工作溫度隨基座影響，從而使測(cè)量精度受到影響，致使壓電陶瓷元件的使用溫度范圍變窄。

圖1為一般高溫壓電加速度計(jì)結(jié)構(gòu)圖，圖中1-傳感器底座；2-電陶瓷元件；3-引電片；4-質(zhì)量塊；5-預(yù)緊螺絲；6-殼體；7-輸出接插件。從圖可清楚地看出傳感器底座1和頂緊螺絲5直接與壓電傳感元件接觸。其次，從公式S=Q/a=d33m中可見(jiàn)，加速度計(jì)的輸出靈敏度S與壓電常數(shù)d33和質(zhì)量塊的質(zhì)量m成正比，在高溫下工作時(shí)，加速度計(jì)底座感受到的溫度通過(guò)壓電陶瓷傳遞到質(zhì)量塊上，壓電陶瓷的壓電常數(shù)d33會(huì)隨著溫度的升高而變化，而質(zhì)量塊也會(huì)因產(chǎn)生熱膨脹，由于質(zhì)量塊是緊壓在壓電陶瓷上，所以質(zhì)量塊的熱膨脹也會(huì)影響到壓電陶瓷，從而加劇了高溫壓電加速度計(jì)的輸出變化，影響測(cè)試精度。由此可見(jiàn)，影響壓電加速度計(jì)的使用測(cè)量精度主要是壓電陶瓷元件受到底座的溫度影響以及質(zhì)量塊因熱膨脹的影響，欲提高測(cè)量精度，就必須使這方面的影響減小到最低限度。
影響壓電加速度計(jì)使用溫度則是壓電陶瓷元件的本身特性所決定的。如何在材料選擇方面，既能使居里溫度高于850℃，而d33超過(guò)15PC/N同時(shí)，使品質(zhì)因素同時(shí)大於5000，如能找到這類(lèi)材料，則可使高溫壓電加速度計(jì)的使用溫度大大提高，這就導(dǎo)出本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思。
人們已知，鉍層狀陶瓷中，分子式為PbBi4Ti4O15和CaBi4Ti4O15陶瓷組合物，顯示出較高的居里點(diǎn)(分別為570℃和790℃)以及良好的壓電性，已提議作為鈦酸鉛取代用的壓電陶瓷材料。
鈣-鉍-鈦系是一類(lèi)鉍層狀型化合物的壓電陶瓷材料，其組成通式可寫(xiě)成(Bi2O2)2+(Am-1BmO3m+1)2-，其中A為適合于12配位的一、二、三、四價(jià)陽(yáng)離子或它們的復(fù)合；B為適合于八面體配位的三、四、五、六價(jià)陽(yáng)離子或它們的復(fù)合；m為正整數(shù)，表示鉍層狀的層數(shù)，其值為1-5。L.KORZUNOVA通過(guò)在CaBi4Ti4O15中添加7～10wt％BiWO6和0.2wt％Cr2O3可使燒結(jié)溫度降低，使d33從4.4×10-12提高到(10～14)×10-12，且升降溫穩(wěn)定性進(jìn)一步提高，但遺憾的是該組成物僅在700℃以下是穩(wěn)定的，而欲在800℃以上使用他建議采用Bi3TiNbO9系統(tǒng)化合物；又如SU1458356A，發(fā)明人在CaBi4Ti4O15系統(tǒng)中也添加BiWO6和Cr2O3(具體組份見(jiàn)表1)可使居里溫度提高到865甚至875，最高d33達(dá)16.1，但相應(yīng)品質(zhì)因素甚低，只有3817。從表1可以看出，迄今為止Ca-Bi-Ti系統(tǒng)，經(jīng)改性后Tc已提高超過(guò)850℃，但d33介于14～16，而且d33超過(guò)15之后Qm低于4000。所以仍有不盡人意之處。如何進(jìn)一步改進(jìn)Ca-Bi-Ti系材料的性能，成為本領(lǐng)域科研人員努力追求的目標(biāo)。表1已報(bào)導(dǎo)陶瓷材料的物性
本發(fā)明的目的在於提供一種改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其改進(jìn)主要在以下方面(1)增加一個(gè)特殊結(jié)構(gòu)的組合套管，用它安放在傳感器底座上，使高溫敏感無(wú)件不直接與底座和頂緊螺絲接觸，可免受來(lái)自加速度計(jì)底座和頂緊螺絲溫度變化的直接影響，從而提高了加速度計(jì)的使用溫度范圍和檢測(cè)精度。
(2)增加一個(gè)熱應(yīng)力墊圈，將它放在質(zhì)量塊和頂緊螺絲之間，可使在高溫條件下質(zhì)量塊產(chǎn)生的熱應(yīng)力得以及時(shí)釋放，從而提高壓電加速度計(jì)的使用溫度和檢測(cè)精度。
(3)以熱膨脹系數(shù)小、絕緣、隔熱性能好的鎢酸鉛陶瓷為材料制成的質(zhì)量塊，取代鎢銅合金(通稱(chēng)高比重合金)材料制成的質(zhì)量塊，以提高在高溫條件下，高溫壓電加速度計(jì)的使用溫度范圍和精度。
(4)關(guān)鍵性的改進(jìn)是用一類(lèi)經(jīng)復(fù)合離子部分置換取代形成缺位的鉍層狀陶瓷組合物，作為壓電陶瓷元件(傳感元件)。
使之在現(xiàn)有他人工作基礎(chǔ)上，居里溫度提高的同時(shí)，使材料的壓電性能及高溫下體電阻率進(jìn)一步提高。
下面結(jié)合圖面說(shuō)明，詳述本發(fā)明的實(shí)質(zhì)性的特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步。圖2為經(jīng)改進(jìn)后450℃高溫壓電加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-7與圖1相同。圖中8為組合套管，9為熱應(yīng)力墊圈。
(1)隔熱組合套管8，安放在傳感器底座1上，使高溫敏感無(wú)件不直接與底座和頂緊螺絲接觸。隔熱組合套管具體性狀8如圖3-1所示，實(shí)際結(jié)構(gòu)是由上下二塊墊片10和一個(gè)套管11構(gòu)成，如圖3-2所示。圖中10為墊片，兩端面平行且平整度為＜0.03mm即可，11為套管，墊片10中央有一園孔，其大小正好和套管11的外徑相匹配，套管11的壁厚一般為0.4～2mm，內(nèi)孔中央允許頂緊螺絲2通過(guò)，其內(nèi)徑與頂緊螺絲2直徑相配合，間隙為0.05-0.1 mm。組合套管8(圖3-1)是由上下二塊墊片10和一個(gè)套管11組合而成，墊片10的厚度一般為0.5～2mm，直徑與壓電元件直徑相當(dāng)。套管11的內(nèi)孔中央有頂緊螺絲2，在兩者間隙允許范圍內(nèi)，外表面與壓電陶瓷片之間間隙為0.05～0.5mm范圍。墊片10和套管11由導(dǎo)熱系數(shù)低的耐溫陶瓷制成，如各種組份(75瓷、85瓷、90瓷、95瓷、99瓷)氧化鋁、莫來(lái)石、氮化硅及粘土材料；壁厚的取值與制成材料的熱導(dǎo)系數(shù)有關(guān)，導(dǎo)熱系數(shù)低的材料制成時(shí)壁厚可相應(yīng)小，反之壁厚較大。上下墊片分別與質(zhì)量塊3和傳感器底座5接觸，它們之間用一般市售陶瓷與金屬粘結(jié)劑結(jié)合。
(2)熱應(yīng)力墊圈9，將它放在質(zhì)量塊4和頂緊螺絲5之間，可使在高溫條件下質(zhì)量塊產(chǎn)生的熱應(yīng)力得以及時(shí)釋放，從而提高壓電加速度計(jì)的使用溫度和檢測(cè)精度。熱應(yīng)力墊圈9為簡(jiǎn)單的環(huán)狀，它由耐高溫材料，如GH600,GH169等制成，其外徑等于或小于質(zhì)量塊3的外徑，中間內(nèi)孔直徑為Φ3-Φ5，以與預(yù)緊螺絲2的螺紋外徑相匹配為準(zhǔn)，內(nèi)孔與外徑之間的壁厚為0.5-2mm，厚度范圍為0.5-2mm，熱應(yīng)力墊圈上下兩端面的不平行度小于0.05mm，表面粗糙度在
以上，熱應(yīng)力圈9如圖4所示安放在預(yù)緊螺絲2和質(zhì)量塊3之間，環(huán)的不平行度和表面粗糙度要保證技術(shù)要求，以保證環(huán)的上下面接觸，以確保質(zhì)量塊3受熱產(chǎn)生的熱應(yīng)力得以及時(shí)釋放。
(3)質(zhì)量塊4是以熱膨脹系數(shù)小、絕緣、隔熱性能好的鎢酸鉛(PbWO4)陶瓷材料制成。其外徑為Φ10～Φ20mm，內(nèi)徑為Φ3～Φ5mm，厚度范圍為4～10mm。由于鎢酸鉛陶瓷的比重為8.22，僅是我們通常用的鎢銅合金比重(16～17)g/cm3的50％左右，所以在此可用增加復(fù)合置換含缺位的鉍層狀陶瓷的片數(shù)和增加以鎢酸鉛陶瓷為材料制成的新型質(zhì)量塊的體積來(lái)保證加速度計(jì)的輸出靈敏度不變。
(4)采用改進(jìn)的壓電陶瓷元件。針對(duì)Ca-Bi-Ti系中m=4時(shí)CaBi4Ti4O15鉍層狀壓電陶瓷，通過(guò)A位Ca2+由復(fù)合離子部分置換取代，復(fù)合取代離子為(Na+、Ce3+)或(K+、Ce3+)或(Li+、Ce3+)，并有意形成一價(jià)M+離子空位，其組成通式為(Bi2O2)2+[CaxM(1-x)/2-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-(式中0.8＜x＜1.0,y為M+離子缺位，0.00＜y＜0.05)。當(dāng)y=0，亦即未形成缺位時(shí)，則(M+、Ce3+)部分復(fù)合置換通式為CaxM(1-x)/2Ce(1-x)/2Bi4Ti4O15(M+為一價(jià)堿金屬離子，如Na+,K+,Li+)。
當(dāng)(Na+、Ce3+)復(fù)合取代并形成缺位時(shí)，其組合物通式為(Bi2O2)2+[CaxNa[(1-x)/2]-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-式中0.8＜x＜1.0,0＜y＜0.05；當(dāng)(Li+、Ce3+)復(fù)合取代并形成缺位時(shí)，其組合物通式為(Bi2O2)2+[CaxLi[(1-x)/2]-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-式中0.8＜x＜1.0,0＜y＜0.05；當(dāng)(K+、Ce3+)復(fù)合取代并形成缺位時(shí)，其組合物通式為(Bi2O2)2+[CaxK[(1-x)/2]-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-式中0.8＜x＜1.0,0＜y＜0.05；經(jīng)復(fù)合取代并有缺位的Ca-Bi-Ti系鉍層狀陶瓷組成物，采用一般壓電陶瓷制備工業(yè)進(jìn)行制備，為了使CeO2原料中Ce4+轉(zhuǎn)化為Ce3+，采用了預(yù)合成工藝。由此可見(jiàn)，本發(fā)明提供的經(jīng)改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，可確保在450℃高溫下的使用溫度范圍及測(cè)量精度。這是因?yàn)?1)組合套管的作用是將它安放在傳感器底座上，使高溫敏感無(wú)件不直接與底座和頂緊螺絲接觸，可免受來(lái)自加速度計(jì)底座和頂緊螺絲溫度變化的直接影響；(2)熱應(yīng)力墊圈的作用是將它放在質(zhì)量塊和頂緊螺絲之間，可使在高溫條件下質(zhì)量塊產(chǎn)生的熱應(yīng)力得以及時(shí)釋放。
(3)復(fù)合置換的含缺位的高TC、高d33和Qm的鉍層狀陶瓷取代一般壓電陶瓷的作用是提高檢測(cè)溫度范圍和檢測(cè)靈敏度。
(4)用低膨脹系數(shù)、隔熱性能好的鎢酸鉛(PbWO4)材料制成的質(zhì)量塊，替代常用的高比重合金材料制成的質(zhì)量塊，盡管密度低，但可通過(guò)增加質(zhì)量塊的體積和壓電陶瓷元件的片數(shù)來(lái)達(dá)到同樣的靈敏度。這樣畢竟可使壓電陶瓷元件受熱影響降至到最低限度。
上述四點(diǎn)也體現(xiàn)出本發(fā)明的區(qū)別於現(xiàn)有技術(shù)的特點(diǎn)。下面結(jié)合實(shí)施進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步，但絕非限制于本發(fā)明。
實(shí)施例1。本發(fā)明在原一般高溫壓電加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)上增加了隔熱組合套管8和熱應(yīng)力墊圈9(如圖2所示)。并對(duì)質(zhì)量塊和壓電陶瓷元件的組成進(jìn)行了改進(jìn)。隔熱組合套管8放置在圖2所示的印影位置，使壓電陶瓷元件2不直接與傳感器底座1和預(yù)緊螺絲5接觸，墊片10和套管11(圖3-1)均由90氧化鋁材料制成，墊片10的厚度為1mm，套管壁厚為0.5mm，公差為自由公差，組合套筒下墊塊與傳感器底座1接觸，上墊塊與質(zhì)量塊4接觸，它們之間用一般市售陶瓷與金屬粘結(jié)劑結(jié)合，套筒11外表面與壓電陶瓷元件間留有的孔隙為0.3mm，內(nèi)壁與預(yù)緊螺絲5之間的孔隙0.08mm。熱應(yīng)力環(huán)狀墊圈，其內(nèi)孔為Φ4.5mm(與預(yù)緊螺絲5的螺紋外徑相匹配)，厚度為1.5mm，內(nèi)孔與外徑之間的壁厚為0.8mm，兩端面的不平行度為0.025mm，表面粗糙度為
其安放位置如圖2的9位置，起到及時(shí)釋放質(zhì)量塊4因受熱產(chǎn)生的熱應(yīng)力；質(zhì)量塊4是由鎢酸鉛(PbWO4)陶瓷材料制成。其外徑為Φ15mm，內(nèi)徑為Φ4mm，厚度范圍為5mm；壓電陶瓷元件2是經(jīng)(Na+、Ce3+)復(fù)合置換含缺位的Ca-Bi-Ti鉍層狀陶瓷，當(dāng)x=0.90 y=0.01時(shí)的具體組成式為Ca0.9Na0.040.01Ce0.05Bi4Ti4O15(1150℃燒結(jié))其Tc為866℃,d33為20.0PC/N,Qm為5440。
經(jīng)上述四方面改進(jìn)后的高溫壓電加速計(jì)可穩(wěn)定地在450℃使用并可保證測(cè)量的精度。
實(shí)施例2。組合套管8是由耐熱陶瓷莫來(lái)石制成，其余同實(shí)施例1。
實(shí)施例3。熱應(yīng)力環(huán)狀墊圈，其內(nèi)孔為Φ3，厚度為1mm，內(nèi)孔與外徑之間的壁厚為2mm，兩端面的不平行度為0.03mm，其余同實(shí)施例1。
實(shí)施例4～11。使用的壓電陶瓷元件的組成如下表2、表3所述，其余同實(shí)施例1。
由實(shí)施例可知，最佳組分為x=0.90y=0.10由(Na+、Ce3+)復(fù)合取代的并形成缺位的組分，而(Li+Ce3+)復(fù)合取代并形成的Li缺位對(duì)提高Tc最顯著。表2形成Na+缺位組份與性能匯總
表3(M+,Ce3+)復(fù)合離子部分置換取代組成與性能匯總
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權(quán)利要求
1．一種改進(jìn)型的450℃高溫壓電加速度計(jì)用由傳感器底座(1)、壓電陶瓷無(wú)件(2)、引電片(3)、質(zhì)量塊(4)、預(yù)緊螺絲(5)、殼體(6)和輸出接插件(7)構(gòu)成，其特征在于(1).(a)隔熱組合套管(8)由上下兩墊片(10)和套管(11)組合而成；(b)隔熱組合套管安放在傳感器底座(1)上面，上墊片與質(zhì)量塊(3)接觸，下墊片與傳感器底座(1)接觸，套管(8)內(nèi)孔中央允許預(yù)緊螺絲(5)通過(guò)，外表面與壓電陶瓷元件(2)之間間隙為0.05-0.5mm；(c)墊片(10)與質(zhì)量塊(4)和底座(1)之間用一般市售陶瓷與金屬粘結(jié)劑結(jié)合；(2)．(a)熱應(yīng)力墊圈(9)安放在預(yù)緊螺絲(5)與質(zhì)量塊(4)之間；(b)熱應(yīng)力墊圈(9)為環(huán)狀物，環(huán)的一個(gè)端面與預(yù)緊螺絲的螺母面接觸，另一面與質(zhì)量塊(4)的面接觸；(3)．(a)質(zhì)量塊由鎢酸鉛(PbWO4)陶瓷材料制成；(b)質(zhì)量塊(4)安放在壓電陶瓷片(2)上面，其內(nèi)孔中央允許壓電加速度計(jì)底座上的螺絲通過(guò)預(yù)緊螺絲(5)將其壓緊；(4)．(a)所用的壓電陶瓷片是用(M+、Ce3+)復(fù)合離子部分置換取代CaBi4Ti4O15陶瓷中的A位Ca2+離子，M+為一價(jià)堿金屬離子，組合物通式為CaxM(1-x)/2Ce(1-x)/2Bi4Ti4O15(0.8＜x＜1.0)；(1)(b)在復(fù)合離子部分置換取代的基礎(chǔ)上，再形成一價(jià)離子空位，其組合物通式為(Bi2O2)2+[CaxM[(1-x)/2]-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-(2)式中0.8＜x＜1.0,0＜y＜0.05；
2．按權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于所述的墊片(10)和套管(11)由耐熱陶瓷，如各種組份(75瓷、85瓷、90瓷、95瓷、99瓷)氧化鋁、莫來(lái)石、氮化硅及粘土材料制成。
3．按權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于(1)所述的墊片(10)直徑與壓電傳感元件直徑相當(dāng)，厚度為0.5～2mm，隨制作耐熱陶瓷的熱傳導(dǎo)率降低而減??；(2)所述的套管(11)的壁厚，亦隨使用的耐熱陶瓷的熱傳導(dǎo)率降低而減薄，壁厚的范圍為0.4～2mm。
4．按權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于所述的熱應(yīng)力墊圈(9)的厚度為0.5-2mm，其中間圓孔直徑為Φ3-Φ5mm，以與預(yù)緊螺絲(5)的螺紋外徑相匹配為準(zhǔn)，其外徑等于或小于質(zhì)量塊(4)的直徑。
5．按權(quán)利要求1、4所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于所述的熱應(yīng)力墊圈(9)上下兩端面不平行度小于0.05mm，表面粗糙度要求為
6．按權(quán)利要求1、4所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于熱應(yīng)力墊圈(9)由耐高溫合金材料，如GH600或GH169制成。
7．按權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于所述的質(zhì)量塊(4)的是外徑為Φ10～Φ20mm，內(nèi)徑為Φ3～Φ5mm，厚度范圍為4～10mm；
8．按權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于壓電陶瓷元件經(jīng)復(fù)合置換及形成含缺位的鉍層狀陶瓷組合物，一價(jià)金屬離子可為L(zhǎng)i、Na、K。(1)當(dāng)(Na+、Ce3+)復(fù)合取代，其組合物通式為CaxNa(1-x)/2Ce(1-x)/2Bi4Ti4O15與(Bi2O2)2+[CaxNa[(1-x)/2]-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-(3)式中0.8＜x＜1.0,0＜y＜0.05；(2)當(dāng)(Li+、Ce3+)復(fù)合取代，其組合物通式為CaxLi(1-x)/2Ce(1-x)/2Bi4Ti4O15與(Bi2O2)2+[CaxLi[(1-x)/2]-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-(4)式中0.8＜x＜1.0,0＜y＜0.05；(3)當(dāng)(K+、Ce3+)復(fù)合取代，其組合物通式為CaxK(1-x)/2Ce(1-x)/2Bi4Ti4O15與(Bi2O2)2+[CaxK[(1-x)/2]-yyCe(1-x)/2Bi2Ti4O13]2-(5)式中0.8＜x＜1.0,0＜y＜0.05；
9．按權(quán)利要求1、8所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于壓電陶瓷元件經(jīng)復(fù)合置換及含缺位的鉍層狀陶瓷組合物，(Na+、Ce3+)復(fù)合取代時(shí)，形成Na+空位時(shí)最佳組成為x=0.90,y=0.01；
10．按權(quán)利要求1、8所述的改進(jìn)型450℃高溫壓電加速度計(jì)，其特征在于壓電陶瓷元件經(jīng)復(fù)合置換及含缺位的鉍層狀陶瓷組合物，(Li+、Ce3+)復(fù)合取代并形成Li+缺位對(duì)提高Tc最顯著。
全文摘要
一種改進(jìn)型的高溫450℃壓電加速度計(jì),屬于高溫振動(dòng)傳感器領(lǐng)域。它在一般高溫加速度計(jì)上增加了組合隔熱套管8和熱應(yīng)力墊圈9。前者的作用是使質(zhì)量塊4不直接與底座1和預(yù)緊螺絲接觸;后者的作用是使質(zhì)量塊4產(chǎn)生的熱應(yīng)力及時(shí)釋放;壓電陶瓷元件2采用的是復(fù)合置換及含缺位的鉍層狀陶瓷組合物;用隔熱性好的PbWO
文檔編號(hào)G01P15/09GK1226681SQ9911340
公開(kāi)日1999年8月25日 申請(qǐng)日期1999年1月8日 優(yōu)先權(quán)日1999年1月8日
發(fā)明者胡子儉, 李承恩, 周家光, 李毅, 晏海學(xué), 王志超 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所