本實(shí)用新型半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種半導(dǎo)體分立器件的可調(diào)節(jié)的測(cè)試夾具。

背景技術(shù)：

SiC分立器件具有開(kāi)關(guān)頻率高、損耗低、導(dǎo)通電阻低、通態(tài)電流大、體積小等優(yōu)點(diǎn)，在太陽(yáng)能逆變器、高壓DC/DC轉(zhuǎn)換器、電動(dòng)機(jī)、電源等方面的應(yīng)用日益廣泛，需求量越來(lái)越大，為了滿足產(chǎn)品的高需求量，同時(shí)保證產(chǎn)品的質(zhì)量，因此必須加快產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。為保證產(chǎn)品的質(zhì)量，必須通過(guò)測(cè)試過(guò)程將不合格產(chǎn)品篩選出去，因此測(cè)試是保證產(chǎn)品質(zhì)量必不可少的環(huán)節(jié)，但是如果測(cè)試花費(fèi)時(shí)間太長(zhǎng)，就會(huì)影響產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，要提高生產(chǎn)效率就必須提高測(cè)試過(guò)程中的智能化程度。

SiC分立器件的封裝形式有TO220、TO252、TO247、TO257、TO257A2L、TO254、TO258、TO267等等，封裝形式不同其管腳之間的距離不同。目前對(duì)應(yīng)每種封裝形式的產(chǎn)品做一種配套的測(cè)試夾具，在測(cè)試過(guò)程中，在不同形式的產(chǎn)品測(cè)試過(guò)程中，需要不斷的更換測(cè)試夾具來(lái)完成測(cè)試工作。

現(xiàn)有的技術(shù)中，由于SiC分立器件封裝形式的多樣化，每一種封裝形式對(duì)應(yīng)一款測(cè)試夾具，封裝形式的多樣化導(dǎo)致測(cè)試夾具的多樣化，無(wú)形中增加的產(chǎn)品成本，同時(shí)由于更換測(cè)試夾具的過(guò)程加長(zhǎng)了測(cè)試時(shí)間，無(wú)形中降低了測(cè)試效率，從而不利于提高生產(chǎn)效率。通常更換測(cè)試夾具只適合于產(chǎn)品的研發(fā)過(guò)程中，在產(chǎn)品的量產(chǎn)過(guò)程中這種不斷更換測(cè)試夾具的方式是不適用的，達(dá)不到量產(chǎn)的效果。因此，SiC分立器件的測(cè)試夾具技術(shù)需要有新的突破。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種半導(dǎo)體分立器件可調(diào)節(jié)的測(cè)試夾具，對(duì)應(yīng)不同間距管腳的產(chǎn)品，通過(guò)調(diào)節(jié)測(cè)試夾具中測(cè)試頭之間的距離以達(dá)到與產(chǎn)品配套的測(cè)試夾具，從而對(duì)應(yīng)不同封裝形式的產(chǎn)品無(wú)需更換夾具并可以方便快捷的測(cè)試。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：

一種半導(dǎo)體分立器件可調(diào)節(jié)測(cè)試夾具，該夾具包括：與半導(dǎo)體分立器件的管腳相適配的三個(gè)測(cè)試頭，其中，第一測(cè)試頭、第二測(cè)試頭和第三測(cè)試頭依次排布，所述第二測(cè)試頭與夾具安裝基礎(chǔ)相固定，所述第一測(cè)試頭和/或所述第三測(cè)試頭是活動(dòng)的，第一測(cè)試頭和第二測(cè)試頭之間安裝有將二者連接的彈簧，第二測(cè)試頭和第三測(cè)試頭之間安裝有將二者連接的彈簧；配備一個(gè)施力裝置，所述施力裝置作用在第一測(cè)試頭和/或第三測(cè)試頭上，由施力裝置驅(qū)動(dòng)第一測(cè)試頭和/或第三測(cè)試頭向第二測(cè)試頭移動(dòng)，移動(dòng)后與半導(dǎo)體分立器件的管腳位置相對(duì)應(yīng)。

進(jìn)一步，所述施力裝置上設(shè)置有施力顯示器。

進(jìn)一步，所述第一測(cè)試頭和/或所述第三測(cè)試頭與施壓裝置的接觸面之間設(shè)置有壓力傳感器，與所述壓力傳感器連接有受力表。

進(jìn)一步，所述第一測(cè)試頭和/或所述第三測(cè)試頭的外側(cè)設(shè)置有壁，所述壁與所述夾具安裝基礎(chǔ)相固定，所述壁上設(shè)置有螺紋通孔，所述螺紋通孔上安裝有向所述第二測(cè)試頭擠壓第一測(cè)試頭和/或第三測(cè)試頭的調(diào)節(jié)螺栓。

本實(shí)用新型半導(dǎo)體分立器件可調(diào)節(jié)測(cè)試夾具，通過(guò)在不同測(cè)試頭之間安裝有彈簧，并將第二測(cè)試頭固定，通過(guò)給第一測(cè)試頭和/或第三測(cè)試頭施加不同大小的力，可以得到不同的間距，從而使測(cè)試頭與半導(dǎo)體分離器件的管腳位置相對(duì)于，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同封裝形式的半導(dǎo)體分立器件測(cè)試的目的。在對(duì)第一測(cè)試頭和/或第三測(cè)試頭施力調(diào)整的過(guò)程中，可以通過(guò)胡克定律F=K*X（F為施加的力、K為彈簧的彈性系數(shù)、X為彈簧的伸縮長(zhǎng)度）獲知彈簧需要伸縮的長(zhǎng)度，再控制作用在第一測(cè)試頭和/或第三測(cè)試頭的施力大小；或者通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓的穿透壁的長(zhǎng)短，進(jìn)而控制第一測(cè)試頭和/或第三測(cè)試頭的位置。本實(shí)用新型適用于SiC分立器件，GaN等器件的檢測(cè)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體分立器件可調(diào)節(jié)測(cè)試夾具的示意圖之一；

圖2為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體分立器件可調(diào)節(jié)測(cè)試夾具的示意圖之二；

圖中，1第一測(cè)試頭、2第二測(cè)試頭、3第三測(cè)試頭、4導(dǎo)線、5施力裝置、6施力顯示器、7壁、8調(diào)節(jié)螺栓、9彈簧。

具體實(shí)施方式

下面利用實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更全面的說(shuō)明。本實(shí)用新型可以體現(xiàn)為多種不同形式，并不應(yīng)理解為局限于這里敘述的示例性實(shí)施例。

為了易于說(shuō)明，在這里可以使用諸如“上”、“下”、“左”、“右”等空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，用于說(shuō)明圖中示出的一個(gè)元件或特征相對(duì)于另一個(gè)元件或特征的關(guān)系。應(yīng)該理解的是，除了圖中示出的方位之外，空間術(shù)語(yǔ)意在于包括裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果圖中的裝置被倒置，被敘述為位于其他元件或特征“下”的元件將定位在其他元件或特征“上”。因此，示例性術(shù)語(yǔ)“下”可以包含上和下方位兩者。裝置可以以其他方式定位（旋轉(zhuǎn)90度或位于其他方位），這里所用的空間相對(duì)說(shuō)明可相應(yīng)地解釋。

實(shí)施例1

圖1所示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體分立器件可調(diào)節(jié)測(cè)試夾具的第一種具體實(shí)施例，在本實(shí)施例中，該測(cè)試夾具包括有三個(gè)測(cè)試頭，即第一測(cè)試頭1、第二測(cè)試頭2和第三測(cè)試頭3，測(cè)試頭的結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體分立器件的管腳相適配，使測(cè)試頭與半導(dǎo)體分立器件的管腳導(dǎo)通，測(cè)試頭通過(guò)導(dǎo)線4與測(cè)試儀器連接。第一測(cè)試頭1、第二測(cè)試頭2和第三測(cè)試頭3依次排布，第二測(cè)試頭2與夾具安裝基礎(chǔ)相固定，第一測(cè)試頭1和第三測(cè)試頭3是活動(dòng)的，第一測(cè)試頭1和第二測(cè)試頭2之間安裝有將二者連接的彈簧9，第二測(cè)試頭2和第三測(cè)試頭3之間安裝有將二者連接的彈簧9；配備一個(gè)施力裝置5，施力裝置5作用在第一測(cè)試頭1和第三測(cè)試頭3的外側(cè)，由施力裝置5驅(qū)動(dòng)第一測(cè)試頭1和/或第三測(cè)試頭3向第二測(cè)試頭2移動(dòng)，根據(jù)不同的需求，施力裝置5可以只驅(qū)動(dòng)第一測(cè)試頭1移動(dòng)，或者只驅(qū)動(dòng)第三測(cè)試頭3移動(dòng)，或者既驅(qū)動(dòng)第一測(cè)試頭1移動(dòng)又驅(qū)動(dòng)第三測(cè)試3移動(dòng)，移動(dòng)后的測(cè)試頭與半導(dǎo)體分立器件的管腳位置相對(duì)應(yīng)即可。施力裝置5上帶有顯示施力大小的施力顯示器6。

使用前，預(yù)先獲知彈簧9的長(zhǎng)度L和K為彈簧的彈性系數(shù)，使用時(shí)，根據(jù)半導(dǎo)體分立器件的管腳間距，計(jì)算彈簧9需要壓縮的長(zhǎng)度X，再根據(jù)胡克定律：F=K*X（F為施加的力、K為彈簧的彈性系數(shù)、X為彈簧的伸縮長(zhǎng)度）計(jì)算出需要施加的力F，通過(guò)施力裝置5向第一測(cè)試頭1和/或第三測(cè)試頭3施加力F即可獲得與半導(dǎo)體分立器件的管腳位置相對(duì)應(yīng)的測(cè)試夾具。

根據(jù)具體需求，施力裝置5可以設(shè)置一個(gè)，也可以設(shè)置兩個(gè)，當(dāng)只設(shè)置一個(gè)施力裝置5時(shí)，施力裝置5可以設(shè)置在第一測(cè)試頭1或第三測(cè)試頭3任一的外側(cè)，只控制第一測(cè)試頭1或第三測(cè)試頭3與第二測(cè)試頭2的間距；當(dāng)設(shè)置兩個(gè)施力裝置5時(shí)，正如實(shí)施例1和圖1所示。

當(dāng)然，根據(jù)施力裝置5具體形式的不同，還可以在第一測(cè)試頭1和/或第三測(cè)試頭3與施壓裝置5的接觸面之間設(shè)置一個(gè)壓力傳感器，壓力傳感器連接有受力表，通過(guò)受力表獲知當(dāng)前施力裝置5的施力大小，便于對(duì)施力裝置5施力大小進(jìn)行調(diào)節(jié)。

實(shí)施例2

圖2所示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體分立器件可調(diào)節(jié)測(cè)試夾具的第二種具體實(shí)施例，在本實(shí)施例中，測(cè)試夾具的結(jié)構(gòu)與實(shí)施1基本相同，不同之處在于，在第一測(cè)試頭1和第三測(cè)試頭3的外側(cè)設(shè)置有壁7，壁7與夾具安裝基礎(chǔ)相固定，壁7上設(shè)置有螺紋通孔，螺紋通孔上安裝有調(diào)節(jié)螺栓8，調(diào)節(jié)螺栓8頂推在第一測(cè)試頭1和第三測(cè)試頭3的外側(cè)，通過(guò)調(diào)整調(diào)節(jié)螺栓8穿透壁7的長(zhǎng)度，從而控制第一測(cè)試頭1和第三測(cè)試頭3與第二測(cè)試頭2之間的間距，達(dá)到與半導(dǎo)體分立器件的管腳位置相對(duì)應(yīng)的目的。

上述示例只是用于說(shuō)明本實(shí)用新型，除此之外，還有多種不同的實(shí)施方式，而這些實(shí)施方式都是本領(lǐng)域技術(shù)人員在領(lǐng)悟本實(shí)用新型思想后能夠想到的，故，在此不再一一列舉。