技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種去嵌入方式的阻抗測試方法，包括以下步驟，1、硬件準備，2、一致性測量，3、確定微帶線去嵌板，4、確定芯片的安裝電容，5、確定最終阻抗測試去嵌板，6、測量，這一系列步驟。本發(fā)明取代了原有的使用高頻探針測試芯片阻抗的周期長且價格昂貴的測試方法，本發(fā)明中提供的S參數(shù)的方法周期大致為三天時間，大大減少了射頻芯片測試阻抗的周期，本發(fā)明中的測試方法也避免了射頻探針針尖間距固定的測試局限性，并且降低了阻抗測試的成本。

技術(shù)研發(fā)人員：姜祁峰;丁立業(yè);朱小煒
受保護的技術(shù)使用者：上海集成電路技術(shù)與產(chǎn)業(yè)促進中心
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.20
技術(shù)公布日：2017.11.14