專利名稱：磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氦質(zhì)譜檢漏儀中較為新穎的一種結(jié)構(gòu)。它是質(zhì)譜計在真空技術(shù)中以氦為示綜氣體探漏儀器中的心臟部分。
在工業(yè)生產(chǎn)中，任何真空系統(tǒng)及氣密性容器都必然有漏氣存在；檢漏是真空作業(yè)中必不可少的一道工序。目前，對大容積在低真空nPa的壓力下進(jìn)行檢漏，而又要求儀器靈敏度保持在較高指標(biāo)上(10-10Pam3/S)實際應(yīng)用中普遍存在如下問題(1)被檢容器由于容積較大，檢漏時真空度難以抽得很高；(2)儀器的燈照在較高真空壓力下無法啟動工作；(3)儀器在不加液氮的條件下，檢漏靈敏度很難達(dá)到10-12pa·m3/S。
現(xiàn)有技術(shù)中分析器板多設(shè)計成一平板狀，加之非氦離子檔板設(shè)置不當(dāng)，致使質(zhì)譜室在壓強(qiáng)高時由于雜散離子的干擾不能正常工作，靈敏度急劇降低。
本發(fā)明的目的設(shè)計一種新型質(zhì)譜室，以實現(xiàn)結(jié)構(gòu)緊湊、裝調(diào)簡便、高靈敏度、高工作壓強(qiáng)的特點。
本發(fā)明的目的通過如下方案來實現(xiàn)的本產(chǎn)品包括三部分即離子發(fā)生器、分析器、離子收集器組成。
分析器板位于均勻磁場的空間，用螺釘和可加工陶瓷固定在離化室和離子收集器上部，分析器板中間部位設(shè)計成一定角度，兩端部開有不對稱狹縫，所述的狹縫是離子入口和離子出口。離化室是一長方形小盒，頂及側(cè)面各開一個長方狹縫，是熱電子入射和離子引出之用，即電子入口(4)及離子引出口(5)。分析器板上設(shè)計有離子入口(7)和離子出口(9)。氦離子穿過離子出口到達(dá)收集極板，其它離子全部被設(shè)置的檔板擋住，所述的若干個幾何形狀的檔板至少有一個設(shè)計成半圓形檔板，檔板另一側(cè)通過螺釘固定，離子收集器為一塊長方形金屬板，在分析器板的下方用可加工陶瓷及螺母一并固定。為了防止雜散離子落到收集板上和抑制從收集極上濺射的二次電子，在收集極的上方裝有兩層?xùn)啪W(wǎng)，靠近收集極的是電子抑制柵，最上一層為離子抑制柵。
所述的分析器板由中間部位彎成10°～20°角，離子入口與離子出口在同一水平線上。
離子發(fā)生器由離化室和燈絲組成，氧化釔燈絲通過燈絲架用螺釘固定在離化室電子入口正上方，電子入口的位置偏離中心，向離子運(yùn)動方向偏移。
本發(fā)明的積極效果從以下幾方面闡述1.考慮到整個質(zhì)譜室都處在均勻磁場中，因此離子一出離化室即受到偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)距離與分析器板上的離子入口的縫寬相比擬，因此設(shè)計時離子引出口(在離化室上)與離子入口(在分析器板上)不對中，而是偏離一個距離，因此該產(chǎn)品具有靈敏度高的特點。
2.在180°磁偏轉(zhuǎn)分析器中，若射入離子束與偏轉(zhuǎn)半徑垂直，則有方向聚焦功能，由于離子進(jìn)入分析器前已經(jīng)偏轉(zhuǎn)，進(jìn)入分析器后則不能保證與軌道半徑垂直，失去方向聚焦的功能，為克服此設(shè)計時令離子源相對偏轉(zhuǎn)半圓直徑偏轉(zhuǎn)一合適角度，保持離子垂直入射到分析器。
3.設(shè)置了半圓形檔板，有效地阻礙了非氦離子介入。
4.成功地采用了抗氧化抗沖擊的銥基底的氧化釔燈絲。


圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
下面結(jié)合附圖(實施例)詳細(xì)描述本實用新型的結(jié)構(gòu)離化室與氧化釔燈絲用可加工陶瓷螺釘緊固，燈絲架在離化室電子入口上面，所述的燈絲通過燈絲架固定，離子穿過分析器板上的離子入口進(jìn)入分析器，所有的檔板與支撐力柱用螺釘連接，其支撐力柱里側(cè)裝有離子抑制柵，電子抑制柵，同時用螺釘固定，離子收集板插入陶瓷件孔，用螺母固定，整個離子收集器用螺釘固定在支撐立柱上。所述的分析器板中間部位彎成10～20°角，離子入口與離子出口在同一水平線上，電子入口的位置偏離中心。所述的檔板至少有一個設(shè)計成半圓形。
權(quán)利要求
1.磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜室，包括位于均勻磁場空間的分析器板(6)分析器板開有狹縫，包括離子發(fā)生器即離化室(1)、燈絲(2)，通過燈絲架(3)固定包括制成長方形板體的離子收集器，其上部的電子抑制柵(11)，離子抑制柵(10)通過可加工陶瓷用螺栓固定，其特征在于分析器板(6)中間部位彎成10～20°角，兩端開有狹縫，即離子入口(7)和離子出口(9)兩入口在同一水平線上，分析器板上部裝有若干個幾何形狀的檔板(8)，至少有一個沒計成半圓形，其中一個檔板在分析器中間部位并垂直于分析器板(6)用螺釘固定在其上，該檔板偏上部位開一個狹縫，檔板之間用可加工陶瓷固定。
2.按照權(quán)利要求1所述質(zhì)譜室，其特征在于分析器板中間部位彎成15°角，其上固定三塊不同形狀的檔板(8)即半圓形檔板，半面帶有狹縫的檔板(8)及形的檔板(8)，其中垂直平面的檔板(8)與檔板(8)中間有可加工陶瓷相隔用螺釘固定。
3.按照權(quán)利要求1或2所述質(zhì)譜室，氧化釔燈絲(2)通過燈絲架(3)固定在離化室(1)內(nèi)，電子入口(4)偏離離化室(1)中心，向離子運(yùn)動方向偏移。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜室方面的技術(shù)，其技術(shù)要點是分析器板中間部位彎成10～20°角，兩端開有狹縫，即離子入口和離子出口，兩入口在同一水平線上，分析器板上部裝有若干個幾何形狀的擋板，至少有一個設(shè)計成半圓形，其中一個擋板在分析器中間部位并垂直于分析器板，用螺釘固定其上，該擋板偏上部位開一個狹縫，擋板之間用少加工陶瓷固定，該產(chǎn)品具有結(jié)構(gòu)緊湊、裝調(diào)簡便，高靈敏度，高工作壓強(qiáng)的特點。
文檔編號G01M3/20GK1117583SQ9411246
公開日1996年2月28日 申請日期1994年8月25日 優(yōu)先權(quán)日1994年8月25日
發(fā)明者葉慶鏞 申請人:沈陽市真空機(jī)械三廠