本發(fā)明涉及真空標準裝置領域，具體是指一種靜態(tài)膨脹法真空標準裝置。

背景技術：

1、真空技術廣泛應用于航空航天、高能物理、半導體、微電子、汽車制造、制冷、太陽能、導航、船舶等眾多行業(yè)，真空技術之一真空標定技術是保障真空測量值準確、產(chǎn)品質量的關鍵技術。

2、目前，真空標定技術中主要采用靜態(tài)膨脹法對真空計的壓力檢測準確度是否符合標準進行標準，其中，真空計是一種用于測量氣體壓力和真空度的儀器，靜態(tài)膨脹法具體是在低、中、高真空范圍內(nèi)產(chǎn)生標準壓力的一種被廣泛采用的精確方法，在高真空范圍可以對磁懸浮等真空計進行標準，在低真空范圍可以對電容薄膜等真空計進行標準。

3、然而，現(xiàn)有的靜態(tài)膨脹法真空標準裝置通常人工將待測真空計一一連接膨脹室后進行檢測標準，這使得真空標準裝置的標準效率十分低下，難以滿足半導體、航空等領域對于大批量真空計進行快速檢測標準的需求。

4、針對上述現(xiàn)有技術存在的問題設計一種靜態(tài)膨脹法真空標準裝置是本發(fā)明研究的目的。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供了一種靜態(tài)膨脹法真空標準裝置，可以有效解決上述問題。

2、本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的：

3、一種靜態(tài)膨脹法真空標準裝置，包括：

4、相連接的一級標準室和二級標準室；

5、若干樣品室，分別通過密封閥連接所述二級標準室，若干所述樣品室的一端設有活動閥門；

6、抽氣系統(tǒng)，用于對所述一級標準室、二級標準室和樣品室抽真空；

7、供氣系統(tǒng)，用于對所述一級標準室、二級標準室和樣品室供氣；

8、若干與所述樣品室對應的容置件，每一所述容置件均設有用于容置若干待測樣品的若干容置區(qū)；所述容置件用于容置若干待測樣品進料至對應的所述樣品室檢測標準，標準完成后，關閉所述密封閥，所述供氣系統(tǒng)對所述樣品室供氣復壓后，所述活動閥門開啟，所述容置件出料。

9、進一步地，若干所述樣品室橫向延伸且內(nèi)底部橫向凹陷設有若干限位槽，所述容置件的底部活動設有與若干所述限位槽對應的若干排滾動件，所述容置區(qū)為凹陷設于所述容置件頂部的容置槽，所述樣品室一端的內(nèi)頂部上凹形成限位區(qū)，所述容置件的一端上凸設有與所述限位區(qū)對應的限位部；所述容置件通過若干排滾動件與若干限位槽之間的配合限位滑動進入所述樣品室后，所述限位部橫向限位設于所述活動閥門和限位區(qū)之間。

10、進一步地，還包括對應若干所述活動閥門的送料機構，所述樣品室的橫向一端設有所述活動閥門、橫向另一端側壁貫穿設有連接所述供氣系統(tǒng)的進氣孔，所述容置件的另一端部設為擋氣部，所述擋氣部通過若干扭簧轉動連接有豎向設置的擋片件，所述樣品室的橫向另一端側壁內(nèi)限位滑動設有受伸縮驅動裝置驅動伸縮的若干壓塊，若干所述壓塊對應所述擋片件；所述容置件受送料機構驅動進料至所述樣品室內(nèi)后，所述擋片件受若干所述壓塊伸出下壓至橫向限位設于所述容置件頂部和若干所述壓塊底部之間；標準完成后，所述供氣系統(tǒng)對所述樣品室供氣復壓，所述活動閥門開啟后，若干所述壓塊回縮以使所述擋片件受所述扭簧驅動復位至豎向設置，所述擋氣部和擋片件與所述樣品室內(nèi)壁和若干所述限位槽間隙設置，所述供氣系統(tǒng)繼續(xù)通過所述進氣孔對所述樣品室供氣，以加壓推動所述擋片件和擋氣部帶動所述容置件出料至所述送料機構輸出。

11、進一步地，所述供氣系統(tǒng)所供氣體為干燥氮氣，所述容置件的另一端頂部下凹形成位于所述擋氣部頂部的臺階部，所述擋片件的下端通過若干所述扭簧轉動連接所述臺階部的端部，所述壓塊底部靠近所述容置件的一端傾斜設置形成對應所述擋片件的導向面，所述伸縮驅動裝置包括電磁鐵和連接于所述電磁鐵和壓塊之間的彈簧，所述進氣孔和壓塊的高度低于所述容置件的高度，所述樣品室的高度為20mm-25mm；所述容置件進料至所述樣品室內(nèi)后，所述擋片件受所述壓塊下壓橫向嵌合設于所述臺階部內(nèi)，所述容置件的另一端與所述進氣孔間距設置。

12、進一步地，所述容置件底部上凹設有若干橫向間隔設置的驅動槽，所述送料機構包括受驅動組件驅動轉動的若干輸送帶，若干所述輸送帶分別間距對應若干所述樣品室的橫向一端，所述輸送帶上設有對應所述容置件端部的推塊和對應所述驅動槽的驅動塊；所述輸送帶帶動所述容置件進料時，所述推塊用于推動所述容置件進料至所述樣品室內(nèi)；所述擋片件帶動所述容置件出料至一端對接對應的所述輸送帶時，所述供氣系統(tǒng)停止對所述樣品室供氣，所述驅動塊用于隨所述輸送帶轉動插入對應的所述驅動槽內(nèi)推動所述容置件繼續(xù)出料。

13、進一步地，若干所述輸送帶包括上下分布的若干進料帶和若干出料帶，所述進料帶和出料帶一同受升降驅動裝置驅動上下升降，所述進料帶上的所述推塊對應所述限位部，所述出料帶上的所述推塊對應所述擋氣部，所述驅動塊沿橫向間隔設有若干個且至少兩個一同對應一所述驅動槽；所述進料帶和出料帶上升至所述出料帶對應所述樣品室時，所述進料帶用于承接第二批的所述容置件，所述出料帶用于承接所述樣品室內(nèi)的第一批的所述容置件；所述進料帶和出料帶下降至所述進料帶對應所述樣品室時，所述進料帶用于將所承接的第二批的所述容置件進料至所述樣品室內(nèi)，所述出料帶用于將第一批的所述容置件輸出。

14、進一步地，還包括機體，所述一級標準室和二級標準室的數(shù)量均為兩個且兩所述二級標準室左右對稱分布于所述機體上部內(nèi)，所述一級標準室和二級標準室一一對應連接，所述機體頂部左右兩側內(nèi)分別設有若干前后并排架設于對應的所述二級標準室頂部的所述樣品室，兩所述二級標準室的相遠端分別連接對應的若干所述樣品室，兩所述二級標準室分別連接有真空傳感裝置，所述供氣系統(tǒng)通過若干復壓閥分別連接左右兩側的若干所述樣品室和兩所述二級標準室，所述送料機構設有兩套且左右對稱對應左右兩側的若干所述樣品室。

15、進一步地，所述供氣系統(tǒng)通過進氣閥連接有穩(wěn)壓室，所述穩(wěn)壓室通過進氣閥連接所述一級標準室，所述穩(wěn)壓室連接有若干取樣傳感裝置，所述抽氣系統(tǒng)包括通過真空閥相連接的一級真空泵和二級真空泵，所述一級真空泵和二級真空泵分別通過抽氣閥連接所述二級標準室，所述穩(wěn)壓室通過抽空閥連接所述一級真空泵，所述一級標準室依次通過排氣閥和進氣閥連接所述二級標準室。

16、進一步地，還包括用于對所述二級標準室、穩(wěn)壓室、樣品室加熱的烘烤系統(tǒng)。

17、本發(fā)明的有益效果是：

18、1、通過樣品室和容置件的增設，使得若干容置件可分別容置若干待測樣品后進入樣品室內(nèi)進行批量標準，在標準完成后，關閉密封閥，供氣系統(tǒng)對樣品室供氣復壓后，活動閥門開啟，容置件出料。從而可以實現(xiàn)通過靜態(tài)膨脹法對待測樣品進行批量檢測標準，并且，通過密封閥和供氣系統(tǒng)直接對樣品室供氣復壓的設置，使得若干樣品室內(nèi)的待測樣品出料的過程中避免二級標準室破真空，降低整體標準裝置整體的破真空體積，提高第二批的若干待測樣品進料后，將樣品室重新抽真空的效率，進而提高對待測樣品檢測標準的整體效率。

19、2、容置件通過若干排滾動件與若干限位槽之間的配合限位滑動進入樣品室后，限位部橫向限位設于活動閥門和限位區(qū)之間。從而通過若干排滾動件和若干限位槽之間的配合，實現(xiàn)容置件滑動進入樣品室內(nèi)后前后限位設置，同時，通過活動閥門和限位區(qū)對限位部實現(xiàn)左右限位，共同實現(xiàn)對進料至樣品室內(nèi)的容置件進行前后左右四向限位，以提高容置件在樣品室內(nèi)的穩(wěn)定性，進而提高容置于容置件的若干容置區(qū)內(nèi)的待測樣品的穩(wěn)定性，避免在靜態(tài)膨脹法檢測的過程中，對樣品室進行抽氣或充氣時，容置件過度滑動而導致待測樣品與容置件碰撞甚至脫落的情況出現(xiàn)，提高對待測樣品進行批量檢測標準的穩(wěn)定性和準確性。

20、3、容置件受送料機構驅動進料至樣品室內(nèi)后，擋片件受若干壓塊伸出下壓至橫向限位設于容置件頂部和若干壓塊底部之間，從而通過送料機構的增設實現(xiàn)容置件自動進料至樣品室內(nèi)，同時，通過擋片件和壓塊的增設，使得容置件進入樣品室后除限位部一端左右受限外，另一端也受若干壓塊壓合限位，進一步提高了容置件在樣品室內(nèi)的穩(wěn)定性，提高待測樣品的檢測準確性，并且，在標準完成后，供氣系統(tǒng)對樣品室供氣復壓，活動閥門開啟后，若干壓塊回縮以使擋片件受扭簧驅動復位至豎向設置，擋氣部和擋片件與樣品室內(nèi)壁和若干限位槽間隙設置，供氣系統(tǒng)繼續(xù)通過進氣孔對樣品室供氣，以加壓推動擋片件和擋氣部帶動容置件出料至送料機構輸出，從而使得供氣系統(tǒng)不僅具有對樣品室供氣復壓的功能，還具有與擋片件和擋氣部配合驅動容置件出料至樣品室外的功能，無需設計其余機構即可實現(xiàn)容置件的自動出料，在實現(xiàn)容置件自動進料和出料提高對待測樣品批量檢測標準效率的前提下，降低驅動成本。

21、4、容置件進料至樣品室內(nèi)后，擋片件受壓塊下壓橫向嵌合設于臺階部內(nèi)，從而通過臺階部的增設降低擋片件的高度，容置件的另一端與進氣孔間距設置，從而在降低進氣孔高度的前提下，確保供氣系統(tǒng)可通過進氣孔對樣品室供氣，進而降低所需的樣品室高度，以降低供氣系統(tǒng)對樣品室供氣復壓以及供氣加壓推動擋片件和擋氣部帶動容置件出料的供氣體積，進一步降低容置件自動出料的驅動成本。

22、5、輸送帶帶動容置件進料時，推塊用于推動容置件進料至樣品室內(nèi)；擋片件帶動容置件出料至一端對接對應的輸送帶時，供氣系統(tǒng)停止對樣品室供氣，驅動塊用于隨輸送帶轉動插入對應的驅動槽內(nèi)推動容置件繼續(xù)出料。從而使得容置件出料時，供氣系統(tǒng)僅需供氣加壓推動擋片件和擋氣部帶動容置件移動一小段距離，使容置件一端對接對應的輸送帶即可，后續(xù)出料動作由驅動塊配合驅動槽完成，極大地降低了供氣系統(tǒng)供氣驅動容置件出料所需的供氣體積，進一步降低了容置件出料時供氣系統(tǒng)的供氣成本。

23、6、進料帶和出料帶上升至出料帶對應樣品室時，進料帶用于承接第二批的容置件，出料帶用于承接樣品室內(nèi)的第一批的容置件；進料帶和出料帶下降至進料帶對應樣品室時，進料帶用于將所承接的第二批的容置件進料至樣品室內(nèi)，出料帶用于將第一批的容置件輸出。從而通過進料帶和出料帶的升降設置，使得第一批的容置件檢測標準后出料至出料帶和第二批的容置件上料至進料帶可同步進行，出料帶將第一批的容置件輸出和進料帶將第二批的容置件進料至樣品室可同步進行，提高了容置件進出料動作的連貫性和流暢性，降低進出料之間存在的時間差，提高進料帶和出料帶的利用率，提高批量容置件的進出料效率，進而提高對其進行批量檢測標準的效率。